CN117316576A - 电感器部件、以及电感器部件的制造方法 - Google Patents
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Abstract
抑制电感器部件与其它的电子部件的干扰。将与第一端面(11C)垂直的方向上的从第一端面(11C)到第一覆盖电极(71)的表面为止的距离作为第一覆盖电极(71)的厚度。在通过第一端面(11C)的几何中心(C)且与第一主面(11A)垂直的第二虚拟线(VL2)上,第一覆盖电极(71)的厚度最大的位置与第一端面(11C)的几何中心(C)相比向第一主面(11A)侧偏移。
Description
技术领域
本发明涉及电感器部件、以及电感器部件的制造方法。
背景技术
专利文献1所记载的电感器部件具备坯体、电感器布线、第一覆盖电极、以及第二覆盖电极。坯体是具有六个外表面的长方体状。电感器布线在坯体的内部延伸。坯体具有第一电极、和第二电极。第一电极与电感器布线的第一端连接。第二电极与电感器布线的第二端连接。将坯体的外表面中的一个作为主面,将与主面垂直的面的一个作为第一端面,将与第一端面平行的面作为第二端面,并将与主面以及第一端面的任何一个都垂直的面的一个作为底面。该情况下,第一电极在从底面到第一端面的区域在坯体的外部露出。第二电极在从底面到第二端面的区域在坯体的外部露出。而且,第一覆盖电极覆盖第一电极的表面。第二覆盖电极覆盖第二电极的表面。
专利文献1:日本特开2021-27250号公报
专利文献1所记载的那样的电感器部件与其它的电子部件相邻地配置在基板上。这里,在第一端面上第一覆盖电极的厚度并不一定均匀,有第一覆盖电极部分地向第一端面朝向的方向突出的情况。而且,若第一覆盖电极过度地突出,则有与配置为与第一端面相对的其它的电子部件干扰的情况。为了避免这样的干扰,不得不在电感器部件与其它的电子部件之间确保相当的空间。因此,妨碍电感器部件以及其它的电子部件的高密度的安装。
发明内容
为了解决上述课题,本发明的一方式是一种电感器部件,具备:长方体状的坯体,具有六个外表面;电感器布线,在上述坯体的内部延伸;第一覆盖电极,覆盖作为上述外表面中的一个面的底面,并与上述电感器布线的第一端电连接;以及第二覆盖电极,覆盖上述底面,并与上述电感器布线的第二端电连接,在将上述坯体的六个上述外表面中与上述底面垂直的面的一个面设为主面,并将与上述底面以及上述主面的任何一个都垂直的面设为第一端面以及第二端面时,上述第一覆盖电极以及上述第二覆盖电极覆盖通过上述底面的几何中心且与上述第一端面垂直的第一虚拟线上的一部分,上述第一覆盖电极覆盖上述第一端面,上述第二覆盖电极覆盖上述第二端面,在将与上述第一端面垂直的方向上的从上述第一端面到上述第一覆盖电极的表面为止的距离作为上述第一覆盖电极的厚度时,在通过上述第一端面的几何中心且与上述主面垂直的第二虚拟线上,上述第一覆盖电极的厚度最大的位置与上述第一端面的几何中心相比向上述主面侧偏移。
例如,作为配置为与电感器部件的第一端面相邻的其它的电子部件,能够列举对长方体的坯体的端面整个区域镀上电极的部件。在这样的电子部件中,在端面的中央电极的厚度增大。换句话说,在这种的电子部件中,成为坯体的端面的中央膨胀的形状。另外,在实际上电子部件的外径尺寸被标准化的现状下,为了实现高密度的安装,配置各电子部件的基板上的平面焊盘图案被排列。换句话说,在从与基板的主面垂直的方向观察时,电感器部件的第一端面的几何中心与相邻的其它的电子部件的端面的几何中心排列为同一直线状且相邻的情况较多。
根据上述结构,第一覆盖电极的厚度最大的位置与第一端面的几何中心相比向主面侧偏移。因此,即使在将电感器部件与上述其它的电子部件配置于基板上的进行了排列的平面焊盘图案的相邻的位置的情况下,由于电感器部件的第一覆盖电极的厚度最大的位置与上述其它的电子部件的电极的厚度最大的位置偏离,所以两部件的电极彼此也不容易干扰。因此,能够有助于基板上的部件的高密度化。
为了解决上述课题,本发明的其它的方式是一种电感器部件的制造方法,具备:层叠体形成工序,使用绝缘性的绝缘膏体以及包含金属粉的导电膏体,形成具有在上述绝缘膏体的内部延伸为螺旋状的上述导电膏体的图案、与上述图案的第一端连接且从上述绝缘膏体露出的上述导电膏体的第一导电部、以及与上述图案的第二端连接且从上述绝缘膏体露出的上述导电膏体的第二导电部的长方体状的层叠体;烧制工序,对上述层叠体进行烧制形成分别具有上述第一导电部烧结后的第一埋入电极、和上述第二导电部烧结后的第二埋入电极的坯体;以及电镀工序,对在上述坯体的表面露出的上述第一埋入电极以及上述第二埋入电极的表面进行电镀,形成覆盖上述第一埋入电极的表面的第一覆盖电极以及覆盖上述第二埋入电极的表面的第二覆盖电极,在将上述坯体的六个外表面中一个面设为底面,将与上述底面垂直的面的一个设为主面,并将与上述底面以及上述主面的任何一个都垂直的面设为第一端面以及第二端面时,上述第一埋入电极以及上述第二埋入电极在上述底面露出到上述坯体的外部,上述第一埋入电极具有在上述第一端面露出到上述坯体的外部的端面电极部,在上述电镀工序中,通过绝缘性的盖覆盖上述第一端面的几何中心,并且使上述端面电极部中在通过上述第一端面的几何中心且与上述主面垂直的虚拟线上相对于上述几何中心在上述主面侧的部分从上述盖露出来进行电镀。
根据上述结构,在对端面电极部进行电镀时,在几何中心,由于盖而不流过电流所以不进行电镀。因此,在虚拟线上,仅对相对于几何中心在主面侧的部分进行电镀,从而能够仅在端面电极部上的相对于几何中心在主面侧的部分形成第一覆盖电极。其结果,成为第一覆盖电极的厚度最大的位置与第一端面的几何中心相比向主面侧偏移的形状。
能够抑制电感器部件与其它的电子部件的干扰。
附图说明
图1是第一实施方式的电感器部件的立体图。
图2是第一实施方式的电感器部件的分解立体图。
图3是第一实施方式的第一层的俯视图。
图4是第一实施方式的电感器部件的端面图。
图5是沿着图4的5-5线的剖视图。
图6是说明第一实施方式的电感器部件的制造方法的说明图。
图7是第二实施方式的电感器部件的分解立体图。
图8是第二实施方式的电感器部件的端面图。
图9是沿着图8的9-9线的剖视图。
图10是变更例的电感器部件的端面图。
图11是变更例的电感器部件的端面图。
图12是变更例的电感器部件的端面图。
图13是变更例的电感器部件的端面图。
图14是变更例的电感器部件的端面图。
图15是变更例的电感器部件的端面图。
图16是变更例的电感器部件的端面图。
图17是变更例的电感器部件的端面图。
具体实施方式
<第一实施方式>
以下,对电感器部件的第一实施方式进行说明。应予说明,附图为了使理解变得容易,而有放大构成要素示出的情况。有构成要素的尺寸比率与实际的尺寸比率或者与其它的图中的尺寸比率不同的情况。
(电感器部件的整体结构)
如图1所示,电感器部件10具备长方体状的坯体11。另外,如图2以及图3所示,电感器部件10具备在坯体11的内部延伸的电感器布线30。坯体11具有与电感器布线30的第一端连接的第一埋入电极40、和与电感器布线30的第二端连接的第二埋入电极50。
如图2所示,坯体11作为整体,成为层叠多个板状的层那样的构造。另外,各层在俯视时为长方形。而且,坯体11为长方体状所以具有平面状的六个外表面。如图1所示,将这六个外表面中一个面设为底面11E。另外,将六个外表面中与底面11E垂直的面的一个面设为第一主面11A。另外,将与第一主面11A平行的面设为第二主面11B。而且,将与底面11E以及第一主面11A的任何一个都垂直的面的一个设为第一端面11C。另外,将与第一端面11C平行的面设为第二端面11D。另外,将与底面11E平行的面设为顶面11F。
此外,在以下的说明中,将沿着多个层层叠的方向的轴,即与第一主面11A垂直的轴设为第一轴X。另外,将与第一端面11C垂直的轴设为第二轴Y。并且,将与底面11E垂直的轴设为第三轴Z。而且,将沿着第一轴X的方向中的第一主面11A朝向的方向设为第一正方向X1,并将与第一正方向X1相反方向设为第一负方向X2。另外,将沿着第二轴Y的方向中的第一端面11C朝向的方向设为第二正方向Y1,并将与第二正方向Y1相反方向设为第二负方向Y2。并且,将沿着第三轴Z的方向中的顶面11F朝向的方向设为第三正方向Z1,并将与第三正方向Z1相反方向设为第三负方向Z2。
如图2所示,坯体11具有第一层L1~第九层L9。在第一负方向X2依次排列第一层L1~第九层L9。第一层L1~第九层L9的厚度,即沿着X轴的方向的尺寸全部大致相同。如图3所示,第一层L1由第一电极部41、第二电极部51、第一布线部31、以及第一绝缘部21构成。
