CN117954357B - 贴膜装置 - Google Patents

Abstract

本申请提供了一种贴膜装置，其包括：工作台，其上形成有作业区域；在工作台上设置有辅助单元、卷放单元、第一卷收单元、第二卷收单元和位于卷放单元和第一卷收单元之间、且位于作业区域上方的压合单元；辅助单元设置于工作台内部，包括用于承载晶圆升降以进出作业区域的承载机构、用于对晶圆上表面清洁及整平的辅助机构；卷放单元、第一卷收单元和压合单元均能够在工作台上水平移动以进入或离开作业区域；在卷放单元和第一卷收单元上相对的一侧分别设置有均能够移动以靠近或远离工作台面的剥膜模块和收膜模块。本申请提供的贴膜装置，既能适配不同厚度的晶圆，也能避免晶圆边缘起翘导致的贴膜不良率问题，还能缩短整个贴膜周期，贴膜效率较高。

Description

贴膜装置

技术领域

本申请属于半导体设备技术领域，更具体地说，是涉及一种贴膜装置。

背景技术

在晶圆生产过程中，在产品研磨前需要对其的正面贴附保护胶膜。在相关技术中，贴膜设备一般包括膜卷放装置、膜卷收装置和膜切割装置。一般而言，贴膜设备中的膜卷放装置和膜卷收装置仅仅是二者之一能够移动，由此导致，在晶圆贴膜完毕后，膜卷收装置在复位时会造成部分膜卷的浪费；同时，在贴膜过程中，难以避免的会出现晶圆厚度出现细微变化、在晶圆转运至贴膜区域的过程中出现的灰尘粘附问题以及晶圆边缘起翘，从而导致贴膜过程中出现的保护层无法很好的贴合于晶圆表面及气泡问题，使得贴膜良率偏低。

发明内容

本申请实施例的目的在于提供一种贴膜装置，以解决现有技术中存在的膜卷浪费及贴膜良率低的技术问题。

为实现上述目的，本申请实施例采用的技术方案是，提供一种贴膜装置，其包括：

工作台，其上形成有作业区域；

在所述工作台上设置有辅助单元、卷放单元、第一卷收单元、第二卷收单元和位于所述卷放单元和所述第一卷收单元之间、且位于所述作业区域上方的压合单元；

所述辅助单元设置于所述工作台内部，包括用于承载所述晶圆升降以进出所述作业区域的承载机构、用于对所述晶圆上表面清洁及整平的辅助机构；

所述卷放单元、所述第一卷收单元和所述压合单元均能够在所述工作台上水平移动以进入或离开所述作业区域；在所述卷放单元和所述第一卷收单元上相对的一侧分别设置有均能够移动以靠近或远离工作台面的剥膜模块和收膜模块；

所述卷放单元用于释放胶膜，所述剥膜模块的剥离端用于将所述胶膜上的粘接层和保护层剥离，所述第二卷收单元用于卷收所述保护层，所述压合单元用于将所述粘接层压合于所述晶圆，所述第一卷收单元用于卷收压合后多余的所述粘接层。

可选地，所述承载机构包括若干围绕升降轴线设置的升降驱动装置和具备吸附功能的承载台，各所述升降驱动装置能够单独运作以调节所述承载台的水平度。

可选地，所述辅助机构包括伸缩机构和设置于所述伸缩机构的清洁机构和整平机构，所述清洁机构设置于所述整平机构一侧，所述伸缩机构能够多级伸缩以带动所述清洁机构和所述整平机构移动至所述承载台上方。

可选地，所述整平机构为具备吸附功能的压盘，所述压盘形状与所述承载台的形状相适配，在所述压盘吸附所述晶圆的一侧设置有缓冲件；所述清洁机构包括吸附槽；在所述伸缩机构中设置有连通所述吸附槽和所述压盘的可伸缩的负压管。

