CN116988146B - 一种三代半导体用等静压石墨连续高温设备 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种三代半导体用等静压石墨连续高温设备，涉及半导体材料加工技术领域，包括：底座；通过驱动部件的运转，在传动机构的作用下，带动石墨坩埚与搅拌件进行同步反向转动；通过传动机构的运转，在滑动部件的作用下，带动石墨坩埚进行前后的持续摆动。本发明具备了能对碳化硅料粉通过正反转进行搅拌和混合，还能对其进行摆动摇晃和竖向抬升翻转，进而使得碳化硅料粉进行快速的流动能与热量进行充分的接触，以保证加热的质量，且还能加速石墨坩埚外部的热量流动，以提高热量分布的均匀性，还能同步的对石墨坩埚的内部和外部进行同步的加热，使得最终的结晶体质量更佳，具备了实用性更佳的效果。

Description

一种三代半导体用等静压石墨连续高温设备

技术领域

本发明涉及半导体材料加工技术领域，具体为一种三代半导体用等静压石墨连续高温设备。

背景技术

随着科学的发展，对半导体材料也提出了更高的要求，其中需要耐高温、功率大、高频率等性能为一体的材料，而碳化硅是第三代半导体材料，具有上述功能，得到了广泛的应用；

目前碳化硅晶体在生产的时候，需要将碳化硅粉料放入到等静压石墨坩埚内，然后在坩埚盖内固定籽晶，然后对坩埚进行加热，使得最终碳化硅粉末气相输送到籽晶处进行结晶，以制备出碳化硅晶体。但是目前现有的制备方式中，对石墨坩埚内的碳化硅粉末的连续加热，可能会出现加热不均匀的情况，加热源通常设置在固定的位置处，对碳化硅粉末进行加热，致使其他位置处和死角处的碳化硅加热效果较差，与热量的接触面积较小，进而最终可能会出现连续加热效果不佳的情况，而影响碳化硅的生长结晶。

发明内容

本发明的目的在于提供一种三代半导体用等静压石墨连续高温设备，解决了上述背景技术中所提出的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种三代半导体用等静压石墨连续高温设备，包括：

底座；

固定连接在所述底座上表面处的加热壳，所述加热壳的内壁处呈环形阵列分布的加热块；

设置在所述加热壳内部的石墨坩埚，所述石墨坩埚的上表面处活动安装有坩埚盖；

设置在所述石墨坩埚内部的搅拌件；

设置在所述加热壳内部的驱动部件、传动机构、滑动部件、往复机构和稳定部件；

通过所述驱动部件的运转，在所述传动机构的作用下，带动所述石墨坩埚与所述搅拌件进行同步反向转动；

通过所述传动机构的运转，在所述滑动部件的作用下，带动所述石墨坩埚进行前后的持续摆动；

通过所述驱动部件的运转，在所述往复机构的作用下，带动所述石墨坩埚进行竖向往复移动；

通过所述稳定部件的作用下，对所述石墨坩埚进行定位和限制，并能加速所述加热壳内的热气流动。

可选的，所述驱动部件包括：

安装块，所述安装块的侧面处固定连接有转杆，所述转杆的端部定轴转动连接有支块，所述支块的端部与所述加热壳的内壁处相固定连接，所述安装块的上表面处固定连接有电机一，所述电机一的转动部处固定连接有齿轮一。

可选的，所述传动机构包括：

竖板，所述竖板的下表面处与所述安装块的上表面处相固定连接，所述竖板的端部定轴转动连接有旋轴，所述安装块的外表面处定轴转动连接有转管，所述转管的外表面处固定连接有齿轮二和锥形齿轮一，所述旋轴的外表面处固定连接有锥形齿轮二，所述锥形齿轮二的齿槽部与所述锥形齿轮一的尺寸部相啮合，所述锥形齿轮二的齿槽部啮合有锥形齿轮三，所述锥形齿轮三的上表面处固定连接有花键轴，所述花键轴的外表面处滑动套接有花键套，所述花键套的端部与所述石墨坩埚的下表面处相固定连接，所述锥形齿轮三、所述花键轴和所述石墨坩埚的下表面中心部均开设有供所述转管穿过且与之定轴转动连接的开口一，所述转管的端部与所述搅拌件的内侧可拆卸式连接，所述转管与所述搅拌件的连接处均开设有连通口，还包括通气部件。

