CN116786028A - 真空管道中真空设备分离过程防止烟气扩散的装置及方法 - Google Patents

真空管道中真空设备分离过程防止烟气扩散的装置及方法 Download PDF

Info

Publication number
CN116786028A
CN116786028A CN202210247749.0A CN202210247749A CN116786028A CN 116786028 A CN116786028 A CN 116786028A CN 202210247749 A CN202210247749 A CN 202210247749A CN 116786028 A CN116786028 A CN 116786028A
Authority
CN
China
Prior art keywords
suction
vacuum
pipeline
pressure controller
automatic pressure
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN202210247749.0A
Other languages
English (en)
Inventor
刘钟埈
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Chengdu Gaozhen Technology Co ltd
Original Assignee
Chengdu Gaozhen Technology Co ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Chengdu Gaozhen Technology Co ltd filed Critical Chengdu Gaozhen Technology Co ltd
Priority to CN202210247749.0A priority Critical patent/CN116786028A/zh
Publication of CN116786028A publication Critical patent/CN116786028A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J3/00—Processes of utilising sub-atmospheric or super-atmospheric pressure to effect chemical or physical change of matter; Apparatus therefor
    • B01J3/006—Processes utilising sub-atmospheric pressure; Apparatus therefor
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D47/00—Separating dispersed particles from gases, air or vapours by liquid as separating agent
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J3/00—Processes of utilising sub-atmospheric or super-atmospheric pressure to effect chemical or physical change of matter; Apparatus therefor
    • B01J3/002—Component parts of these vessels not mentioned in B01J3/004, B01J3/006, B01J3/02 - B01J3/08; Measures taken in conjunction with the process to be carried out, e.g. safety measures
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08—CLEANING
    • B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B15/00—Preventing escape of dirt or fumes from the area where they are produced; Collecting or removing dirt or fumes from that area
    • B08B15/04—Preventing escape of dirt or fumes from the area where they are produced; Collecting or removing dirt or fumes from that area from a small area, e.g. a tool
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67017—Apparatus for fluid treatment

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)

Abstract

本发明公开了真空管道中真空设备分离过程防止烟气扩散的装置及方法，涉及半导体制造技术领域，其技术方案要点是：包括以真空管道依次连接的反应室、自动压力控制器、门阀、真空泵和洗涤器，所述自动压力控制器两侧的真空管道与真空泵的输入端之间设有第一抽吸管路；自动压力控制器的外侧与真空泵的输入端之间设有第二抽吸管路；当自动压力控制器拆卸后，关闭门阀，并同时开启第一抽吸管路、第二抽吸管路进行粉尘抽吸工作。本发明能够同时从内外两点对扩散的粉尘进行抽吸处理，既有效降低了粉尘扩散到外部环境的速率和量，又使得内外两点抽吸工作能够有效降低洗涤器处理的抽吸总量，延长了洗涤器的使用寿命。

