CN116081295B - 插取片机构 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及硅片技术领域,具体提供了一种插取片机构,包括:龙门架、加工工位、第一吸料组件、第二吸料组件,加工工位包括第一工位和第二工位;第一吸料组件和第二吸料组件相对设置,第一吸料组件和第二吸料组件均移动设置于龙门架上,第一吸料组件被配置为用于将第一工位上处于第一状态下的产品送至第二工位;第二吸料组件被配置为用于将第二工位上处于第二状态下的产品送至第一工位。本发明通过相对设置的第一吸料组件和第二吸料组件,能够同时对第一工位和第二工位上产品进行位置交换,同时完成两个工位上产品的插取动作,大大提高了生产效率,从而满足产能需求。
Description
技术领域
本发明涉及硅片技术领域,特别涉及插取片机构。
背景技术
花篮是硅片运输过程中的重要工具,而石英舟是装载硅片进入工艺设备进行烧结或镀膜等工艺的重要工具。如今随着硅片加工工艺要求要来越高,其产能要求也越来越高,原有插取片机构采取单个的吸盘插取片的方式,原有插取片机构是先将花篮内硅片转运到石英舟内,待硅片反应完成后再将硅片从石英舟内转运到花篮内完成下料,单个的吸盘插取片的方式生产效率较低,该效率已经无法满足产能需求。
发明内容
本发明提供了插取片机构,用以解决背景技术提出的:原有插取片机构采取单个的吸盘插取片的方式,此方式生产效率较低,该效率已经无法满足产能需求的技术问题。
为解决上述技术问题,本发明公开了插取片机构,包括:
龙门架;
加工工位,加工工位包括第一工位和第二工位;
第一吸料组件,第一吸料组件移动设置于龙门架上,第一吸料组件被配置为用于将第一工位上处于第一状态下的产品送至第二工位;
第二吸料组件,第二吸料组件移动设置于龙门架上,且第二吸料组件与第一吸料组件相对设置,第二吸料组件被配置为用于将第二工位上处于第二状态下的产品送至第一工位。
优选的,龙门架包括相对设置的高龙门架和矮龙门架,高龙门架和矮龙门架高低错开设置,第一吸料组件通过平移组件一连接在高龙门架上,第二吸料组件通过平移组件二连接在矮龙门架上。
优选的,第一工位上设置有第一定位移动工装和第一顶升组件,第一定位移动工装上放置有第一载具,第一载具上装载有处于第一状态下的产品,第一顶升组件用于将产品引入或顶出第一载具;
第二工位上设置有第二定位移动工装和第二顶升组件,第二定位移动工装上放置有第二载具,第二载具上装载有处于第二状态下的产品,第二顶升组件用于将产品引入或顶出第二载具。
优选的,第二顶升组件包括:升降模组一,升降模组一的升降端连接有支撑架,支撑架上连接有顶齿;
第一顶升组件包括:升降模组二,升降模组二的升降端连接有安装板三,安装板三连接有支撑机构,支撑机构包括若干左右间隔布置的支撑组件,一个支撑组件对应一个第一定位移动工装;
支撑组件包括:左右间隔布置的若干顶齿安装侧板,顶齿安装侧板与安装板三固定连接,每个支撑组件的左右相邻的顶齿安装侧板之间通过支撑杆及筋板连接,顶齿安装侧板顶端设置定位齿。
优选的,第二定位移动工装包括移动定位组,移动定位组包括移动组一和定位组一,移动组一上设置定位组一;
移动组一包括移动导轨一,移动导轨一的移动方向为前后方向,定位组一包括安装板一和若干定位分组,安装板一连接在移动导轨一的移动端,安装板一上设置若干定位分组;
定位分组包括:
两个左右间隔的固定架一,固定架一固定连接在安装板一上端;
转轴,转轴转动连接在两个固定架一之间,转轴的第一端贯穿一个固定架一,转轴的第一端固定连接转臂上部;
气缸一,气缸一的缸体转动连接在安装板一上,气缸一的推杆与转臂下部转动连接;
翻转底板,翻转底板一侧与转轴固定连接;
两组夹紧侧板,两组夹紧侧板左右间隔的连接在翻转底板上;
压紧组件,压紧组件连接在两组夹紧侧板之间。
优选的,第一定位移动工装包括移动组二和定位组二,移动组二的移动端连接有定位组二;
移动组二包括移动导轨二,移动导轨二的移动方向为前后方向,定位组二包括:
安装板二,安装板二连接在移动导轨二的移动端,安装板二上设置若干组左右间隔布置的定位机构二;
定位机构二包括前后对称的两组定位结构,定位结构包括:左右间隔布置两个第一载具定位板,第一载具定位板与安装板二固定连接,两个第一载具定位板之间外侧连接有气缸二,气缸二的缸体与安装板二连接,气缸二的推杆连接有气缸挡板。
优选的,第一吸料组件和第二吸料组件均包括:吸盘移栽组件和吸盘组件,吸盘移栽组件与高龙门架或矮龙门架连接,吸盘移栽组件带动吸盘组件在高龙门架或矮龙门架上进行上下移动。
优选的,第一定位移动工装的下料侧设置多功能处理装置,多功能处理装置包括固定座、皮带传送组件、固定箱,固定座上端连接有皮带传送组件和固定箱,皮带传送组件贯穿固定箱左右两侧,固定箱内连接有:
传动组件,传动组件转动安装于固定箱的侧壁;
散热器件,散热器件与传动组件连接,传动组件用于带动散热器件水平移动;
驱动组件,驱动组件用于驱动传动组件转动,以带动散热器件水平移动;
水平隔板,水平隔板左右两端分别与固定箱左右两侧内壁固定连接;
若干组左右间隔布置的第一辅助组,第一辅助组包括:摆动杆、除尘辊、连接轮和升降组件,摆动杆通过前后方向的转轴与水平隔板前侧转动连接,除尘辊连接在摆动杆左下端,连接轮连接在摆动杆右上端;连接轮上连接有硅片检测器件,升降组件作用于连接轮,以使硅片检测器件下降至与产品表面接触;升降组件由驱动组件驱动升降。