第一电极部41由银等导电性材料构成。在朝向第一负方向X2观察第一层L1时,第一电极部41作为整体成为L形。第一电极部41在朝向第一负方向X2观察第一层L1时,与第一层L1的中心相比位于第二正方向Y1侧并且位于第三负方向Z2侧。更具体而言,第一电极部41在朝向第一负方向X2观察第一层L1时,位于第一层L1的包含第二正方向Y1侧并且第三负方向Z2侧的角的位置。
第二电极部51由银等导电性材料构成。第二电极部51为棒状。第二电极部51沿着底面11E延伸。第二电极部51的第二负方向Y2侧的端位于第二端面11D。第二电极部51的第二正方向Y1侧的端与底面11E上的沿着第二轴Y的方向的中央相比位于第二负方向Y2侧。
第一布线部31由银等导电性材料构成。在朝向第一负方向X2观察第一层L1时,第一布线部31作为整体延伸为将第一层L1的中心作为大致的中心的漩涡状。具体而言,第一布线部31的第一端部31A与第一电极部41的沿着第三轴Z的方向上的第三正方向Z1侧的端部连接。此外,第一端部31A在朝向第一负方向X2观察时是从重叠第一层L1~第九层L9的布线部构成的环绕路径脱离的部分。即,第一端部31A是电感器布线30的第一端。第一布线部31的布线宽度除了第二端部31B之外大致恒定。第一布线部31的第二端部31B的沿着第三轴Z的方向上的位置与沿着第三轴Z的方向上的第一层L1的中央相比在第三正方向Z1侧。另外,第一布线部31的第二端部31B的沿着第二轴Y的方向上的位置与沿着第二轴Y的方向上的第一层L1的中央相比在第二正方向Y1侧。而且,在朝向第一负方向X2观察第一布线部31时,第一布线部31从第一端部31A朝向第二端部31B顺时针延伸。
第一布线部31的第二端部31B作为用于与后述的通孔32连接的焊盘发挥作用。在朝向第一负方向X2观察第一层L1时,第二端部31B大致为圆形形状。另外,第一布线部31的第二端部31B的布线宽度比第一布线部31的其它的部分大。
在第一层L1中,除了第一电极部41、第二电极部51、以及第一布线部31之外的部分是第一绝缘部21。第一绝缘部21由玻璃、树脂、氧化铝等非磁性的绝缘体构成。
如图2所示,第二层L2层叠在第一层L1的朝向第一负方向X2的主面上。在朝向第一负方向X2观察第二层L2时,第二层L2为与第一层L1相同的长方形。第二层L2由第三电极部42、第四电极部52、通孔32、以及第二绝缘部22构成。
第三电极部42由与第一电极部41相同的材料构成。第三电极部42为棒状。第三电极部42沿着底面11E延伸。第三电极部42的第二正方向Y1侧的端位于第一端面11C。第三电极部42的第二负方向Y2侧的端与第一电极部41的第二负方向Y2侧的端一致。因此,在朝向第一负方向X2观察第二层L2时,第三电极部42位于第一电极部41的沿着底面11E延伸的部分的位置。由此,第三电极部42层叠于第一电极部41的朝向第一负方向X2的面。
第四电极部52由与第二电极部51相同的材料构成。第四电极部52是与第二电极部51相同的尺寸的棒状。另外,在朝向第一负方向X2观察第二层L2时,第四电极部52位于与第二电极部51相同的位置。因此,第四电极部52层叠于第二电极部51的朝向第一负方向X2的面。
通孔32由与第一布线部31相同的材料构成。通孔32是向沿着第一轴X的方向延伸的圆柱状。通孔32层叠于第一布线部31的第二端部31B中的朝向第一负方向X2的面。因此,通孔32与第一布线部31的第二端部31B电连接。而且,通孔32从第一布线部31的第二端部31B向第一负方向X2延伸。
在第二层L2中,除了第三电极部42、第四电极部52、以及通孔32之外的部分是第二绝缘部22。第二绝缘部22由与第一绝缘部21相同的材料的非磁性的绝缘体构成。
第三层L3层叠在第二层L2的朝向第一负方向X2的主面上。在朝向第一负方向X2观察第三层L3时,第三层L3为与第一层L1相同的长方形。第三层L3由第五电极部43、第六电极部53、第二布线部33、以及第三绝缘部23构成。
第五电极部43由与第一电极部41相同的材料构成。第五电极部43是与第三电极部42相同的尺寸的棒状。另外,在朝向第一负方向X2观察第三层L3时,第五电极部43位于与第三电极部42相同的位置。因此,第五电极部43层叠于第三电极部42的朝向第一负方向X2的面。
第六电极部53由与第二电极部51相同的材料构成。第六电极部53是与第四电极部52相同的尺寸的棒状。另外,在朝向第一负方向X2观察第三层L3时,第六电极部53位于与第四电极部52相同的位置。因此,第六电极部53层叠于第四电极部52的朝向第一负方向X2的面。
第二布线部33由与第一布线部31相同的材料构成。在朝向第一负方向X2观察第三层L3时,第二布线部33作为整体,延伸为将第三层L3的中心作为大致的中心的漩涡状。具体而言,第二布线部33的第一端部33A的位置在通孔32的朝向第一负方向X2的面上。因此,第二布线部33的第一端部33A与通孔32连接。第二布线部33的布线宽度除了第一端部33A以及第二端部33B之外大致恒定。第二布线部33的第二端部33B的沿着第三轴Z的方向上的位置与沿着第三轴Z的方向上的第三层L3的中央相比在第三负方向Z2侧。另外,第二布线部33的第二端部33B的沿着第二轴Y的方向上的位置与沿着第二轴Y的方向上的第三层L3的中央相比在第二正方向Y1侧。并且,第二布线部33的第二端部33B的沿着第二轴Y的方向上的位置与第一布线部31的第二端部31B的沿着第二轴Y的方向上的位置相比在沿着第二轴Y的方向上的中央侧。而且,在朝向第一负方向X2观察第二布线部33时,第二布线部33从第一端部33A朝向第二端部33B顺时针延伸。
在第三层L3中,除了第五电极部43、第六电极部53、以及第二布线部33之外的部分是第三绝缘部23。第三绝缘部23由与第一绝缘部21相同的材料的非磁性的绝缘体构成。
第四层L4层叠在第三层L3的朝向第一负方向X2的主面上。在朝向第一负方向X2观察第四层L4时,第四层L4为与第一层L1相同的长方形。第四层L4由第七电极部44、第八电极部54、通孔34、以及第四绝缘部24构成。
第七电极部44由与第一电极部41相同的材料构成。第七电极部44为与第五电极部43相同的尺寸的棒状。另外,在朝向第一负方向X2观察第四层L4时,第七电极部44位于与第五电极部43相同的位置。因此,第七电极部44层叠于第五电极部43的朝向第一负方向X2的面。
第八电极部54由与第二电极部51相同的材料构成。第八电极部54为与第六电极部53相同的尺寸的棒状。另外,在朝向第一负方向X2观察第四层L4时,第八电极部54位于与第六电极部53相同的位置。因此,第八电极部54层叠于第六电极部53的朝向第一负方向X2的面。
通孔34由与第一布线部31相同的材料构成。通孔34是向沿着第一轴X的方向延伸的圆柱状。通孔34层叠于第二布线部33的第二端部33B中的朝向第一负方向X2的面。因此,通孔34与第二布线部33的第二端部33B电连接。而且,通孔34从第二布线部33的第二端部33B向第一负方向X2延伸。
在第四层L4中,除了第七电极部44、第八电极部54、以及通孔34之外的部分为第四绝缘部24。第四绝缘部24由与第一绝缘部21相同的材料的非磁性的绝缘体构成。
第五层L5层叠在第四层L4的朝向第一负方向X2的主面上。在朝向第一负方向X2观察第五层L5时,第五层L5为与第一层L1相同的长方形。第五层L5由第九电极部45、第十电极部55、第三布线部35、以及第五绝缘部25构成。
第九电极部45由与第一电极部41相同的材料构成。第九电极部45为与第七电极部44相同的尺寸的棒状。另外,在朝向第一负方向X2观察第五层L5时,第九电极部45位于与第七电极部44相同的位置。因此,第九电极部45层叠于第七电极部44的朝向第一负方向X2的面。
第十电极部55由与第二电极部51相同的材料构成。第十电极部55为与第八电极部54相同的尺寸的棒状。另外,在朝向第一负方向X2观察第五层L5时,第十电极部55位于与第二电极部51相同的位置。因此,第十电极部55层叠于第八电极部54的朝向第一负方向X2的面。
第三布线部35由与第一布线部31相同的材料构成。在朝向第一负方向X2观察第五层L5时,第三布线部35作为整体,延伸为将第五层L5的中心作为大致的中心的漩涡状。具体而言,第三布线部35的第一端部35A的位置在通孔34的朝向第一负方向X2的面上。因此,第三布线部35的第一端部35A与通孔34连接。第三布线部35的布线宽度除了第一端部35A以及第二端部35B之外大致恒定。第三布线部35的第二端部35B的沿着第三轴Z的方向上的位置与沿着第三轴Z的方向上的第五层L5的中央相比在第三负方向Z2侧。另外,第三布线部35的第二端部35B的沿着第二轴Y的方向上的位置与沿着第二轴Y的方向上的第五层L5的中央相比在第二负方向Y2侧。而且,在朝向第一负方向X2观察第三布线部35时,第三布线部35从第一端部35A朝向第二端部35B顺时针延伸。