可选地，所述卷放单元还包括沿水平滑动设置于所述工作台的卷放支架和固定设置于所述卷放支架的卷放辊模块，所述剥膜模块沿竖向滑动设置于所述卷放支架。

可选地，所述剥膜模块包括剥膜板和若干设置于所述剥膜板远离所述作业区域一侧、且分别位于所述剥膜板上下两侧的辊；其中一所述辊连接有张力监测装置。

可选地，所述第一卷收单元还包括沿水平滑动设置于所述工作台的卷收支架和转动设置于所述卷收支架上的转动架，在所述转动架上设置有卷收辊模块和与转轴偏心设置的所述收膜模块。

可选地，在所述卷收支架与所述转动架之间且位于转轴一侧处连接有抬升机构，所述抬升机构用于推动所述转动架转动以使所述收膜模块靠近或远离所述工作台面。

可选地，在所述卷放单元和所述第一卷收单元的任一一者或二者设置有制动机构，在所述粘接层卷绕方向上，所述制动机构设置于所述剥膜模块之前，和/或，所述制动机构设置于所述收膜模块之后；所述制动机构包括制动辊和能够抵紧所述制动辊的制动板，所述胶膜和/或所述粘接层穿设于所述制动辊和所述制动板之间。

可选地，所述压合单元包括沿水平滑动设置于所述工作台的压合架和沿竖向活动设置于所述压合架的压辊。

本申请实施例提供的贴膜装置，至少具有以下有益效果：

贴膜前，承载机构可升降设置，其能够使不同厚度的晶圆的上表面能够与工作台的上表面齐平，从而实现保护层能够完整地贴合于晶圆表面；辅助机构能够将晶圆上的灰尘吸附，以避免贴膜过程中出现的气泡问题，同时，其也能将晶圆压合整平于承载机构，以避免贴膜过程中由于晶圆边缘翘起而导致的不良率问题。

贴膜时，卷放单元和第一卷收单元均能够在工作台上水平移动以进入或离开作业区域，如此，在压合单元和外置切割单元对晶圆贴膜完成且切割完毕后，在第一卷收单元能够复位的过程中能够同步将下一贴膜作业周期所需要的粘接层带拉出，从而减少粘接层带的浪费，也能缩小两个贴膜周期之间的准备时间，以提高作业效率。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本申请一些实施例中贴膜装置的立体图；

图2为本申请一些实施例中贴膜装置的立体图；

图3为本申请一些实施例中贴膜装置部分结构的正视图；

图4为本申请一些实施例中承载机构的立体图；

图5为本申请一些实施例中辅助机构的立体图；

图6为本申请一些实施例中辅助机构的立体图；

图7为本申请一些实施例中贴膜装置安装胶膜阶段的示意图；

图8为本申请一些实施例中贴膜装置贴合阶段的示意图；

图9为本申请一些实施例中贴膜装置割膜阶段的示意图；

图10为本申请一些实施例中贴膜装置余膜回收阶段的示意图；

图11为本申请一些实施例中贴膜装置拉膜阶段的示意图。

具体实施方式

为了使本申请所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本申请进行进一步详细说明。

应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本申请，并不用于限定本申请。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者间接在该另一个元件上。

当一个元件被称为是“连接于”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或间接连接至该另一个元件上。

需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。

在本申请的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

请一并参阅图1至图11，现对本申请实施例提供的贴膜装置进行说明。

需要说明的是，本申请所述的贴膜装置，用于对晶圆粘贴膜层；在晶圆贴膜过程中，胶膜M上的保护层M1和粘接层M2先被分离，胶膜M的保护层M1被卷绕回收，粘接层M2在粘接至晶圆上后被切割，切割后剩余的废粘接层M2也被回收。

参考图1至图3，本申请所述的贴膜装置，包括工作台和设置于工作台中的辅助单元800、卷放单元100、第一卷收单元200、第二卷收单元300和位于所述卷放单元100和所述第一卷收单元200之间、且位于所述作业区域A上方的压合单元400。

