CN117007932A - 一种双通道功率器件测试装置 - Google Patents
一种双通道功率器件测试装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN117007932A CN117007932A CN202310892904.9A CN202310892904A CN117007932A CN 117007932 A CN117007932 A CN 117007932A CN 202310892904 A CN202310892904 A CN 202310892904A CN 117007932 A CN117007932 A CN 117007932A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- test
- dual
- tested
- channel power
- measured
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000012360 testing method Methods 0.000 title claims abstract description 144
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims abstract description 28
- 230000003068 static effect Effects 0.000 claims abstract description 20
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 15
- 230000000712 assembly Effects 0.000 claims description 8
- 238000000429 assembly Methods 0.000 claims description 8
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 8
- 230000009977 dual effect Effects 0.000 claims description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 5
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 abstract description 4
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 abstract description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 1
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/26—Testing of individual semiconductor devices
- G01R31/2607—Circuits therefor
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
- G01R1/02—General constructional details
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
- G01R1/02—General constructional details
- G01R1/04—Housings; Supporting members; Arrangements of terminals
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
- G01R1/02—General constructional details
- G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
- G01R1/067—Measuring probes
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/26—Testing of individual semiconductor devices
- G01R31/2601—Apparatus or methods therefor
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
Abstract
本发明公开了一种双通道功率器件测量装置,包括:测试台、测试组件、测试探针组件和待测工位组件。在测试台上设置测试组件,测试组件包括动态测试盒和静态测试盒,测试探针组件设有与待测器件连接的接触顶针,待测器件通过测试探针组件与动态测试盒和静态测试盒连接,通过控制时序进行双通道串行测试。该双通道功率器件测量装置实现了在单个工位上进行静态参数和动态参数的串行测试,有利于降低设备成本和设备维护成本,进而降低制造成本。