在第五层L5中,除了第九电极部45、第十电极部55、以及第三布线部35之外的部分为第五绝缘部25。第五绝缘部25由与第一绝缘部21相同的材料的非磁性的绝缘体构成。
第六层L6层叠在第五层L5的朝向第一负方向X2的主面上。在朝向第一负方向X2观察第六层L6时,第六层L6为与第一层L1相同的长方形。第六层L6由第十一电极部46、第十二电极部56、通孔36、以及第六绝缘部26构成。
第十一电极部46由与第一电极部41相同的材料构成。第十一电极部46为与第九电极部45相同的尺寸的棒状。另外,在朝向第一负方向X2观察第六层L6时,第十一电极部46位于与第九电极部45相同的位置。因此,第十一电极部46层叠于第九电极部45的朝向第一负方向X2的面。
第十二电极部56由与第二电极部51相同的材料构成。第十二电极部56为与第十电极部55相同的尺寸的棒状。另外,在朝向第一负方向X2观察第六层L6时,第十二电极部56位于与第十电极部55相同的位置。因此,第十二电极部56层叠于第十电极部55的朝向第一负方向X2的面。
通孔36由与第一布线部31相同的材料构成。通孔36为向沿着第一轴X的方向延伸的圆柱状。通孔36层叠于第三布线部35的第二端部35B中的朝向第一负方向X2的面。因此,通孔36与第三布线部35的第二端部35B电连接。而且,通孔36从第三布线部35的第二端部35B向第一负方向X2延伸。
在第六层L6中,除了第十一电极部46、第十二电极部56、以及通孔36之外的部分为第六绝缘部26。第六绝缘部26由与第一绝缘部21相同的材料的非磁性的绝缘体构成。
第七层L7层叠在第六层L6的朝向第一负方向X2的主面上。在朝向第一负方向X2观察第七层L7时,第七层L7为与第一层L1相同的长方形。第七层L7由第十三电极部47、第十四电极部57、第四布线部37、以及第七绝缘部27构成。
第十三电极部47由与第一电极部41相同的材料构成。第十三电极部47为与第十一电极部46相同的尺寸的棒状。另外,在朝向第一负方向X2观察第七层L7时,第十三电极部47位于与第十一电极部46相同的位置。因此,第十三电极部47层叠于第十一电极部46的朝向第一负方向X2的面。
第十四电极部57由与第二电极部51相同的材料构成。第十四电极部57为与第十二电极部56相同的尺寸的棒状。另外,在朝向第一负方向X2观察第七层L7时,第十四电极部57位于与第十二电极部56相同的位置。因此,第十四电极部57层叠于第十二电极部56的朝向第一负方向X2的面。
第四布线部37由与第一布线部31相同的材料构成。在朝向第一负方向X2观察第七层L7时,第四布线部37作为整体,延伸为将第七层L7的中心作为大致的中心的漩涡状。具体而言,第四布线部37的第一端部37A的位置在通孔36的朝向第一负方向X2的面上。因此,第四布线部37的第一端部37A与通孔36连接。第四布线部37的布线宽度除了第一端部37A以及第二端部37B之外大致恒定。第四布线部37的第二端部37B的沿着第三轴Z的方向上的位置与沿着第三轴Z的方向上的第七层L7的中央相比在第三正方向Z1侧。另外,第四布线部37的第二端部37B的沿着第二轴Y的方向上的位置与沿着第二轴Y的方向上的第七层L7的中央相比在第二负方向Y2侧。并且,第四布线部37的第二端部37B的沿着第二轴Y的方向上的位置与第一端部37A的沿着第二轴Y的方向上的位置相比在第二负方向Y2侧。而且,在朝向第一负方向X2观察第四布线部37时,第四布线部37从第一端部37A朝向第二端部37B顺时针延伸。另外,第四布线部37将通过电感器布线30延伸的方向的中央的沿着第三轴Z的方向的轴作为旋转轴,与第二布线部33旋转对称。
在第七层L7中,除了第十三电极部47、第十四电极部57、以及第四布线部37之外的部分为第七绝缘部27。第七绝缘部27由与第一绝缘部21相同的材料的非磁性的绝缘体构成。
第八层L8层叠在第七层L7的朝向第一负方向X2的主面上。在朝向第一负方向X2观察第八层L8时,第八层L8为与第一层L1相同的长方形。第八层L8由第十五电极部48、第十六电极部58、通孔38、以及第八绝缘部28构成。
第十五电极部48由与第一电极部41相同的材料构成。第十五电极部48为与第十三电极部47相同的尺寸的棒状。另外,在朝向第一负方向X2观察第八层L8时,第十五电极部48位于与第十三电极部47相同的位置。因此,第十五电极部48层叠于第十三电极部47的朝向第一负方向X2的面。
第十六电极部58由与第二电极部51相同的材料构成。第十六电极部58为与第十四电极部57相同的尺寸的棒状。另外,在朝向第一负方向X2观察第八层L8时,第十六电极部58位于与第十四电极部57相同的位置。因此,第十六电极部58层叠于第十四电极部57的朝向第一负方向X2的面。
通孔38由与第一布线部31相同的材料构成。通孔38为向沿着第一轴X的方向延伸的圆柱状。通孔38层叠于第四布线部37的第二端部37B中的朝向第一负方向X2的面。因此,通孔38与第四布线部37的第二端部37B电连接。而且,通孔38从第四布线部37的第二端部37B向第一负方向X2延伸。
在第八层L8中,除了第十五电极部48、第十六电极部58、以及通孔38之外的部分为第八绝缘部28。第八绝缘部28由与第一绝缘部21相同的材料的非磁性的绝缘体构成。
第九层L9层叠在第八层L8的朝向第一负方向X2的主面上。在朝向第一负方向X2观察第九层L9时,第九层L9为与第一层L1相同的长方形。第九层L9由第十七电极部49、第十八电极部59、第五布线部39、以及第九绝缘部29构成。
第十七电极部49由与第一电极部41相同的材料构成。第十七电极部49为与第十五电极部48相同的尺寸的棒状。另外,在朝向第一负方向X2观察第九层L9时,第十七电极部49位于与第十五电极部48相同的位置。因此,第十七电极部49层叠于第十五电极部48的朝向第一负方向X2的面。
第十八电极部59由与第二电极部51相同的材料构成。在朝向第一负方向X2观察第九层L9时,第十八电极部59作为整体呈L形。第十八电极部59在朝向第一负方向X2观察第九层L9时,与第九层L9的中心相比位于第二负方向Y2侧并且位于第三负方向Z2侧。换句话说,第十八电极部59在朝向第一负方向X2观察第一层L1时,位于第九层L9的包含与中心相比在第二负方向Y2侧并且在第三负方向Z2侧的角的位置。因此,第十八电极部59层叠于第十六电极部58的朝向第一负方向X2的面。
第五布线部39由与第一布线部31相同的材料构成。在朝向第一负方向X2观察第九层L9时,第五布线部39作为整体,延伸为将第九层L9的中心作为大致的中心的漩涡状。具体而言,第五布线部39的第一端部39A的位置在通孔38的朝向第一负方向X2的面上。因此,第五布线部39的第一端部39A与通孔38连接。第五布线部39的布线宽度除了第一端部39A之外大致恒定。第五布线部39的第二端部39B与第十八电极部59的沿着第三轴Z的方向上的第三正方向Z1侧的端部连接。而且,在朝向第一负方向X2观察第五布线部39时,第五布线部39从第一端部39A朝向第二端部39B顺时针延伸。此外,第五布线部39的第二端部39B是电感器布线30的第二端。此外,第二端部39B是在朝向第一负方向X2观察视时从重叠第一层L1~第九层L9的布线部构成的环绕路径脱离的部分。另外,第五布线部39将通过电感器布线30延伸的方向上的中央的沿着第三轴Z的方向的轴作为旋转轴,与第一布线部31旋转对称。
在第九层L9中,除了第十七电极部49、第十八电极部59、以及第五布线部39之外的部分为第九绝缘部29。第九绝缘部29由与第一绝缘部21相同的材料的绝缘体构成。
坯体11具有第一覆盖绝缘层61、和第二覆盖绝缘层62。在朝向第一负方向X2观察第一覆盖绝缘层61时,第一覆盖绝缘层61为与第一层L1相同的长方形。第一覆盖绝缘层61层叠于第一层L1的朝向第一正方向X1的主面。在朝向第一正方向X1观察第二覆盖绝缘层62时,第二覆盖绝缘层62为与第一层L1相同的长方形。第二覆盖绝缘层62层叠在第九层L9的朝向第一负方向X2的主面上。
使上述的第一绝缘部21~第九绝缘部29、第一覆盖绝缘层61、以及第二覆盖绝缘层62一体化。因此,在它们之间没有物理上的边界。以下,在不需要区分它们的情况下,总称为绝缘部20。此外,这些第一绝缘部21~第九绝缘部29、第一覆盖绝缘层61、以及第二覆盖绝缘层62也可以未被一体化。换句话说,也可以在它们之间有物理上的边界。