具体地，工作台上形成有用于对晶圆贴膜的作业区域A。可以理解的是，作业区域A至少可容纳一片晶圆，也可以是两片、四片等偶数片。在能容纳偶数片晶圆的设置方式中，偶数片晶圆在作业区域A的宽度方向上并排放置设置。在贴膜时，粘接层M2带贴合于作业区域A表面后，再由外部切割单元将贴合于晶圆上和作业区域A上没有覆盖于晶圆上的粘接层M2带切割分离。

辅助单元800包括用于承载晶圆升降以进出作业区域A的承载机构810、用于对晶圆上表面清洁及整平的辅助机构820。具体地，工作台面上设置有能够供承载机构810升降以进出的开口，辅助单元800设置于工作台内部且其中的承载机构810能够上升至上表面与作业区域A表面齐平或者高于作业区域A表面，承载机构810也能下降至工作台面以下。

在承载机构810下降至工作台面以下时，辅助机构820能够移动至承载机构810正上方，以对承载机构810上的晶圆进行整平及清洁。在一些实施例中，辅助机构820的整平可通过压盘823等压合件实现，在整平时，承载机构810承载晶圆上升至晶圆上表面同时被挤压，以消除晶圆各边缘处的起翘现象；辅助机构820的清洁功能则可通过静电除尘和/或负压吸尘的方式实现。需要理解的是，在实际作业流程中，辅助机构820先对晶圆进行整平再对其进行除尘清洁，以最大程度消除晶圆表面的灰尘。

具体地，前述的卷放单元100用于释放胶膜M，第二卷收单元300用于回收保护层M1，压合单元400则用于将粘接层M2压合贴紧于晶圆上，第一卷收单元200用于回收切割后剩余的废膜粘接层M2。

具体地，参考图1至图3，下面详述卷放单元100、第一卷收单元200、第二卷收单元300和压合单元400。

卷放单元100包括卷放支架120和设置于卷放支架120上的卷放辊模块130、剥膜模块110和设置于卷放辊模块130和剥膜模块110之间的若干第一导膜辊141，以及设置于剥膜模块110之后的压制辊142、剥膜动力辊143和第二导膜辊144。

保护层M1卷放置于卷放辊模块130上，且保护层M1带依次穿过各第一导膜辊141和剥膜模块110，在剥膜模块110处保护层M1带上的保护层M1带和粘接层M2带被撕离且二者之间呈较大夹角，保护层M1带在被撕离后依次穿过压制辊142、剥膜动力辊143和第二导膜辊144，最后被第二卷收单元300所缠绕回收。在此过程中，卷放辊模块130用于释放胶膜M带，各第一导膜辊141对胶膜M带起导向传送作用，以使得胶膜M带能够顺畅卷送至剥膜模块110处以进行剥离，剥膜动力辊143用于卷送保护层M1带，压制辊142用于牵拉保护层M1带，以使保护层M1带能够顺畅被剥膜动力辊143卷送以顺畅与粘接层M2带分离，第二导膜辊144同样对保护层M1带起到导向作用。

压合单元400则滑动设置于工作台，其能够在作业区域A滑动以将粘接层M2带压合于作业区域A上的晶圆上，在粘接层M2带压合完成后，由外置的切割单元将晶圆与粘接层M2带切割分离。在晶圆与粘接层M2带切割完成后，晶圆由转运单元转运离开作业区域A，作业区域A则留下切割剩余的粘接层M2带。

第一卷收单元200包括卷收支架220和设置于卷收支架220上的收膜模块210、收膜动力辊250、卷收辊模块240，卷收辊模块240用于卷收贴膜完成且切割完毕的剩余的粘接层M2带，粘接层M2带依次经过收膜模块210、收膜动力辊250后被卷绕于卷收辊模块240。可以理解的是，卷收辊模块240为重力辊的设置方式，具体地，在卷收支架220上沿竖向设置有滑轨组件，卷收辊模块240设置于滑轨组件，且其上的卷收辊与收膜动力辊250抵接，由收膜动力辊250带动起转动以实现对剩余的粘接层M2带进行卷绕回收。

