CN116038924A - 一种具有排气结构的半导体片加工专用定位加工台 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及半导体片加工技术领域，且公开了一种具有排气结构的半导体片加工专用定位加工台，包括加工箱，所述加工箱内部设置有清理机构、移动机构和两个夹持机构，两个所述夹持机构对称设置，两个所述夹持机构均位于移动机构下方，所述清理机构位于移动机构下方；所述清理机构包括收集部和清理部。通过清理机构，对加工箱中具有排气结构的半导体片加工时产生粉尘和废料进行清理，避免粉尘和废料应该加工台的定位使用，提高该加工台对具有排气结构的半导体片的加工环境；通过移动机构，对加工台的水平位置进行调节，方便加工台的定位使用，提高该具有排气结构的半导体片加工专用定位加工台使用时定位的精准性。

Description

一种具有排气结构的半导体片加工专用定位加工台
技术领域
本发明涉及半导体片加工技术领域，具体为一种具有排气结构的半导体片加工专用定位加工台。
背景技术
半导体制冷片，也叫热电制冷片，是一种热泵，它的优点是没有滑动部件，应用在一些空间受到限制，可靠性要求高，无制冷剂污染的场合。在半导体片进行加工时都需要对其进行定位来实现快速加工，需要用到专用的定位加工台。
为了解决半导体片加工用定位加工台的问题，中国专利发布了一种半导体片加工专用定位加工台，公开号为CN109686691A，包括支撑架和加工板，本装置在加工板前端设置有定位装置，启动定位装置内的电动推杆推动内部横杆使得活动杆运动，活动杆能使得滚轮在滑槽内进行滑动，最后实现两组活动杆对顶板的推起，在顶板顶部的固定装置则能对半导体片进行快速稳定的固定，高度的提升效果好，效率高，安装稳定性强；在加工板顶部后端设置有调节装置，手握手轮进行转动，即可带动传动箱内齿轮传动，使得丝杆转动，丝杆在转动的过程中能使得滚珠轴承转动，在滚珠轴承转动时能使得锁定板使得顶部的滑动板转动，最后能使得顶部的加工设备位置得到调节，调节方便，快速，方便快捷；
但是现有装置还存在以下问题：半导体在加工台切割加工后，会产生粉尘和废料，不及时清理会影响加工台的定位使用和加工环境。因此，提出一种具有排气结构的半导体片加工专用定位加工台。
发明内容
本发明的目的在于提供一种具有排气结构的半导体片加工专用定位加工台，以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种具有排气结构的半导体片加工专用定位加工台，包括加工箱，所述加工箱内部设置有清理机构、移动机构和两个夹持机构，两个所述夹持机构对称设置，两个所述夹持机构均位于移动机构下方，所述清理机构位于移动机构下方；
所述清理机构包括收集部和清理部；
所述收集部包括收集箱、第一斜板和第二斜板收集箱顶面固定贯穿加工箱底面延伸至加工箱内部，所述第一斜板位于第二斜板左上侧，所述第一斜板左侧面与收集箱内部左侧面固定连接，所述第二斜板右侧面与收集箱内部右侧面固定连接，所述第一斜板和第二斜板前后侧面均与收集箱内部前后侧面固定连接；
所述清理部包括抽风箱、第一电机、转动杆、风扇、第一过滤网和第二过滤网，所述第一电机位于抽风箱右侧，所述风扇位于抽风箱内部。
优选的，所述收集箱左侧面铰接有收集箱门，收集箱门方便对收集箱中收集的粉尘和废料进行清理。
优选的，所述抽风箱左侧面固定贯穿收集箱右侧面延伸至收集箱内部，所述抽风箱左侧面与第一过滤网右侧面固定连接，所述第一电机左侧面与抽风箱右侧面固定连接，所述第一电机输出杆左端面贯穿抽风箱右侧面延伸至抽风箱内部，第一电机为风扇的转动提供动力。
优选的，所述第一电机输出杆左端面与转动杆右端面固定连接，所述转动杆左端面与风扇右端面固定连接，所述风扇叶片为反转叶片，通过风扇为反转叶片将加工箱中的粉尘和杂质吸出。
优选的，所述抽风箱底面贯通开设有出风口，所述第二过滤网设置在出风口内部，第二过滤网可以防止灰尘进入到抽风箱中。
优选的，所述加工箱底面固定连接有四个支撑腿，所述加工箱左侧面贯通开设有进风口，进风口内部设置有第三过滤网，所述加工箱正面铰接有加工箱门，第三过滤网可以防止加工箱外面的灰尘和杂质进入到加工箱中，支撑腿对加工箱起到限位作用。