另外,使第一布线部31、第二布线部33、第三布线部35、第四布线部37、第五布线部39、通孔32、通孔34、通孔36、以及通孔38一体化。因此,在它们之间没有物理上的边界。以下,在不需要区分它们的情况下,总称为电感器布线30。而且,电感器布线30作为整体,卷绕为螺旋状。卷绕电感器布线30时的中心轴是沿着第一轴X延伸的轴。此外,第一布线部31、第二布线部33、第三布线部35、第四布线部37、第五布线部39、通孔32、通孔34、通孔36、以及通孔38也可以未被一体化。换句话说,也可以在它们之间有物理上的边界。
并且,上述的第一电极部41、第三电极部42、第五电极部43、第七电极部44、第九电极部45、第十一电极部46、第十三电极部47、第十五电极部48、以及第十七电极部49一体化。而且,它们合在一起成为第一埋入电极40。
同样地,上述的第二电极部51、第四电极部52、第六电极部53、第八电极部54、第十电极部55、第十二电极部56、第十四电极部57、第十六电极部58、以及第十八电极部59一体化。而且,它们合在一起成为第二埋入电极50。
而且,在本实施方式中,通过绝缘部20、第一埋入电极40、以及第二埋入电极50,构成电感器部件10的坯体11。层叠第一层L1~第九层L9、第一覆盖绝缘层61、以及第二覆盖绝缘层62的结果,如图1所示,坯体11作为整体成为长方体状。
而且,电感器布线30在坯体11的内部延伸。此外,电感器布线30、第一埋入电极40、以及第二埋入电极50也可以一体化。换句话说,也可以在电感器布线30与第一埋入电极40之间、在电感器布线30与第二埋入电极50之间没有物理上的边界。
(底面电极部和突起部分)
如图3所示,第一埋入电极40在从第一端面11C到底面11E的区域在坯体11的外部露出。第一埋入电极40具有第一底面电极部40A、和第一端面电极部40B。
第一底面电极部40A在底面11E露出到坯体11的外部。第一底面电极部40A为板状。在朝向第三正方向Z1观察底面11E时,第一底面电极部40A为四边形。第一底面电极部40A的第二正方向Y1侧的面构成坯体11的第一端面11C的一部分。
第一端面电极部40B在第一端面11C露出到坯体11的外部。第一端面电极部40B为棒状。第一端面电极部40B仅存在于第一层L1。第一端面电极部40B从第一底面电极部40A的第二正方向Y1侧的端朝向第三正方向Z1延伸。
与第一埋入电极40相同,如图2所示,第二埋入电极50在从第二端面11D到底面11E的区域在坯体11的外部露出。如图2以及图3所示,第二埋入电极50具有第二底面电极部50A、和第二端面电极部50B。
第二底面电极部50A在底面11E露出到坯体11的外部。第二底面电极部50A为板状。在朝向第三正方向Z1观察底面11E时,第二底面电极部50A为四边形。第二底面电极部50A的第二负方向Y2侧的面构成坯体11的第二端面11D的一部分。
第二端面电极部50B在第二端面11D露出到坯体11的外部。第二端面电极部50B为棒状。第二端面电极部50B仅存在于第九层L9。第二端面电极部50B从第二底面电极部50A的第二正方向Y1侧的端朝向第三正方向Z1延伸。
(覆盖电极)
如图1所示,电感器部件10具备第一覆盖电极71、和第二覆盖电极72。第一覆盖电极71以及第二覆盖电极72覆盖通过底面11E的几何中心且与第一端面11C垂直的第一虚拟线VL1上的一部分。第一覆盖电极71覆盖第一埋入电极40中的从坯体11露出到外部的面。因此,第一覆盖电极71与电感器布线30的第一端电连接。另外,第一覆盖电极71部分地覆盖第一端面11C。虽然省略图示,但第一覆盖电极71成为镀镍、镀锡的双层构造。此外,在图2以及图3中,省略第一覆盖电极71的图示。
另外,露出到坯体11的外部不是露出到电感器部件10的外部,而是指从坯体11露出。因此,即使被第一覆盖电极71等其它的部件覆盖,只要从坯体11露出,也可以不露出到电感器部件10的外部。
将与第一端面11C垂直的方向上的从第一端面11C到第一覆盖电极71的表面为止的距离作为第一覆盖电极71的厚度。换句话说,沿着第二轴Y的方向上的从第一端面11C到第一覆盖电极71的表面为止的距离是第一覆盖电极71的厚度。
如图4以及图5所示,在通过第一端面11C的几何中心C,并与第一主面11A垂直的第二虚拟线VL2上,相对于几何中心C在第一主面11A侧第一覆盖电极71的厚度最大。具体而言,在朝向第二负方向Y2观察第一端面11C时,第一端面11C的几何中心C位于第五层L5。而且,第一覆盖电极71仅在第一层L1,与第二虚拟线VL2交叉。如上述那样,第一层L1与第五层L5相比位于第一正方向X1侧。由此,在第二虚拟线VL2上,第一覆盖电极71的厚度最大的位置与第一端面11C的几何中心C相比向第一主面11A侧偏移。具体而言,在第二虚拟线VL2上,第一覆盖电极71的厚度在与几何中心C相比在第一主面11A侧的第一层L1最大。
另一方面,在第二虚拟线VL2上的从几何中心C到第一覆盖电极71的厚度最大的位置为止的范围内,第一覆盖电极71的厚度在几何中心C最小。具体而言,在第二虚拟线VL2上,第一覆盖电极71仅存在于第一层L1。因此,在第二虚拟线VL2上,第一覆盖电极71不存在于第二层L2~第五层L5的范围。换句话说,在几何中心C上,第一覆盖电极71的厚度为零。由此,在第二虚拟线VL2上的第一层L1~第五层L5的范围内,第一覆盖电极71的厚度在几何中心C所在的第五层L5最小。此外,第一覆盖电极71的厚度最小的位置包含第一覆盖电极71的厚度为零的情况。即,也包含在第一端面11C的几何中心C不存在第一覆盖电极71的情况。
在第一端面11C上,将与底面11E垂直的方向上的第一覆盖电极71的尺寸作为第一覆盖电极71的高度。换句话说,在第一端面11C上,沿着第三轴Z的方向上的第一覆盖电极71的尺寸为第一覆盖电极71的高度。
第一覆盖电极71的高度最大的位置与第一端面11C的几何中心C相比向第一主面11A侧偏移。具体而言,第一覆盖电极71在第一层L1上,与第二层L2~第九层L9相比,朝向第三正方向Z1延伸。第一层L1上的第一覆盖电极71的上端相对于第二虚拟线VL2位于顶面11F侧。在第二层L2~第九层L9的范围内,第一覆盖电极71的上端相对于第二虚拟线VL2位于底面11E侧。另外,在第二层L2~第九层L9的范围内,第一覆盖电极71的高度恒定。此外,高度恒定是指允许10%左右的偏差。
如图2所示,第一布线部31从电感器布线30的第一端与第一主面11A平行地延伸。将多个布线部中从电感器布线30的第一端与第一主面11A平行地延伸的布线部设为第一端布线部。在本实施方式中,第一布线部31为第一端布线部。此时,第二虚拟线VL2上的第一覆盖电极71的厚度在沿着第一轴X的方向上在第一布线部31存在的第一层L1的范围内最大。
另外,如图1所示,第二覆盖电极72覆盖第二埋入电极50中的从坯体11露出到外部的面。因此,第二覆盖电极72与电感器布线30的第二端电连接。另外,第二覆盖电极72部分地覆盖第二端面11D。虽然省略图示,但第二覆盖电极72为镀镍、镀锡的双层构造。此外,在图2以及图3中,省略第二覆盖电极72的图示。
在通过第二端面11D的几何中心,且与第二主面11B垂直的虚拟线上,相对于第二端面11D的几何中心在第二主面11B侧第二覆盖电极72的厚度最大。具体而言,在朝向第二正方向Y1观察第二端面11D时,第二端面11D的几何中心位于第五层L5。而且,第二覆盖电极72仅在第九层L9,与该虚拟线交叉。如上述那样,第九层L9与第五层L5相比位于第一负方向X2侧。因此,在该虚拟线上,第二覆盖电极72的厚度与第二端面11D的几何中心相比在第二主面11B侧的第九层L9最大。由此,在该虚拟线上,第二覆盖电极72的厚度最大的位置与第二端面11D的几何中心相比向第二主面11B侧偏移。具体而言,在该虚拟线上,第二覆盖电极72的厚度在与第二端面11D的几何中心相比在与第一主面11A相反侧的第九层L9最大。
另一方面,在该虚拟线上的从第二端面11D的几何中心到第二覆盖电极72的厚度最大的位置为止的范围内,第二覆盖电极72的厚度在第二端面11D的几何中心最小。具体而言,在该虚拟线上,第二覆盖电极72仅存在于第九层L9。因此,在该虚拟线上,第二覆盖电极72不存在于第五层L5~第八层L8的范围。换句话说,在第二端面11D的几何中心,第二覆盖电极72的厚度为零。由此,在该虚拟线上的第五层L5~第九层L9的范围内,第二覆盖电极72的厚度在第二端面11D的几何中心所在的第五层L5最小。