第二卷收单元300则用于卷绕回收保护层M1带。

进一步的，卷放单元100和第一卷收单元200均能在工作台上可水平移动设置，其由直线驱动机构驱动，直线驱动机构包括但不限于丝杠机构、直线滑台600机构等，并且，卷放单元100和第一卷收单元200各自独立运动设置，如此，卷放单元100和第一卷收单元200能够各自独立运动以进入或离开作业区域A。

在一些具体实施例中，在工作台的长度方向的两侧设置有直线滑台600。

对于卷放单元100而言，卷放单元100滑动设置于直线滑台600上，并且，在工作台上设置有第一驱动源，第一驱动源可以是直线电机，第一驱动源的活动端连接卷放支架120，同时，卷放支架120的底部仅仅滑动设置于直线滑台600。

对于第一卷收单元200而言，其底部两侧分别滑动设置于两个直线滑台600，并且，第一卷收单元200由其中一个直线滑台600驱动以进行水平直线移动。

对于压合单元400而言，其底部两侧同样分别滑动设置于两个直线滑台600，并且，压合单元400由其中一个直线滑台600驱动以进行水平直线移动。

通过在工作台上的两侧设置直线滑台600且第一卷收单元200和压合单元400分别由不同的直线滑台600驱动，如此，本申请的贴膜装置结构紧凑，各单元的占用空间较小。

此外，前述的剥膜模块110和收膜模块210可活动设置，二者均可以移动以靠近或远离工作台的台面。剥膜模块110和收膜模块210的活动设置方式可以是沿竖向直线移动，或者围绕转轴摆动设置，具体并不以此为限。通过将剥膜模块110和收膜模块210活动设置，使得在卷放单元100和/或第一卷收单元200移动时，剥膜模块110和收膜模块210与工作台面之间的垂直距离能够增大，从而避免剥膜模块110和收膜模块210与工作台面出现运动干涉，并最终提高卷放单元100和第一卷收单元200在工作台面上的移动行程，以提高作业效率。

具体地，参考图7至图11，以下详述本申请实施例的贴膜装置的作业过程。

参考图7，安装胶膜M阶段。在此步骤中，通过人工手工将保护层M1卷放置于卷放辊模块130上，将保护层M1带拉出并依次穿过各第一导膜辊141和剥膜模块110，在剥膜模块110处保护层M1带上的保护层M1带和粘接层M2带被撕离；撕离后的粘接层M2带则穿过收膜模块210、以及收膜动力辊250与卷收辊模块240之间的间隙并被收膜动力辊250与卷收辊模块240共同夹持，以便后续卷绕回收；撕离后的保护层M1带则依次穿过压制辊142、剥膜动力辊143和第二导膜辊144后绕设于第二卷收单元300。

准备贴膜阶段。第一卷收单元200和压合单元400移动均至远离卷放单元100的初始位置，且压合单元400紧邻第一卷收单元200，同时，收膜模块210抵紧粘接层M2带使其紧贴于作业区域A表面；卷放单元100也水平移动至远离压合单元400的初始位置，同时，剥膜模块110也移动至远离工作台面的初始位置，并且，使得剥膜模块110前端（也即保护层M1带与粘接层M2带分离处）与压合单元400之间的距离大于贴合区域的最大长度，也使得粘接层M2带与作业区域A表面形成一定夹角。

晶圆整平清洁阶段。承载机构810承载晶圆下降至台面以下，辅助机构820移动至晶圆正上方，承载机构810上升使其上的晶圆的上表面缓慢靠近辅助机构820上的压合件至相互抵接后继续缓慢顶升，使得晶圆上表面各处被压合件充分挤压整平，从而实现晶圆的整平；在晶圆整平完成后，承载机构810略微下降，使得晶圆上表面离开压合件，辅助机构820对晶圆表面进行除尘清洁。