优选的，所述夹持机构包括加工台，所述加工台顶面固定连接有固定板，所述固定板外侧面固定连接有第二电机，所述第二电机输出杆内端面贯穿固定板外侧面延伸至固定板内侧，所述第二电机输出杆内端面固定连接有螺纹杆，所述螺纹杆表面螺纹套设有螺纹套，所述螺纹套内端面固定连接有夹持板，所述螺纹套表面固定连接有限位杆，所述限位杆底面与加工台顶面滑动连接，所述加工台顶面贯通开设有通孔，通过限位杆对螺纹套起到限位作用，通孔方便将加工台上的粉尘吸出。
优选的，所述移动机构包括第一支撑板和第二支撑板，所述第一支撑板底面和第二支撑板底面均与加工箱内部底面固定连接，所述第一支撑板和第二支撑板之间设置有滑块，所述第一支撑板左侧设置有往复螺纹杆，所述往复螺纹杆左端面贯穿第一支撑板右侧面和滑块右侧面延伸至滑块左侧，所述往复螺纹杆表面通过轴承座与第一支撑板内壁、第二支撑板右侧面转动连接，所述往复螺纹杆表面与滑块内壁滑动连接，所述往复螺纹杆下方设置有滑杆，所述滑杆左端面滑动贯穿滑块右侧面延伸至滑块左侧，所述滑杆左右侧面分别与第一支撑板内侧面和第二支撑板内侧面固定连接，所述滑块顶面与加工台底面固定连接，所述往复螺纹杆右端面固定连接有转把，通过转把方便转动往复螺纹杆，通过滑杆对滑块的移动起到限位作用，滑杆防止滑块在往复螺纹杆上转动。
与现有技术相比，本发明的有益效果是：该具有排气结构的半导体片加工专用定位加工台，通过清理机构，对加工箱中具有排气结构的半导体片加工时产生粉尘和废料进行清理，避免粉尘和废料应该加工台的定位使用，提高该加工台对具有排气结构的半导体片的加工环境；通过第一斜板和第二斜板，有效防止收集箱中收集的粉尘和废料从收集箱飞出；通过第一过滤网，避免粉尘和废料进入到抽风箱中，对风扇起到保护作用；通过夹持机构，将具有排气结构的半导体片进行夹持固定在加工台上，避免具有排气结构的半导体片加工时出现晃动影响加工精度，同时两个夹持板可以对不同尺寸的具有排气结构的半导体片进行夹持，提高该加工台的使用范围；通过移动机构，对加工台的水平位置进行调节，方便加工台的定位使用，提高该具有排气结构的半导体片加工专用定位加工台使用时定位的精准性。
附图说明
图1为本发明主视图；
图2为本发明正面剖视图；
图3为本发明局部正面剖视图；
图4为本发明图3中A区放大图；
图5为本发明图2中B区放大图。
图中：加工箱1、清理机构2、收集箱201、第一斜板202、第二斜板203、收集箱门204、抽风箱205、第一电机206、转动杆207、风扇208、第一过滤网209、第二过滤网210、支撑腿3、第三过滤网4、加工箱门5、移动机构6、第一支撑板601、往复螺纹杆602、第二支撑板603、滑杆604、滑块605、转把606、夹持机构7、加工台701、固定板702、第二电机703、螺纹杆704、螺纹套705、夹持板706、限位杆707。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
请参阅图1-图5，本发明提供一种技术方案：一种具有排气结构的半导体片加工专用定位加工台，包括加工箱1，加工箱1内部设置有清理机构2、移动机构6和两个夹持机构7，两个夹持机构7对称设置，两个夹持机构7均位于移动机构6下方，清理机构2位于移动机构6下方；
清理机构2包括收集部和清理部；
收集部包括收集箱201、第一斜板202和第二斜板203收集箱201顶面固定贯穿加工箱1底面延伸至加工箱1内部，第一斜板202位于第二斜板203左上侧，第一斜板202左侧面与收集箱201内部左侧面固定连接，第二斜板203右侧面与收集箱201内部右侧面固定连接，第一斜板202和第二斜板203前后侧面均与收集箱201内部前后侧面固定连接，过第一斜板202和第二斜板203，有效防止收集箱201中收集的粉尘和废料从收集箱201飞出；
清理部包括抽风箱205、第一电机206、转动杆207、风扇208、第一过滤网209和第二过滤网210，第一电机206位于抽风箱205右侧，风扇208位于抽风箱205内部，收集箱201左侧面铰接有收集箱门204，抽风箱205左侧面固定贯穿收集箱201右侧面延伸至收集箱201内部，抽风箱205左侧面与第一过滤网209右侧面固定连接，通过第一过滤网209，避免粉尘和废料进入到抽风箱205中，对风扇208起到保护作用；