第二覆盖电极72的高度最大的位置与第二端面11D的几何中心相比向第二主面11B侧偏移。具体而言,第二覆盖电极72在第九层L9,与第一层L1~第八层L8相比,朝向第三正方向Z1延伸。第九层L9上的第二覆盖电极72的上端相对于通过第二端面11D的几何中心且与第二主面11B垂直的虚拟线位于顶面11F侧。在第一层L1~第八层L8的范围内,第二覆盖电极72的上端相对于该虚拟线位于底面11E侧。另外,在第一层L1~第八层L8的范围内,第二覆盖电极72的高度恒定。
第五布线部39从电感器布线30的第二端与第一主面11A平行地延伸。将多个布线部中从电感器布线30的第二端与第二主面11B平行地延伸的布线部设为第二端布线部。在本实施方式中,第五布线部39为第二端布线部。此时,在通过第二端面11D的几何中心,且与第二主面11B垂直的虚拟线上的第二覆盖电极72的厚度在沿着第一轴X的方向上在第五布线部39存在的第九层L9的范围内最大。
(电感器部件的制造方法)
接下来,对电感器部件10的制造方法进行说明。
如图6所示,电感器部件10的制造方法具备层叠体形成工序S100、烧制工序S200、以及电镀工序S300。
首先,进行层叠体形成工序S100。层叠体形成工序S100是形成作为坯体11的烧结前的状态的层叠体的工序。在层叠体形成工序S100中,通过依次层叠第一覆盖绝缘层61、第一层L1~第九层L9、以及第二覆盖绝缘层62,形成层叠体。此外,层叠体形成工序S100中的第一覆盖绝缘层61、第二覆盖绝缘层62、第一层L1~第九层L9严格来说是它们的烧结前的层,有与电感器部件10中的各层不同的情况,但为了使说明变得简单,而使用相同的名称。对于这一点,对于电感器布线30、第一埋入电极40、以及第二埋入电极50,严格来说也是它们的烧结前的状态,有与电感器部件10中的各部件不同的情况,但为了使说明变得简单,也使用相同的名称。
具体而言,层叠体形成工序S100具有第一覆盖绝缘层涂覆工序S10、第一层涂覆工序S11~第九层涂覆工序S19、以及第二覆盖绝缘层涂覆工序S20。在层叠体形成工序S100中,依次进行各工序。
在第一覆盖绝缘层涂覆工序S10中,使用绝缘性的绝缘膏体进行丝网印刷。而且,通过反复进行基于丝网印刷的涂覆,形成相当于第一覆盖绝缘层61的绝缘膏体层。绝缘膏体例如是以硼硅酸玻璃为主成分的绝缘性的膏体。
接下来,在第一层涂覆工序S11中,除了绝缘膏体之外,使用包含金属粉的导电性的导电膏体,形成相当于第一层L1的层。金属粉例如是银。具体而言,在相当于第一覆盖绝缘层61的绝缘膏体层的朝向第一负方向X2的面,通过光刻,使用导电膏体,在相当于第一布线部31、第一电极部41、以及第二电极部51的部分形成导电体层。另外,通过光刻,使用绝缘膏体,在相当于第一绝缘部21的部分形成绝缘体层。
接下来,在第二层涂覆工序S12~第九层涂覆工序S19中,与第一层涂覆工序S11相同,使用绝缘膏体以及导电膏体,形成相当于第二层L2~第九层L9的层。由此,形成在绝缘膏体的内部延伸为螺旋状的导电膏体的图案。另外,形成与导电膏体的图案的第一端连接并从绝缘膏体露出的导电膏体的第一导电部。并且,形成与导电膏体的图案的第二端连接并从绝缘膏体露出的导电膏体的第二导电部。
然后,使用绝缘膏体,进行丝网印刷。而且,通过反复进行基于丝网印刷的涂覆,形成相当于第二覆盖绝缘层62的层。其后,通过切割为所希望的尺寸,形成作为坯体11的烧结前的状态的层叠体。
这样一来,在层叠体形成工序S100中,形成具有在绝缘膏体的内部延伸为螺旋状的导电膏体的图案、第一导电部、以及第二导电部的长方体状的层叠体。
接下来,进行烧制工序S200。烧制工序S200是通过对层叠体进行烧制,来形成坯体11的工序。具体而言,通过以规定的温度加热层叠体,来对层叠体进行烧制。由此,通过对各膏体进行烧制,绝缘膏体成为绝缘部20,电感器布线30的图案成为电感器布线30、第一导电部成为第一埋入电极40,第二导电部成为第二埋入电极50。换句话说,形成第一埋入电极40中的第一底面电极部40A以及第一端面电极部40B。另外,形成第二埋入电极50中的第二底面电极部50A以及第二端面电极部50B。其结果,形成坯体11。
接下来,进行电镀工序S300。将坯体11放入镀液中,进行电镀。由此,在坯体11中第一埋入电极40的露出到外部的表面形成第一覆盖电极71。另外,在坯体11中第二埋入电极50的露出到外部的表面形成第二覆盖电极72。
在电镀中,第一覆盖电极71仅形成在第一埋入电极40的露出到外部的表面。因此,如图4所示,第一覆盖电极71不形成在第一端面11C的几何中心C上。另一方面,第一覆盖电极71形成于第一端面11C的第一层L1的范围。由此,第一覆盖电极71的厚度在几何中心C上为零,并且在第一层L1的范围内最大。换句话说,在第二虚拟线VL2上,第一覆盖电极71的厚度最大的位置与几何中心C相比向第一主面11A侧偏移。此外,虽然第一覆盖电极71仅形成于第一埋入电极40的露出到外部的表面,但也可以由于稍微的电镀延伸、测定或者包装时的外力的影响等,而形成在第一埋入电极40的露出到坯体11的外部的表面的周围。
(第一实施方式的效果)
根据上述第一实施方式中的电感器部件10,起到以下的效果。应予说明,以下,以与第一覆盖电极71相关的效果为代表记载,但对于第二覆盖电极72也起到相同的效果。
(1-1)例如,作为配置为与电感器部件10的第一端面11C相邻的其它的电子部件,能够列举在长方体状的坯体的端面整个区域镀上电极的部件。在这样的电子部件中,在端面的中央电极的厚度增大。换句话说,在这种电子部件中,成为坯体的端面的中央膨胀的形状。另外,在实际上电子部件的外径尺寸被标准化的现状下,为了实现高密度的安装,配置各电子部件的基板上的平面焊盘图案被排列。换句话说,从与基板的主面垂直的方向观察,电感器部件10的第一端面11C的几何中心C与相邻的其它的电子部件的端面的几何中心排列为同一直线状且相邻的情况较多。
根据第一实施方式中的电感器部件10,第一覆盖电极71的厚度最大的位置与第一端面11C的几何中心C相比向第一主面11A侧偏移。这里,假设将电感器部件10和上述其它的电子部件配置在基板上的进行了排列的平面焊盘图案的相邻的位置。即使在该情况下,电感器部件10的第一覆盖电极71的厚度最大的位置与上述其它的电子部件的电极的厚度最大的位置也偏离。因此,两部件的电极彼此不容易干扰。因此,能够有助于基板上的部件的高密度化。
(1-2)根据上述第一实施方式中的电感器部件10,第一覆盖电极71的高度最大的位置与第一端面11C的几何中心C相比向第一主面11A侧偏移。假设有第一覆盖电极71的上端的位置在沿着第一轴X的方向的全部的范围,相对于第二虚拟线VL2位于顶面11F侧的情况。与该情况相比,在第一端面11C上的沿着第一轴X的方向的中央,第一覆盖电极71覆盖电感器布线30的范围减小。由此,能够减小在电感器布线30流过电流时产生的杂散电容。
(1-3)根据上述第一实施方式中的电感器部件10,第二虚拟线VL2上的第一覆盖电极71的厚度在从电感器布线30的第一端与第一主面11A平行地延伸的第一布线部31存在的第一层L1的范围内最大。换句话说,在沿着第一轴X的方向上,在远离几何中心C的位置,第一覆盖电极71的厚度最大。因此,能够更合适地抑制第一覆盖电极71与其它的电子部件干扰。
<第二实施方式>
以下,参照附图对第二实施方式进行说明。第二实施方式的电感器部件110与第一实施方式的电感器部件10相比,第一覆盖电极71以及第二覆盖电极72的形状不同。此外,以下,以与第一实施方式中的电感器部件10相比不同的点为中心说明,对相同的点简化或者省略说明。另外,对于第二覆盖电极72,对与第一覆盖电极71相同的点简化或者省略说明。
(端面电极部以及覆盖电极)
如图7所示,电感器部件110的第二电极部51~第十七电极部49的形状与第一实施方式相比不同。具体而言,第三电极部42~第十七电极部49为与第一电极部41相同的大小并且相同的形状的L形。另外,第二电极部51~第十六电极部58为与第十八电极部59相同的大小并且相同的形状的L形。因此,在朝向第二负方向Y2观察第一端面11C时,第一端面电极部40B成为四边形。同样地,在朝向第二正方向Y1观察第二端面11D时,第二端面电极部50B成为四边形。