可选的，所述滑动部件包括：

连接臂，所述连接臂的一端与所述旋轴的端部相固定连接，所述连接臂的另一端固定连接有滑柱，所述转杆的外表面处固定连接有连接板，所述连接板的外表面处开设有供所述滑柱穿过且供其滑动的滑槽。

可选的，所述往复机构包括：

连杆，所述连杆的一端与所述安装块的上表面处定轴转动连接，所述连杆的外表面处固定连接有齿轮三，所述连杆的另一端开设有往复螺槽，所述连杆通过所述往复螺槽螺纹连接有连接套，所述连接套的侧面处固定连接有支板，所述支板的上表面处开设有供所述花键套穿过且与之定轴转动连接的开口二。

可选的，所述通气部件包括：

空气加热设备，所述空气加热设备固定安装在所述加热壳的下表面处，所述空气加热设备的输入端处固定连通有软管，所述软管的端部与所述转管的下端定轴转动连接并与其相互连通。

可选的，所述稳定部件包括：

两个抵压件，两个所述抵压件的相背侧均固定连接有活塞杆，所述加热壳的侧面处固定安装有活塞筒，所述活塞杆的端部固定连接有活塞头，所述活塞头与所述活塞筒内壁的相对侧共同固定连接有弹簧一，还包括两个流通部件，所述坩埚盖的摆动方向朝向着所述抵压件的可移动方向。

可选的，所述流通部件包括：

进气管和出气管，所述进气管与所述出气管的内部均设置有单向阀，所述底座的上表面处固定连接有加热设备，所述加热设备的输出端与所述进气管相固定连通，所述出气管的端部与所述加热壳的侧面处相连通。

与现有技术相比，本发明的有益效果如下：

一、本发明通过驱动部件的运转，在传动机构的作用下，带动石墨坩埚与搅拌件进行同步反向转动，本运转机构具备了：能对碳化硅粉料进行均匀的混合和搅拌，避免出现混合不均的情况，还通过相对搅拌混合形式，可提高坩埚内碳化硅粉料不同区域处的加热情况，以避免出现死角处加热不均的情况，同时能进一步的提高碳化硅粉料加热的均匀性，从而提高后续碳化硅晶体生长的有效性和生长制备效率；还有通过空气加热设备和软管的作用下，能向着搅拌件输送高温热气，进而能实现从外部和内部的双重加热的形式，能对碳化硅粉料进行均匀和高效的加热，避免内部原料加热不均的情况出现。

二、本发明通过传动机构的运转，在滑动部件的作用下，带动石墨坩埚进行前后的持续摆动，本运转机构具备了：使石墨坩埚内的碳化硅粉料进行持续的翻转，进而能提高碳化硅粉料自身混合的程度，且还能提高碳化硅粉料的高温加热均匀程度，使得底部的粉料能进行翻转，进而能保证三代半导体的成型质量。

三、本发明通过驱动部件的运转，在往复机构的作用下，带动石墨坩埚进行竖向往复移动，本运转机构具备了：不仅能起到对碳化硅粉料搅拌混合的作用下，且能在高度方向上对碳化硅粉料进行往复扰动和晃动，可大幅度的提高碳化硅粉料的活跃程度，进而避免其在底面进行堆积而影响了加热效果，本方式在对碳化硅粉料竖向摇晃时，可进一步的提高碳化硅粉料的加热均匀程度。

四、本发明通过稳定部件的作用下，对石墨坩埚进行定位和限制，并能加快加热壳内的热气流动速度，本运转机构具备了：能起到对石墨坩埚进行预定位的效果，保证原料的正常投入和生产后原料的取出具有优良的稳定性；能在定位的同时通过弹性滑动的形式下，使得能向着加热壳内部输送热气，能在一定程度下提高加热壳内部的热气流动速度，避免出现加热不均匀的情况出现，进而提高热气分散的速度，保证了对碳化硅粉料的充分且均匀的加热，整体运转具有优良的联动性。

附图说明

图1为本发明结构的主视图；

图2为本发明坩埚盖处结构的示意图；

图3为本发明石墨坩埚处结构的示意图；

图4为本发明图3中A处结构的放大图；

图5为本发明图4中B处结构的放大图；

图6为本发明活塞筒处结构的示意图。图中：1、底座；2、加热壳；3、石墨坩埚；4、坩埚盖；5、搅拌件；6、安装块；7、转杆；8、支块；9、齿轮一；10、竖板；11、旋轴；12、转管；13、锥形齿轮三；14、花键轴；15、花键套；17、连接臂；18、滑柱；19、连接板；20、滑槽；21、连杆；22、往复螺槽；23、连接套；24、支板；25、空气加热设备；26、软管；27、抵压件；28、活塞杆；29、活塞筒；30、活塞头；31、弹簧一；32、进气管；33、出气管；34、单向阀；35、加热设备；36、加热块；37、齿轮二；38、锥形齿轮一；39、齿轮三；40、电机一；41、锥形齿轮二。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

