CN117184533A - 负压收集设备 - Google Patents

Abstract

本发明公开了负压收集设备，包括：工作台，该工作台设有出料口；收集组件，该收集组件具有位于出料口下方的若干个收集盒，至少有一个收集盒连接有用于向外抽取空气的负压装置；转接组件，该转接组件具有落料通道，落料通道的顶端接通出料口，落料通道的底端能够切换接通任意一个收集盒；刀具组件，刀具组件位于工作台的上方；动力机构。动力机构驱动刀具组件升降运动。本发明利用负压装置抽取收集盒和落料通道内的空气形成负压，迫使分切后的半导体快速向下滑动，动力机构设计有安装座、曲柄和动力盘等，通过电机驱动动力盘旋转，电机的输出轴安装有电磁刹车器，实现刀具组件快速升降运动的同时，保证制动的可靠性。

Description

负压收集设备

技术领域

本发明涉及半导体加工设备技术领域，尤其涉及负压收集设备。

背景技术

半导体封装是指将通过测试的晶圆按照产品型号及功能需求加工得到独立芯片的过程。封装过程为：来自晶圆前道工艺的晶圆通过划片工艺后被切割为小的晶片，然后将切割好的晶片贴装到封装支架的基岛上，再利用超细的金属导线或者导电性树脂将晶片的接合焊盘连接到封装支架的相应引脚，并构成所要求的电路，然后再对独立的晶片用塑料外壳加以封装保护，塑封之后还要进行一系列操作，例如将半导体从封装支架切分下来。

现有技术出现的自动切筋装置是通过切筋刀具分离半导体和封装支架，半导体从出料孔导出，掉落到收集盒中进行收集，但由于半导体的体积小、重量轻，且封装支架排列的密度较大，切分之后容易出现半导体被钩挂在封装支架上、在下滑过程中附着在孔壁上、或者因下滑速度较慢而引起堵塞等情况。

发明内容

针对现有技术存在半导体收集效率低的缺陷，本发明提出负压收集设备，该负压收集设备的收集盒连接有负压装置，使得半导体在气压作用下快速进入收集盒，有效提高半导体收集效率。

本发明采用的技术方案是，设计负压收集设备，包括：

工作台，该工作台设有出料口；

收集组件，该收集组件具有位于出料口下方的若干个收集盒，至少有一个收集盒连接有用于向外抽取空气的负压装置；

转接组件，该转接组件具有落料通道，落料通道的顶端接通出料口，落料通道的底端能够切换接通任意一个收集盒。

进一步的，转接组件包括：上转接块、下转接块、分隔板以及驱动下转接块移动的第一动力件，分隔板安装在工作台的下方，收集组件位于分隔板的底部；上转接块设有上落料通道，分隔板设有与收集盒一一对应的落料口，下转接块被活动夹持在分隔板和上转接块之间，且下转接块设有与收集盒一一对应的下落料通道；任意一个下落料通道的底端与其对应的落料口对接时，该下落料通道的顶端恰好与上落料通道的底端对接，以形成落料通道。

进一步的，上落料通道顶端的开口尺寸大于出料口，且上落料通道的宽度由上至下逐渐收窄，下落料通道在其对应的收集盒与上落料通道之间倾斜设置，第一动力件驱动下转接块在收集盒之间移动，以使控制下落料通道自动与上落料通道对接。

进一步的，收集组件安装于底板上，底板的下方设有第二动力件，第二动力件推动底板上下移动，以使连接有负压装置的收集盒的顶面贴合分隔板的底面。

进一步的，工作台设有废料口，工作台的底部设有与废料口连接的排渣管。

进一步的，负压收集设备还包括：位于工作台上方的刀具组件、以及驱动刀具组件升降的动力机构。

进一步的，动力机构包括：安装座、曲柄、动力盘以及电机，刀具组件连接于安装座的底部，曲柄的底端转动安装于安装座的顶部，曲柄的顶端通过偏心轴转动安装于动力盘上，电机驱动动力盘旋转，以使安装座升降运动。