第一电机206左侧面与抽风箱205右侧面固定连接，第一电机206输出杆左端面贯穿抽风箱205右侧面延伸至抽风箱205内部，第一电机206输出杆左端面与转动杆207右端面固定连接，转动杆207左端面与风扇208右端面固定连接，风扇208叶片为反转叶片，抽风箱205底面贯通开设有出风口，第二过滤网210设置在出风口内部，通过清理机构2，对加工箱1中具有排气结构的半导体片加工时产生粉尘和废料进行清理，避免粉尘和废料应该加工台的定位使用，提高该加工台对具有排气结构的半导体片的加工环境。
加工箱1底面固定连接有四个支撑腿3，加工箱1左侧面贯通开设有进风口，进风口内部设置有第三过滤网4，加工箱1正面铰接有加工箱门5。
夹持机构7包括加工台701，加工台701顶面固定连接有固定板702，固定板702外侧面固定连接有第二电机703，第二电机703输出杆内端面贯穿固定板702外侧面延伸至固定板702内侧，第二电机703输出杆内端面固定连接有螺纹杆704，螺纹杆704表面螺纹套设有螺纹套705，螺纹套705内端面固定连接有夹持板706，螺纹套705表面固定连接有限位杆707，限位杆707底面与加工台701顶面滑动连接，加工台701顶面贯通开设有通孔，通过夹持机构7，将具有排气结构的半导体片进行夹持固定在加工台701上，避免具有排气结构的半导体片加工时出现晃动影响加工精度，同时两个夹持板706可以对不同尺寸的具有排气结构的半导体片进行夹持，提高该加工台的使用范围；
移动机构6包括第一支撑板601和第二支撑板603，第一支撑板601底面和第二支撑板603底面均与加工箱1内部底面固定连接，第一支撑板601和第二支撑板603之间设置有滑块605，第一支撑板601左侧设置有往复螺纹杆602，往复螺纹杆602左端面贯穿第一支撑板601右侧面和滑块605右侧面延伸至滑块605左侧，往复螺纹杆602表面通过轴承座与第一支撑板601内壁、第二支撑板603右侧面转动连接，往复螺纹杆602表面与滑块605内壁滑动连接，往复螺纹杆602下方设置有滑杆604，滑杆604左端面滑动贯穿滑块605右侧面延伸至滑块605左侧，滑杆604左右侧面分别与第一支撑板601内侧面和第二支撑板603内侧面固定连接，滑块605顶面与加工台701底面固定连接，往复螺纹杆602右端面固定连接有转把606，通过移动机构6，对加工台701的水平位置进行调节，方便加工台701的定位使用，提高该具有排气结构的半导体片加工专用定位加工台定位的精准性。
使用时，将具有排气结构的半导体片放置在加工台701上，开启第二电机703，第二电机703输出杆带动连接的螺纹杆704转动，使得螺纹杆704带动连接的螺纹套705移动，两个螺纹套705相互靠近，从而使得两个螺纹套705带动连接的夹持板706相互靠近，从而两个夹持板706将具有排气结构的半导体片片夹持固定在加工台701上；转动转把606，转把606带动连接的往复螺纹杆602转动，使得往复螺纹杆602带动连接的滑块605左右移动，从而使得滑块605带动连接的加工台701进行左右移动；开启第一电机206，第一电机206输出杆带动连接的转动杆207转动，使得转动杆207带动连接的风扇208转动，通过风扇208叶片转动将加工箱1中加工产生的残留物和尘土吸入到收集箱201中，经过第一斜板202和第二斜板203落入到收集箱201底部。
尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (8)

1.一种具有排气结构的半导体片加工专用定位加工台，包括加工箱(1)，其特征在于：所述加工箱(1)内部设置有清理机构(2)、移动机构(6)和两个夹持机构(7)，两个所述夹持机构(7)对称设置，两个所述夹持机构(7)均位于移动机构(6)下方，所述清理机构(2)位于移动机构(6)下方；
所述清理机构(2)包括收集部和清理部；