实施例一：请参阅图1至图6，本实施提供一种技术方案：一种三代半导体用等静压石墨连续高温设备,包括：底座1、加热壳2、石墨坩埚3、坩埚盖4、搅拌件5、加热块36、驱动部件、传动机构和滑动部件。

更为具体的来说，在本实施例中：在实际使用时，首先将籽晶固定在坩埚盖4内，接着将碳化硅粉料放入到石墨坩埚3内，而碳化硅是一种三代半导体，然后将坩埚盖4与石墨坩埚3进行盖合，接着通过控制板操纵着加热块36进行运转，从而使得对石墨坩埚3的外表面处进行加热，然后控制一定的加热温度，使得碳化硅粉料分解成气相组分后在石墨坩埚3的内部轴向温度梯度下运输到籽晶处进行结晶，以制备出碳化硅晶体；

其中：本实施例中所使用的三代半导体为碳化硅，石墨坩埚3为等静压石墨坩埚，等静压石墨材料具有良好的热传导、热稳定性和化学惰性等性能，可保证碳化硅的高温反应环境并且不产生杂质，进而等静压石墨为制作坩埚不可替代的材料，进而通过石墨坩埚3对碳化硅晶体进行制备；

在制备的过程中，控制板会操纵着驱动部件进行运转，驱动部件会带动着传动机构和滑动部件进行同步运转，进而能带动着石墨坩埚3和搅拌件5进行同步反向转动，使得碳化硅粉末进行充分的混合以及充分且均匀的进行加热，且能在石墨坩埚3的外部和内部进行同步的加热，以提高碳化硅粉末内外的加热均匀程度，并且还能使得石墨坩埚3整体进行摇晃，进而能使得不同深度处的碳化硅粉末进行窜动和抖动，以避免原料的堆积并加速原料与热气接触，进而提升了均匀加热的效果。

值得注意的是，本实施例中还包括：往复机构和稳定部件。

更为具体的来说，在本实施例中：接着驱动部件会联动往复机构进行运转，往复机构会带动着碳化硅粉末进行竖向的往复移动，进而能使得内部的碳化硅粉末进行快速的抖动，使得不同区域处的粉末进行相互接触混合，使得底层的粉末翻转上来，以增大与热量的接触面积，进而能使得提高碳化硅的加热均匀程度，以保证碳化硅晶体的制备质量，并且稳定部件能提高石墨坩埚3的稳定性具有定位的效果，另一方面还能起到增大加热壳2内空气流动速度的作用，使得大幅度的提高碳化硅粉末的加热均匀性，以使得碳化硅晶体能正常且稳定的进行生长。

实施例二：在上述实施例的基础上：

请参阅图1、图3和图4，对实施例一中的驱动部件进行如下的公开，驱动部件包括：

安装块6，安装块6的侧面处固定连接有转杆7，转杆7的端部定轴转动连接有支块8，支块8的端部与加热壳2的内壁处相固定连接，安装块6的上表面处固定连接有电机一40，电机一40的转动部处固定连接有齿轮一9。

更为具体的来说，在本实施例中：在实际使用时，使用者在控制板上进行操作，控制板会操纵着电机一40进行转动，电机一40的转动部会带动着齿轮一9进行转动。

实施例三：在上述实施例的基础上：

请参阅图1、图2、图3、图4和图5，对实施例一中的传动机构进行如下的公开，传动机构包括：

竖板10，竖板10的下表面处与安装块6的上表面处相固定连接，竖板10的端部定轴转动连接有旋轴11，安装块6的外表面处定轴转动连接有转管12，转管12的外表面处固定连接有齿轮二37和锥形齿轮一38，旋轴11的外表面处固定连接有锥形齿轮二41，锥形齿轮二41的齿槽部与锥形齿轮一38的尺寸部相啮合，锥形齿轮二41的齿槽部啮合有锥形齿轮三13，锥形齿轮三13的上表面处固定连接有花键轴14，花键轴14的外表面处滑动套接有花键套15，花键套15的端部与石墨坩埚3的下表面处相固定连接，锥形齿轮三13、花键轴14和石墨坩埚3的下表面中心部均开设有供转管12穿过且与之定轴转动连接的开口一，转管12的端部与搅拌件5的内侧可拆卸式连接，转管12与搅拌件5的连接处均开设有连通口，空气加热设备25固定安装在加热壳2的下表面处，空气加热设备25的输入端处固定连通有软管26，软管26的端部与转管12的下端定轴转动连接并与其相互连通。