参考图8，贴合阶段。压合单元400朝靠近卷放单元100的一侧移动，在移动的过程中其将粘接层M2带压紧贴合于晶圆表面，在此过程中，剥膜模块110也同步下降靠近工作台面，以使卷放单元100上保护层M1带在粘贴过程中保持张力一致，直至剥膜模块110下降至与工作台面齐平的位置，待压合单元400的移动形成完全覆盖作业区域A后，贴合作业完成。

参考图9，割膜阶段。在贴合作业完成后，外置切割单元对贴合于晶圆表面的粘接层M2带进行切割，以使粘接于晶圆表面的粘接层M2与位于作业区域A上方、没有粘接于晶圆表面的粘接层M2带分离。

参考图10，余膜回收阶段。卷放单元100位置保持不变，第一卷收单元200朝卷放单元100一侧移动，从而将作业区域A上剩余的粘接层M2带卷收，当第一卷收单元200移动至靠近卷放单元100的作业区域A边缘处，余膜回收作业完毕。

参考图11，拉膜阶段。收膜模块210移动以远离工作台面，并且，卷收辊模块240和收膜动力辊250保持静止状态以固定夹持粘接层M2带，然后，第一卷收单元200朝远离卷放单元100的方向移动以复位，在此过程中，卷放辊模块130释放保护层M1带，同时，剥膜模块110也朝远离工作台面的方向移动，以避免粘接层M2拉出过程中与工作台面相接触。

通过将本申请的贴膜装置如此设置，尤其是卷放单元100与第一卷收单元200均可移动设置，以及其上的剥膜模块110和收膜模块210可移动设置，使得第一卷收单元200在复位的同时能够同步将下一作业周期所需要的粘接层M2带拉出且不会与工作台面相接触，从而能够避免第一卷收单元200在复位时造成的粘接层M2带浪费，从而能够提高单卷保护层M1带的晶圆贴合数量。

参考图4，在一些实施例中，承载机构810包括若干围绕升降轴线设置的升降驱动装置811和具备吸附功能的承载台812，各升降驱动装置811能够单独运作以调节承载台812的水平度。

参考图4，可以理解的是，在承载台812的顶面设置有若干吸附孔8121，在承载台812中设置有与各吸附孔8121相连通的真空气道。具体地，吸附孔8121在承载台812上呈环状阵列排布设置。通过将吸附孔8121如此设置，使得晶圆上各处（尤其是晶圆上靠近其边缘处）能够被较好吸附，尤其是辅助机构820上吸附盘对晶圆整平后，晶圆能够被完整地吸附于承载台812而不会出现边缘起翘情况。

参考图4，可以理解的是，升降驱动装置811包括四个沿承载机构810中心对称设置、且能够独立运作的直线运动装置。通过将直线运动装置设置中心对称设置四个，使得各直线运动装置可同步或分别推动承载机构810升降，在各个驱动装置分别推动的情况下，其能够根据承载机构810的水平度调整各自的驱动行程，从而使得晶圆上表面能够与作业区域A的表面保持水平度一直，以提高贴膜成功率。

具体地，直线运动装置可以为滑轨组件及直线电机，直线电机的驱动端与承载机构810相连接，承载机构810设置于滑轨组件上以由直线电机驱动。

参考图5和图6，在一些实施例中，辅助机构820包括伸缩机构821和设置于伸缩机构821的清洁机构和整平机构，伸缩机构821能够多级伸缩以带动清洁机构和整平机构移动至承载台812上方。

具体地，伸缩机构821包括若干级滑架8211和连接相邻两级滑架8211的滑轨组件和气缸8212，相邻两级滑架8211可滑动嵌设以节约空间，气缸8212则用于拉动相邻两级滑架8211伸缩。在本实施例中，滑架8211设置有三级，对应地，设置有两组滑轨组件和两组气缸8212。整平机构设置于滑架8211的自由端以靠近或远离承载台812。通过将伸缩机构821如此设置，伸缩机构821结构简单且占用空间较小，同时，其移动稳定性也较佳，能够在晶圆整平阶段保持稳定而不晃动。