另外,第一埋入电极40是由金属和玻璃构成的烧结体。而且,第一端面电极部40B中第一端面11C的几何中心C上的电阻值比第一覆盖电极71的厚度最大的位置上的电阻值大。在本实施方式中,第一端面电极部40B中在沿着第一轴X的方向上与几何中心C相同的位置上的电阻值比第一端面电极部40B中最接近第一主面11A的位置上的电阻值大。具体而言,第一端面电极部40B中第一端面11C的几何中心C上的金属的密度比第二虚拟线VL2上第一覆盖电极71的厚度最大的位置上的金属的密度粗。在本实施方式中,第一端面电极部40B中在沿着第一轴X的方向上与几何中心C相同的位置上的金属的密度比第一端面电极部40B中最接近第一主面11A的位置上的金属的密度粗。在本实施方式中,第一埋入电极40中第一电极部41以及第十七电极部49与第三电极部42~第十五电极部48相比,金属组织致密。
如图8所示,覆盖第一端面电极部40B的表面的第一覆盖电极71在朝向第二负方向Y2观察电感器部件110时,也为四边形。另外,第一覆盖电极71的高度在沿着第一轴X的方向的全部的范围内相同。此外,也可以第一覆盖电极71的高度在沿着第一轴X的方向上,在几何中心C与其它的位置相比稍高,也可以在第一层L1以及第九层L9与其它的位置相比稍低。
而且,如图9所示,第二虚拟线VL2上的第一覆盖电极71的厚度不在几何中心C最大。具体而言,第二虚拟线VL2上的第一覆盖电极71的厚度在第一层L1以及第九层L9最大。此外,在本实施方式中,在第一端面11C的几何中心C上也存在第一覆盖电极71。因此,几何中心C上的第一覆盖电极71的厚度不为零。第二层L2~第八层L8的第一覆盖电极71的厚度在第一层L1~第九层L9的范围内最小。换句话说,几何中心C上的第一覆盖电极71的厚度在从几何中心C到第一层L1为止的范围内最小。
另外,与第一埋入电极40相同,第二埋入电极50是由金属和玻璃构成的烧结体。而且,与第一端面电极部40B相同,第二端面电极部50B中第二端面11D的几何中心上的电阻值比第二覆盖电极72的厚度最大的位置上的电阻值大。在本实施方式中,第二端面电极部50B中在沿着第一轴X的方向上与第二端面11D的几何中心相同的位置上的电阻值比第二端面电极部50B中最接近第二主面11B的位置上的电阻值大。具体而言,第二端面电极部50B中第二端面11D的几何中心上的金属的密度比在通过第二端面11D的几何中心且与第二主面11B垂直的虚拟线上第一覆盖电极71的厚度最大的位置上的金属的密度粗。在本实施方式中,第二端面电极部50B中在沿着第一轴X的方向上与第二端面11D的几何中心相同的位置上的金属的密度与第二端面电极部50B中最接近第二主面11B的位置上的金属的密度相比稀疏。在本实施方式中,第二埋入电极50中,第二电极部51以及第十八电极部59与第四电极部52~第十六电极部58相比,金属组织致密。
虽然省略图示,但与第一覆盖电极71相同,覆盖第二端面电极部50B的表面的第二覆盖电极72在朝向第二正方向Y1观察电感器部件110时,也为四边形。另外,第二覆盖电极72的高度在沿着第一轴X的方向的全部的范围内相同。
而且,通过第二端面11D的几何中心并且与第一轴X平行的虚拟线上的第二覆盖电极72的厚度在第一层L1以及第九层L9最大。此外,在本实施方式中,在第二端面11D的几何中心上也存在第二覆盖电极72。因此,第二端面11D的几何中心上的第二覆盖电极72的厚度不为零。第二层L2~第八层L8的第二覆盖电极72的厚度在第一层L1~第九层L9的范围内最小。换句话说,第二端面11D的几何中心上的第二覆盖电极72的厚度在从第二端面11D的几何中心到第九层L9为止的范围内最小。
(电感器部件的制造方法)
接下来,对电感器部件110的制造方法进行说明。与第一实施方式的电感器部件10的制造方法相比,在第二实施方式中,使用的导电膏体的材料一部分不同。
具体而言,在层叠体形成工序S100中的第二层涂覆工序S12~第八层涂覆工序S18中使用的导电膏体包含烧结抑制剂。烧结抑制剂是玻璃粉末。此外,在第一层涂覆工序S11以及第九层涂覆工序S19中使用的导电膏体不包含烧结抑制剂。
在烧制工序S200中,包含烧结抑制剂的导电膏体与不包含烧结抑制剂的导电膏体相比不容易烧结。若对包含金属粉的膏体进行烧结,则颗粒彼此变化为接近,然而在不容易烧结的位置,成为烧结体的金属组织不容易致密化。换句话说,第一埋入电极40的第二层L2~第八层L8中的金属的密度与第一埋入电极40的第一层L1以及第九层L9中的金属的密度相比稀疏。
在电镀工序S300中,对第一埋入电极40的表面进行电镀。在电镀中,电镀的量受到进行电镀的第一埋入电极40的表面的电阻值影响。具体而言,在每个单位时间更多地流过电流的情况下,更多地进行电镀。另一方面,在每个单位时间更少地流过电流的情况下,更少地进行电镀。由此,电镀的成膜速度根据电阻值的大小变化,所以即使是相同的电镀时间电镀的量也变化。在本实施方式中,第一埋入电极40的第二层L2~第八层L8的表面与第一层L1以及第九层L9的表面相比,金属的密度稀疏。在金属的密度稀疏的情况下,金属彼此的接触位置减少,所以电阻值更大。因此,第一埋入电极40的第二层L2~第八层L8的表面与第一层L1以及第九层L9的表面相比较多地电镀。其结果,第一覆盖电极71的厚度在第二层L2~第八层L8比第一层L1以及第九层L9小。
(第二实施方式的效果)
根据上述第二实施方式,除了第一实施方式的(1-1)以及(1-3)的效果之外,还起到以下的效果。应予说明,以下,以与第一覆盖电极71相关的效果为代表进行记载,但对于第二覆盖电极72也起到相同的效果。
(2-1)根据上述第二实施方式,第一端面电极部40B中第一端面11C的几何中心C上的电阻值比第一覆盖电极71的厚度最大的位置上的电阻值大。因此,在电镀工序S300中,在几何中心C不容易进行电镀。由此,在第一端面电极部40B上容易形成按照每个位置厚度不同的第一覆盖电极71。
(2-2)根据上述第二实施方式,在对第一端面电极部40B进行电镀时,反映金属的密度稀疏,而在第一端面电极部40B的沿着第一轴X的方向的中央不容易流过电流。因此,即使是由同一金属和玻璃构成的烧结体,也能够通过金属的密度之差,使电阻值变化。
<其它的实施方式>
上述各实施方式能够如以下那样变更来实施。上述各实施方式以及以下的变更例能够在技术上不矛盾的范围内组合实施。此外,第一覆盖电极71以及第二覆盖电极72中共用的点以第一覆盖电极71为代表进行说明,并省略第二覆盖电极72的说明。
·在第一实施方式中,第一层L1~第九层L9的厚度全部大致相同,但也可以相互不同。换句话说,也可以第一层L1~第九层L9的厚度即沿着第一轴X的方向的尺寸并不全部相同。也可以全部的厚度相互不同,也可以一部分的层的厚度与其它的层的厚度不同。
·坯体11也可以是在沿着第一轴X的方向上较长的长方体,也可以是在沿着第三轴Z的方向上较长的长方体。另外,坯体11也可以是沿着第一轴X的方向的尺寸、沿着第二轴Y的方向的尺寸、以及沿着第三轴Z的方向的尺寸相等的长方体。例如,对于坯体11的沿着各轴的方向的尺寸,也可以沿着第一轴X的方向的尺寸与沿着第三轴Z的方向的尺寸相等,并且沿着第二轴Y的方向的尺寸比沿着第一轴X的方向的尺寸大。另外例如,对于坯体11的沿着各轴的方向的尺寸,也可以沿着第二轴Y的方向的尺寸比沿着第三轴Z的方向的尺寸大,并且沿着第三轴Z的方向的尺寸比沿着第一轴X的方向的尺寸大。另外例如,也可以沿着第二轴Y的方向的尺寸比沿着第一轴X的方向的尺寸大,并且沿着第一轴X的方向的尺寸比沿着第三轴Z的方向的尺寸大。
·另外,坯体11的各层的层叠方向并不限定于上述各实施方式的例子。坯体11的各层也可以沿着第二轴Y层叠,也可以沿着第三轴Z层叠。
·绝缘部20的材质并不限定于上述实施方式的例子,只要是绝缘体即可。例如,绝缘部20的材质也可以是磁性的绝缘体。另外,也可以绝缘部20的一部分是与其它的部分不同的非磁性或者磁性的绝缘体。
·第一覆盖绝缘层61也可以是层叠了多个绝缘层的结构。另外,在第一覆盖绝缘层61由多个绝缘层构成的情况下,也可以对其中的一部分的绝缘层进行着色。这一点对于第二覆盖绝缘层62也相同。
·电感器布线30的结构并不限定于上述实施方式的例子。只要在坯体11的内部延伸即可,根据需要的特性,适当地变更形状、长度等即可。在各实施方式中,是以与底面11E平行的轴为中心卷绕电感器布线30的形状,但也可以是以与底面11E垂直的轴为中心卷绕电感器布线30的形状。另外,也可以是以与底面11E平行,且与第一端面11C垂直的轴为中心卷绕电感器布线30的形状。
·另外,电感器布线30的各层的匝数并不限定于小于一周。也可以电感器布线30在各层上卷绕一周以上。即,电感器布线30的构造也可以是螺旋构造。
·在第一实施方式中,也可以第一布线部31的布线宽度也包括第二端部31B大致恒定。这一点在其它的布线部的布线宽度中也相同。
·电感器布线30中的各布线部的端部的位置并不限定于上述各实施方式的位置。也可以适当地变更电感器布线30中的各布线部的端部的位置。