Description
技术领域
本发明涉及半导体测试仪器技术领域,具体涉及一种双通道功率器件测试装置。
背景技术
现有技术中,市面上的功率器件动态(AC)参数测试仪测量系统(例如开关时间参数测试、TRR(反向恢复时间)参数测试、ILATCH参数测试、QG(三级电荷)参数测试、短路参数测试中之一),一般是使用单通道、单工位来进行测试。若同时拥有开关时间参数测试、TRR参数测试、ILATCH参数测试、QG参数测试、短路参数测试的需求,则目前需要3到4个独立的工位进行。另外,对同时需要静态(DC)参数测量的客户应用中,更是采样不同于动态参数测量的单独工位来进行测量。工位越多,导致客户的设备成本和维护成本越大,而且测试时间越长,从而导致测量费用的增加,器件单价上升。
发明内容
因此,本发明要解决的技术问题在于克服现有技术中的因测试参数增加导致测试工位的增加,进而导致提高生产成本的缺陷,从而提供可降低生产成本的一种双通道功率器件测试装置。
为解决上述技术问题,本发明的技术方案如下:
一种双通道功率器件测量装置,包括:测试台、测试组件、测试探针组件和待测工位组件,测试组件包括均设于所述测试台上的动态测试盒和静态测试盒;所述测试探针包括电路板和连接排线,所述连接排线的一端与所述动态测试盒电性连接,所述连接排线的另一端与所述电路板连接,所述电路板的上表面设有连接器,所述电路板的下表面设有接触顶针,所述连接器与线缆配合连接并通过所述线缆与所述静态测试盒电性连接;待测工位组件设于所述测试台上,所述待测工位组件适于放置待测器件,以使得所述待测器件与所述接触顶针连接。
根据本发明的一些实施例,所述待测工位组件包括固定座、安装台和工作台,所述固定座设于所述测试台上,所述安装台滑移设于所述固定座上,所述工作台转动设于所述安装台上,所述工作台的上表面设有多个待测工位,所述待测器件适于放置在所述待测工位内。
根据本发明的一些实施例,所述固定座的一侧面上设有沿竖直方向的滑轨,所述安装台与所述滑轨滑动连接,所述安装台在所述滑轨上竖直滑移。
根据本发明的一些实施例,所述待测工位组件还包括第一驱动件,所述第一驱动件为直线驱动电机,所述第一驱动件设于所述测试台上,所述第一驱动件的输出端与所述安装台传动连接,所述第一驱动件驱动所述安装台在所述滑轨上竖直滑移。
根据本发明的一些实施例,所述待测工位组件还包括第二驱动件,所述第二驱动件为旋转气缸,所述第二驱动件设于所述安装台上,所述第二驱动件的输出端与所述工作台传动连接,所述第二驱动件驱动所述工作台转动以使得所述待测工位内的所述待测器件与接触顶针连接。
根据本发明的一些实施例,所述待测工位至少设有两个,且分设于所述工作台的两端。
根据本发明的一些实施例,所述工作台的两端分别设有两个所述待测工位,位于同一端的两个所述待测工位间隔设置。
根据本发明的一些实施例,所述测试探针组件设有两组,且并排间隔设置,两组所述测试探针组件的间距大小与位于同端的两个所述待测工位的间距大小一致。
根据本发明的一些实施例,所述连接排线为柔性线路板。
根据本发明的一些实施例,所述测试组件还包括固定架,所述动态测试盒设于所述固定架上。
本发明技术方案,具有如下优点:
1.本发明提供的双通道功率器件测量装置,在测试台上设置测试组件,测试组件包括动态测试盒和静态测试盒,测试探针组件设有与待测器件连接的接触顶针,待测器件通过测试探针组件与动态测试盒和静态测试盒连接,通过控制时序进行双通道串行测试。该双通道功率器件测量装置实现了在单个工位上进行静态参数和动态参数的串行测试,有利于降低设备成本和设备维护成本,进而降低制造成本。
2.本发明提供的双通道功率器件测量装置,将待测器件放置在待测工位后,工作台旋转以将待测器件旋转至测试探针组件的正下方,安装台沿竖直方向向上滑移,以使得待测器件与接触顶针连接,从而实现双通道串行测试。当测试结束后,安装台沿竖直方向向下滑移,工作台旋转至初始位置,将待测器件取出。该待测工位组件实现待测器件的自动上料,提高试验的效率。
3.本发明提供的双通道功率器件测量装置,通过第一驱动件驱动安装台沿竖直方向滑移,通过第二驱动件驱动工作台转动,以使得待测器件与接触顶针连接,从而实现双通道串行测试。第一驱动件和第二驱动件的设置提高自动化,进而提高测试效率。
4.本发明提供的双通道功率器件测量装置,在工作台的上表面设有多个待测工位,便于放置多个待测器件,以对多个待测器件同时检测,提高测试效率,降低测试成本。
5.本发明提供的双通道功率器件测量装置,所述连接排线为柔性线路板,可避免连接处产生应力导致的接触不良。
附图说明
为了更清楚地说明本发明具体实施方式或现有技术中的技术方案,下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图是本发明的一些实施方式,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本发明的一些实施例中提供的双通道功率器件测试装置的主视图;
图2为本发明的一些实施例中提供的双通道功率器件测试装置的部分结构示意图。