进一步的，清洁机构设置于整平机构一侧，更具体的，清洁机构设置于整平机构上远离伸缩机构821的一侧。如此，在整平机构和承载台812共同完成对晶圆的整平后，伸缩机构821带动整平机构及清洁机构退回时，清洁机构经过晶圆正上方时能够一并对晶圆进行除尘清洁，从而能够提高作业效率。

进一步的，整平机构为具备吸附功能的压盘823，在压盘823中设置有若干吸附孔8121，各吸附孔8121可以沿环形阵列排列；同时，压盘823形状与承载台812的形状相适配，在承载台812能够容纳多片晶圆的情况下，压盘823也被设置为能够同时吸附压合多片晶圆。

进一步的，在压盘823吸附晶圆的一侧设置有缓冲件8231。在本实施方式中，缓冲件8231为环形橡胶圈。具体地，在压盘823的吸附面至少设置有一道环形安装槽，例如两道或更多道，安装槽用于卡设橡胶圈。在承载台812与压盘823共同将晶圆挤压时，晶圆上表面与橡胶圈相抵接，从而能够避免晶圆上表面因挤压而损坏。

清洁机构包括吸附槽822，在伸缩机构821中设置有连通吸附槽822和压盘823且可伸缩的负压管824。负压管824一端连通外部发生装置，外部发生装置可以是真空发生机，负压管824另一端用于为压盘823和清洁机构提供负压。具体地，负压管824由若干可相互套设的管道组成，在两根相关套设的管道之间连接有密封组件。通过将负压管824如此设置，使得滑架8211相互伸缩时，相比于负压软管的设置形式，负压管824的负压流量较大且不易缠绕，能够有效满足晶圆整平及吸尘清洁的需要。

可以理解的是，参考图1至图3，在一些实施例中，前述的剥膜模块110可活动设置的方式中，卷放单元100还包括沿水平滑动设置于工作台的卷放支架120和固定设置于卷放支架120的卷放辊模块130，剥膜模块110沿竖向滑动设置于卷放支架120。具体地，在卷放支架120上设置有剥离驱动装置，剥离驱动装置可以是沿竖向设置的直线驱动装置，例如直线电机、气缸等，剥离驱动装置用于推动剥膜模块110整体沿竖向移动以靠近或远离工作台面。

具体地，剥膜模块110包括剥膜板111和若干设置于剥膜板111远离作业区域A一侧、且分别位于剥膜板111上下两侧的辊，所述的辊也即前述实施例所描述的部分第一导膜辊141。剥膜板111朝第一卷收单元200的一侧延伸设置，剥膜板111的宽度与作业区域A的宽度相适配或略小于作业区域A的宽度，并且，在其顶面朝向第一卷收单元200的一侧设置有导向斜面。前述的保护层M1带在剥膜板111上的导向斜面边缘处被分离为粘接层M2带和保护层M1带。

进一步的，其中一第一导膜辊141连接有张力监测装置112。更进一步的，张力监测装置112包括测力支架、滑轨组件和测力传感器，滑轨组件连接测力支架和剥离支架113，测力传感器也连接测力支架和剥离支架113，其中一第一导膜辊141转动设置于测力支架。在贴膜作业过程中，保护层M1带的张力发生变化能够拉动测力支架在滑轨组件上滑动，从而使的测力传感器检测到变化数值，进而使得第一卷收单元200或卷放辊模块130根据张力变化数值调整移动/卷放速度，以使保护层M1带的张力保持在目标范围。

参考图1至图3，在一些实施例中，第一卷收单元200还包括沿水平滑动设置于工作台的卷收支架220和转动设置于卷收支架220上的转动架230，在转动架230上设置有卷收辊模块240和与转轴偏心设置的收膜模块210。通过设置转动架230，同时将卷收辊模块240与收膜模块210一并设置于转动架230上，在前一晶圆贴膜作业完成后、余膜回收完毕后第一卷收单元200需要复位时，使转动架230整体转动即可使得收膜模块210朝远离工作台面的一侧移动，从而避免第一卷收单元200复位过程中收膜模块210与工作台面距离过近使得所拉出的待粘接层M2与工作台面接触过早而导致的浪费问题。

可以理解的是，转动架230可由转动电机驱动，也可由气缸推动以实现摆动。

具体地，参考图1至图3，在一些实施例中，在卷收支架220与转动架230之间且位于转轴一侧处连接有抬升机构260，抬升机构260用于推动转动架230转动以使收膜模块210靠近或远离工作台面。抬升机构260可以是直线电机或者气缸。

参考图1至图3，在一些实施例中，在一些实施例中，在卷放单元100和第一卷收单元200的任一一者或二者设置有制动机构，制动机构包括制动辊520和能够抵紧制动辊520的制动板510，胶膜M和/或粘接层M2穿设于制动辊520和制动板510之间。

在具体实施例中，卷放单元100和第一卷收单元200上均有设置制动机构。

具体地，在卷放单元100中，制动机构设置于剥离支架113上且位于剥离板之前，更具体的，其设置于张力监测装置112之前。制动机构包括制动气缸和制动板510，制动气缸用于推动制动板510与其中一第一导膜辊141抵接，以将保护层M1带抵紧于对应的第一导膜辊141并使保护层M1带停止。

在第一卷收单元200中，制动机构设置于转动架230上且位于收膜模块210中，制动机构同样包括制动气缸和制动板510。具体地，收膜模块210包括导引辊211、张力气缸、张力辊212、制动辊520、制动气缸和制动板510。张力辊212设置于导引辊211后面，制动辊520设置于导引辊211后面，粘接带层绕经导引辊211后穿过导引辊211与张力辊212之间的间隙，然后绕经制动辊520后再绕经收膜动力辊250后被卷绕于卷收辊模块240中。

张力气缸与张力辊212连接，其用于推动张力辊212靠近或远离导引辊211，以调整粘接层M2带在第一卷收单元200中的张力。制动气缸与制动板510连接以推动制动板510抵紧制动辊520，从而将粘接层M2带夹持固定。

卷放单元100中的制动机构，用于在准备贴膜阶段的保护层M1带张力调节。具体地，制动气缸推动制动板510靠近第一导膜辊141，以增加保护层M1带与第一导引辊211和制动板510之间的摩擦力，从而使得保护层M1带处于不同的张力状态。

第一卷收单元200中的制动机构，则在拉膜阶段，用于夹持固定粘接层M2带并将其朝远离卷放单元100的一侧牵拉。具体地，卷放辊模块130释放胶膜M带的同时，制动机构夹持粘接层M2带，同时，第一卷放单元100在作业区域A上移动，以夹持粘接层M2带并牵拉至初始位置。

通过在卷放单元100和第一卷收单元200的任一一者或二者设置有制动机构，能够使得保护层M1带或粘接层M2带的牵拉或张力控制更加精确，以有利于提高贴膜精度。

参考图1至图3，在一些实施例中，压合单元400包括沿水平滑动设置于工作台的压合架410和沿竖向活动设置于压合架410的压辊420。例如，在工作台上可以有直线滑台600，压合架410设置于直线滑台600上，直线滑台600的移动行程大于作业区域A的长度。进一步的，在压合架410上还设置有用于推动压合辊靠近或远离工作台面的压合气缸，在压合单元400压合完成复位的过程中，压合辊能够离开工作台面以顺利复位。

进一步的，在压辊420中设置有加热模块，对应地，压辊420中也设置有温度传感器。如此，在压辊420将作业区域A的粘接层M2待压合于晶圆上时，其能够同步将粘接层M2带加热以使其上的胶层软化，从而实现更好的压合效果。