进一步的，刀具组件与安装座之间预留有缓冲间隙，且安装座与刀具组件之间安装有若干个缓冲弹性件。

进一步的，工作台的上方安装有支撑板，支撑板设有允许安装座穿过的安装口，安装座与安装口之间设有导轨组件，安装座沿着导轨组件直线升降。

进一步的，电机与动力盘之间设有传动轮组件，电机驱动传动轮组件中的主动轮转动，动力盘与传动轮组件中的从动轮同轴固定，电机的输出轴安装有电磁刹车器。

与现有技术相比，本发明具有以下有益效果：

1、收集盒连接有负压装置，利用负压装置抽取收集盒和落料通道内的空气形成负压，迫使分切后的半导体快速向下滑动，有效提高到半导体收集效果；

2、动力机构设计有安装座、曲柄和动力盘等，通过电机驱动动力盘旋转，电机的输出轴安装有电磁刹车器，实现刀具组件快速升降运动的同时，保证制动的可靠性。

附图说明

下面结合实施例和附图对本发明进行详细说明，其中：

图1是本发明负压收集设备的立体示意图；

图2是本发明负压收集设备的另一立体示意图；

图3是本发明负压收集设备的下部示意图；

图4是本发明负压收集设备的上部示意图；

附图标记：1、工作台；11、切分模具；2、收集组件；21、收集盒；211、良品盒；212、不良品盒；3、转接组件；31、上转接块；311、上落料通道；32、下转接块；321、下落料通道；33、分隔板；331、限位块；34、第一动力件；4、刀具组件；5、动力机构；51、安装座；52、曲柄；53、动力盘；54、电机；55、偏心轴；56、传动轮组件；6、废料管；7、支撑板；8、底板；81、第二动力件。

具体实施方式

为了使本发明所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本专利，并不用于限定本专利。

如图1、2所示，本发明提出的负压收集设备属于半导体加工设备，负压收集设备主要有工作台1、收集组件2、转接组件3、刀具组件4以及动力机构5等部分，工作台1的顶面安装有切分模具11，半导体被切分下来后，从切分模具11内掉落并经过工作台1的出料口。收集组件2具有位于出料口下方的若干个收集盒21，至少有一个收集盒21连接有用于向外抽取空气的负压装置，负压装置可以采用负压泵等，转接组件3具有落料通道，落料通道的顶端接通出料口，落料通道的底端能够切换接通任意一个收集盒21。本发明利用负压装置抽取收集盒21和落料通道内的空气形成负压，迫使分切后的半导体快速向下滑动，有效提高到半导体收集效果。

为便于理解，如图3所示，以本发明的一些可行实施例为例，收集组件2包含两个收集盒21，分别是良品盒211和不良品盒212，合格的半导体切分之后经过落料通道掉入良品盒211中，不合格的半导体切分之后经过落料通道掉入不良品盒212。良品盒211设有内层，内层的底面分布有通气微孔，良品盒211的底部设有连接负压装置的抽气孔，负压装置工作时向外抽取良品盒211内的空气，良品盒211设计为内外两层结构，既可以实现空气的抽取形成负压，又能利用内层盛装半导体使其不会落入抽气孔中。

如图3所示，转接组件3包括：上转接块31、下转接块32、分隔板33以及第一动力件34，分隔板33安装在工作台1的下方，收集盒21位于分隔板33的底部，分隔板33设有与收集盒21一一对应的落料口，上转接块31设置于分隔板33的上方，上转接块31的内部设有上落料通道311，上落料通道311的顶端接通出料口，下转接块32被活动夹持在分隔板33和上转接块31之间，并且下转接块32设有与收集盒21一一对应的下落料通道321，下落料通道321在其对应的收集盒21与上落料通道311之间倾斜设置，第一动力件34驱动下转接块32在收集盒21之间移动，以使控制下落料通道321自动与上落料通道311对接，第一动力件34可以采用气缸等。实际应用时，为确保切分后的半导体均能落入对应收集盒21中，上落料通道311顶端的开口尺寸大于出料口，且上落料通道311的宽度由上至下逐渐收窄。

