CN114446839A - 一种用于晶圆贴膜中多种膜兼容的贴膜装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种用于晶圆贴膜中多种膜兼容的贴膜装置，包括外壳，外壳的内部安装有绕膜机构，绕膜机构包括安装在外壳侧壁上的新膜固定轴，新膜固定轴的一侧下方安装有第一滚轮，第一滚轮的下方一侧安装有第二滚轮，第二滚轮的下方一侧安装有第五滚轮，第五滚轮的一侧安装有第六滚轮，第五滚轮的另一侧安装有第七滚轮，第七滚轮的一侧安装有第八滚轮。该用于晶圆贴膜中多种膜兼容的贴膜装置中，通过多组滚轮的设计，可以兼容多种膜的贴膜装置，本装置既可以使用普通兰膜，也可以使用UV膜，还可以使用预切割膜和DAF膜，使一条生产线只需要1台贴膜装置就可以完成不同产品使用不同切割膜的切换，同时简化了换膜的方式，节省了换膜的时间。

Description

一种用于晶圆贴膜中多种膜兼容的贴膜装置

技术领域

本发明涉及贴膜设备技术领域，具体地说，涉及一种用于晶圆贴膜中多种膜兼容的贴膜装置。

背景技术

现在半导体技术、LED、摄像头技术的进步，对产品的性能要求越来越高，新的封装工艺正在不断的涌现。传统封装中晶圆在切割前需要贴切割膜，有的产品只需要贴普通的兰膜就可以满足切割的要求，而有的产品要求比较高，普通的兰膜就容易产生质量问题，需要贴UV膜才能满足晶圆的切割要求，UV膜的胶层比较厚、而且比较黏，在UV膜出厂时都会在UV膜的胶层侧贴一层保护膜，使用时就需要把保护膜去掉，这就使封装贴切割膜的工艺复杂了很多；而在一些新的工艺中，为了解决产品形状的问题需要预切割膜，还有些产品需要解决软焊料和粘片胶用在超小超薄芯片存在的对于堆叠封装无法使用问题，就使用了DAF膜。贴预切割膜或DAF膜时就需要把预切割膜或DAF膜从保护膜上剥离并且要精确定位DAF的起始位置，才能使膜的胶层和产品大小完全重合覆盖。

现在的封装厂中都是代工生产，不同厂家的产品使用的切割膜是不一样的，有的需要普通兰膜，有的产品需要UV膜，还有些产品需要预切割膜或DAF膜。如果一个封装厂这几种膜都需要，就需要买不同的贴膜机以适应不同的产品的贴膜需求，封装厂就需要几台不同的贴膜机才能满足生产需求，这么多的贴膜机不仅增加了封装厂的购机成本，也需要更大的空间来放置机器，也需要更多的人员来操作和维护机器，同时机器间又不能互相兼容，这大大增加了封装厂的运营成本。

发明内容

本发明的目的在于提供一种用于晶圆贴膜中多种膜兼容的贴膜装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本发明提供了一种用于晶圆贴膜中多种膜兼容的贴膜装置，包括外壳，所述外壳的内部安装有绕膜机构，绕膜机构包括安装在外壳侧壁上的新膜固定轴，所述新膜固定轴的一侧下方安装有第一滚轮，所述第一滚轮的下方一侧安装有第二滚轮，所述第二滚轮的下方一侧安装有第五滚轮，所述第五滚轮的一侧安装有第六滚轮，所述第五滚轮的另一侧安装有第七滚轮，所述第七滚轮的一侧安装有第八滚轮，所述第八滚轮的下方一侧安装有第九滚轮，所述第六滚轮的下方一侧安装有摆锤，所述第六滚轮的上方一侧安装有保护膜收膜轴，所述第九滚轮的一侧安装有贴膜滚轮，所述贴膜滚轮的外侧安装有拉膜机构，拉膜机构外侧安装有第十五滚轮，所述第十五滚轮的上部一侧安装有纺锤轴，所述纺锤轴的上方安装有废膜卷膜轴，不同的滚轮均安装在侧壁上，且能够自由转动。

作为优选，所述新膜固定轴的下方安装有第三滚轮，所述第五滚轮的上方安装有第四滚轮。

作为优选，所述第九滚轮的下方安装有预切割膜分离装置，所述预切割膜分离装置是一个斜坡型的三角体。

作为优选，拉膜机构下面连有丝杆和导轨，通过马达控制移动，拉膜机构由5套滚轮组成，包括第十滚轮、第十一滚轮、第十二滚轮、第十三滚轮和第十四滚轮，所述第十滚轮由装在同一个轴上的两个分滚轮组成，两个分滚轮中间有空隙，靠近侧壁的位置装有弹簧，两个分滚轮可以自由转动，同时可以沿轴向移动，所述第十一滚轮也是由两个分滚轮组成，两个分滚轮装在同一根轴上，两个分滚轮不能沿轴自由转动，但可以沿轴向移动，轴向移动是由两个气缸分别控制，同时有两个气缸控制轴的移动，所述第十滚轮和第十一滚轮共同动作，保证贴膜时把膜拉平。

作为优选，所述新膜固定轴、保护膜收膜轴和废膜卷膜轴均通过皮带和皮带轮连接有扭力马达，轴上安装有膨胀气缸，膨胀气缸有开关控制。

作为优选，所述第二滚轮、第五滚轮和贴膜滚轮的两端均安装有气缸，两个气缸通过连接件控制第二滚轮的位置，气缸通过连杆固定在侧壁上，所述第三滚轮和第四滚轮的一端安装有步进马达。

作为优选，所述摆锤的侧壁装有位置检测传感器，所述第二滚轮和第三滚轮之间以及第四滚轮和第五滚轮之间均安装有位置检测传感器。

与现有技术相比，本发明的有益效果：

该用于晶圆贴膜中多种膜兼容的贴膜装置中，通过不同的滚轮改变膜的走向，通过第十滚轮和第十一滚轮的分滚轮来保证膜的平整，通过第二滚轮和第五滚轮的移动来完成拉膜动作，通过摆锤来控制保护膜收膜轴的启停，纺锤轴的设计使膜铺展的更平整，通过多组滚轮的设计，可以兼容多种膜的贴膜装置，本装置既可以使用普通兰膜，也可以使用UV膜，还可以使用预切割膜和DAF膜，使一条生产线只需要1台贴膜装置就可以完成不同产品使用不同切割膜的切换，同时简化了换膜的方式，节省了换膜的时间。

附图说明

图1为本发明的外部结构示意图；

图2为本发明的内部绕膜机构的结构示意图之一；

图3为本发明中绕膜机构的结构示意图之二。

图中各个标号意义为：

1、新膜固定轴；2、第一滚轮；3、第二滚轮；4、第三滚轮；5、第四滚轮；6、第五滚轮；7、第六滚轮；8、保护膜收膜轴；9、摆锤；10、第七滚轮；11、第八滚轮；12、预切割膜分离装置；13、第九滚轮；14、贴膜滚轮；15、第十滚轮；16、第十一滚轮；17、第十二滚轮；18、第十三滚轮；19、第十四滚轮；20、第十五滚轮；21、纺锤轴；22、废膜卷膜轴；23、外壳。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”“第三”等特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，“若干”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

实施例1

本发明提供一种用于晶圆贴膜中多种膜兼容的贴膜装置，如图1-图3所示，包括外壳23，外壳23的内部安装有绕膜机构，绕膜机构包括安装在外壳23侧壁上的新膜固定轴1，新膜固定轴1的一侧下方安装有第一滚轮2，可以自由转动，主要是用于改变膜的绕向和受力方向，第一滚轮2的下方一侧安装有第二滚轮3，第二滚轮3的下方一侧安装有第五滚轮6，第五滚轮6的一侧安装有第六滚轮7，第六滚轮7可以改变膜的走向，第五滚轮6的另一侧安装有第七滚轮10，第七滚轮10的一侧安装有第八滚轮11，第八滚轮11的下方一侧安装有第九滚轮13，第七滚轮10、第八滚轮11和第九滚轮13主要用于改变膜的走向及受力，第六滚轮7的下方一侧安装有摆锤9，第六滚轮7的上方一侧安装有保护膜收膜轴8，第九滚轮13的一侧安装有贴膜滚轮14，贴膜滚轮14的外侧安装有拉膜机构，拉膜机构外侧安装有第十五滚轮20，用于改变膜的走向和受力，第十五滚轮20的上部一侧安装有纺锤轴21，纺锤轴21形状如纺锤，可以自由转动，防止卷膜时膜往中间收缩，保证废膜卷膜时膜的平整，纺锤轴21的上方安装有废膜卷膜轴22，不同的滚轮均安装在侧壁上，且能够自由转动。

实施例2

本发明提供一种用于晶圆贴膜中多种膜兼容的贴膜装置，如图1-图3所示，包括外壳23，外壳23的内部安装有绕膜机构，绕膜机构包括安装在外壳23侧壁上的新膜固定轴1，新膜固定轴1的一侧下方安装有第一滚轮2，可以自由转动，主要是用于改变膜的绕向和受力方向，第一滚轮2的下方一侧安装有第二滚轮3，第二滚轮3的下方一侧安装有第五滚轮6，第五滚轮6的一侧安装有第六滚轮7，第六滚轮7可以改变膜的走向，第五滚轮6的另一侧安装有第七滚轮10，第七滚轮10的一侧安装有第八滚轮11，第八滚轮11的下方一侧安装有第九滚轮13，第七滚轮10、第八滚轮11和第九滚轮13主要用于改变膜的走向及受力，第六滚轮7的下方一侧安装有摆锤9，第六滚轮7的上方一侧安装有保护膜收膜轴8，第九滚轮13的一侧安装有贴膜滚轮14，贴膜滚轮14的外侧安装有拉膜机构，拉膜机构外侧安装有第十五滚轮20，用于改变膜的走向和受力，第十五滚轮20的上部一侧安装有纺锤轴21，纺锤轴21形状如纺锤，可以自由转动，防止卷膜时膜往中间收缩，保证废膜卷膜时膜的平整，纺锤轴21的上方安装有废膜卷膜轴22，不同的滚轮均安装在侧壁上，且能够自由转动，新膜固定轴1的下方安装有第三滚轮4，第五滚轮6的上方安装有第四滚轮5，第三滚轮4和第四滚轮5的一端安装有步进马达，第三滚轮4用于通过步进马达控制第三滚轮4的转速，第四滚轮5用于通过步进马达控制第三滚轮4的转速。

实施例3

本发明提供一种用于晶圆贴膜中多种膜兼容的贴膜装置，如图1-图3所示，包括外壳23，外壳23的内部安装有绕膜机构，绕膜机构包括安装在外壳23侧壁上的新膜固定轴1，新膜固定轴1的一侧下方安装有第一滚轮2，可以自由转动，主要是用于改变膜的绕向和受力方向，第一滚轮2的下方一侧安装有第二滚轮3，第二滚轮3的下方一侧安装有第五滚轮6，第五滚轮6的一侧安装有第六滚轮7，第六滚轮7可以改变膜的走向，第五滚轮6的另一侧安装有第七滚轮10，第七滚轮10的一侧安装有第八滚轮11，第八滚轮11的下方一侧安装有第九滚轮13，第七滚轮10、第八滚轮11和第九滚轮13主要用于改变膜的走向及受力，第六滚轮7的下方一侧安装有摆锤9，第六滚轮7的上方一侧安装有保护膜收膜轴8，第九滚轮13的一侧安装有贴膜滚轮14，贴膜滚轮14的外侧安装有拉膜机构，拉膜机构外侧安装有第十五滚轮20，用于改变膜的走向和受力，第十五滚轮20的上部一侧安装有纺锤轴21，纺锤轴21形状如纺锤，可以自由转动，防止卷膜时膜往中间收缩，保证废膜卷膜时膜的平整，纺锤轴21的上方安装有废膜卷膜轴22，不同的滚轮均安装在侧壁上，且能够自由转动，第九滚轮13的下方安装有预切割膜分离装置12，预切割膜分离装置12是一个斜坡型的三角体。

实施例4

本发明提供一种用于晶圆贴膜中多种膜兼容的贴膜装置，如图1-图3所示，包括外壳23，外壳23的内部安装有绕膜机构，绕膜机构包括安装在外壳23侧壁上的新膜固定轴1，新膜固定轴1的一侧下方安装有第一滚轮2，可以自由转动，主要是用于改变膜的绕向和受力方向，第一滚轮2的下方一侧安装有第二滚轮3，第二滚轮3的下方一侧安装有第五滚轮6，第五滚轮6的一侧安装有第六滚轮7，第六滚轮7可以改变膜的走向，第五滚轮6的另一侧安装有第七滚轮10，第七滚轮10的一侧安装有第八滚轮11，第八滚轮11的下方一侧安装有第九滚轮13，第七滚轮10、第八滚轮11和第九滚轮13主要用于改变膜的走向及受力，第六滚轮7的下方一侧安装有摆锤9，第六滚轮7的上方一侧安装有保护膜收膜轴8，第九滚轮13的一侧安装有贴膜滚轮14，贴膜滚轮14的外侧安装有拉膜机构，拉膜机构外侧安装有第十五滚轮20，用于改变膜的走向和受力，第十五滚轮20的上部一侧安装有纺锤轴21，纺锤轴21形状如纺锤，可以自由转动，防止卷膜时膜往中间收缩，保证废膜卷膜时膜的平整，纺锤轴21的上方安装有废膜卷膜轴22，不同的滚轮均安装在侧壁上，且能够自由转动，拉膜机构下面连有丝杆和导轨，通过马达控制移动，拉膜机构由5套滚轮组成，包括第十滚轮15、第十一滚轮16、第十二滚轮17、第十三滚轮18和第十四滚轮19，第十滚轮15由装在同一个轴上的两个分滚轮组成，两个分滚轮中间有空隙，靠近侧壁的位置装有弹簧，两个分滚轮可以自由转动，同时可以沿轴向移动，第十一滚轮16也是由两个分滚轮组成，两个分滚轮装在同一根轴上，两个分滚轮不能沿轴自由转动，但可以沿轴向移动，轴向移动是由两个气缸分别控制，同时有两个气缸控制轴的移动，第十滚轮15和第十一滚轮16共同动作，保证贴膜时把膜拉平，由于第十二滚轮17接触膜的粘性面，所以第十二滚轮17由防粘材料做成，第十三滚轮18和第十四滚轮19主要是改变膜的走向和受力。

实施例5

本发明提供一种用于晶圆贴膜中多种膜兼容的贴膜装置，如图1-图3所示，包括外壳23，外壳23的内部安装有绕膜机构，绕膜机构包括安装在外壳23侧壁上的新膜固定轴1，新膜固定轴1的一侧下方安装有第一滚轮2，可以自由转动，主要是用于改变膜的绕向和受力方向，第一滚轮2的下方一侧安装有第二滚轮3，第二滚轮3的下方一侧安装有第五滚轮6，第五滚轮6的一侧安装有第六滚轮7，第六滚轮7可以改变膜的走向，第五滚轮6的另一侧安装有第七滚轮10，第七滚轮10的一侧安装有第八滚轮11，第八滚轮11的下方一侧安装有第九滚轮13，第七滚轮10、第八滚轮11和第九滚轮13主要用于改变膜的走向及受力，第六滚轮7的下方一侧安装有摆锤9，第六滚轮7的上方一侧安装有保护膜收膜轴8，第九滚轮13的一侧安装有贴膜滚轮14，贴膜滚轮14的外侧安装有拉膜机构，拉膜机构外侧安装有第十五滚轮20，用于改变膜的走向和受力，第十五滚轮20的上部一侧安装有纺锤轴21，纺锤轴21形状如纺锤，可以自由转动，防止卷膜时膜往中间收缩，保证废膜卷膜时膜的平整，纺锤轴21的上方安装有废膜卷膜轴22，不同的滚轮均安装在侧壁上，且能够自由转动，新膜固定轴1、保护膜收膜轴8和废膜卷膜轴22均通过皮带和皮带轮连接有扭力马达，扭力马达用于控制轴的转动，轴上安装有膨胀气缸，膨胀气缸有开关控制，在新膜固定轴1上装好卷筒膜后打开开关，膨胀气缸的气囊鼓出把卷筒膜固定；需要换膜时关闭开关，膨胀气缸的气囊缩回，卷筒膜就可以抽出。

实施例6

本发明提供一种用于晶圆贴膜中多种膜兼容的贴膜装置，如图1-图3所示，包括外壳23，外壳23的内部安装有绕膜机构，绕膜机构包括安装在外壳23侧壁上的新膜固定轴1，新膜固定轴1的一侧下方安装有第一滚轮2，可以自由转动，主要是用于改变膜的绕向和受力方向，第一滚轮2的下方一侧安装有第二滚轮3，第二滚轮3的下方一侧安装有第五滚轮6，第五滚轮6的一侧安装有第六滚轮7，第六滚轮7可以改变膜的走向，第五滚轮6的另一侧安装有第七滚轮10，第七滚轮10的一侧安装有第八滚轮11，第八滚轮11的下方一侧安装有第九滚轮13，第七滚轮10、第八滚轮11和第九滚轮13主要用于改变膜的走向及受力，第六滚轮7的下方一侧安装有摆锤9，第六滚轮7的上方一侧安装有保护膜收膜轴8，第九滚轮13的一侧安装有贴膜滚轮14，贴膜滚轮14的外侧安装有拉膜机构，拉膜机构外侧安装有第十五滚轮20，用于改变膜的走向和受力，第十五滚轮20的上部一侧安装有纺锤轴21，纺锤轴21形状如纺锤，可以自由转动，防止卷膜时膜往中间收缩，保证废膜卷膜时膜的平整，纺锤轴21的上方安装有废膜卷膜轴22，不同的滚轮均安装在侧壁上，且能够自由转动，第二滚轮3、第五滚轮6和贴膜滚轮14的两端均安装有气缸，两个气缸通过连接件控制第二滚轮3的位置，气缸通过连杆固定在侧壁上，需要贴膜时，贴膜滚轮14通过气缸控制下压，贴膜完成后气缸带动贴膜滚轮14抬起。

实施例7

本发明提供一种用于晶圆贴膜中多种膜兼容的贴膜装置，如图1-图3所示，包括外壳23，外壳23的内部安装有绕膜机构，绕膜机构包括安装在外壳23侧壁上的新膜固定轴1，新膜固定轴1的一侧下方安装有第一滚轮2，可以自由转动，主要是用于改变膜的绕向和受力方向，第一滚轮2的下方一侧安装有第二滚轮3，第二滚轮3的下方一侧安装有第五滚轮6，第五滚轮6的一侧安装有第六滚轮7，第六滚轮7可以改变膜的走向，第五滚轮6的另一侧安装有第七滚轮10，第七滚轮10的一侧安装有第八滚轮11，第八滚轮11的下方一侧安装有第九滚轮13，第七滚轮10、第八滚轮11和第九滚轮13主要用于改变膜的走向及受力，第六滚轮7的下方一侧安装有摆锤9，第六滚轮7的上方一侧安装有保护膜收膜轴8，第九滚轮13的一侧安装有贴膜滚轮14，贴膜滚轮14的外侧安装有拉膜机构，拉膜机构外侧安装有第十五滚轮20，用于改变膜的走向和受力，第十五滚轮20的上部一侧安装有纺锤轴21，纺锤轴21形状如纺锤，可以自由转动，防止卷膜时膜往中间收缩，保证废膜卷膜时膜的平整，纺锤轴21的上方安装有废膜卷膜轴22，不同的滚轮均安装在侧壁上，且能够自由转动，摆锤9的侧壁装有位置检测传感器，感应到摆锤转动到限位的位置时，发出信号控制保护膜收膜轴8的转动和停止，第二滚轮3和第三滚轮4之间以及第四滚轮5和第五滚轮6之间均安装有位置检测传感器。

本发明的用于晶圆贴膜中多种膜兼容的贴膜装置在使用时，首先把不同的膜按照图2和图3示意图进行安装好；当使用的膜是兰膜时：如图2的实线所示，第二滚轮3缩回、第五滚轮6缩回(第二滚轮3和第三滚轮4之间产生空隙，第四滚轮5和第五滚轮6之间也产生空隙)，第十一滚轮16的轴在气缸的带动下移动，使第十滚轮15和第十一滚轮16紧贴，夹紧两套滚轮间穿过的膜，第十一滚轮16的两个分滚轮在轴向气缸的带动下向两侧移动，第十滚轮15和第十一滚轮16是压紧的，这样第十滚轮15的两个分滚轮也在第十一滚轮16的两个分滚轮的带动下向轴向移动，这样就把膜拉的很平整，拉膜机构拉着膜向后移动，带动膜拉开，废膜卷膜轴22上的马达是扭力马达，在扭力的带动下，多余的膜就卷到废膜卷膜轴22上；

当膜拉到需要的长度时，产品移动到贴膜滚轮14的下方，贴膜滚轮14下压，产品移动，贴膜滚轮14就把膜贴到晶圆上了，割膜后，拉膜机构往回移动，完成废膜和产品台面的分离。当使用的膜是带保护膜的UV膜时：如图2实线和虚线所示，第二滚轮3缩回、第五滚轮6缩回(第二滚轮3和第三滚轮4之间产生空隙，第四滚轮5和第五滚轮6之间也产生空隙)，第十一滚轮16的轴在气缸的带动下移动，使第十滚轮15和第十一滚轮16紧贴，夹紧两套滚轮间穿过的膜，第十一滚轮16的两个分滚轮在轴向气缸的带动下向两侧移动，第十滚轮15和第十一滚轮16是压紧的，这样第十滚轮15的两个分滚轮也在第十一滚轮16的两个分滚轮的带动下向轴向移动，这样就把膜拉的很平整，拉膜机构拉着膜向后移动，带动膜拉开，废膜卷膜轴22上的马达是扭力马达，在扭力的带动下，多余的膜就卷到废膜卷膜轴22上，保护膜卷膜轴8是一直旋转的，拉动保护膜缠绕在保护膜收膜轴8上，当保护膜卷紧时，保护膜把摆锤9拉起转动，摆锤9转动到位置检测传感器时，位置检测传感器发出信号使保护膜卷膜轴8停止转动，摆锤9回落时，保护膜卷膜轴8继续转动，使保护膜一直拉紧收集，当膜拉到需要的长度时，产品移动到贴膜滚轮14的下方，贴膜滚轮14下压，产品移动，贴膜滚轮14就把膜贴到晶圆上了，割膜后，拉膜机构往回移动，完成废膜和产品台面的分离。

当使用的是预切割膜或DAF膜时：如图3所示，第二滚轮3前伸，第二滚轮3和第三滚轮4接触把中间的膜压紧，第五滚轮6伸出，第四滚轮5和第五滚轮6接触把中间的膜压紧，第二滚轮3和第五滚轮6同步转动，带动膜从卷筒膜上拉出，当位置检测传感器检测到预切割膜或DAF膜的边缘时，系统就知道预切割膜或DAF膜的起始位置了，系统通过计算就知道需要第二滚轮3和第五滚轮6转动多少以确定突出多长的膜，当膜经过预切割膜分离装置12时，预切割膜和保护膜分离，同时保护膜卷膜轴8是一直旋转的，拉动保护膜缠绕在保护膜收膜轴8上，当保护膜卷紧时，保护膜把摆锤9拉起转动，摆锤9转动到位置检测传感器时，传感器发出信号使保护膜卷膜轴8停止转动，摆锤9回落时，保护膜卷膜轴8继续转动，使保护膜一直拉紧收集，产品移动到分离出来的预切割膜的起始位置时，贴膜滚轮14下降，把需要的预切割膜压到产品上，产品在贴膜平台上移动，贴膜滚轮14就把整个预切割膜或DAF膜就贴到晶圆上了。

以上显示和描述了本发明的基本原理、主要特征和本发明的优点。本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的仅为本发明的优选例，并不用来限制本发明，在不脱离本发明精神和范围的前提下，本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内。本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

Claims (7)

1.一种用于晶圆贴膜中多种膜兼容的贴膜装置，包括外壳(23)，其特征在于：所述外壳(23)的内部安装有绕膜机构，绕膜机构包括安装在外壳(23)侧壁上的新膜固定轴(1)，所述新膜固定轴(1)的一侧下方安装有第一滚轮(2)，所述第一滚轮(2)的下方一侧安装有第二滚轮(3)，所述第二滚轮(3)的下方一侧安装有第五滚轮(6)，所述第五滚轮(6)的一侧安装有第六滚轮(7)，所述第五滚轮(6)的另一侧安装有第七滚轮(10)，所述第七滚轮(10)的一侧安装有第八滚轮(11)，所述第八滚轮(11)的下方一侧安装有第九滚轮(13)，所述第六滚轮(7)的下方一侧安装有摆锤(9)，所述第六滚轮(7)的上方一侧安装有保护膜收膜轴(8)，所述第九滚轮(13)的一侧安装有贴膜滚轮(14)，所述贴膜滚轮(14)的外侧安装有拉膜机构，拉膜机构外侧安装有第十五滚轮(20)，所述第十五滚轮(20)的上部一侧安装有纺锤轴(21)，所述纺锤轴(21)的上方安装有废膜卷膜轴(22)，不同的滚轮均安装在侧壁上，且能够自由转动。

2.根据权利要求1所述的用于晶圆贴膜中多种膜兼容的贴膜装置，其特征在于：所述新膜固定轴(1)的下方安装有第三滚轮(4)，所述第五滚轮(6)的上方安装有第四滚轮(5)。

3.根据权利要求1所述的用于晶圆贴膜中多种膜兼容的贴膜装置，其特征在于：所述第九滚轮(13)的下方安装有预切割膜分离装置(12)，所述预切割膜分离装置(12)是一个斜坡型的三角体。

4.根据权利要求1所述的用于晶圆贴膜中多种膜兼容的贴膜装置，其特征在于：拉膜机构下面连有丝杆和导轨，通过马达控制移动，拉膜机构由5套滚轮组成，包括第十滚轮(15)、第十一滚轮(16)、第十二滚轮(17)、第十三滚轮(18)和第十四滚轮(19)，所述第十滚轮(15)由装在同一个轴上的两个分滚轮组成，两个分滚轮中间有空隙，靠近侧壁的位置装有弹簧，两个分滚轮可以自由转动，同时可以沿轴向移动，所述第十一滚轮(16)也是由两个分滚轮组成，两个分滚轮装在同一根轴上，两个分滚轮不能沿轴自由转动，但可以沿轴向移动，轴向移动是由两个气缸分别控制，同时有两个气缸控制轴的移动，所述第十滚轮(15)和第十一滚轮(16)共同动作，保证贴膜时把膜拉平。

5.根据权利要求1所述的用于晶圆贴膜中多种膜兼容的贴膜装置，其特征在于：所述新膜固定轴(1)、保护膜收膜轴(8)和废膜卷膜轴(22)均通过皮带和皮带轮连接有扭力马达，轴上安装有膨胀气缸，膨胀气缸有开关控制。

6.根据权利要求2所述的用于晶圆贴膜中多种膜兼容的贴膜装置，其特征在于：所述第二滚轮(3)、第五滚轮(6)和贴膜滚轮(14)的两端均安装有气缸，两个气缸通过连接件控制第二滚轮(3)的位置，气缸通过连杆固定在侧壁上，所述第三滚轮(4)和第四滚轮(5)的一端安装有步进马达。

7.根据权利要求1所述的用于晶圆贴膜中多种膜兼容的贴膜装置，其特征在于：所述摆锤(9)的侧壁装有位置检测传感器，所述第二滚轮(3)和第三滚轮(4)之间以及第四滚轮(5)和第五滚轮(6)之间均安装有位置检测传感器。

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