·在第一实施方式中,也可以第一电极部41中的L形的第三正方向Z1侧的前端与第一层L1的中心相比位于第三正方向Z1侧。这一点对于第十八电极部59也相同。
·在第一实施方式中,第五电极部43也可以是与第三电极部42不同的尺寸。这一点在其它的电极部中也相同。
·第一覆盖电极71的形状并不限定于上述实施方式的例子。在朝向第二负方向Y2观察电感器部件10时,第一覆盖电极71的形状只要与第一埋入电极40的第一端面电极部40B的露出范围一并变更即可。例如,虽然在第一实施方式中,第一层L1中的第一覆盖电极71突出为长方体状,但也可以突出为曲面状。另外例如,也可以厚度、高度变化为从第一层L1到第二层L2、第三层L3成为平缓的曲面状或者锥状。
·图10所示的变更例的电感器部件210与第一实施方式的电感器部件10相比,在朝向第二负方向Y2观察电感器部件110时,第一覆盖电极71的形状不同。在电感器部件210的第一覆盖电极71中,第五层L5中的第一覆盖电极71的高度最小。而且,第五层L5中的第一覆盖电极71的上端相对于几何中心C位于底面11E侧。另外,第四层L4以及第六层L6中的第一覆盖电极71的高度比第五层L5中的第一覆盖电极71的高度大。并且,第三层L3以及第七层L7中的第一覆盖电极71的高度比第四层L4以及第六层L6中的第一覆盖电极71的高度大。而且,第二层L2、第八层L8以及第九层L9中的第一覆盖电极71的高度比第三层L3以及第七层L7中的第一覆盖电极71的高度大。在此基础上,第一层L1中的第一覆盖电极71的高度在第一层L1~第九层L9中最大。这样,也可以从第一层L1朝向第五层L5,第一覆盖电极71的高度缓慢地变化。在该变更例中,第一覆盖电极71不存在于第一端面11C的几何中心C上。因此,第二虚拟线VL2上的第一覆盖电极71的厚度在几何中心C上最小。
此外,只要在第二虚拟线上,第一覆盖电极71的厚度最大的位置与第一端面11C的几何中心C相比向第一主面11A侧偏移,则第一覆盖电极71的厚度也可以不在几何中心C上最小。另外,只要第一覆盖电极71的厚度最大的位置与第一端面11C的几何中心C相比向第一主面11A侧偏移,则第一覆盖电极71的厚度也可以不在第一层L1或者第九层L9中最大。
另外,第一覆盖电极71也可以在层间平滑地连接。即,也可以在朝向第二负方向Y2观察电感器部件110时,第一覆盖电极71的外缘不具有角,而为曲线状。并且,覆盖第一端面11C的第一覆盖电极71的表面也可以为曲面。
·图11所示的变更例的电感器部件310与第一实施方式的电感器部件10相比,第二层L2上的第一覆盖电极71的高度不同。具体而言,第二层L2中的第一覆盖电极71的高度比第一层L1中的第一覆盖电极71的高度大。另外,第二层L2中的第一覆盖电极71的上端相对于第二虚拟线VL2位于顶面11F侧。在该情况下,在沿着第一轴X的方向上,也与几何中心C相比在第一主面11A侧第一覆盖电极71的高度最大。
·图12所示的变更例的电感器部件410与第一实施方式的电感器部件10相比,第九层L9中的第一覆盖电极71的高度不同。具体而言,第九层L9中的第一覆盖电极71的高度与第一层L1中的第一覆盖电极71的高度相等。因此,在沿着第一轴X的方向上在从几何中心C到第一正方向X1侧的范围、和到第一负方向X2侧的范围,在距离几何中心C的距离相同的位置上,第一覆盖电极71的高度相等。该情况下,在将电感器部件410搭载于基板的情况下,沿着第一轴X的方向的稳定性容易提高。
·图13所示的变更例的电感器部件510与第一实施方式的电感器部件10相比,第五层L5中的第一覆盖电极71的高度不是最小。具体而言,在电感器部件510中,与第一实施方式的电感器部件10相比,第三层L3、第五层L5、第七层L7、以及第九层L9中的第一覆盖电极71的高度不同。电感器部件510的第三层L3、第五层L5、第七层L7、以及第九层L9中的第一覆盖电极71的高度比第二层L2中的第一覆盖电极71的高度大。另外,电感器部件510的第三层L3、第五层L5、第七层L7、以及第九层L9中的第一覆盖电极71的高度比第一层L1中的第一覆盖电极71的高度小。因此,在朝向第二负方向Y2观察电感器部件510时,第二层L2~第九层L9中的第一覆盖电极71为梳状。
·图14所示的变更例的电感器部件610与第一实施方式的电感器部件10相比,第一层L1以及第二层L2中的第一覆盖电极71的高度不同。具体而言,电感器部件610的第二层L2中的第一覆盖电极71的高度最大,并且,第一层L1中的第一覆盖电极71的高度与第五层L5中的第一覆盖电极71的高度相等。换句话说,在电感器部件610中,第二虚拟线VL2上的第一覆盖电极71的厚度在作为第一端布线部的第一布线部31存在的第一层L1的范围外最大。
·图15所示的变更例的电感器部件710与第一实施方式的电感器部件10相比,第一覆盖电极71存在的范围不同。具体而言,电感器部件710中的第一覆盖电极71在第一端面11C上,仅存在于第一层L1。换句话说,在第二层L2~第八层L8中,在第一端面11C上不存在第一覆盖电极71。例如,若第一底面电极部40A以及第一端面电极部40B仅存在于第一层L1,则像这样,第一覆盖电极71仅存在于第一层L1。为了进一步减小第一端面11C上的杂散电容,减小存在于第一端面11C上的第一覆盖电极71的范围是合适的。
·图16所示的变更例的电感器部件810与变更例的电感器部件710相比,第一覆盖电极71的在沿着第三轴Z的方向的范围内存在的范围不同。具体而言,在电感器部件810中,与电感器部件710相比,省略包含第三负方向Z2侧的端的一部分。换句话说,第一覆盖电极71分为覆盖第一端面电极部40B的位置、和覆盖第一底面电极部40A的位置。在该情况下,也只要在第二虚拟线VL2上,第一层L1中的第一覆盖电极71的厚度最大即可。
·图17所示的变更例的电感器部件910与第一实施方式的电感器部件10相比,第一覆盖电极71存在的范围不同。具体而言,在电感器部件910中,与电感器部件10相比,省略第一覆盖电极71中覆盖第一端面电极部40B的范围的包含第三负方向Z2侧的端的一部分。因此,第一覆盖电极71在第一端面11C上,分为两个部分。
·在第二实施方式的电感器部件110中,也可以第一层L1以及第九层L9中的第一端面电极部40B的烧结体的组成与第二层L2~第八层L8中的第一端面电极部40B的烧结体的组成不同。例如,也可以第一层L1以及第九层L9中的第一端面电极部40B的材质为银,第二层L2~第八层L8中的第一端面电极部40B的材质为金。该情况下,金的电阻值比银的电阻值大。因此,通过进行电镀,能够在第一端面电极部40B上形成按照每个位置厚度不同的第一覆盖电极71。另外例如,电阻值不同的金属的组合并不限定于金和银,也可以是银和铜,也可以是铜和金。另外例如,也可以通过使合金的组成比率不同来实现电阻值的不同。
·在第二实施方式的电感器部件110中,第二层L2~第八层L8中的第一覆盖电极71的厚度也可以为零。即,也可以第一覆盖电极71的厚度在第一端面11C的几何中心C上为零。换句话说,也可以在第二层L2~第八层L8中,第一端面电极部40B不被第一覆盖电极71覆盖而露出到坯体11的外部。该情况下,在第二实施方式的电感器部件110的制造方法中的电镀工序S300中,通过绝缘性的盖覆盖第二层L2~第八层L8中的第一端面电极部40B的表面,之后进行电镀即可。换句话说,通过该盖覆盖第一端面电极部40B的几何中心C,并且使第一端面电极部40B中在第二虚拟线VL2上相对于几何中心C在第一主面11A侧的部分从该盖露出来进行电镀即可。
·第一埋入电极40只要至少具有第一端面电极部40B即可。换句话说,也可以省略第一埋入电极40的第一底面电极部40A。
·也可以省去第一埋入电极40。该情况下,第一覆盖电极71与电感器布线30的第一端电连接即可。
·第一覆盖电极71只要覆盖底面11E中第一虚拟线VL1上的一部分,则也可以适当地变更覆盖底面11E的范围。
·也可以朝向第二正方向Y1观察电感器部件10时的第二覆盖电极72的形状与朝向第二负方向Y2观察电感器部件10时的第一覆盖电极71的形状不同。
对能够根据上述各实施方式以及变更例掌握的技术思想进行记载。
<1>一种电感器部件,具备:
长方体状的坯体,具有六个外表面;
电感器布线,在上述坯体的内部延伸;
第一覆盖电极,覆盖作为上述外表面中的一个面的底面,并与上述电感器布线的第一端电连接;以及
第二覆盖电极,覆盖上述底面,并与上述电感器布线的第二端电连接,