Description

真空管道中真空设备分离过程防止烟气扩散的装置及方法
技术领域
本发明涉及半导体制造技术领域，更具体地说，它涉及真空管道中真空设备分离过程防止烟气扩散的装置及方法。
背景技术
半导体制造的chanmber反应室，可以控制气体氛围和电磁场氛围，以满足等离子反应、离子注入、成膜等需要在特定的反应环境中才能完成操作。现有的反应室一般配置有自动压力控制器APC，APC对反应室的内部气压进行调控，而随着APC的不断使用，反应室内的粉尘附着在APC内会降低APC的调控精度，为此需要时常对APC进行更换或维护。
APC更换时，反应室所在的真空管道从压力模式PM变成大气模式ATM，APC拆卸后的空置部分直接与大气接触，原来的真空管道中的粉尘会不断向外扩展，从而污染环境。为了有效阻止粉尘污染环境，部分操作人员选择在APC拆卸后的空置处安装抽吸装置，以有效阻止粉尘污染环境。
然而，空置处安装的抽吸装置的吸力作用下会提高粉尘的扩散速度，虽然大部分粉尘能够抽吸处理，但仍有部分的粉尘进入大气环境中，其粉尘防止扩散的效率有待提升；此外，抽吸装置的吸力作用下会增加抽吸量，导致粉尘处理的洗涤器处理负荷增大，降低了洗涤器的使用寿命。因此，如何研究设计一种能够克服上述缺陷的真空管道中真空设备分离过程防止烟气扩散的装置及方法是我们目前急需解决的问题。
发明内容
为解决现有技术中的不足，本发明的目的是提供真空管道中真空设备分离过程防止烟气扩散的装置及方法。
本发明的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：
第一方面，提供了真空管道中真空设备分离过程防止烟气扩散的装置，包括以真空管道依次连接的反应室、自动压力控制器、门阀、真空泵和洗涤器，所述自动压力控制器两侧的真空管道与真空泵的输入端之间设有第一抽吸管路；
自动压力控制器的外侧与真空泵的输入端之间设有第二抽吸管路；
当自动压力控制器拆卸后，关闭门阀，并同时开启第一抽吸管路、第二抽吸管路进行粉尘抽吸工作。
进一步的，所述第一抽吸管路包括主管道、第一支管和第二支管；
主管道一端与真空泵的输入端连接，另一端与第一支管、第二支管的一端连接；
第一支管、第二支管的另一端分别与自动压力控制器两侧的真空管道连接；
第一支管、第二支管的管路均设有开关阀，主管道的管路设有第一流量调节阀。
进一步的，所述第二抽吸管路包括第二流量调节阀、挠性管和抽吸盘，抽吸盘通过挠性管和第二流量调节阀与真空泵的输入端连接，抽吸盘布置在自动压力控制器的外侧。
第二方面，提供了真空管道中真空设备分离过程防止烟气扩散的方法，该真空管道依次布设有反应室、自动压力控制器、门阀、真空泵和洗涤器，包括以下步骤：
在自动压力控制器两侧的真空管道与真空泵的输入端之间布设第一抽吸管路；
在自动压力控制器的外侧与真空泵的输入端之间布设第二抽吸管路；
当自动压力控制器拆卸后，关闭门阀，并同时开启第一抽吸管路、第二抽吸管路进行粉尘抽吸工作。
进一步的，所述第一抽吸管路的抽吸流量依据真空管道内的粉尘浓度值确定。
进一步的，所述第一抽吸管路的抽吸流量确定过程具体为：
通过粉尘浓度传感器实时监测真空管道至少一处的粉尘浓度值；
根据粉尘浓度值匹配得到在大气压强和常温下的扩散系数；
根据真空管道的截面积与扩散系数计算得到单位时间内的扩散体积，并以单位时间内的扩散体积作为第一抽吸管路的抽吸流量。
进一步的，所述第二抽吸管路的抽吸流量依据真空管道内部与自动压力控制器拆卸后的空置处的压差以及第一抽吸管路的抽吸流量确定。
进一步的，所述第二抽吸管路的抽吸流量确定过程具体为：
根据真空管道内部与自动压力控制器拆卸后的空置处的压差分析得到理论气体流量；
以第一抽吸管路的抽吸流量与理论气体流量的差值作为第二抽吸管路的抽吸流量。
与现有技术相比，本发明具有以下有益效果：
1、本发明提供出的真空管道中真空设备分离过程防止烟气扩散的装置及方法，通过在自动压力控制器两侧的真空管道与真空泵的输入端之间布设第一抽吸管路，以及在自动压力控制器的外侧与真空泵的输入端之间布设第二抽吸管路，能够同时从内外两点对扩散的粉尘进行抽吸处理，既有效降低了粉尘扩散到外部环境的速率和量，又使得内外两点抽吸工作能够有效降低洗涤器处理的抽吸总量，延长了洗涤器的使用寿命；
2、本发明通过第一支管、第二支管的开关阀可以灵活控制自动压力控制器拆卸后的空置处两侧的抽吸状态，并结合第一流量调节阀和第二流量调节阀，可灵活调控内外两点在同一时间的抽吸量；
3、本发明依据真空管道内的粉尘浓度值实时确定第一抽吸管路的抽吸流量，能够随着抽吸进程而适应性调整内部的抽吸量，有效降低了抽吸操作的工作量；
4、本发明依据真空管道内部与自动压力控制器拆卸后的空置处的压差以及第一抽吸管路的抽吸流量确定第二抽吸管路的抽吸流量，一方面可随着第一抽吸管路的抽吸流量变少而降低抑制第一抽吸管路对空置处的抽吸，另一方面可随着粉尘浓度值而降低第二抽吸管路本身的抽吸量，使得第一抽吸管路、第二抽吸管路的抽吸流量动态平衡。