优选的,多功能处理装置还包括分选收集组件,分选收集组件连接在固定座上端,且分选收集组件位于固定箱右侧,分选收集组件包括:第二竖直电动伸缩杆、第二驱动件、主动齿轮、从动齿轮、支撑座,第二竖直电动伸缩杆的固定端与固定座上端转动连接,第二竖直电动伸缩杆的固定端上固定套接有从动齿轮,固定座上端还连接有第二驱动件,第二驱动件的输出轴上固定连接主动齿轮,主动齿轮与从动齿轮啮合,支撑座固定连接在第二竖直电动伸缩杆的伸缩端;支撑座左右侧对称设置安装凹槽,安装凹槽内可拆卸安装有收集座,收集座与安装凹槽形状匹配,收集座远离第二竖直电动伸缩杆的轴线的一侧开口;
硅片检测器件、驱动组件、第二驱动件、皮带传送组件分别与控制器电连接,控制器电连接显示器。
优选的,固定箱右侧还固定连接有连接箱,连接箱下侧及右侧开口,连接箱左侧下端设置进入口,连接箱内连接有两组前后对称的调位及标记组件,调位及标记组件包括:
齿轮架、传动齿轮,齿轮架连接在连接箱的前侧内壁或后侧内壁,齿轮架上转动连接有传动齿轮,齿轮架上连接有第三驱动件,第三驱动件用于驱动传动齿轮旋转;
移动块,移动块沿着左右方向与连接箱上端内壁滑动连接,移动块上设置齿条,齿条与传动齿轮啮合,前后相对的移动块左部的相互靠近的一侧设置斜面;前后相对的斜面的左侧之间的距离,大于前后相对的斜面的右侧之间的距离;
伸缩驱动件、限位块,伸缩驱动件嵌设在移动块内,伸缩驱动件的伸缩方向为前后方向,伸缩驱动件的伸缩端固定连接限位块,限位块的左右两侧均设置弹性轮;
连接滑块,连接滑块与连接箱的左侧内壁沿着前后方向滑动连接,连接滑块与连接箱的内壁之间固定连接第三弹簧,连接滑块设置球状凸起,球状凸起与斜面接触。
与现有技术相比,本发明的有益效果为:
1、通过相对设置的第一吸料组件和第二吸料组件,能够同时对第一工位和第二工位上产品进行位置交换,同时完成两个工位上产品的插取动作,大大提高了生产效率,从而满足产能需求。
2、双龙门机构方式产能可提高接近一倍,一组龙门吸盘插取片机构在第一定位移动工装处从第一载具内取硅片时,另一组龙门吸盘插取片机构可在第二定位移动工装放硅片到第二载具,两组龙门吸盘插取片机构可以同时工作,第二定位移动工装和第二定位移动工装处取放片动作交替运行。
3、两组龙门架,一组为高龙门架一组为矮龙门架,面对面、高低错开方式布置,第一吸料组件和第二吸料组件在龙门架上左右移动工作不会干涉。
4、相比较原始的单个龙门吸盘插取片机构,能在其它机构数量不变的情况下,只增加一组龙门吸盘插取片机构,即可让产能提升接近一倍。(增加最小的成本实现产能的翻倍)。
本发明解决了背景技术提出的:原有插取片机构采取单个的吸盘插取片的方式,此方式生产效率较低,该效率已经无法满足产能需求的技术问题。
下面通过附图和实施例,对本发明的技术方案做进一步的详细描述。
附图说明
附图用来提供对本发明的进一步理解,并且构成说明书的一部分,与本发明的实施例一起用于解释本发明,并不构成对本发明的限制。在附图中:
图1为本发明的整体的主视结构示意图。
图2为本发明的整体的左视结构示意图。
图3为图2中A处的放大示意图。
图4为图2中B处的放大示意图。
图5为图2中C处的放大示意图。
图6为本发明的第二定位移动工装的结构示意图一。
图7为本发明的第二定位移动工装的结构示意图二。
图8为本发明的第一定位移动工装的结构示意图一。
图9为本发明的第一定位移动工装的结构示意图二。
图10为本发明的第一顶升组件的结构示意图二。
图11为本发明的第一顶升组件的结构示意图二。
图12为本发明的第二顶升组件的结构示意图。
图13为本发明的花篮的结构示意图。
图14为本发明的石英舟的结构示意图。
图15为本发明的吸盘移栽组件的结构示意图。
图16为本发明的辅助机构的结构示意图。
图17为本发明的多功能处理装置的主视结构示意图。
图18为图17中连接箱的内部俯视图。
图中:1、高龙门架;2、矮龙门架;3、第一吸料组件;31、吸盘组件;32、吸盘移栽组件;4、第二吸料组件;5、第二定位移动工装;51、移动导轨一;52、安装板一;53、固定架一;54、转轴;55、气缸一;56、翻转底板;57、压紧组件;58、转臂;59、夹紧侧板;510、定位组一;511、定位分组;6、第一定位移动工装;61、移动导轨二;62、安装板二;63、第一载具定位板;64、气缸二;65、气缸挡板;66、光电传感器;67、倍加福传感器;68、定位机构二;7、第一顶升组件;71、升降模组二;72、顶齿安装侧板;73、支撑杆;74、筋板;75、定位齿;76、调节螺栓;77、调节块;78、安装板三;79、支撑组件;8、第二顶升组件;81、升降模组一;82、支撑架;83、顶齿;9、第一载具;10、第二载具;11、平移组件一;12、平移组件二;13、辅助机构;131、n形架;132、竖向套筒;133、第一竖向柱;134、第一弹簧;135、第一滑块;136、第一连接杆;137、竖向滑杆;138、限位板;139、第二弹簧;1310、竖向滑孔;1311、第一竖直电动伸缩杆;14、多功能处理装置;141、皮带传送组件;142、固定箱;143、左水平螺纹杆;144、右水平螺纹杆;145、第二锥齿轮;146、第三锥齿轮;147、左螺纹滑块;148、右螺纹滑块;149、散热器件;1410、第一电机;1411、竖向轴;1412、第一锥齿轮;1413、水平隔板;1414、摆动杆;1415、除尘辊;1416、连接轮;1417、第二竖直电动伸缩杆;1418、第二驱动件;1419、主动齿轮;1420、支撑座;1421、安装凹槽;1422、收集座;1423、驱动架;1424、竖向驱动杆;1425、螺纹杆;1426、固定座;15、连接箱;151、进入口;16、调位及标记组件;161、齿轮架;162、传动齿轮;163、移动块;164、齿条;165、斜面;166、伸缩驱动件;167、限位块;168、弹性轮;169、连接滑块;1610、球状凸起;1611、标记笔。