在将上述坯体的六个上述外表面中与上述底面垂直的面的一个面设为主面,并将与上述底面以及上述主面的任何一个都垂直的面设为第一端面以及第二端面时,
上述第一覆盖电极以及上述第二覆盖电极覆盖通过上述底面的几何中心且与上述第一端面垂直的第一虚拟线上的一部分,
上述第一覆盖电极覆盖上述第一端面,上述第二覆盖电极覆盖上述第二端面,
在将与上述第一端面垂直的方向上的从上述第一端面到上述第一覆盖电极的表面为止的距离作为上述第一覆盖电极的厚度时,
在通过上述第一端面的几何中心且与上述主面垂直的第二虚拟线上,上述第一覆盖电极的厚度最大的位置与上述第一端面的几何中心相比向上述主面侧偏移。
<2>根据<1>所记载的电感器部件,
在将上述第一端面上与上述底面垂直的方向上的上述第一覆盖电极的尺寸作为上述第一覆盖电极的高度时,
上述第一覆盖电极的高度最大的位置与上述第一端面的几何中心相比向上述主面侧偏移。
<3>根据<1>或者<2>所记载的电感器部件,
上述电感器布线具有在与上述主面垂直的方向上排列的多个布线部、和连接与上述主面垂直的方向上相邻的上述布线部的通孔,
在将多个上述布线部中从上述第一端与上述主面平行地延伸的上述布线部设为第一端布线部时,
上述第二虚拟线上的上述第一覆盖电极的厚度在与上述主面垂直的方向上在上述第一端布线部存在的范围内最大。
<4>根据<1>~<3>中任意一个所记载的电感器部件,
上述坯体具有与上述电感器布线的上述第一端连接,并与上述第一覆盖电极直接接触的第一埋入电极,
上述第一埋入电极具有在上述第一端面露出到上述坯体的外部并被上述第一覆盖电极覆盖的端面电极部。
<5>根据<4>所记载的电感器部件,
上述端面电极部中上述第一端面的几何中心上的电阻值比上述第一覆盖电极的厚度最大的位置上的电阻值大。
<6>根据<5>所记载的电感器部件,
上述端面电极部是由金属和玻璃构成的烧结体,
上述端面电极部中上述第一端面的几何中心上的上述金属的密度比上述第二虚拟线上上述第一覆盖电极的厚度最大的位置上的上述金属的密度粗。
<7>根据<5>所记载的电感器部件,
上述端面电极部为烧结体,
上述端面电极部中上述第一端面的几何中心上的上述烧结体的组成与上述第二虚拟线上上述第一覆盖电极的厚度最大的位置上的上述烧结体的组成不同。
<8>根据<1>~<7>中任意一个所记载的电感器部件,
上述第一覆盖电极的厚度在上述第一端面的几何中心上为零。
<9>一种电感器部件的制造方法,具备:
层叠体形成工序,使用绝缘性的绝缘膏体以及包含金属粉的导电膏体,形成具有在上述绝缘膏体的内部延伸为螺旋状的上述导电膏体的图案、与上述图案的第一端连接且从上述绝缘膏体露出的上述导电膏体的第一导电部、以及与上述图案的第二端连接且从上述绝缘膏体露出的上述导电膏体的第二导电部的长方体状的层叠体;
烧制工序,对上述层叠体进行烧制形成分别具有上述第一导电部烧结后的第一埋入电极、和上述第二导电部烧结后的第二埋入电极的坯体;以及
电镀工序,对在上述坯体的表面露出的上述第一埋入电极以及上述第二埋入电极的表面进行电镀,形成覆盖上述第一埋入电极的表面的第一覆盖电极以及覆盖上述第二埋入电极的表面的第二覆盖电极,
在将上述坯体的六个外表面中一个面设为底面,将与上述底面垂直的面的一个设为主面,并将与上述底面以及上述主面的任何一个都垂直的面设为第一端面以及第二端面时,
上述第一埋入电极以及上述第二埋入电极在上述底面露出到上述坯体的外部,
上述第一埋入电极具有在上述第一端面露出到上述坯体的外部的端面电极部,
在上述电镀工序中,
通过绝缘性的盖覆盖上述第一端面的几何中心,并且使上述端面电极部中在通过上述第一端面的几何中心且与上述主面垂直的虚拟线上相对于上述几何中心在上述主面侧的部分从上述盖露出来进行电镀。
附图标记说明
10、110、210、310、410、510、610、710、810、910…电感器部件,11…坯体,20…绝缘部,30…电感器布线,31…第一布线部,32、34、36、38…通孔,33…第二布线部,35…第三布线部,37…第四布线部,39…第五布线部,40…第一埋入电极,40A…第一底面电极部,40B…第一端面电极部,50…第二埋入电极,50A…第二底面电极部,50B…第二端面电极部,61…第一覆盖层,62…第二覆盖层,71…第一覆盖电极,72…第二覆盖电极。
Claims (9)
1.一种电感器部件,其中,具备:
长方体状的坯体,具有六个外表面;
电感器布线,在上述坯体的内部延伸;
第一覆盖电极,覆盖作为上述外表面中的一个面的底面,并与上述电感器布线的第一端电连接;以及
第二覆盖电极,覆盖上述底面,并与上述电感器布线的第二端电连接,
在将上述坯体的六个上述外表面中与上述底面垂直的面的一个面设为主面,并将与上述底面以及上述主面的任何一个都垂直的面设为第一端面以及第二端面时,
上述第一覆盖电极以及上述第二覆盖电极覆盖第一虚拟线上的一部分,上述第一虚拟线是通过上述底面的几何中心且与上述第一端面垂直的虚拟线,
上述第一覆盖电极覆盖上述第一端面,上述第二覆盖电极覆盖上述第二端面,
在将与上述第一端面垂直的方向上的从上述第一端面到上述第一覆盖电极的表面为止的距离作为上述第一覆盖电极的厚度时,
在通过上述第一端面的几何中心且与上述主面垂直的第二虚拟线上,上述第一覆盖电极的厚度最大的位置与上述第一端面的几何中心相比向上述主面侧偏移。
2.根据权利要求1所述的电感器部件,其中,
在将上述第一端面上与上述底面垂直的方向上的上述第一覆盖电极的尺寸作为上述第一覆盖电极的高度时,
上述第一覆盖电极的高度最大的位置与上述第一端面的几何中心相比向上述主面侧偏移。
3.根据权利要求1或者权利要求2所述的电感器部件,其中,
上述电感器布线具有多个布线部和通孔,上述多个布线部在与上述主面垂直的方向上排列,上述通孔连接与上述主面垂直的方向上相邻的上述布线部,
在将多个上述布线部中从上述第一端与上述主面平行地延伸的上述布线部设为第一端布线部时,
上述第二虚拟线上的上述第一覆盖电极的厚度在与上述主面垂直的方向上在上述第一端布线部存在的范围内最大。
4.根据权利要求1所述的电感器部件,其中,
上述坯体具有第一埋入电极,上述第一埋入电极与上述电感器布线的上述第一端连接,并与上述第一覆盖电极直接接触,
上述第一埋入电极具有端面电极部,上述端面电极部在上述第一端面露出到上述坯体的外部并被上述第一覆盖电极覆盖。
5.根据权利要求4所述的电感器部件,其中,
上述端面电极部中上述第一端面的几何中心上的电阻值比上述第一覆盖电极的厚度最大的位置上的电阻值大。
6.根据权利要求5所述的电感器部件,其中,
上述端面电极部是由金属和玻璃构成的烧结体,
上述端面电极部中上述第一端面的几何中心上的上述金属的密度比上述第二虚拟线上上述第一覆盖电极的厚度最大的位置上的上述金属的密度粗。
7.根据权利要求5所述的电感器部件,其中,
上述端面电极部为烧结体,
上述端面电极部中上述第一端面的几何中心上的上述烧结体的组成与上述第二虚拟线上上述第一覆盖电极的厚度最大的位置上的上述烧结体的组成不同。
8.根据权利要求1所述的电感器部件,其中,
上述第一覆盖电极的厚度在上述第一端面的几何中心上为零。
9.一种电感器部件的制造方法,其中,具备:
层叠体形成工序,使用绝缘性的绝缘膏体以及包含金属粉的导电膏体,形成具有上述导电膏体的图案、上述导电膏体的第一导电部以及上述导电膏体的第二导电部的长方体状的层叠体,上述导电膏体的图案在上述绝缘膏体的内部延伸为螺旋状,上述导电膏体的第一导电部与上述图案的第一端连接且从上述绝缘膏体露出,上述导电膏体的第二导电部与上述图案的第二端连接且从上述绝缘膏体露出;
烧制工序,对上述层叠体进行烧制形成分别具有上述第一导电部烧结后的第一埋入电极、和上述第二导电部烧结后的第二埋入电极的坯体;以及
电镀工序,对在上述坯体的表面露出的上述第一埋入电极以及上述第二埋入电极的表面进行电镀,形成覆盖上述第一埋入电极的表面的第一覆盖电极以及覆盖上述第二埋入电极的表面的第二覆盖电极,
在将上述坯体的六个外表面中一个面设为底面,将与上述底面垂直的面的一个设为主面,并将与上述底面以及上述主面的任何一个都垂直的面设为第一端面以及第二端面时,
上述第一埋入电极以及上述第二埋入电极在上述底面露出到上述坯体的外部,
上述第一埋入电极具有在上述第一端面露出到上述坯体的外部的端面电极部,
在上述电镀工序中,
通过绝缘性的盖覆盖上述第一端面的几何中心,并且使上述端面电极部中在通过上述第一端面的几何中心且与上述主面垂直的虚拟线上相对于上述几何中心在上述主面侧的部分从上述盖露出来进行电镀。
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