任意一个下落料通道321的底端与其对应的落料口对接时，该下落料通道321的顶端恰好与上落料通道311的底端对接，以形成落料通道，或者说，任意一个下落料通道321的顶端与上落料通道311的底端对接时，该下落料通道321的底端恰好与其对应的落料口对接。即，第一动力件34推动下转接块32移动，使得下转接块32的某一下落料通道321的底端与其对应的落料口对接、该下落料通道321的顶端与上落料通道311的底端对接，上落料通道311、下落料通道321以及落料口连接形成一个落料通道，使得分切后的半导体落入到对应的收集盒21中。

需要指出的是，由于上落料通道311只有一个，当某一下落料通道321与其对接时，其余下落料通道321均与上落料通道311错开，以此保证切分后的半导体只能落入到对应的收集盒21中。第一动力件34受指令控制调整下转接块32的位置，进而切换落料通道接通不同的收集盒21，实现半导体的分类收集。

在本发明的一些实施例中，为了保证下转接块32的移动更平稳准确，上转接块31的底部设有两个位置相对的限位臂，下转接块32被夹持在两个限位臂之间且能够前后移动。收集组件2包含两个收集盒21，分隔板33的顶面设有位于下转接块32前后两侧的两个限位块331，下转接块32能够在两个限位块331之间水平移动。以下转接块32前侧的收集盒21为不良品盒212、下转接块32后侧的收集盒21为良品盒211为例，良品盒211连接有负压装置，良品盒211的顶面贴合分隔板33的底面，下转接块32移动至与前侧的限位块331相抵时，落料通道接通到良品盒211，下转接块32移动至与后侧的限位块331相抵时，落料通道接通到不良品盒212。

需要指出的是，收集组件2安装于底板8上，底板8的下方设有第二动力件81，底板8与工作台1之间设有直线导向机构，第二动力件81推动底板8上下移动，以使良品盒211的顶面贴合分隔板33的底面，良品盒211的顶部边缘被密封，负压装置将良品盒211内的空气向外抽出后良品盒211的内部迅速进入负压状态。实际应用中，为便于取拿收集盒21，收集盒21的一侧设有把手，收集盒21以抽屉的形式设置于底板8上，需要取出收集盒21时，第二动力件81向下移动底板8，使得良品盒211的顶部离开分隔板33。

在图1、2所示的应用场景中，工作台1的切分模具11有两个工位，工作台1在前侧工位的正下方设有废料口，上文中出现的出料口位于后侧工作的正下方，工作台1的底部设有与废料口连接的排渣管6，排渣管6的底部可以设计用于盛装废料的容器，前侧工作切断掉落的废料经过废料口及排渣管6向外排出。

如图1、4所示，负压收集设备的刀具组件4位于工作台1的上方，更准确的说，刀具组件4位于切分模具11的正上方，动力机构5驱动刀具组件4升降运动。其中，动力机构5包括：安装座51、曲柄52、动力盘53以及电机54，刀具组件4连接于安装座51的底部，曲柄52的底端转动安装于安装座51的顶部，曲柄52的顶端通过偏心轴55转动安装于动力盘53上，电机54驱动动力盘53旋转，由于偏心轴55与动力盘53偏心设置，偏心轴55随着动力盘53的旋转而发生高度变化，因此带动安装座51升降运动。

刀具组件4悬挂安装在安装座51的下方，刀具组件4与安装座51之间预留有缓冲间隙，且安装座51与刀具组件4之间安装有若干个缓冲弹性件，利用缓冲弹性件减小刀具组件4与切分模具11合拢时的冲击力，延长设备使用寿命。

如图4所示，工作台1的上方安装有支撑板7，支撑板7设有允许安装座51穿过的安装口，安装座51与安装口之间设有导轨组件，安装座51沿着导轨组件直线升降。电机54与动力盘53之间设有传动轮组件56，电机54驱动传动轮组件56中的主动轮转动，动力盘53与传动轮组件56中的从动轮同轴固定，主动轮的直径小于从动轮，实现降速效果。电机54的输出轴安装有电磁刹车器，电磁刹车器是使机械中的运动件停止或减速的机械零件，实现刀具组件4快速升降运动的同时，保证制动的可靠性。