具体实施方式
以下结合附图对本发明的优选实施例进行说明,应当理解,此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本发明,并不用于限定本发明。
另外,在本发明中如涉及“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的,并非特别指称次序或顺位的意思,亦非用以限定本发明,其仅仅是为了区别以相同技术用语描述的组件或操作而已,而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此,限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。另外,各个实施例之间的技术方案以及技术特征可以相互结合,但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础,当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在,也不在本发明要求的保护范围之内。
实施例1:本发明实施例提供了插取片机构,如图1-图15所示,包括:
龙门架;
加工工位,加工工位包括第一工位和第二工位;
第一吸料组件3,第一吸料组件3移动设置于龙门架上,第一吸料组件3被配置为用于将第一工位上处于第一状态下的产品送至第二工位;
第二吸料组件4,第二吸料组件4移动设置于龙门架上,且第二吸料组件4与第一吸料组件3相对设置,第二吸料组件4被配置为用于将第二工位上处于第二状态下的产品送至第一工位。
需要理解的是,上述的产品指的是硅片,第一状态下的产品指的是未工艺的硅片,第二状态下的产品指的是已工艺的硅片。
优选的,龙门架包括相对设置的高龙门架1和矮龙门架2,高龙门架1和矮龙门架2高低错开设置,第一吸料组件3通过平移组件一11连接在高龙门架1上,第二吸料组件4通过平移组件二12连接在矮龙门架2上。
优选的,第一工位上设置有第一定位移动工装6和第一顶升组件7,第一定位移动工装6上放置有第一载具9,第一载具9上装载有处于第一状态下的产品,第一顶升组件7用于将产品引入或顶出第一载具9;第二工位上设置有第二定位移动工装5和第二顶升组件8,第二定位移动工装5上放置有第二载具10,第二载具10上装载有处于第二状态下的产品,第二顶升组件8用于将产品引入或顶出第二载具10。上述的第一载具9为花篮,第二载具10为石英舟。
优选的,第一吸料组件3和第二吸料组件4均包括:吸盘移栽组件32和吸盘组件31,吸盘移栽组件32与高龙门架1或矮龙门架2连接,吸盘移栽组件32带动吸盘组件31在高龙门架1或矮龙门架2上进行上下移动。吸盘移栽组件32可为丝杠升降机或者为其他的升降机构。
第一定位移动工装6和第二定位移动工装5可如图所示,左右间隔布置。
本申请是通过设置两组龙门吸盘插取片机构方式(高龙门架1和第一吸料组件3的组合;矮龙门架2和第二吸料组件4的组合),且龙门架中高龙门架1和矮龙门架2高低错开,使第一吸料组件3和第二吸料组件4在龙门架上移动不会相互干涉。不仅在光伏领域应用广泛,其它领域同样适用。
现有的单个龙门吸盘插取片的方式产能已到极限,仍不能满足要求,此发明要解决的问题在于使用两组龙门吸盘插取片机构,特点在于龙门吸盘插取片机构高低错开,面对面放置,运行时两组龙门吸盘插取片机构不会相互干涉。两组龙门吸盘插取片机构同时运行工作,产能将提升将近一倍。
插取片机构的工作原理如下:
步骤1:将装满未工艺硅片的第一载具9放置到第一定位移动工装6内,将第一载具9定位后,第一定位移动工装6带动第一载具9移动到第一顶升组件7上方;同时,装满已工艺硅片的第二载具10在第二定位移动工装5内移动到第二顶升组件8上方;
步骤2:第一顶升组件7向上移动将第一载具9内的未工艺硅片顶起;同时,第二顶升组件8向上移动将第二载具10内的已工艺硅片顶起;
步骤3:第一吸料组件3向下移动将第一载具9内被顶起的未工艺硅片取出,第一吸料组件3再向上移动回到原始位;同时,第二吸料组件4向下移动将第二载具10内被顶起的已工艺硅片取出,第二吸料组件4再向上移动回到原始位;
步骤4:取完未工艺硅片的第一吸料组件3通过平移组件一11在高龙门架1上移动到第二定位移动工装5上方,然后将未工艺的硅片放到第二顶升组件8的顶齿83上,通过第二顶升组件8的向下移动,未工艺硅片被放到第二载具10内;同时,取完已工艺硅片的第二吸料组件4通过平移组件二12在矮龙门架2上移动到第一定位移动工装6上方,然后将已工艺硅片放到第一顶升组件7的定位齿75上,通过第一顶升组件7向下移动,已工艺硅片被放到第一载具9内;
步骤5:通过第二定位移动工装5将装满未工艺硅片的第二载具10移动至工艺设备的未工艺硅片上料位,通过工艺设备对未工艺硅片工艺;通过第一定位移动工装6将装满已工艺硅片的第一载具9移动至已工艺硅片存放处;
