CN117524814A - 一种电离室顶孔结构、电离室及离子源 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种电离室顶孔结构、电离室及离子源，涉及离子产生设备技术领域；电离室顶孔结构，包括顶板，所述顶板中部设有安装槽，所述安装槽贯穿所述顶板设置；所述安装槽内适配有孔板，且所述孔板与所述顶板可拆卸连接，所述顶板中部设有顶孔，当离子束的均匀性不能满足生产要求时，直接拆掉孔板更换新的孔板即可，能够缩短真空脱气的时长和PM进行时间，从而减小材料的浪费和降低生产成本。电离室，包括电离室本体，于所述电离室本体顶部设有上述的电离室顶孔结构。离子源，包括放电组件，于所述放电组件放电端设有上述的电离室。
Description
技术领域
本发明涉及离子产生设备技术领域，具体涉及一种电离室顶孔结构、电离室及离子源。
背景技术
为了形成离子束，在电弧室内，从灯丝获得的辐射热通过阴极放出热电子，随着和气体进行电离，在电弧室壁面被电离。而离子源设置顶孔的顶板通常是钨材质，是最初被电离的离子束射出的零件。即，从阴极出来的热电子和杂质(气体)间发生电离从顶孔出去，离子束向目标工艺室移动时，部分离子积累在电弧室壁面，从而在顶孔侧壁部分形成锯齿，从而对离子束均匀性造成影响。
现有技术中，为避免积累在顶孔侧壁锯齿状的杂质对离子束均匀性造成影响，需要将整个顶板更换掉，造成材料的大量浪费，使得生产成本居高不下。
发明内容
针对现有离子源为确保离子束均匀性时，需更换掉离子室的整个顶板的技术问题；本发明提供了一种电离室顶孔结构、电离室及离子源，离子束的均匀性不能满足生产要求时，只需更换孔板即可，从而减小材料的浪费和降低生产成本。
本发明通过下述技术方案实现：
第一方面，本发明提供了一种电离室顶孔结构，包括顶板，所述顶板中部设有安装槽，所述安装槽贯穿所述顶板设置；所述安装槽内适配有孔板，且所述孔板与所述顶板可拆卸连接，所述顶板中部设有顶孔。
本发明提供的电离室顶孔结构，在顶板中部设置贯通型的安装槽，且安装槽内适配有孔板，离子束射出孔设置在孔板上，而孔板与顶板可拆卸连接，当离子束的均匀性不能满足生产要求时，直接拆掉孔板更换新的孔板即可，能够缩短真空脱气的时长和PM进行时间，从而减小材料的浪费和降低生产成本。
在一可选的实施例中，所述孔板插设在所述安装槽内，以便于孔板的快速安装，进一步缩短真空脱气的时长，提高装备本发明的离子源的工作效率。
在一可选的实施例中，所述顶板内侧面长度方向的一端设有限位槽，所述限位槽与所述安装槽连通；所述孔板长度方向的一端设有连接部，所述连接部至少部分位于所述限位槽内，以通过连接部与限位槽相互作用，将孔板限制在安装槽内，避免孔板在离子束的冲击下从安装槽内滑脱。
在一可选的实施例中，所述顶板内侧面长度方向的两端均设有所述限位槽，且所述孔板长度方向的两端均设有所述连接部，以进一步避免孔板滑脱。
在一可选的实施例中，所述顶板内侧面设有定位槽，所述定位槽与所述安装槽连通；所述孔板长度方向的一侧设有与所述定位槽适配的定位侧凸，所述定位侧凸插设在所述定位槽内，以确保孔板的安装精度，避免因更换孔板而导致顶孔的位置发生较大的变化。
在一可选的实施例中，所述顶板内侧面设有两所述限位槽，且所述孔板长度方向的两侧均设有所述定位侧凸，以进一步提搞孔板的安装进度。
在一可选的实施例中，所述孔板侧壁与所述安装槽侧壁之间的空隙小于0.5mm，以避免大量的离子从孔板与顶板之间的空隙射出。
在一可选的实施例中，所述顶孔为腰形孔。
第二方面，本发明提供了一种电离室，包括电离室本体，于所述电离室本体顶部设有上述的电离室顶孔结构。
本发明提供的电离室，在顶板中部设置贯通型的安装槽，且安装槽内适配有孔板，离子束射出孔设置在孔板上，而孔板与顶板可拆卸连接，当离子束的均匀性不能满足生产要求时，直接拆掉孔板更换新的孔板即可，能够缩短真空脱气的时长和PM进行时间，从而减小材料的浪费和降低生产成本。
第三方面，本发明提供了一种离子源，包括放电组件，于所述放电组件放电端设有上述的电离室。
本发明提供的离子源，在顶板中部设置贯通型的安装槽，且安装槽内适配有孔板，离子束射出孔设置在孔板上，而孔板与顶板可拆卸连接，当离子束的均匀性不能满足生产要求时，直接拆掉孔板更换新的孔板即可，能够缩短真空脱气的时长和PM进行时间，从而减小材料的浪费和降低生产成本。
本发明与现有技术相比，具有如下的优点和有益效果：