附图标记说明:1、测试台;2、动态测试盒;3、静态测试盒;4、测试探针组件;5、待测工位组件;6、待测器件;7、固定架;41、电路板;42、连接排线;411、接触顶针;412、连接器;51、固定座;52、安装台;53、工作台;54、第一驱动件;55、第二驱动件;531、待测工位。
具体实施方式
下面将结合附图对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
在本发明的描述中,需要说明的是,术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本发明和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本发明的限制。此外,术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性。
在本发明的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
此外,下面所描述的本发明不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。
参照图1所示,本发明提供了一种双通道功率器件测量装置,包括:测试台1、测试组件、测试探针组件4和待测工位组件5,测试组件包括均设于测试台1上的动态测试盒2和静态测试盒3;测试探针包括电路板41和连接排线42,连接排线42的一端与动态测试盒2电性连接,连接排线42的另一端与电路板41连接,电路板41的上表面设有连接器412,电路板41的下表面设有接触顶针411,连接器412与线缆配合连接并通过线缆与静态测试盒3电性连接;待测工位组件5设于测试台1上,待测工位组件5适于放置待测器件6,以使得待测器件6与接触顶针411连接。
具体说明,在测试台1上设置测试组件,测试组件包括动态测试盒2和静态测试盒3,动态测试盒2用于测量待测器件6的动态参数,静态测试盒3用于测量待测器件6的静态参数,测试探针组件4设有与待测器件6连接的接触顶针411,待测器件6通过测试探针组件4与动态测试盒2和静态测试盒3连接,通过控制时序进行双通道串行测试。该双通道功率器件测量装置实现了在单个工位上进行静态参数和动态参数的串行测试,有利于降低设备成本和设备维护成本,进而降低制造成本。
可以理解的是,测试探针组件4包括电路板41和连接排线42,电路板41通过连接排线42与动态测试盒2电性连接,在电路板41的上表面设有连接器412,具体的,该连接器412为BNC接头(同轴电缆连接器412),通过线缆对连接器412和静态测试盒3实现抗干扰连接,在电路板41的下表面设置接触顶针411,接触顶针411与待测器件6连接,从而实现对待测器件6的双通道串行测试。
在本发明的一些实施例中,待测工位组件5包括固定座51、安装台52和工作台53,固定座51设于测试台1上,安装台52滑移设于固定座51上,工作台53转动设于安装台52上,工作台53的上表面设有多个待测工位531,待测器件6适于放置在待测工位531内。
具体说明,工作台53上设有多个待测工位531,将待测器件6放置在待测工位531后,工作台53旋转以将待测器件6旋转至测试探针组件4的正下方,安装台52沿竖直方向向上滑移,以使得待测器件6与接触顶针411连接,从而实现双通道串行测试。当测试结束后,安装台52沿竖直方向向下滑移,工作台53旋转至初始位置,将待测器件6取出。该待测工位组件5实现待测器件6的自动上料,提高试验的效率。
在本发明的一些实施例中,固定座51的一侧面上设有沿竖直方向的滑轨,安装台52与滑轨滑动连接,安装台52在滑轨上竖直滑移。
具体说明,该固定座51包括固定角码和固定面板,固定面板竖直安装在固定角码上,在固定面板的一侧面上设有沿竖直方向的滑轨,安装台52设有与该滑轨配合连接的滑块,以使得安装台52可在竖直方向上滑移,从而带动待测器件6与接触顶针411连接。
在本发明的一些实施例中,待测工位组件5还包括第一驱动件54,第一驱动件54为直线驱动电机,第一驱动件54设于测试台1上,第一驱动件54的输出端与安装台52传动连接,第一驱动件54驱动安装台52在滑轨上竖直滑移。
在本发明的一些实施例中,待测工位组件5还包括第二驱动件55,第二驱动件55为旋转气缸,第二驱动件55设于安装台52上,第二驱动件55的输出端与工作台53传动连接,第二驱动件55驱动工作台53转动以使得待测工位531内的待测器件6与接触顶针411连接。
具体说明,通过第一驱动件54驱动安装台52沿竖直方向滑移,通过第二驱动件55驱动工作台53转动,以使得待测器件6与接触顶针411连接,从而实现双通道串行测试。第一驱动件54和第二驱动件55的设置提高自动化,进而提高测试效率。
在本发明的一些实施例中,待测工位531至少设有两个,且分设于工作台53的两端。
在本发明的一些实施例中,工作台53的两端分别设有两个待测工位531,位于同一端的两个待测工位531间隔设置。