步骤6:步骤1-步骤5重复运行,从而实现硅片上下料模式的循环运行。
上述技术方案的有益效果为:
1、通过相对设置的第一吸料组件和第二吸料组件,能够同时对第一工位和第二工位上产品进行位置交换,同时完成两个工位上产品的插取动作,大大提高了生产效率,从而满足产能需求。
2、双龙门机构方式产能可提高接近一倍,一组龙门吸盘插取片机构在第一定位移动工装6处从第一载具9内取硅片时,另一组龙门吸盘插取片机构可在第二定位移动工装5放硅片到第二载具10,两组龙门吸盘插取片机构可以同时工作,第一定位移动工装6和第二定位移动工装5处取放片动作交替运行。
3、两组龙门架,一组为高龙门架1一组为矮龙门架2,面对面、高低错开方式布置,第一吸料组件3和第二吸料组件4在龙门架上左右移动工作不会干涉。
4、相比较原始的单个龙门吸盘插取片机构,能在其它机构数量不变的情况下,只增加一组龙门吸盘插取片机构,即可让产能提升接近一倍。(增加最小的成本实现产能的翻倍)。
本发明解决了背景技术提出的:原有插取片机构采取单个的吸盘插取片的方式,此方式生产效率较低,该效率已经无法满足产能需求的技术问题。
实施例2,在实施例1的基础上,如图10-图12所示,第二顶升组件8包括:升降模组一81,升降模组一81的升降端连接有支撑架82,支撑架82上连接有顶齿83;
第一顶升组件7包括:升降模组二71,升降模组二71的升降端连接有安装板三78,安装板三78连接有支撑机构,支撑机构包括若干左右间隔布置的支撑组件79,一个支撑组件79对应一个第一定位移动工装6;
支撑组件79包括:左右间隔布置的若干顶齿安装侧板72(图11示出的为2组顶齿安装侧板72),顶齿安装侧板72与安装板三78固定连接,每个支撑组件的左右相邻的顶齿安装侧板72之间通过支撑杆73及筋板74连接,顶齿安装侧板72顶端设置定位齿75。
升降模组一81和升降模组二71均可采用现有技术。
其中,第二顶升组件8可设置为两组或多组;第一顶升组件7可设置为两组或多组;
可选的,如图10所示,顶齿安装侧板72上固定设置调节块77,调节块77上螺纹连接有调节螺栓76,可通过调节螺栓76连接定位齿75。
上述技术方案的工作原理和有益效果为:升降模组一81升降带动支撑架82及顶齿83升降,可通过顶齿83顶起硅片,或者通过顶齿83将硅片放下,使得硅片限位在第二载具10内;升降模组二71升降带动安装板三78升降,从而支撑组件79升降,可通过定位齿75顶起硅片,或者通过定位齿75将硅片放下,使得硅片限位在第一载具9内;左右相邻的顶齿安装侧板72之间通过支撑杆73及筋板74连接,提升了定位齿75的支撑稳定性。
实施例3,在实施例1或2的基础上,如图6-图7所示,第二定位移动工装5包括移动定位组,移动定位组包括移动组一和定位组一,移动组一上设置定位组一;
移动组一包括移动导轨一51,移动导轨一51的移动方向为前后方向,定位组一510包括安装板一52和若干定位分组511,安装板一52连接在移动导轨一51的移动端,安装板一52上设置若干定位分组511;
定位分组511包括:
两个左右间隔的固定架一53,固定架一53固定连接在安装板一52上端;
转轴54,转轴54转动连接在两个固定架一53之间,转轴54的第一端贯穿一个固定架一53,转轴54的第一端固定连接转臂58上部;
气缸一55,气缸一55的缸体转动连接在安装板一52上,气缸一55的推杆与转臂58下部转动连接;
翻转底板56,翻转底板56一侧与转轴54固定连接;
两组夹紧侧板59,两组夹紧侧板59左右间隔的连接在翻转底板56上;
压紧组件57,压紧组件57连接在两组夹紧侧板59之间。
压紧组件57可采用现有的夹紧/压紧组件,此处对应为实现前后方向的压紧;如可参照下述气缸二64和气缸挡板65配合夹紧。
上述技术方案的工作原理和有益效果为:移动导轨一51可带动定位组一510移动,可将装满已工艺硅片的第二载具10移动到第二顶升组件8上方,或者将装满未工艺硅片的第二载具10移动至工艺设备的未工艺硅片上料位,通过工艺设备对未工艺硅片工艺;
第二载具10放置到两组夹紧侧板59之间实现左右方向的限位,通过压紧组件57对第二载具10进行前后压紧,以上实现了第二载具10的可靠限位;可控制气缸一55伸缩,通过转臂58带动翻转底板56运动,可对翻转底板56进行翻转,可便于将第二载具10内的硅片进行上下料。
实施例4,在实施例1-3中任一项的基础上,如图8-图9所示,第一定位移动工装6包括移动组二和定位组二,移动组二的移动端连接有定位组二;
移动组二包括移动导轨二61,移动导轨二61的移动方向为前后方向,定位组二包括:
安装板二62,安装板二62连接在移动导轨二61的移动端,安装板二62上设置若干组左右间隔布置的定位机构二68;
定位机构二68包括前后对称的两组定位结构,定位结构包括:左右间隔布置两个第一载具定位板63,第一载具定位板63与安装板二62固定连接,两个第一载具定位板63之间外侧连接有气缸二64,气缸二64的缸体与安装板二62连接,气缸二64的推杆连接有气缸挡板65。
优选的,安装板一52上连接有光电传感器66,气缸挡板65上连接有倍加福传感器67。
移动导轨二61可为现有电动移动导轨。
上述技术方案的工作原理和有益效果为:移动导轨二61可带动定位组二移动,可将装满未工艺硅片的第一载具9移动至第一顶升组件7处,或者将装满已工艺硅片的第一载具9移动至已工艺硅片存放处;