更为具体的来说，在本实施例中：通过齿轮一9的转动，在啮合连接下带动着齿轮二37和转管12进行转动，从而带动着锥形齿轮一38进行转动，在啮合传动下，带动着锥形齿轮二41、和锥形齿轮三13进行同步转动，且由于锥形齿轮二41设置在锥形齿轮一38与锥形齿轮三13之间且分别与锥形齿轮二41的上下端进行啮合连接，进而最终能使得转管12和花键轴14进行同步反向转动，在花键滑动配合下使得花键套15进行同步转动，最终能使得石墨坩埚3和其内部的搅拌件5进行同步反向转动，石墨坩埚3自身的正转能带动着碳化硅粉料整体进行转动，搅拌件5的反转能对正转的粉料进行不断的接触，从而一方面能再次对碳化硅粉料进行均匀的混合和搅拌，以避免出现混合不均的情况，另一方面通过相对搅拌混合的形式，能提高坩埚内碳化硅粉料不同区域处的加热情况，避免出现死角处加热不均的情况，进而可进一步的提高碳化硅粉料加热的均匀性，以提高后续碳化硅晶体生长的有效性和生长制备效率；

以及通过空气加热设备25和软管26的作用下，能向着搅拌件5输送高温热气，进而能实现从外部和内部的双重加热形式，能对碳化硅粉料进行均匀且高效的加热，避免内部原料加热不均的情况出现。

实施例四：在上述实施例的基础上：

请参阅图1、图3、图4和图5，对实施例一中的滑动部件进行如下的公开，滑动部件包括：

连接臂17，连接臂17的一端与旋轴11的端部相固定连接，连接臂17的另一端固定连接有滑柱18，转杆7的外表面处固定连接有连接板19，连接板19的外表面处开设有供滑柱18穿过且供其滑动的滑槽20。

更为具体的来说，在本实施例中：通过旋轴11的转动，带动着连接臂17进行转动，进而使得滑柱18以旋轴11为圆心进行公转，且滑柱18的公转直径小于连接板19上滑槽20的开口长度，进而使得滑柱18持续在滑槽20内进行转动，能带动着转杆7、安装块6、石墨坩埚3进行同步的摆动，进而使得石墨坩埚3内的碳化硅粉料进行持续的翻转，进而能提高碳化硅粉料自身的混合程度，还能提高碳化硅粉料的高温加热均匀程度，使得底部的粉料能进行翻转，进而能保证三代半导体的成型质量；

其中：安装块6上的部件均是以转杆7为圆心进行摆动的，而在转杆7和安装块6上的结构摆动的时候，结构与结构之间具有相互的静止关系，因此多个结构之间不会受到影响，进而不会出现滑齿等其他的情况，并且滑柱18始终处于滑槽20的内部，因此能保证摆动的持续稳定进行。

实施例五：在上述实施例的基础上：

请参阅图1、图2、图3和图4，对实施例一中的往复机构进行如下的公开，往复机构包括：

连杆21，连杆21的一端与安装块6的上表面处定轴转动连接，连杆21的外表面处固定连接有齿轮三39，连杆21的另一端开设有往复螺槽22，连杆21通过往复螺槽22螺纹连接有连接套23，连接套23的侧面处固定连接有支板24，支板24的上表面处开设有供花键套15穿过且与之定轴转动连接的开口二。

更为具体的来说，在本实施例中：通过齿轮一9的转动，在啮合传动下带动着齿轮三39、连杆21和往复螺槽22进行转动，通过螺纹传动关系下，会带动着花键套15进行向上移动或向下移动，最终能实现花键套15和其上的石墨坩埚3进行往复的竖向移动，从而能使得内部的碳化硅粉料加热更加的均匀；

本方式不仅能起到对碳化硅粉料搅拌混合的作用下，还能在高度方向上对碳化硅粉料进行往复扰动和晃动，进而能大幅度的提高碳化硅粉料的活跃程度，避免其在底面进行堆积而影响了加热效果，本方式在对碳化硅粉料竖向摇晃的时候，能进一步的提高碳化硅粉料的加热均匀程度，且与驱动部件相互连通联动，使得整体结构较为的紧凑，具有优良的联动性。