所述收集部包括收集箱(201)、第一斜板(202)和第二斜板(203)收集箱(201)顶面固定贯穿加工箱(1)底面延伸至加工箱(1)内部，所述第一斜板(202)位于第二斜板(203)左上侧，所述第一斜板(202)左侧面与收集箱(201)内部左侧面固定连接，所述第二斜板(203)右侧面与收集箱(201)内部右侧面固定连接，所述第一斜板(202)和第二斜板(203)前后侧面均与收集箱(201)内部前后侧面固定连接；
所述清理部包括抽风箱(205)、第一电机(206)、转动杆(207)、风扇(208)、第一过滤网(209)和第二过滤网(210)，所述第一电机(206)位于抽风箱(205)右侧，所述风扇(208)位于抽风箱(205)内部。
2.根据权利要求1所述的一种具有排气结构的半导体片加工专用定位加工台，其特征在于：所述收集箱(201)左侧面铰接有收集箱门(204)。
3.根据权利要求1所述的一种具有排气结构的半导体片加工专用定位加工台，其特征在于：所述抽风箱(205)左侧面固定贯穿收集箱(201)右侧面延伸至收集箱(201)内部，所述抽风箱(205)左侧面与第一过滤网(209)右侧面固定连接，所述第一电机(206)左侧面与抽风箱(205)右侧面固定连接，所述第一电机(206)输出杆左端面贯穿抽风箱(205)右侧面延伸至抽风箱(205)内部。
4.根据权利要求1所述的一种具有排气结构的半导体片加工专用定位加工台，其特征在于：所述第一电机(206)输出杆左端面与转动杆(207)右端面固定连接，所述转动杆(207)左端面与风扇(208)右端面固定连接，所述风扇(208)叶片为反转叶片。
5.根据权利要求1所述的一种具有排气结构的半导体片加工专用定位加工台，其特征在于：所述抽风箱(205)底面贯通开设有出风口，所述第二过滤网(210)设置在出风口内部。
6.根据权利要求1所述的一种具有排气结构的半导体片加工专用定位加工台，其特征在于：所述加工箱(1)底面固定连接有四个支撑腿(3)，所述加工箱(1)左侧面贯通开设有进风口，进风口内部设置有第三过滤网(4)，所述加工箱(1)正面铰接有加工箱门(5)。
7.根据权利要求1所述的一种具有排气结构的半导体片加工专用定位加工台，其特征在于：所述夹持机构(7)包括加工台(701)，所述加工台(701)顶面固定连接有固定板(702)，所述固定板(702)外侧面固定连接有第二电机(703)，所述第二电机(703)输出杆内端面贯穿固定板(702)外侧面延伸至固定板(702)内侧，所述第二电机(703)输出杆内端面固定连接有螺纹杆(704)，所述螺纹杆(704)表面螺纹套设有螺纹套(705)，所述螺纹套(705)内端面固定连接有夹持板(706)，所述螺纹套(705)表面固定连接有限位杆(707)，所述限位杆(707)底面与加工台(701)顶面滑动连接，所述加工台(701)顶面贯通开设有通孔。
8.根据权利要求7所述的一种具有排气结构的半导体片加工专用定位加工台，其特征在于：所述移动机构(6)包括第一支撑板(601)和第二支撑板(603)，所述第一支撑板(601)底面和第二支撑板(603)底面均与加工箱(1)内部底面固定连接，所述第一支撑板(601)和第二支撑板(603)之间设置有滑块(605)，所述第一支撑板(601)左侧设置有往复螺纹杆(602)，所述往复螺纹杆(602)左端面贯穿第一支撑板(601)右侧面和滑块(605)右侧面延伸至滑块(605)左侧，所述往复螺纹杆(602)表面通过轴承座与第一支撑板(601)内壁、第二支撑板(603)右侧面转动连接，所述往复螺纹杆(602)表面与滑块(605)内壁滑动连接，所述往复螺纹杆(602)下方设置有滑杆(604)，所述滑杆(604)左端面滑动贯穿滑块(605)右侧面延伸至滑块(605)左侧，所述滑杆(604)左右侧面分别与第一支撑板(601)内侧面和第二支撑板(603)内侧面固定连接，所述滑块(605)顶面与加工台(701)底面固定连接，所述往复螺纹杆(602)右端面固定连接有转把(606)。
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