定位机构二68包括前后对称的两组定位结构,且定位结构包括左右间隔布置两个第一载具定位板63,通过第一载具定位板63可将第一载具9左右方向进行限位,四组第一载具定位板63实现对第一载具9前部的左右方向,及后部的左右方向可靠限位;然后控制气缸二64伸长带动对应的气缸挡板65靠近第一载具9,通过前后相对的两个气缸挡板65可对第一载具9前后方向可靠限位,且可控制气缸二64伸长的距离以对不同尺寸的第一载具9限位。
通过设置光电传感器66,以实现对安装板二62的位置的检测,便于根据检测值控制移动导轨二61,实现对安装板二62的可靠定位;倍加福传感器67实现对气缸挡板65对第一载具9的压力的检测,便于根据检测值控制气缸二64,保证对第一载具9(花篮)的可靠夹紧。
实施例5,在实施例1-4中任一项的基础上,如图16所示,吸盘组件31通过辅助机构13与吸盘移栽组件32连接,辅助机构13包括:
n形架131,n形架131上端与吸盘移栽组件32的升降端固定连接;
竖向套筒132,竖向套筒132上端固定连接在n形架131上端内壁;
第一竖向柱133,第一竖向柱133沿着上下方向滑动连接在竖向套筒132内,第一竖向柱133与竖向套筒132上端内壁之间固定连接有第一弹簧134,吸盘组件31固定安装在第一竖向柱133下端;
两组左右对称的辅助组件,辅助组件包括:第一滑块135、第一连接杆136、竖向滑杆137、限位板138,第一滑块135上端与n形架131上端内壁沿着左右方向滑动连接,第一连接杆136两端分别与第一滑块135及第一竖向柱133铰接,第一滑块135下端设置竖向凹槽,竖向滑杆137沿着上下方向滑动连接在竖向凹槽内,竖向滑杆137与竖向凹槽上端内壁之间固定连接有第二弹簧139,限位板138固定连接在竖向滑杆137下端,限位板138靠近吸盘组件31的一侧设置竖向滑孔1310;
第一竖直电动伸缩杆1311,左右侧的限位板138中至少一个限位板138对应有一个第一竖直电动伸缩杆1311,第一竖直电动伸缩杆1311位于竖向滑孔1310内,第一竖直电动伸缩杆1311的固定端与吸盘组件31固定连接。
其中,本发明也可再设置两组前后对称的辅助组件。
上述技术方案的工作原理和有益效果为:
1、n形架131上端与吸盘移栽组件32的升降端固定连接,当吸盘移栽组件32带动吸盘组件31下降至待吸取硅片放置面时,启动吸盘组件31通过吸盘组件31吸取硅片,在吸盘组件31和硅片的重力下,第一竖向柱133和第一连接杆136呈现如图16所示状态,此时限位板138上端内侧部分限位在硅片下方,避免在吸盘组件31平移的过程中由于吸盘自身气压稳定性等问题导致硅片从吸盘组件31坠落;
2、当吸盘组件31位于硅片下料面正上方时,控制吸盘组件31下降使得硅片靠近硅片下料面;首先控制第一竖直电动伸缩杆1311向下伸长,使得第一竖直电动伸缩杆1311下端首先与硅片下料面接触,吸盘移栽组件32继续下降则第一竖直电动伸缩杆1311、吸盘组件31、第一竖向柱133向上移动,则左右两个第一连接杆136带动两个第一滑块135相互远离,使得限位板138停止对硅片下方限位;然后控制第一竖直电动伸缩杆1311收缩(可使得第一竖直电动伸缩杆1311下端与限位板138下端齐平,或第一竖直电动伸缩杆1311下端位于限位板138下端上方),吸盘移栽组件32继续下降则限位板138与硅片下料面接触,吸盘移栽组件32再继续下降则限位板138向上运动使得第二弹簧139压缩,至硅片接触硅片下料面,然后控制吸盘组件31停止吸附硅片,实现将硅片下料至硅片下料面。
3、对硅片吸取后移动过程中,通过吸盘组件31和硅片的重力带动限位板138对硅片限位时,不需要电能,只有放料时需要短时间控制第一竖直电动伸缩杆1311工作,节省了电能。
实施例6,在实施例1-5中任一项的基础上,如图17所示,第一定位移动工装6的下料侧设置多功能处理装置14,多功能处理装置14包括固定座1426、皮带传送组件141、固定箱142,固定座1426上端连接有皮带传送组件141和固定箱142,皮带传送组件141贯穿固定箱142左右两侧,固定箱142内连接有:
传动组件,传动组件转动安装于固定箱142的侧壁;
散热器件149,散热器件149与传动组件连接,传动组件用于带动散热器件149水平移动;
驱动组件,驱动组件用于驱动传动组件转动,以带动散热器件149水平移动;
水平隔板1413,水平隔板1413左右两端分别与固定箱142左右两侧内壁固定连接;
若干组左右间隔布置的第一辅助组,第一辅助组包括:摆动杆1414、除尘辊1415、连接轮1416和升降组件,摆动杆1414通过前后方向的转轴与水平隔板1413前侧转动连接,除尘辊1415连接在摆动杆1414左下端,连接轮1416连接在摆动杆1414右上端;连接轮1416上连接有硅片检测器件,升降组件作用于连接轮1416,以使硅片检测器件下降至与产品表面接触;升降组件由驱动组件驱动升降。
优选的,传动组件包括左水平螺纹杆143、右水平螺纹杆144,左水平螺纹杆143与固定箱142左侧内壁转动连接,右水平螺纹杆144与固定箱142右侧内壁转动连接,左水平螺纹杆143右端设置第二锥齿轮145,右水平螺纹杆144左端设置第三锥齿轮146,左水平螺纹杆143上螺纹连接有左螺纹滑块147,右水平螺纹杆144上螺纹连接有右螺纹滑块148,左螺纹滑块147下端和右螺纹滑块148下端均连接有散热器件149;