实施例六：在上述实施例的基础上：

请参阅图1、图2、图3和图6，对实施例一中的稳定部件进行如下的公开，稳定部件包括：

两个抵压件27，两个抵压件27的相背侧均固定连接有活塞杆28，加热壳2的侧面处固定安装有活塞筒29，活塞杆28的端部固定连接有活塞头30，活塞头30与活塞筒29内壁的相对侧共同固定连接有弹簧一31，进气管32与出气管33的内部均设置有单向阀34，底座1的上表面处固定连接有加热设备35，加热设备35的输出端与进气管32相固定连通，出气管33的端部与加热壳2的侧面处相连通，坩埚盖4的摆动方向朝向着所述抵压件27的可移动方向。

更为具体的来说，在本实施例中：通过两个抵压件27的弹性关系下，能起到对石墨坩埚3进行定位的作用，以避免出现石墨坩埚3意外偏转的情况，当石墨坩埚3开始摆动的时候，且石墨坩埚3的摆动方向与抵压件27的可滑动方向相同，因此会使得抵压件27朝向着活塞筒29进行收缩，进而使得活塞头30进行往复移动，从而使得活塞筒29内的压强发生变化，从而能通过进气管32抽取加热设备35制出的热气，然后经过活塞筒29和出气管33向着加热壳2的内部进行输出，从而能向着加热壳2的内部输送热气，随着加热壳2内部的热气增加，多余的气体可在加热壳2上开设出气口进行一定的放气，本方式具备了：

其一：能起到对石墨坩埚3进行预定位的效果，避免石墨坩埚3出现意外偏转的情况，以保证原料的正常投入和生产后原料的取出，具有优良的稳定性；

其二：能在定位的同时，通过弹性滑动的形式下，使得能向着加热壳2的内部输送热气，使得能在一定程度下，加快加热壳2内部的热气流动速度，以避免出现加热不均匀的情况出现，使得提高热气分散的速度，以保证对碳化硅粉料的充分且均匀的加热，且整体运转具有优良的联动性。

工作原理：该三代半导体用等静压石墨连续高温设备使用时，具有如下步骤：

步骤S1：在使用时，使用者将碳化硅粉末倒入到石墨坩埚3的内部，并在坩埚盖4的内部安装籽晶，然后将坩埚盖4盖在石墨坩埚3上，并关闭加热壳2；

步骤S2：使用者在控制板上进行操作，控制板会操纵着加热块36进行升温，对石墨坩埚3其内部的碳化硅粉料进行均匀加热，并且能同步操纵着驱动部件进行运转，驱动部件会带动着传动机构进行运转，从而能带动着碳化硅粉料和搅拌件5进行同步反向转动，使得对碳化硅粉末进行高效搅拌与混合，还能同步对石墨坩埚3的外部和内部进行同步加热，以提高碳化硅的加热均匀性程度；

步骤S3：同时的传动机构会操纵着滑动部件进行运转，滑动部件会带动着碳化硅粉末进行摇晃，进而能使得碳化硅粉末进行抖动和流动，以增大与热量的接触面积；

步骤S4：同时的驱动部件会操纵着往复机构进行运转，进而能使得碳化硅粉末进行竖向的往复移动，以达到翻转碳化硅粉末的作用，进一步充分且均匀的对碳化硅粉末进行加热，并且能联动稳定部件进行运转，以加快加热壳2内热气的流动速度，进而能使得对碳化硅粉末进行高效且均匀的加热；

步骤S5：当加热一定的时间后，使得碳化硅粉末分解并在籽晶的作用下进行梯度运输，从而制备出碳化硅晶体，然后当需要取出碳化硅晶体的时候，使用者打开加热壳2和坩埚盖4，接着拆下搅拌件5使用工具对碳化硅晶体进行收集。尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (3)