需要注意的是，上述所使用的术语仅是为了描述具体实施方式，而非意图限制根据本申请的示例性实施方式。如在这里所使用的，除非上下文另外明确指出，否则单数形式也意图包括复数形式，此外，还应当理解的是，当在本说明书中使用术语“包含”和/或“包括”时，其指明存在特征、步骤、操作、器件、组件和/或它们的组合。

同时，应当明白，为了便于描述，附图中所示出的各个部分的尺寸并不是按照实际的比例关系绘制的。对于相关领域普通技术人员已知的技术、方法和设备可能不作详细讨论，但在适当情况下，所述技术、方法和设备应当被视为授权说明书的一部分。在这里示出和讨论的所有示例中，任何具体值应被解释为仅仅是示例性的，而不是作为限制。因此，示例性实施例的其它示例可以具有不同的值。应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步讨论。

以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (10)

1.负压收集设备，其特征在于，包括：

工作台，所述工作台设有出料口；

收集组件，所述收集组件具有位于所述出料口下方的若干个收集盒，至少有一个所述收集盒连接有用于向外抽取空气的负压装置；

转接组件，所述转接组件具有落料通道，所述落料通道的顶端接通所述出料口，所述落料通道的底端能够切换接通任意一个所述收集盒。

2.根据权利要求1所述的负压收集设备，其特征在于，所述转接组件包括：上转接块、下转接块、分隔板以及驱动所述下转接块移动的第一动力件，所述分隔板安装在所述工作台的下方，所述收集组件位于所述分隔板的底部；

所述上转接块设有上落料通道，所述分隔板设有与所述收集盒一一对应的落料口，所述下转接块被活动夹持在所述分隔板和所述上转接块之间，且所述下转接块设有与所述收集盒一一对应的下落料通道；

任意一个所述下落料通道的底端与其对应的落料口对接时，该下落料通道的顶端恰好与所述上落料通道的底端对接，以形成所述落料通道。

3.根据权利要求2所述的负压收集设备，其特征在于，所述上落料通道顶端的开口尺寸大于所述出料口，且所述上落料通道的宽度由上至下逐渐收窄，所述下落料通道在其对应的收集盒与所述上落料通道之间倾斜设置，所述第一动力件驱动所述下转接块在所述收集盒之间移动，以使控制所述下落料通道自动与所述上落料通道对接。

4.根据权利要求2所述的负压收集设备，其特征在于，所述收集组件安装于底板上，所述底板的下方设有第二动力件，所述第二动力件推动所述底板上下移动，以使连接有所述负压装置的收集盒的顶面贴合所述分隔板的底面。

5.根据权利要求1所述的负压收集设备，其特征在于，所述工作台设有废料口，所述工作台的底部设有与所述废料口连接的排渣管。

6.根据权利要求1至5任一项所述的负压收集设备，其特征在于，还包括：位于所述工作台上方的刀具组件、以及驱动所述刀具组件升降的动力机构。

7.根据权利要求6所述的负压收集设备，其特征在于，所述动力机构包括：安装座、曲柄、动力盘以及电机，所述刀具组件连接于所述安装座的底部，所述曲柄的底端转动安装于所述安装座的顶部，所述曲柄的顶端通过偏心轴转动安装于所述动力盘上，所述电机驱动所述动力盘旋转，以使所述安装座升降运动。

8.根据权利要求7所述的负压收集设备，其特征在于，所述刀具组件与所述安装座之间预留有缓冲间隙，且所述安装座与所述刀具组件之间安装有若干个缓冲弹性件。

9.根据权利要求7所述的负压收集设备，其特征在于，所述工作台的上方安装有支撑板，所述支撑板设有允许所述安装座穿过的安装口，所述安装座与所述安装口之间设有导轨组件，所述安装座沿着所述导轨组件直线升降。

10.根据权利要求7所述的负压收集设备，其特征在于，所述电机与所述动力盘之间设有传动轮组件，所述电机驱动所述传动轮组件中的主动轮转动，所述动力盘与所述传动轮组件中的从动轮同轴固定，所述电机的输出轴安装有电磁刹车器。