1、本发明提供的电离室顶孔结构，在顶板中部设置贯通型的安装槽，且安装槽内适配有孔板，离子束射出孔设置在孔板上，而孔板与顶板可拆卸连接，当离子束的均匀性不能满足生产要求时，直接拆掉孔板更换新的孔板即可，能够缩短真空脱气的时长和PM进行时间，从而减小材料的浪费和降低生产成本。
2、本发明提供的电离室，在顶板中部设置贯通型的安装槽，且安装槽内适配有孔板，离子束射出孔设置在孔板上，而孔板与顶板可拆卸连接，当离子束的均匀性不能满足生产要求时，直接拆掉孔板更换新的孔板即可，能够缩短真空脱气的时长和PM进行时间，从而减小材料的浪费和降低生产成本。
3、本发明提供的离子源，在顶板中部设置贯通型的安装槽，且安装槽内适配有孔板，离子束射出孔设置在孔板上，而孔板与顶板可拆卸连接，当离子束的均匀性不能满足生产要求时，直接拆掉孔板更换新的孔板即可，能够缩短真空脱气的时长和PM进行时间，从而减小材料的浪费和降低生产成本。
附图说明
为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本申请的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
在附图中：
图1为本发明实施例电离室顶孔结构的剖视结构示意图；
图2为本发明实施例顶板后视结构示意图；
图3为本发明实施例孔板结构示意图。
附图中标记及对应的零部件名称：
10-顶板，11-安装槽，12-限位槽，13-定位槽，20-孔板，21-顶孔，22-连接部，23-定位侧凸。
具体实施方式
为使本申请实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本申请实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。
应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
在本申请实施例的描述中，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖向”、“纵向”、“侧向”、“水平”、“内”、“外”、“前”、“后”、“顶”、“底”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该申请产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，或者是本领域技术人员惯常理解的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。
在本发明的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“开有”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
实施例1
结合图1，本实施例提供了一种电离室顶孔结构，包括顶板10，所述顶板10中部设有安装槽11，所述安装槽11贯穿所述顶板10设置；所述安装槽11内适配有孔板20，且所述孔板20与所述顶板10可拆卸连接，所述顶板10中部设有顶孔21。
具体来讲，对于孔板20和顶板10的连接，可以是通过螺钉连接、粘结剂粘接、卡卡接等方式，只需要能够将孔板20安装在安装槽11内，并确保在离子束的冲击下，孔板20和顶板10能够可靠连接即可。在本实施例中红一可选的实施例中，所述孔板20插设在所述安装槽11内，以便于孔板20的快速安装，进一步缩短真空脱气的时长，提高装备本发明的离子源的工作效率。
其中，所述孔板20侧壁与所述安装槽11侧壁之间的空隙小于0.5mm，以避免大量的离子从孔板20与顶板10之间的空隙射出。
通常的，所述顶孔21为腰形孔。
可以理解的是，安装槽11通常为方形槽，以便于生产加工和孔板20的安装。顶孔21根据使用需求制成相应的形状，也可以是圆形、椭圆形等。
综上，本实施例提供的电离室顶孔结构，在顶板10中部设置贯通型的安装槽11，且安装槽11内适配有孔板20，离子束射出孔设置在孔板20上，而孔板20与顶板10可拆卸连接，当离子束的均匀性不能满足生产要求时，直接拆掉孔板20更换新的孔板20即可，能够缩短真空脱气的时长和PM进行时间，从而减小材料的浪费和降低生产成本。
实施例2
结合图2和图3，本实施例提供了一种电离室顶孔结构，基于实施例1所记载的结构和原理，所述顶板10内侧面长度方向的一端设有限位槽12，所述限位槽12与所述安装槽11连通；所述孔板20长度方向的一端设有连接部22，所述连接部22至少部分位于所述限位槽12内，以通过连接部22与限位槽12相互作用，将孔板20限制在安装槽11内，避免孔板20在离子束的冲击下从安装槽11内滑脱。