1.一种三代半导体用等静压石墨连续高温设备，其特征在于：包括：

底座（1）；

固定连接在所述底座（1）上表面处的加热壳（2），所述加热壳（2）的内壁处呈环形阵列分布的加热块（36）；

设置在所述加热壳（2）内部的石墨坩埚（3），所述石墨坩埚（3）的上表面处活动安装有坩埚盖（4）；

设置在所述石墨坩埚（3）内部的搅拌件（5）；

设置在所述加热壳（2）内部的驱动部件、传动机构、滑动部件、往复机构和稳定部件；

通过所述驱动部件的运转，在所述传动机构的作用下，带动所述石墨坩埚（3）与所述搅拌件（5）进行同步反向转动；

通过所述传动机构的运转，在所述滑动部件的作用下，带动所述石墨坩埚（3）进行前后的持续摆动；

通过所述驱动部件的运转，在所述往复机构的作用下，带动所述石墨坩埚（3）进行竖向往复移动；

通过所述稳定部件的作用下，对所述石墨坩埚（3）进行定位和限制，并能加快所述加热壳（2）内的热气流动速度；

所述驱动部件包括：

安装块（6），所述安装块（6）的侧面处固定连接有转杆（7），所述转杆（7）的端部定轴转动连接有支块（8），所述支块（8）的端部与所述加热壳（2）的内壁处相固定连接，所述安装块（6）的上表面处固定连接有电机一（40），所述电机一（40）的转动部处固定连接有齿轮一（9）；

所述传动机构包括：

竖板（10），所述竖板（10）的下表面处与所述安装块（6）的上表面处相固定连接，所述竖板（10）的端部定轴转动连接有旋轴（11），所述安装块（6）的外表面处定轴转动连接有转管（12），所述转管（12）的外表面处固定连接有齿轮二（37）和锥形齿轮一（38），所述旋轴（11）的外表面处固定连接有锥形齿轮二（41），所述锥形齿轮二（41）的齿槽部与所述锥形齿轮一（38）的尺寸部相啮合，所述锥形齿轮二（41）的齿槽部啮合有锥形齿轮三（13），所述锥形齿轮三（13）的上表面处固定连接有花键轴（14），所述花键轴（14）的外表面处滑动套接有花键套（15），所述花键套（15）的端部与所述石墨坩埚（3）的下表面处相固定连接，所述锥形齿轮三（13）、所述花键轴（14）和所述石墨坩埚（3）的下表面中心部均开设有供所述转管（12）穿过且与之定轴转动连接的开口一，所述转管（12）的端部与所述搅拌件（5）的内侧可拆卸式连接，所述转管（12）与所述搅拌件（5）的连接处均开设有连通口，还包括通气部件；

所述滑动部件包括：

连接臂（17），所述连接臂（17）的一端与所述旋轴（11）的端部相固定连接，所述连接臂（17）的另一端固定连接有滑柱（18），所述转杆（7）的外表面处固定连接有连接板（19），所述连接板（19）的外表面处开设有供所述滑柱（18）穿过且供其滑动的滑槽（20）；

所述往复机构包括：

连杆（21），所述连杆（21）的一端与所述安装块（6）的上表面处定轴转动连接，所述连杆（21）的外表面处固定连接有齿轮三（39），所述连杆（21）的另一端开设有往复螺槽（22），所述连杆（21）通过所述往复螺槽（22）螺纹连接有连接套（23），所述连接套（23）的侧面处固定连接有支板（24），所述支板（24）的上表面处开设有供所述花键套（15）穿过且与之定轴转动连接的开口二；

所述稳定部件包括：

两个抵压件（27），两个所述抵压件（27）的相背侧均固定连接有活塞杆（28），所述加热壳（2）的侧面处固定安装有活塞筒（29），所述活塞杆（28）的端部固定连接有活塞头（30），所述活塞头（30）与所述活塞筒（29）内壁的相对侧共同固定连接有弹簧一（31），还包括两个流通部件，所述坩埚盖（4）的摆动方向朝向着所述抵压件（27）的可移动方向。

2.根据权利要求1所述的三代半导体用等静压石墨连续高温设备，其特征在于：所述通气部件包括：

空气加热设备（25），所述空气加热设备（25）固定安装在所述加热壳（2）的下表面处，所述空气加热设备（25）的输入端处固定连通有软管（26），所述软管（26）的端部与所述转管（12）的下端定轴转动连接并与其相互连通。

3.根据权利要求1所述的三代半导体用等静压石墨连续高温设备，其特征在于：所述流通部件包括：进气管（32）和出气管（33），所述进气管（32）与所述出气管（33）的内部均设置有单向阀（34），所述底座（1）的上表面处固定连接有加热设备（35），所述加热设备（35）的输出端与所述进气管（32）相固定连通，所述出气管（33）的端部与所述加热壳（2）的侧面处相连通。