附图说明
此处所说明的附图用来提供对本发明实施例的进一步理解，构成本申请的一部分，并不构成对本发明实施例的限定。在附图中：
图1是本发明实施例中的工作原理图。
附图中标记及对应的零部件名称：
1、反应室；2、自动压力控制器；3、门阀；4、真空泵；5、主管道；6、第一支管；7、第二支管；8、第一流量调节阀；9、开关阀；10、第二流量调节阀；11、挠性管；12、抽吸盘；13、洗涤器。
具体实施方式
为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚明白，下面结合实施例和附图，对本发明作进一步的详细说明，本发明的示意性实施方式及其说明仅用于解释本发明，并不作为对本发明的限定。
需说明的是，当部件被称为“固定于”或“设置于”另一个部件，它可以直接在另一个部件上或者间接在该另一个部件上。当一个部件被称为是“连接于”另一个部件，它可以是直接或者间接连接至该另一个部件上。
需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
实施例1：真空管道中真空设备分离过程防止烟气扩散的装置，如图1所示，包括以真空管道依次连接的反应室1、自动压力控制器2、门阀3、真空泵4和洗涤器13，自动压力控制器2两侧的真空管道与真空泵4的输入端之间设有第一抽吸管路。自动压力控制器2的外侧与真空泵4的输入端之间设有第二抽吸管路。当自动压力控制器2拆卸后，关闭门阀3，并同时开启第一抽吸管路、第二抽吸管路进行粉尘抽吸工作。
本发明通过在自动压力控制器2两侧的真空管道与真空泵4的输入端之间布设第一抽吸管路，以及在自动压力控制器2的外侧与真空泵4的输入端之间布设第二抽吸管路，能够同时从内外两点对扩散的粉尘进行抽吸处理，既有效降低了粉尘扩散到外部环境的速率和量，又使得内外两点抽吸工作能够有效降低洗涤器13处理的抽吸总量，延长了洗涤器13的使用寿命。
第一抽吸管路包括主管道5、第一支管6和第二支管7；主管道5一端与真空泵4的输入端连接，另一端与第一支管6、第二支管7的一端连接；第一支管6、第二支管7的另一端分别与自动压力控制器2两侧的真空管道连接；第一支管6、第二支管7的管路均设有开关阀9，主管道5的管路设有第一流量调节阀8。
第二抽吸管路包括第二流量调节阀10、挠性管11和抽吸盘12，抽吸盘12通过挠性管11和第二流量调节阀10与真空泵4的输入端连接，抽吸盘12布置在自动压力控制器2的外侧。
本发明通过第一支管6、第二支管7的开关阀9可以灵活控制自动压力控制器2拆卸后的空置处两侧的抽吸状态，并结合第一流量调节阀8和第二流量调节阀10，可灵活调控内外两点在同一时间的抽吸量。
实施例2：真空管道中真空设备分离过程防止烟气扩散的方法，如图1所示，该真空管道依次布设有反应室1、自动压力控制器2、门阀3、真空泵4和洗涤器13，在自动压力控制器2两侧的真空管道与真空泵4的输入端之间布设第一抽吸管路；在自动压力控制器2的外侧与真空泵4的输入端之间布设第二抽吸管路；当自动压力控制器2拆卸后，关闭门阀3，并同时开启第一抽吸管路、第二抽吸管路进行粉尘抽吸工作。
第一抽吸管路的抽吸流量依据真空管道内的粉尘浓度值确定。
第一抽吸管路的抽吸流量确定过程具体为：通过粉尘浓度传感器实时监测真空管道至少一处的粉尘浓度值；根据粉尘浓度值匹配得到在大气压强和常温下的扩散系数；根据真空管道的截面积与扩散系数计算得到单位时间内的扩散体积，并以单位时间内的扩散体积作为第一抽吸管路的抽吸流量。需要说明的是，扩散系数可采用实验进行预选测定；此外，扩散体积、扩散系数之间的转换计算已有相关技术。
第二抽吸管路的抽吸流量依据真空管道内部与自动压力控制器2拆卸后的空置处的压差以及第一抽吸管路的抽吸流量确定。压差可采用压差传感器进行采集。
第二抽吸管路的抽吸流量确定过程具体为：根据真空管道内部与自动压力控制器2拆卸后的空置处的压差分析得到理论气体流量；以第一抽吸管路的抽吸流量与理论气体流量的差值作为第二抽吸管路的抽吸流量。需要说明的是，理论气体流量为仅考虑气体流量而达到压差时所对应的气体流量。
工作原理：本发明通过在自动压力控制器2两侧的真空管道与真空泵4的输入端之间布设第一抽吸管路，以及在自动压力控制器2的外侧与真空泵4的输入端之间布设第二抽吸管路，能够同时从内外两点对扩散的粉尘进行抽吸处理，既有效降低了粉尘扩散到外部环境的速率和量，又使得内外两点抽吸工作能够有效降低洗涤器13处理的抽吸总量，延长了洗涤器13的使用寿命。
以上所述的具体实施方式，对本发明的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本发明的具体实施方式而已，并不用于限定本发明的保护范围，凡在本发明的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (8)