驱动组件包括:第一电机1410,第一电机1410固定安装在固定箱142上端内壁,第一电机1410的输出轴固定连接有竖向轴1411,竖向轴1411固定套接有第一锥齿轮1412,第一锥齿轮1412分别与第二锥齿轮145、第三锥齿轮146啮合;
升降组件包括:螺纹杆1425、驱动架1423和竖向驱动杆1424,竖向轴1411内下部螺纹连接螺纹杆1425,螺纹杆1425下端固定连接驱动架1423,驱动架1423对应每个连接轮1416的正上方均设置有竖向驱动杆1424。
其中,本发明的散热器件可为散热风扇,或者为其他的用于通过吹风冷却的散热器件,除尘辊为现有除尘辊(如可参照 CN208712429U)。硅片检测器件为现有的硅片检测器件/装置,本发明的硅片检测器件可为力传感器(压力传感器,型号可为SBT674-10N)。
优选的,多功能处理装置14还包括分选收集组件,分选收集组件连接在固定座1426上端,且分选收集组件位于固定箱142右侧,分选收集组件包括:第二竖直电动伸缩杆1417、第二驱动件1418、主动齿轮1419、从动齿轮、支撑座1420,第二竖直电动伸缩杆1417的固定端与固定座1426上端转动连接,第二竖直电动伸缩杆1417的固定端上固定套接有从动齿轮,固定座1426上端还连接有第二驱动件1418,第二驱动件1418的输出轴上固定连接主动齿轮1419,主动齿轮1419与从动齿轮啮合,支撑座1420固定连接在第二竖直电动伸缩杆1417的伸缩端;支撑座1420左右侧对称设置安装凹槽1421,安装凹槽1421内可拆卸安装有收集座1422,收集座1422与安装凹槽1421形状匹配,收集座1422远离第二竖直电动伸缩杆1417的轴线的一侧开口;
硅片检测器件、驱动组件、第二驱动件1418、皮带传送组件141分别与控制器电连接,控制器电连接显示器。
第二驱动件1418可为第二电机。
上述技术方案的工作原理和有益效果为:
1、第一定位移动工装6将已工艺的硅片移动至第一定位移动工装6的下料侧,然后将硅片放置到皮带传送组件141的左上端,通过皮带传送组件141将已工艺硅片传送至固定箱142内,在除尘辊1415的重力作用下,除尘辊1415初始位置如图17所示,实现除尘辊1415与已工艺硅片上端接触,通过除尘辊1415对已工艺硅片表面进行除尘,固定箱142内多个除尘辊1415的设置实现同时对多个已工艺硅片除尘;
2、当固定箱142内已工艺的硅片数量与除尘辊1415数量相同,且已工艺硅片位于除尘辊1415下端且除尘完毕时,控制皮带传送组件141停止工作;然后且控制第一电机1410转动及控制散热器件149工作,第一电机1410带动第一锥齿轮1412转动,通过第二锥齿轮145、第三锥齿轮146分别与第一锥齿轮1412啮合,从而左水平螺纹杆143和右水平螺纹杆144旋转,从而左螺纹滑块147和右螺纹滑块148均沿着左右方向运动,带动左侧的散热器件149和右侧的散热器件149沿着左右方向运动,从而扩大散热器件149的散热范围,可同时对固定箱142内多个已工艺硅片散热,且由于除尘辊1415对相应的已工艺硅片有限位作用,从而避免在散热器件149的风力作用下导致已工艺硅片在皮带传送组件141上位置出现偏离;
3、该实施例中硅片检测器件可为间隔嵌设在连接轮1416下端的多个力传感器(压力传感器),通过控制第一电机1410转动带动螺纹杆1425向下移动,螺纹杆1425带动驱动架1423及竖向驱动杆1424向下移动,至竖向驱动杆1424下压对应的连接轮1416,使得力传感器检测与硅片的接触压力,并将检测结果发送至控制器,通过显示器显示检测结果,将力传感器检测值与预设值进行比较,以判断硅片表面是否平整。
4、最终已工艺硅片通过皮带传送组件141右端输出,当输出的为合格的已工艺硅片时,控制第二驱动件1418工作,通过主动齿轮1419和从动齿轮的啮合,带动第二竖直电动伸缩杆1417和支撑座1420旋转,使得用于收集合格的已工艺硅片的收集座1422位于左侧,使得合格的已工艺硅片直接进入用于收集合格的已工艺硅片的收集座1422内;当输出的为不合格的已工艺硅片时,控制第二驱动件1418工作,带动支撑座1420旋转,使得用于收集不合格的已工艺硅片的收集座1422位于左侧,使得不合格的已工艺硅片直接进入用于收集不合格的已工艺硅片的收集座1422内,实现将不合格的已工艺硅片与合格的已工艺硅片分类收集;
5、且可控制第二竖直电动伸缩杆1417向下收缩,实现在每个收集座1422内收集多个已工艺硅片;最终当收集座1422满了之后控制第二驱动件1418转动,使得收集座1422呈现出前后相对,便于取出收集座1422;上述自动收集多个已工艺硅片后再取出收集座1422,减少了人为从收集座1422取已工艺硅片的时间。
实施例7,在实施例6的基础上,如图17-图18所示,固定箱142右侧还固定连接有连接箱15,连接箱15下侧及右侧开口,连接箱15左侧下端设置进入口151,连接箱15内连接有两组前后对称的调位及标记组件16,调位及标记组件16包括:
齿轮架161、传动齿轮162,齿轮架161连接在连接箱15的前侧内壁或后侧内壁,齿轮架161上转动连接有传动齿轮162,齿轮架161上连接有第三驱动件,第三驱动件用于驱动传动齿轮162旋转;
移动块163,移动块163沿着左右方向与连接箱15上端内壁滑动连接,移动块163上设置齿条164,齿条164与传动齿轮162啮合,前后相对的移动块163左部的相互靠近的一侧设置斜面165;前后相对的斜面165的左侧之间的距离,大于前后相对的斜面165的右侧之间的距离;