具体说明,在本发明的一些实施例中,工作台53为矩形方块,第二驱动件55的输出端与工作台53下表面中部传动连接,从而带动工作台53以中点为圆心转动,此时,待测工位531至少设有两个,且分设于工作台53的两端,测试探针组件4设有一组,第二驱动件55驱动工作台53转动,以带动待测工位531转动至测试探针组件4的正下方,具体的,当工作台53旋转180度时,可使得另一端的待测工位531旋转至测试探针组件4的正下方,因此只需要调节转动角速度,便可实现不间断测试。当待测工位531旋转至测试探针组件4正下方后,第一驱动件54驱动安装台52上升,从而使得待测器件6与接触顶针411连接。
可以理解的是,待测工位531的数量不作为本发明的限制,在本发明的一些实施例中,工作台53的两端可分别设有两个待测工位531,且位于同端的两个待测工位531间隔设置,便于同时多两个待测器件6进行测试,提高测试效率。
需要说明的是,当工作台53为圆台状时,第二驱动件55的输出端与工作台53的圆心处传动连接,多个待测工位531呈周向均匀设于工作台53的上表面外缘,通过控制第二驱动件55功率,对工作台53旋转的角速度进行控制,从而实现不间断测试,提高测试效率。工作台53的形状不作为本发明的限制,该工作台53还可以为三角板。
在本发明的一些实施例中,所述测试探针组件4设有两组,且并排间隔设置,两组所述测试探针组件4的间距大小与位于同端的两个所述待测工位531的间距大小一致。
具体说明,当工作台53为矩形方块,且在工作台53的两端分别设有两个待测工位531,为了便于对多个待测器件6进行同时测试,设置两组测试探针组件4,两组测试探针组件4的间距大小与位于同端的两个待测工位531的间距大小一致,以便于待测器件6与接触顶针411的连接。
在本发明的一些实施例中,连接排线42为柔性线路板。
具体说明,连接排线42为柔性线路板,可避免连接处产生应力导致的接触不良。
在本发明的一些实施例中,测试组件还包括固定架7,动态测试盒2设于固定架7上。
具体说明,固定架7为动态测试盒2提供安装基础。
显然,上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例,而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说,在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本发明创造的保护范围之中。
Claims (10)
1.一种双通道功率器件测量装置,其特征在于,包括:
测试台(1);
测试组件,包括均设于所述测试台(1)上的动态测试盒(2)和静态测试盒(3);
测试探针组件(4),所述测试探针包括电路板(41)和连接排线(42),所述连接排线(42)的一端与所述动态测试盒(2)电性连接,所述连接排线(42)的另一端与所述电路板(41)连接,所述电路板(41)的上表面设有连接器(412),所述电路板(41)的下表面设有接触顶针(411),所述连接器(412)与线缆配合连接并通过所述线缆与所述静态测试盒(3)电性连接;
待测工位组件(5),设于所述测试台(1)上,所述待测工位组件(5)适于放置待测器件(6),以使得所述待测器件(6)与所述接触顶针(411)连接。
2.根据权利要求1所述的双通道功率器件测量装置,其特征在于,所述待测工位组件(5)包括固定座(51)、安装台(52)和工作台(53),所述固定座(51)设于所述测试台(1)上,所述安装台(52)滑移设于所述固定座(51)上,所述工作台(53)转动设于所述安装台(52)上,所述工作台(53)的上表面设有多个待测工位(531),所述待测器件(6)适于放置在所述待测工位(531)内。
3.根据权利要求2所述的双通道功率器件测量装置,其特征在于,所述固定座(51)的一侧面上设有沿竖直方向的滑轨,所述安装台(52)与所述滑轨滑动连接,所述安装台(52)在所述滑轨上竖直滑移。
4.根据权利要求3所述的双通道功率器件测量装置,其特征在于,所述待测工位组件(5)还包括第一驱动件(54),所述第一驱动件(54)为直线驱动电机,所述第一驱动件(54)设于所述测试台(1)上,所述第一驱动件(54)的输出端与所述安装台(52)传动连接,所述第一驱动件(54)驱动所述安装台(52)在所述滑轨上竖直滑移。
5.根据权利要求3所述的双通道功率器件测量装置,其特征在于,所述待测工位组件(5)还包括第二驱动件(55),所述第二驱动件(55)为旋转气缸,所述第二驱动件(55)设于所述安装台(52)上,所述第二驱动件(55)的输出端与所述工作台(53)传动连接,所述第二驱动件(55)驱动所述工作台(53)转动以使得所述待测工位(531)内的所述待测器件(6)与接触顶针(411)连接。
6.根据权利要求2至5任一项所述的双通道功率器件测量装置,其特征在于,所述待测工位(531)至少设有两个,且分设于所述工作台(53)的两端。
7.根据权利要求2至5任一项所述的双通道功率器件测量装置,其特征在于,所述工作台(53)的两端分别设有两个所述待测工位(531),位于同端的两个所述待测工位(531)间隔设置。