优选的，所述顶板10内侧面长度方向的两端均设有所述限位槽12，且所述孔板20长度方向的两端均设有所述连接部22，以进一步避免孔板20滑脱。
实施例3
结合图2和图3，本实施例提供了一种电离室顶孔结构，基于实施例2所记载的结构和原理，所述顶板10内侧面设有定位槽13，所述定位槽13与所述安装槽11连通；所述孔板20长度方向的一侧设有与所述定位槽13适配的定位侧凸23，所述定位侧凸23插设在所述定位槽13内，以确保孔板20的安装精度，避免因更换孔板20而导致顶孔21的位置发生较大的变化。
在一可选的实施例中，所述顶板10内侧面设有两所述限位槽12，且所述孔板20长度方向的两侧均设有所述定位侧凸23，以进一步提搞孔板20的安装进度。
实施例4
本实施例提供了一种电离室，包括电离室本体，于所述电离室本体顶部设有实施例1～3中任意一个实施例所记载的的电离室顶孔结构。也就是说，电离室本体的顶部采用的实施例1～3中任意一个实施例所记载的的电离室顶孔结构。
因此，本实施例提供的电离室，在顶板10中部设置贯通型的安装槽11，且安装槽11内适配有孔板20，离子束射出孔设置在孔板20上，而孔板20与顶板10可拆卸连接，当离子束的均匀性不能满足生产要求时，直接拆掉孔板20更换新的孔板20即可，能够缩短真空脱气的时长和PM进行时间，从而减小材料的浪费和降低生产成本。。
实施例5
本实施例提供了一种离子源，包括放电组件，于所述放电组件放电端设有实施例4所记载的电离室。应当理解的是，放电组件的放端延伸至电离室的内部，从而通过放电电离电离内的气体，形成离子束。
简单的说，本实施例提供的离子源，在顶板10中部设置贯通型的安装槽11，且安装槽11内适配有孔板20，离子束射出孔设置在孔板20上，而孔板20与顶板10可拆卸连接，当离子束的均匀性不能满足生产要求时，直接拆掉孔板20更换新的孔板20即可，能够缩短真空脱气的时长和PM进行时间，从而减小材料的浪费和降低生产成本。
以上所述的具体实施方式，对本发明的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本发明的具体实施方式而已，并不用于限定本发明的保护范围，凡在本发明的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (10)
1.一种电离室顶孔结构，包括顶板(10)，其特征在于，所述顶板(10)中部设有安装槽(11)，所述安装槽(11)贯穿所述顶板(10)设置；
所述安装槽(11)内适配有孔板(20)，且所述孔板(20)与所述顶板(10)可拆卸连接，所述顶板(10)中部设有顶孔(21)。
2.根据权利要求1所述的电离室顶孔结构，其特征在于，所述孔板(20)插设在所述安装槽(11)内。
3.根据权利要求2所述的电离室顶孔结构，其特征在于，所述顶板(10)内侧面长度方向的一端设有限位槽(12)，所述限位槽(12)与所述安装槽(11)连通；
所述孔板(20)长度方向的一端设有连接部(22)，所述连接部(22)至少部分位于所述限位槽(12)内。
4.根据权利要求3所述的电离室顶孔结构，其特征在于，所述顶板(10)内侧面长度方向的两端均设有所述限位槽(12)，且所述孔板(20)长度方向的两端均设有所述连接部(22)。
5.根据权利要求3所述的电离室顶孔结构，其特征在于，所述顶板(10)内侧面设有定位槽(13)，所述定位槽(13)与所述安装槽(11)连通；
所述孔板(20)长度方向的一侧设有与所述定位槽(13)适配的定位侧凸(23)，所述定位侧凸(23)插设在所述定位槽(13)内。
6.根据权利要求5所述的电离室顶孔结构，其特征在于，所述顶板(10)内侧面设有两所述限位槽(12)，且所述孔板(20)长度方向的两侧均设有所述定位侧凸(23)。
7.根据权利要求1所述的电离室顶孔结构，其特征在于，所述孔板(20)侧壁与所述安装槽(11)侧壁之间的空隙小于0.5mm。
8.根据权利要求1所述的电离室顶孔结构，其特征在于，所述顶孔(21)为腰形孔。
9.一种电离室，包括电离室本体，其特征在于，于所述电离室本体顶部设有如权利要求1～8中任意一项所述的电离室顶孔结构。
10.一种离子源，包括放电组件，其特征在于，于所述放电组件放电端设有权利要求9所述的电离室。
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