伸缩驱动件166、限位块167,伸缩驱动件166嵌设在移动块163内,伸缩驱动件166的伸缩方向为前后方向,伸缩驱动件166的伸缩端固定连接限位块167,限位块167的左右两侧均设置弹性轮168;
连接滑块169,连接滑块169与连接箱15的左侧内壁沿着前后方向滑动连接,连接滑块169与连接箱15的内壁之间固定连接第三弹簧,连接滑块169设置球状凸起1610,球状凸起1610与斜面165接触。
伸缩驱动件166可为液压缸或气缸或电动伸缩杆;第三驱动件可为第三电机;
上述技术方案的工作原理和有益效果为:
1、将固定箱142内硅片通过皮带传送组件141输出固定箱142后,通过进入口151进入连接箱15内,前后侧的标记笔1611分别用于标记合格的已工艺硅片和不合格的已工艺硅片;可根据需要控制对应的第三驱动件转动,第三驱动件带动传动齿轮162转动,使得移动块163向左移动,从而通过斜面165与球状凸起1610的作用,使得对应的标记笔1611靠近已工艺硅片,对已工艺硅片进行标记;通过标记避免后续对合格的已工艺硅片及不合格的已工艺硅片弄混;
3、标记完成后已工艺硅片继续向右移动,此时控制两个伸缩驱动件166伸长带动对应的限位块167靠近已工艺硅片,最终使得已工艺硅片夹持限位在四个弹性轮168之间;夹紧已工艺硅片后,控制两个第三驱动件同时工作,带动两个移动块163同时向右运动,当已工艺硅片至皮带传送组件141上端右侧靠近边缘位置,控制伸缩驱动件166收缩,实现将已工艺硅片继续放置皮带传送组件141的皮带上端右侧靠近边缘位置,由皮带传送组件141将已工艺硅片推入收集座1422内;上述由于限位块167的限位保证了已工艺硅片输送至皮带上端右侧靠近边缘位置时,已工艺硅片的前后方向位置准确,保证了已工艺硅片可靠进入收集座1422。四个弹性轮168的设置实现对已工艺硅片的可靠限位,且避免损伤已工艺硅片。
显然,本领域的技术人员可以对本发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样,倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内,则本发明也意图包含这些改动和变型在内。
Claims (8)
1.插取片机构,其特征在于,包括:
龙门架,龙门架包括相对设置的高龙门架(1)和矮龙门架(2),高龙门架(1)和矮龙门架(2)高低错开设置;
加工工位,加工工位包括第一工位和第二工位;
第一吸料组件(3),第一吸料组件(3)移动设置于龙门架上,第一吸料组件(3)被配置为用于将第一工位上处于第一状态下的产品送至第二工位;
第二吸料组件(4),第二吸料组件(4)移动设置于龙门架上,且第二吸料组件(4)与第一吸料组件(3)相对设置,第二吸料组件(4)被配置为用于将第二工位上处于第二状态下的产品送至第一工位;
第一工位上设置有第一定位移动工装(6)和第一顶升组件(7),第一定位移动工装(6)上放置有第一载具(9),第一载具(9)上装载有处于第一状态下的产品,第一顶升组件(7)用于将产品引入或顶出第一载具(9);
第二工位上设置有第二定位移动工装(5)和第二顶升组件(8),第二定位移动工装(5)上放置有第二载具(10),第二载具(10)上装载有处于第二状态下的产品,第二顶升组件(8)用于将产品引入或顶出第二载具(10);
第一吸料组件(3)和第二吸料组件(4)均包括:吸盘移栽组件(32)和吸盘组件(31),所述吸盘移栽组件(32)与所述高龙门架(1)或矮龙门架(2)连接,所述吸盘移栽组件(32)带动吸盘组件(31)在所述高龙门架(1)或矮龙门架(2)上进行上下移动;
所述第一状态为未工艺状态,所述第二状态为已工艺状态;
第一定位移动工装(6)的下料侧设置多功能处理装置(14),多功能处理装置(14)包括固定座(1426)、皮带传送组件(141)、固定箱(142),固定座(1426)上端连接有皮带传送组件(141)和固定箱(142),皮带传送组件(141)贯穿固定箱(142)左右两侧,固定箱(142)内连接有:
水平隔板(1413),水平隔板(1413)左右两端分别与固定箱(142)左右两侧内壁固定连接;
若干组左右间隔布置的第一辅助组,第一辅助组包括:摆动杆(1414)、除尘辊(1415)、连接轮(1416)和升降组件,摆动杆(1414)通过前后方向的转轴与水平隔板(1413)前侧转动连接,除尘辊(1415)连接在摆动杆(1414)左下端,连接轮(1416)连接在摆动杆(1414)右上端;连接轮(1416)上连接有硅片检测器件,升降组件作用于连接轮(1416),以使硅片检测器件下降至与产品表面接触;升降组件由驱动组件驱动升降。
2.根据权利要求1所述的插取片机构,其特征在于,第一吸料组件(3)通过平移组件一(11)连接在高龙门架(1)上,第二吸料组件(4)通过平移组件二(12)连接在矮龙门架(2)上。
3.根据权利要求1所述的插取片机构,其特征在于,第二顶升组件(8)包括:升降模组一(81),升降模组一(81)的升降端连接有支撑架(82),支撑架(82)上连接有顶齿(83);
第一顶升组件(7)包括:升降模组二(71),升降模组二(71)的升降端连接有安装板三(78),安装板三(78)连接有支撑机构,支撑机构包括若干左右间隔布置的支撑组件(79),一个支撑组件(79)对应一个第一定位移动工装(6);