8.根据权利要求7所述的双通道功率器件测量装置,其特征在于,所述测试探针组件(4)设有两组,且并排间隔设置,两组所述测试探针组件(4)的间距大小与位于同端的两个所述待测工位(531)的间距大小一致。
9.根据权利要求1所述的双通道功率器件测量装置,其特征在于,所述连接排线(42)为柔性线路板。
10.根据权利要求1所述的双通道功率器件测量装置,其特征在于,所述测试组件还包括固定架(7),所述动态测试盒(2)设于所述固定架(7)上。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202310892904.9A CN117007932A (zh) | 2023-07-19 | 2023-07-19 | 一种双通道功率器件测试装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202310892904.9A CN117007932A (zh) | 2023-07-19 | 2023-07-19 | 一种双通道功率器件测试装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN117007932A true CN117007932A (zh) | 2023-11-07 |
Family
ID=88561228
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN202310892904.9A Pending CN117007932A (zh) | 2023-07-19 | 2023-07-19 | 一种双通道功率器件测试装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN117007932A (zh) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN117805539A (zh) * | 2024-02-29 | 2024-04-02 | 佛山市联动科技股份有限公司 | 一种功率器件的动态参数测试装置及分选机 |
-
2023
- 2023-07-19 CN CN202310892904.9A patent/CN117007932A/zh active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN117805539A (zh) * | 2024-02-29 | 2024-04-02 | 佛山市联动科技股份有限公司 | 一种功率器件的动态参数测试装置及分选机 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN103197147B (zh) | 一种太阳能电池多功能接触电阻自动测量仪及其测量系统 | |
CN117007932A (zh) | 一种双通道功率器件测试装置 | |
CN105203884B (zh) | 空调外机自动安检系统 | |
CN209525201U (zh) | 一种机器人电缆垂直扭转试验机 | |
CN207301259U (zh) | 一种可移动测试头、飞针测试装置以及飞针测试机 | |
CN117110967B (zh) | 一种用于测试霍尔元件灵敏度的装置和方法 | |
CN210716737U (zh) | 一种电波多探头自动测试装置 | |
CN106646153B (zh) | 一种温水坐便器便盖的热性能检测线及其操作方法 | |
CN107957635B (zh) | 一种具有探针压合的宏观检测设备 | |
CN212932850U (zh) | 能检测多拓扑单元功率半导体器件的装置 | |
CN213023437U (zh) | 电路板测试设备 | |
CN208656721U (zh) | 太阳能电池片测试装置 | |
CN216670201U (zh) | 一种继电器批量测试装置 | |
CN212207445U (zh) | 一种可自动调节的三点测试机构 | |
CN221612143U (zh) | 一种仪表老化设备 | |
CN214225244U (zh) | 一种软性线路板生产测试转换夹具 | |
CN220526868U (zh) | 光伏组件绝缘耐压测试设备和光伏组件生产系统 | |
CN115656808B (zh) | 基于智能回路终端自动调检装置 | |
CN216646642U (zh) | 一种阻抗测试的探头装置 | |
CN221612982U (zh) | 一种多位置转换开关结构测试工装 | |
CN220798309U (zh) | 一种路由器测试治具 | |
CN117192460A (zh) | 一种微型智能电气量传感器绝缘性能测试设备 | |
CN220231818U (zh) | 一种内阻测试治具 | |
CN219496597U (zh) | 一种应用于有刷电机的轴伸虚位测试装置 | |
CN210038079U (zh) | 电机性能检测装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination |