CN115112818A - 漏源判断装置及判断方法、漏液处理装置及处理方法 - Google Patents

Abstract

本申请提供了一种漏源判断装置及判断方法、漏液处理装置及处理方法，漏源判断装置包括：检测单元、存储单元和控制器，检测单元用于检测当前漏液并生成当前漏液属性值。存储单元用于存储当前漏液属性值集和当前漏液位置数据集及其对应关系。控制器与检测单元及存储单元连接，控制器用于根据当前漏液属性值查找出对应的当前漏液位置数据。本申请解决了现有技术存在漏源判断效率低及无法根据漏液属性分别收集漏液的问题。

Description

漏源判断装置及判断方法、漏液处理装置及处理方法

技术领域

本申请涉及半导体加工设备，特别是涉及漏源判断装置及判断方法、漏液处理装置及处理方法。

背景技术

在半导体工业中，由于化学液体泄露或其他不明原因导致未知液体异常出现在洁净室和附属设备区域，常规处理方法一般是上报ESH(Environment、Safety、Health的缩写，环境、职业健康安全管理体系)机构，由ESH机构派检测人员用PH试纸检测漏液PH值，再根据漏液PH值判断漏液属性，最后根据漏液属性查找漏源(即化学液体泄露的源头，工厂里用的所有化学液体是记录在案的，某种液体只会在某些地方用，只要确定漏液属性，就能据此查出化学液体是从什么地方泄露的)，查找出漏源后才能根据ESH规定处理漏液。现有技术在根据漏液属性判断漏源时，需要人工在数据库中进行查询，需要耗费大量的人力，漏源判断效率较低。现有漏液处理装置无法进行漏液属性判断，因此无法在漏液处理装置中设置合适的收集装置存储漏液(比如，在漏液是酸性时，因为没有进行漏液属性判断，可能会使用不耐酸性的收集装置存储漏液，导致收集装置损坏)。而且现有漏液处理装置使用单个收集装置存储漏液，容易导致在先后收集不同漏液属性的漏液时，不同属性的漏液在收集装置中发生化学反应而产生安全事故。因此，现有技术存在漏源判断效率低及无法根据漏液属性分别收集漏液的问题。

发明内容

针对现有技术漏源判断效率低的问题，本申请提供了一种漏源判断装置，包括：检测单元、存储单元和控制器，所述检测单元用于检测当前漏液并生成当前漏液属性值。所述存储单元用于存储当前漏液属性值集和当前漏液位置数据集及其对应关系。所述控制器与所述检测单元及所述存储单元连接，所述控制器用于根据所述当前漏液属性值查找出对应的当前漏液位置数据。

优选地，所述检测单元根据当前漏液属性值生成当前漏液种类信息，所述当前漏液属性值包括当前漏液PH值和/或当前漏液离子成分数值。

优选地，所述检测单元包括pH传感器，所述pH传感器用于生成所述当前漏液PH值。

优选地，所述检测单元还包括离子分析仪，所述离子分析仪用于生成所述当前漏液离子成分数值。

本申请还提供了一种漏源判断方法，其应用于所述漏源判断装置，包括：生成当前漏液属性值。根据所述当前漏液属性值查找出对应的当前漏液位置数据。

针对现有技术无法根据漏液属性分别收集漏液的问题，本申请提供了一种漏液处理装置，包括：所述漏源判断装置、采集单元和至少两个收集单元，所述采集单元和所述检测单元连接，所述采集单元用于采集部分所述当前漏液至所述检测单元。所述至少两个收集单元用于根据所述当前漏液属性值分别收集所述当前漏液。

优选地，所述收集单元包括：第一管道、存储装置、第二管道和泵，所述第一管道的一端和所述当前漏液接触。所述存储装置和所述第一管道的另一端连接，所述存储装置用于存储经所述第一管道收集的所述当前漏液。所述第二管道的一端和所述存储装置连接。所述泵和所述第二管道的另一端连接，所述泵用于在所述存储装置中形成负压，以让所述当前漏液进入所述存储装置。

优选地，所述漏液处理装置还包括交互装置，其与所述控制器连接。

优选地，所述漏液处理装置还包括记录装置，其用于记录所述当前漏液的处理过程。

本申请还提供了一种漏液处理方法，其应用于所述漏液处理装置，包括：所述漏源判断方法。根据所述当前漏液属性值分别收集所述当前漏液至所述至少两个收集单元。

本申请的有益效果在于：

1、通过设置控制器、检测单元和存储单元，并让控制器与检测单元及存储单元连接。将当前漏液属性值集和当前漏液位置数据集及其对应关系存储到存储单元中，通过检测单元检测当前漏液并生成当前漏液属性值后，控制器就可以根据当前漏液属性值查找出对应的当前漏液位置数据，实现对漏源的判断。由于漏液检测可由检测单元自动进行，根据当前漏液属性值查找出对应的当前漏液位置数据可由控制器自动进行，因此漏源判断无需再借助人工判断，减少了漏源判断的时间，提高了漏源的判断效率。

2、通过设置包括漏源判断装置、采集单元和至少两个收集单元的漏液处理装置，并让采集单元和检测单元连接，以采集部分当前漏液至检测单元。让至少两个收集单元根据当前漏液属性值收集分别当前漏液。在漏源判断装置对漏源进行判断后，收集单元才根据当前漏液属性值收集漏液，可以根据不同的当前漏液属性值采取不同的漏液收集方式，避免不同的漏液在收集单元中混合后发生化学反应而导致事故，也可以避免因为未对漏源进行判断，就贸然处理未知漏液导致收集单元损坏或检测人员受到损伤(比如腐蚀或烧灼设备或人员)。

上述说明仅是本申请技术方案的概述，为了能够更清楚了解本申请的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本申请较佳的实施例并配合附图对本申请进行详细说明。

附图说明

图1是本申请实施例中，漏源判断装置方框图；

图2是本申请实施例中，漏液处理方法流程图；

图3是本申请实施例中，漏液处理装置立体图；

图4是本申请实施例中，漏液处理装置分解图(不含漏源判断装置)

图5是本申请实施例中，收集单元立体示意图；

图6是本申请实施例中，漏液处理装置左视图；

图7是本申请实施例中，图6的A-A线剖视图。

其中，附图标记：

1漏液处理装置

10杆件

100握持部

101清洁件

102中杆部

103底杆部

11漏源判断装置

110检测单元

1100 pH传感器

1101离子分析仪

111存储单元

112控制器

12采集单元

13收集单元

130第一管道

131存储装置

132第二管道

133泵

14交互装置

15记录装置

S1-S2漏液处理方法子流程

S11-S12漏源判断方法子流程

具体实施方式

以下由特定的具体实施例说明本申请的实施方式，熟悉此技术的人士可由本说明书所公开的内容轻易地了解本申请的其他优点及功效。

需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以互相组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本申请。为了使本技术领域的人员更好地理解本申请方案，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分的实施例，而不是全部的实施例。基于本申请的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本申请保护的范围。

需要说明的是，本申请的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。此外，术语“包括”和“具有”以及他们的任何变形，意图在于包覆不排他的包含，例如，包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备不必限于清楚地列出的那些步骤或单元，而是可包括没有清楚地列出的或对于这些过程、方法、产品或设备固有的其他步骤或单元。

需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电性连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

如图1所示，在一实施例中提供了一种漏源判断装置11，包括：检测单元110、存储单元111和控制器112，检测单元110用于检测当前漏液并生成当前漏液属性值。存储单元111用于存储当前漏液属性值集和当前漏液位置数据集及其对应关系。当前漏液属性值集可以是多个当前漏液属性值的集合，当前漏液位置数据集可以是多个当前漏液位置(即漏源)数据的集合。例如，当前漏液属性值集和当前漏液位置数据集可以放在一张表中，一个当前漏液位置数据可以对应一个或多个当前漏液属性值。例如，一种漏液可以只有一个当前漏液位置(如液罐)，该漏液可以具有pH值、锂离子和钠离子等多个漏液属性值。存储单元111可以是U盘、移动硬盘、只读存储器、随机存取存储器、磁碟或者光盘等各种可以存储程序代码的介质，可以在存储单元111中设置数据库，将当前漏液属性值集和当前漏液位置数据集及其对应关系存储到数据库中。控制器112与检测单元110及存储单元111连接，控制器112用于根据当前漏液属性值查找出对应的当前漏液位置数据。例如，控制器112可以是单片机或小型电脑(PC)，控制器112与检测单元110及存储单元111可以采用电线电性连接。

例如，假设存储单元111存储的当前漏液属性值集中，具有酸性pH值(假设pH值为6)和锂离子的漏液为刻蚀液。存储单元111存储的当前漏液位置数据集中，刻蚀液的存放位置为液罐，则当检测单元110检测到的当前漏液的pH值为6且含有锂离子，则控制器112可以在存储单元111中查找出pH值为6且含有锂离子的漏液属性值对应的当前漏液位置(即液罐)，找到当前漏液位置(即漏罐)后，就可以进一步对当前漏液位置进行修补操作。

通过设置控制器112、检测单元110和存储单元111，并让控制器112与检测单元110及存储单元111连接。将当前漏液属性值集和当前漏液位置数据集及其对应关系存储到存储单元111中，通过检测单元110检测当前漏液并生成当前漏液属性值后，控制器112就可以根据当前漏液属性值查找出对应的当前漏液位置数据，实现对漏源的判断。由于漏液检测可由检测单元110自动进行，根据当前漏液属性值查找出对应的当前漏液位置数据可由控制器112自动进行，因此漏源判断无需再借助人工判断，减少了漏源判断的时间，提高了漏源的判断效率。

优选地，检测单元110根据当前漏液属性值生成当前漏液种类信息，当前漏液属性值可以包括当前漏液PH值和/或当前漏液离子成分数值。离子成分数值可以包括漏液中离子的种类(比如锂离子、钙离子或钠离子等)，也可以包括漏液中离子的含量，或者离子成分数值同时包括漏液中离子的种类和含量。

如图1所示，优选地，检测单元110包括pH传感器1100，pH传感器1100用于生成当前漏液pH值。

如图1所示，优选地，检测单元110还包括离子分析仪1101，离子分析仪1101用于生成当前漏液离子成分数值。离子分析仪1101可以和pH传感器1100一起设置，也可以单独设置。离子分析仪1101和pH传感器1100一起设置同时使用时，可以在检测单元110检测到的pH值相同的情况下，根据离子成分数值进一步区分漏液种类，以提高漏液的检测准确度。例如，当前漏液是由多种漏液混合而成的，混合后其pH值发生了变化(例如混合导致发生中和反应，则测得的pH值为中和后的漏液的酸碱度，而不是混合之前单一漏液的酸碱度)，仅通过pH值的检测来判断当前漏液属性，将会得出错误结果，进而导致漏源无法正确地判断，此时可以通过离子分析仪1101进一步检测离子成分来进行漏源判断。

请同时参考图1和图2，在另一实施例提供了一种漏源判断方法，其应用于漏源判断装置11，包括：S11：生成当前漏液属性值。S12：根据当前漏液属性值查找出对应的当前漏液位置数据。

请同时参考图1、图3和图4，在另一实施例提供了一种漏液处理装置1，包括：杆件10、漏源判断装置11、采集单元12和至少两个收集单元13，漏源判断装置11、采集单元12和收集单元13均可以和杆件10连接，杆件10包括握持部100、中杆部102、底杆部103和清洁件101，握持部100、中杆部102、底杆部103和清洁件101依次连接。握持部100可以供检测人员拿握，清洁件101(如吸水海绵)可以在漏液收集完成后，利用清洁件101清扫漏液所在地面，防止漏液残留在地面。存储单元111和控制器112可以设置在中杆部102，检测单元110可以设置在底杆部103，并且可以在底杆部103上设置电池为电源以为漏液处理装置1供电。采集单元12和检测单元110连接，采集单元12用于采集部分当前漏液至检测单元110。例如，采集单元12可以是可切换式酸碱吸收头，采集单元12和检测单元110可以通过电线连接，清洁件101可以设置在采集单元12的底部。至少两个收集单元13用于根据当前漏液属性值分别收集当前漏液。比如，可以设置独立的两个收集单元13，一个用于收集酸性漏液，一个用于收集碱性漏液，以避免在使用单个收集单元13收集漏液时，酸性漏液和碱性漏液混合后发生化学反应而产生安全事故。例如，如当前漏液属性值为pH值，则pH值大于7时，可以将当前漏液收集到专门用于存放碱性漏液的收集单元13。pH值小于7时，可以将当前漏液收集到专门用于存放酸性漏液的收集单元13。

通过设置包括漏源判断装置11、采集单元12和至少两个收集单元13的漏液处理装置1，并让采集单元12和检测单元110连接，以采集部分当前漏液至检测单元110。让至少两个收集单元13根据当前漏液属性值分别收集当前漏液。在漏源判断装置11对漏源进行判断后，收集单元13才根据当前漏液属性值收集漏液，可以根据不同的当前漏液属性值采取不同的漏液收集方式，避免不同的漏液在收集单元13中混合后发生化学反应而导致事故，也可以避免因为未对漏源进行判断，就贸然处理未知漏液导致收集单元13损坏或检测人员受到损伤(由于漏液通常是有毒有害腐蚀性液体(如强酸或强碱性液体)，未判断出漏源，就无法得知漏液种类，如果用收集单元13贸然收集漏液，比如用耐腐蚀性差的金属收集单元13去收集漏液，可能会导致收集单元13被漏液腐蚀而损坏。或者在现场先后存在酸性和碱性两种漏液需要收集，漏源如未经判断，就将酸性或碱性漏液存储到同一收集单元13，则会发生化学反应产生危险。如果检测人员贸然接触漏液，则漏液会烧灼检测人员，造成人身安全事故)。

请同时参考图4和图5，优选地，收集单元13包括：第一管道130、存储装置131、第二管道132和泵133，第一管道130的一端和当前漏液接触。请同时参考图6和图7，存储装置131可以和底杆部103连接，第一管道130可以从中杆部102中穿过而固定。泵133可以设置在中杆部102和底杆部103之间。存储装置131和第一管道130的另一端连接，存储装置131用于存储经第一管道130收集的当前漏液。例如，存储装置131可以是存储罐。第二管道132的一端和存储装置131连接。存储装置131的数量可以是多个，以根据不同的当前漏液属性值独立存储不同属性值的漏液，比如，可以设置独立的两个存储装置131，一个用于存储酸性漏液，一个用于存储碱性漏液，以避免在使用单个存储装置131收集漏液时，酸性漏液和碱性漏液混合后发生化学反应而产生事故。也可以根据当前漏液的离子成分值来设置存储装置131的数量。泵133和第二管道132的另一端连接，泵133用于在存储装置131中形成负压，以让当前漏液进入存储装置131。例如，泵133可以是真空泵。由于当前漏液一般具有腐蚀性，采用泵133将存储装置131形成负压进而分别收集当前漏液，这样当前漏液不会和泵133直接接触，因而不会腐蚀泵133，可以降低泵133的更换频率。当使用多个收集装置13时，可以仅设置一个泵133和多个存储装置131，将所有第二管道132的另一端都同时连接到同一个泵133，以节约泵133的数量。由于泵133通过在存储装置131形成负压的方式收集当前漏液，因此当前漏液并不会在各个存储装置131或泵133中发生混合，既可以实现根据漏液属性分别收集当前漏液，还可以降低多个收集单元13布置的复杂度。

请同时参考图1、图4和图6，优选地，漏液处理装置1还包括交互装置14，其设置于中杆部102的顶部，并接近握持部100，交互装置14与控制器112连接。例如，交互装置14可以是触控屏，其和控制器112可以通过排线或电线连接，检测人员可以通过操作交互装置14对存储单元111中的当前漏液属性值和当前漏液位置数据进行导入或导出。

请同时参考图4和图6，优选地，漏液处理装置1还包括记录装置15，其设置于底杆部103，记录装置15接近采集单元12。记录装置15用于记录当前漏液的处理过程。例如，记录装置15可以是摄像头。采用记录装置15自动记录漏液处理过程后，可以留存漏液处理的现场证据，方便将当前漏液的处理过程进行归档和上报，无需检测人员再手动记录当前漏液的处理过程，使得漏液处理过程的记录更加方便和可靠。

请同时参考图2和图3，在另一实施例提供了一种漏液处理方法，其应用于漏液处理装置1，包括：S1：漏源判断方法。S2：根据当前漏液属性值分别收集当前漏液至至少两个收集单元13。

以上对本申请实施例所提供的漏源判断装置及判断方法、漏液处理装置及处理方法进行了详细介绍，对于本领域的一般技术人员，依据本申请实施例的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有所改变之处。综上所述，本说明书内容不应理解为对本申请的限制，凡依据本申请的精神与技术思想所做的一切等效修饰或改变，仍应由本申请的权利要求所涵盖。

Claims (10)

1.一种漏源判断装置(11)，其特征在于，包括：

检测单元(110)，其用于检测当前漏液并生成当前漏液属性值；

存储单元(111)，其用于存储当前漏液属性值集和当前漏液位置数据集及其对应关系；以及

控制器(112)，其与所述检测单元(110)及所述存储单元(111)连接，所述控制器(112)用于根据所述当前漏液属性值查找出对应的当前漏液位置数据。

2.根据权利要求1所述的漏源判断装置(11)，其特征在于，所述检测单元(110)根据当前漏液属性值生成当前漏液种类信息，所述当前漏液属性值包括当前漏液PH值和/或当前漏液离子成分数值。

3.根据权利要求2所述的漏源判断装置(11)，其特征在于，所述检测单元(110)包括pH传感器(1100)，所述pH传感器(1100)用于生成所述当前漏液pH值。

4.根据权利要求2所述的漏源判断装置(11)，其特征在于，所述检测单元(110)还包括离子分析仪(1101)，所述离子分析仪(1101)用于生成所述当前漏液离子成分数值。

5.一种漏源判断方法，其应用于根据权利要求1-4任一项所述的漏源判断装置(11)，其特征在于，包括：

生成当前漏液属性值；

根据所述当前漏液属性值查找出对应的当前漏液位置数据。

6.一种漏液处理装置(1)，其特征在于，包括：

根据权利要求1-4任一项所述的漏源判断装置(11)；

采集单元(12)，其和所述检测单元(110)连接，所述采集单元(12)用于采集部分所述当前漏液至所述检测单元(110)；以及

至少两个收集单元(13)，其用于根据所述当前漏液属性值分别收集所述当前漏液。

7.根据权利要求6所述的漏液处理装置(1)，其特征在于，所述收集单元(13)包括：

第一管道(130)，其一端和所述当前漏液接触；

存储装置(131)，其和所述第一管道(130)的另一端连接，所述存储装置(131)用于存储经所述第一管道(130)收集的所述当前漏液；

第二管道(132)，其一端和所述存储装置(131)连接；以及

泵(133)，其和所述第二管道(132)的另一端连接，所述泵(133)用于在所述存储装置(131)中形成负压，以让所述当前漏液进入所述存储装置(131)。

8.根据权利要求6所述的漏液处理装置(1)，其特征在于，还包括交互装置(14)，其与所述控制器(112)连接。

9.根据权利要求6所述的漏液处理装置(1)，其特征在于，还包括记录装置(15)，其用于记录所述当前漏液的处理过程。

10.一种漏液处理方法，其应用于根据权利要求6所述的漏液处理装置(1)，其特征在于，包括：

根据权利要求5所述的漏源判断方法；以及

根据所述当前漏液属性值分别收集所述当前漏液至所述至少两个收集单元(13)。

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