1.真空管道中真空设备分离过程防止烟气扩散的装置，包括以真空管道依次连接的反应室(1)、自动压力控制器(2)、门阀(3)、真空泵(4)和洗涤器(13)，其特征是，所述自动压力控制器(2)两侧的真空管道与真空泵(4)的输入端之间设有第一抽吸管路；
自动压力控制器(2)的外侧与真空泵(4)的输入端之间设有第二抽吸管路；
当自动压力控制器(2)拆卸后，关闭门阀(3)，并同时开启第一抽吸管路、第二抽吸管路进行粉尘抽吸工作。
2.根据权利要求1所述的真空管道中真空设备分离过程防止烟气扩散的装置，其特征是，所述第一抽吸管路包括主管道(5)、第一支管(6)和第二支管(7)；
主管道(5)一端与真空泵(4)的输入端连接，另一端与第一支管(6)、第二支管(7)的一端连接；
第一支管(6)、第二支管(7)的另一端分别与自动压力控制器(2)两侧的真空管道连接；
第一支管(6)、第二支管(7)的管路均设有开关阀(9)，主管道(5)的管路设有第一流量调节阀(8)。
3.根据权利要求1所述的真空管道中真空设备分离过程防止烟气扩散的装置，其特征是，所述第二抽吸管路包括第二流量调节阀(10)、挠性管(11)和抽吸盘(12)，抽吸盘(12)通过挠性管(11)和第二流量调节阀(10)与真空泵(4)的输入端连接，抽吸盘(12)布置在自动压力控制器(2)的外侧。
4.真空管道中真空设备分离过程防止烟气扩散的方法，该真空管道依次布设有反应室(1)、自动压力控制器(2)、门阀(3)、真空泵(4)和洗涤器(13)，其特征是，包括以下步骤：
在自动压力控制器(2)两侧的真空管道与真空泵(4)的输入端之间布设第一抽吸管路；
在自动压力控制器(2)的外侧与真空泵(4)的输入端之间布设第二抽吸管路；
当自动压力控制器(2)拆卸后，关闭门阀(3)，并同时开启第一抽吸管路、第二抽吸管路进行粉尘抽吸工作。
5.根据权利要求4所述的真空管道中真空设备分离过程防止烟气扩散的方法，其特征是，所述第一抽吸管路的抽吸流量依据真空管道内的粉尘浓度值确定。
6.根据权利要求5所述的真空管道中真空设备分离过程防止烟气扩散的方法，其特征是，所述第一抽吸管路的抽吸流量确定过程具体为：
通过粉尘浓度传感器实时监测真空管道至少一处的粉尘浓度值；
根据粉尘浓度值匹配得到在大气压强和常温下的扩散系数；
根据真空管道的截面积与扩散系数计算得到单位时间内的扩散体积，并以单位时间内的扩散体积作为第一抽吸管路的抽吸流量。
7.根据权利要求4所述的真空管道中真空设备分离过程防止烟气扩散的方法，其特征是，所述第二抽吸管路的抽吸流量依据真空管道内部与自动压力控制器(2)拆卸后的空置处的压差以及第一抽吸管路的抽吸流量确定。
8.根据权利要求7所述的真空管道中真空设备分离过程防止烟气扩散的方法，其特征是，所述第二抽吸管路的抽吸流量确定过程具体为：
根据真空管道内部与自动压力控制器(2)拆卸后的空置处的压差分析得到理论气体流量；
以第一抽吸管路的抽吸流量与理论气体流量的差值作为第二抽吸管路的抽吸流量。
CN202210247749.0A 2022-03-14 2022-03-14 真空管道中真空设备分离过程防止烟气扩散的装置及方法 Pending CN116786028A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202210247749.0A CN116786028A (zh) 2022-03-14 2022-03-14 真空管道中真空设备分离过程防止烟气扩散的装置及方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202210247749.0A CN116786028A (zh) 2022-03-14 2022-03-14 真空管道中真空设备分离过程防止烟气扩散的装置及方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN116786028A true CN116786028A (zh) 2023-09-22