以上所述仅为本申请的较佳实施例而已，并不用以限制本申请，凡在本申请的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本申请的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种贴膜装置，用于对晶圆粘贴膜层，其特征在于，包括：

工作台，其上形成有作业区域；

在所述工作台上设置有辅助单元、卷放单元、第一卷收单元、第二卷收单元和位于所述卷放单元和所述第一卷收单元之间、且位于所述作业区域上方的压合单元；

所述辅助单元设置于所述工作台内部，包括用于承载所述晶圆升降以进出所述作业区域的承载机构、用于对所述晶圆上表面清洁及整平的辅助机构；

所述卷放单元、所述第一卷收单元和所述压合单元均能够在所述工作台上水平移动以进入或离开所述作业区域；在所述卷放单元和所述第一卷收单元上相对的一侧分别设置有均能够移动以靠近或远离工作台面的剥膜模块和收膜模块；

所述卷放单元用于释放胶膜，所述剥膜模块的剥离端用于将所述胶膜上的粘接层和保护层剥离，所述第二卷收单元用于卷收所述保护层，所述压合单元用于将所述粘接层压合于所述晶圆，所述第一卷收单元用于卷收压合后多余的所述粘接层。

2.如权利要求1所述的贴膜装置，其特征在于：所述承载机构包括若干围绕升降轴线设置的升降驱动装置和具备吸附功能的承载台，各所述升降驱动装置能够单独运作以调节所述承载台的水平度。

3.如权利要求2所述的贴膜装置，其特征在于：所述辅助机构包括伸缩机构和设置于所述伸缩机构的清洁机构和整平机构，所述清洁机构设置于所述整平机构一侧，所述伸缩机构能够多级伸缩以带动所述清洁机构和所述整平机构移动至所述承载台上方。

4.如权利要求3所述的贴膜装置，其特征在于：所述整平机构为具备吸附功能的压盘，所述压盘形状与所述承载台的形状相适配，在所述压盘吸附所述晶圆的一侧设置有缓冲件；所述清洁机构包括吸附槽；在所述伸缩机构中设置有连通所述吸附槽和所述压盘的可伸缩的负压管。

5.如权利要求1至4任一所述的贴膜装置，其特征在于：所述卷放单元还包括沿水平滑动设置于所述工作台的卷放支架和固定设置于所述卷放支架的卷放辊模块，所述剥膜模块沿竖向滑动设置于所述卷放支架。

6.如权利要求5所述的贴膜装置，其特征在于：所述剥膜模块包括剥膜板和若干设置于所述剥膜板远离所述作业区域一侧、且分别位于所述剥膜板上下两侧的辊；其中一所述辊连接有张力监测装置。

7.如权利要求1至4任一所述的贴膜装置，其特征在于：所述第一卷收单元还包括沿水平滑动设置于所述工作台的卷收支架和转动设置于所述卷收支架上的转动架，在所述转动架上设置有卷收辊模块和与转轴偏心设置的所述收膜模块。

8.如权利要求7所述的贴膜装置，其特征在于：在所述卷收支架与所述转动架之间且位于转轴一侧处连接有抬升机构，所述抬升机构用于推动所述转动架转动以使所述收膜模块靠近或远离所述工作台面。

9.如权利要求1至4任一所述的贴膜装置，其特征在于：在所述卷放单元和所述第一卷收单元的任一一者或二者设置有制动机构，在所述粘接层卷绕方向上，所述制动机构设置于所述剥膜模块之前，和/或，所述制动机构设置于所述收膜模块之后；所述制动机构包括制动辊和能够抵紧所述制动辊的制动板，所述胶膜和/或所述粘接层穿设于所述制动辊和所述制动板之间。

10.如权利要求1至4任一所述的贴膜装置，其特征在于：所述压合单元包括沿水平滑动设置于所述工作台的压合架和沿竖向活动设置于所述压合架的压辊。