支撑组件(79)包括:左右间隔布置的若干顶齿安装侧板(72),顶齿安装侧板(72)与安装板三(78)固定连接,每个支撑组件的左右相邻的顶齿安装侧板(72)之间通过支撑杆(73)及筋板(74)连接,顶齿安装侧板(72)顶端设置定位齿(75)。
4.根据权利要求1所述的插取片机构,其特征在于,第二定位移动工装(5)包括移动定位组,移动定位组包括移动组一和定位组一,移动组一上设置定位组一;
移动组一包括移动导轨一(51),移动导轨一(51)的移动方向为前后方向,定位组一(510)包括安装板一(52)和若干定位分组(511),安装板一(52)连接在移动导轨一(51)的移动端,安装板一(52)上设置若干定位分组(511);
定位分组(511)包括:
两个左右间隔的固定架一(53),固定架一(53)固定连接在安装板一(52)上端;
转轴(54),转轴(54)转动连接在两个固定架一(53)之间,转轴(54)的第一端贯穿一个固定架一(53),转轴(54)的第一端固定连接转臂(58)上部;
气缸一(55),气缸一(55)的缸体转动连接在安装板一(52)上,气缸一(55)的推杆与转臂(58)下部转动连接;
翻转底板(56),翻转底板(56)一侧与转轴(54)固定连接;
两组夹紧侧板(59),两组夹紧侧板(59)左右间隔的连接在翻转底板(56)上;
压紧组件(57),压紧组件(57)连接在两组夹紧侧板(59)之间。
5.根据权利要求1所述的插取片机构,其特征在于,第一定位移动工装(6)包括移动组二和定位组二,移动组二的移动端连接有定位组二;
移动组二包括移动导轨二(61),移动导轨二(61)的移动方向为前后方向,定位组二包括:
安装板二(62),安装板二(62)连接在移动导轨二(61)的移动端,安装板二(62)上设置若干组左右间隔布置的定位机构二(68);
定位机构二(68)包括前后对称的两组定位结构,定位结构包括:左右间隔布置两个第一载具定位板(63),第一载具定位板(63)与安装板二(62)固定连接,两个第一载具定位板(63)之间外侧连接有气缸二(64),气缸二(64)的缸体与安装板二(62)连接,气缸二(64)的推杆连接有气缸挡板(65)。
6.根据权利要求1所述的插取片机构,其特征在于,所述固定箱(142)内还连接有:
传动组件,传动组件转动安装于固定箱(142)的侧壁;
散热器件(149),散热器件(149)与传动组件连接,传动组件用于带动散热器件(149)水平移动;
驱动组件,驱动组件用于驱动传动组件转动,以带动散热器件(149)水平移动。
7.根据权利要求1所述的插取片机构,其特征在于,多功能处理装置(14)还包括分选收集组件,分选收集组件连接在固定座(1426)上端,且分选收集组件位于固定箱(142)右侧,分选收集组件包括:第二竖直电动伸缩杆(1417)、第二驱动件(1418)、主动齿轮(1419)、从动齿轮、支撑座(1420),第二竖直电动伸缩杆(1417)的固定端与固定座(1426)上端转动连接,第二竖直电动伸缩杆(1417)的固定端上固定套接有从动齿轮,固定座(1426)上端还连接有第二驱动件(1418),第二驱动件(1418)的输出轴上固定连接主动齿轮(1419),主动齿轮(1419)与从动齿轮啮合,支撑座(1420)固定连接在第二竖直电动伸缩杆(1417)的伸缩端;支撑座(1420)左右侧对称设置安装凹槽(1421),安装凹槽(1421)内可拆卸安装有收集座(1422),收集座(1422)与安装凹槽(1421)形状匹配,收集座(1422)远离第二竖直电动伸缩杆(1417)的轴线的一侧开口;
硅片检测器件、驱动组件、第二驱动件(1418)、皮带传送组件(141)分别与控制器电连接,控制器电连接显示器。
8.根据权利要求1所述的插取片机构,其特征在于,固定箱(142)右侧还固定连接有连接箱(15),连接箱(15)下侧及右侧开口,连接箱(15)左侧下端设置进入口(151),连接箱(15)内连接有两组前后对称的调位及标记组件(16),调位及标记组件(16)包括:
齿轮架(161)、传动齿轮(162),齿轮架(161)连接在连接箱(15)的前侧内壁或后侧内壁,齿轮架(161)上转动连接有传动齿轮(162),齿轮架(161)上连接有第三驱动件,第三驱动件用于驱动传动齿轮(162)旋转;
移动块(163),移动块(163)沿着左右方向与连接箱(15)上端内壁滑动连接,移动块(163)上设置齿条(164),齿条(164)与传动齿轮(162)啮合,前后相对的移动块(163)左部的相互靠近的一侧设置斜面(165);前后相对的斜面(165)的左侧之间的距离,大于前后相对的斜面(165)的右侧之间的距离;
伸缩驱动件(166)、限位块(167),伸缩驱动件(166)嵌设在移动块(163)内,伸缩驱动件(166)的伸缩方向为前后方向,伸缩驱动件(166)的伸缩端固定连接限位块(167),限位块(167)的左右两侧均设置弹性轮(168);
连接滑块(169),连接滑块(169)与连接箱(15)的左侧内壁沿着前后方向滑动连接,连接滑块(169)与连接箱(15)的内壁之间固定连接第三弹簧,连接滑块(169)设置球状凸起(1610),球状凸起(1610)与斜面(165)接触。
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