Family

ID=88045446

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202210247749.0A Pending CN116786028A (zh) 2022-03-14 2022-03-14 真空管道中真空设备分离过程防止烟气扩散的装置及方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN116786028A (zh)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN207350692U (zh) 基于科学实验室内的智能通风系统
CN116786028A (zh) 真空管道中真空设备分离过程防止烟气扩散的装置及方法
KR100567433B1 (ko) 반도체제조장비의 오염가스 배출 장치
CN112267104A (zh) 一种化学气相沉积法制备薄膜装置
CN211177301U (zh) 一种余风量压差串级控制器
JP2000140609A (ja) 減圧設備における不活性ガスの循環供給方法及び装置
US6244120B1 (en) Apparatus and method for counting number of particles present in compressed air, and method of constructing compressed-air cleaning system
KR100940788B1 (ko) 반도체소자 제조설비의 배기덕트용 배기활성장치
SE0001994L (sv) Anordning för avluftning av ett transmissionshus
CN115274504A (zh) 半导体设备气体输送箱及半导体设备
CN113685731B (zh) 一种具有除尘功能的气体分配装置及其使用方法
CN219309633U (zh) 一种半导体湿法工艺的废气处理装置
CN217178805U (zh) 间歇性排风压差调节装置
CN221033125U (zh) 一种无油真空泵
CN217932512U (zh) 一种低真空压力调节系统
CN217873184U (zh) 抽真空系统
CN208848862U (zh) 半导体装置
CN218321622U (zh) 一种用于低压气相沉积的抽气装置
CN210604076U (zh) 采样盘
CN213901336U (zh) 一种负压密封的手术室层流送风天花
CN215597612U (zh) 一种实验室分区自动变频通风系统
CN210573445U (zh) 一种应用于纳升级多样品自动加样器的温湿度控制系统
CN210883491U (zh) 一种高真空样品杆存储仪
CN220017025U (zh) 一种半导体工艺设备的排气装置及半导体工艺设备
CN220149658U (zh) 传输腔回填管路机构和半导体工艺设备

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination