CN114441098A - 气密检测设备与气密检测方法 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种气密检测设备与气密检测方法。气密检测设备包含承载盘、加压系统以及检测系统。在此气密检测方法中，首先将待测石英谐振器送入加压系统的腔室中，并使此腔室维持气密状态。接着，利用加压系统来对腔室进行第一加压阶段、第二加压阶段及回收阶段。第一加压阶段是供应加压气体至腔室来将腔室加压至第一气压值。第二加压阶段是供应加压气体至腔室来将腔室加压至第二气压值。回收阶段是从腔室回收加压气体。其中，在第二加压阶段中，检测待测石英谐振器的阻值，以据此判断待测石英谐振器的气密性是否正常。如此，可提高石英谐振器的气密检测准确率。

Description

气密检测设备与气密检测方法
技术领域
本发明涉及一种气密检测设备与气密检测方法，且特别是涉及一种石英谐振器的气密检测设备与气密检测方法。
背景技术
随着科技的进步，各种数码电子产品，例如数码电视、数码相机、数码手表逐渐取代了传统的模拟电子产品。在数码电子产品中，逻辑电路和时序电路是重要的关键元件。一般而言，时序电路大多采用石英谐振器来提供逻辑电路所需的时钟。在石英谐振器的制造过程中，石英谐振器的封装是影响石英谐振器可靠度的指标之一。为了检测石英谐振器的封装气密性是否正常，通常会利用液体加压法来对石英谐振器的气密性进行检测。然而，液体加压法的检测准确率不高，且检测过程容易损坏石英谐振器，故需要一种新的气密检测设备与气密检测方法来改善现有技术的缺点。
发明内容
本发明的一方面提供一种气密检测设备，其可提高石英谐振器的气密检测准确率，且减少不良石英谐振器外流至客户端的机率。此气密检测设备包含承载盘、加压系统以及检测系统。承载盘是用以承载至少一待测石英谐振器。加压系统包含腔室、回收储气筒以及主要储气筒。腔室是用以容置承载盘，其中腔室具有腔室入口，当承载盘由腔室入口进入腔室后，腔室入口关闭，以使腔室维持气密状态。回收储气筒是用以于第一加压阶段中，供应加压气体至腔室来将腔室加压至第一气压值，以及用以于回收阶段中从腔室回收加压气体。主要储气筒是用以于第二加压阶段中，供应加压气体至腔室，以将腔室加压至第二气压值，其中第二加压阶段接续于第一加压阶段，回收阶段接续于第二加压阶段，第二气压值大于第一气压值。检测系统是用以于第二加压阶段中检测待测石英谐振器的阻值，并根据此阻值来进行气密检测步骤，以判断待测石英谐振器的气密性是否正常。
在一些实施例中，加压系统还包含第一阀门、第二阀门以及至少一第三阀门。第一阀门是设置于腔室与主要储气筒之间，以控制主要储气筒对腔室供应加压气体。第二阀门是设置于腔室与回收储气筒之间，以控制回收储气筒对腔室供应加压气体，或控制回收储气筒从腔室回收加压气体。第三阀门是设置于腔室与排气管道之间，以控制腔室通过排气管道排出加压气体，以进行泄压。
在一些实施例中，在前述的气密检测步骤中，首先计算待测石英谐振器的阻值与标准阻值的差值。然后，判断此差值是否位于标准差值范围内。当此差值位于标准差值范围内时，判定待测石英谐振器的气密性为正常。
在一些实施例中，检测系统还用进行特性检测步骤。在此特性检测步骤中，首先获取待测石英谐振器的频率偏差量、阻抗值以及静态电容值。然后，判断频率偏差量是否位于标准偏差量范围内，并提供第一判断结果。接着，判断阻抗值是否位于标准阻抗值范围内，并提供第二判断结果。判断静态电容值是否位于标准静态电容值范围内，并提供第三判断结果。当第一判断结果、第二判断结果以及第三判断结果之一者为否时，决定此待测石英谐振器为重测品，并于承载盘离开腔室后，取出此重测品，以再次对此重测品进行气密检测步骤。
在一些实施例中，前述的第二气压值为4.7公斤/平方公分～5.0公斤/平方公分。
本发明的一方面提供一种气密检测方法，其可提高石英谐振器的气密检测准确率，且减少不良石英谐振器外流至客户端的机率。在此气密检测方法中，首先将待测石英谐振器送入加压系统的腔室中。接着，封闭腔室，以使腔室维持气密状态。然后，利用加压系统来对腔室进行加压步骤。在加压步骤中，首先进行第一加压阶段，以利用回收储气桶来供应加压气体至腔室，加压时打开腔室与回收储气桶间的阀门，使压缩在回收储气桶中的空气释放至腔室中，待腔室与回收储气桶中的压力平衡，关闭阀门，达到第一气压值。接着，进行第二加压阶段，以利用主要储气桶来供应加压气体至腔室，加压时打开腔室与主要储气桶间的阀门，使压缩在主要储气桶中的空气释放至腔室中，待腔室与主要储气桶中的压力平衡，关闭阀门，达到第二气压值。其中第二加压阶段接续于第一加压阶段，第二气压值大于第一气压值。然后，进行回收阶段，将腔室中的压缩气体储存至回收储气桶，腔室泄气时，打开腔室与回收储气桶间的阀门，使腔室中的压缩气体释放至回收储气桶，待平衡压力后，关闭阀门，完成气体的回收，回收的气体用来供应下次检测时的第一加压阶段。其中，在第二加压阶段中，检测待测石英谐振器的阻值，并根据此阻值来进行气密检测步骤，以判断待测石英谐振器的气密性是否正常。其中，利用腔室泄气时将压缩气体回收至回收储气桶，可节省制程成本。
在一些实施例中，在前述的气密检测步骤中，首先计算待测石英谐振器的阻值与标准阻值之间的差值。然后，判断此差值是否位于标准差值范围内。当差值位于标准差值范围内时，判定待测石英谐振器的气密性为正常。
在一些实施例中，前述的气密检测方法还包含在第二加压阶段中，进行特性检测步骤。在此特性检测步骤中，首先获取该待测石英谐振器的频率偏差量、阻抗值以及静态电容值。然后，判断频率偏差量是否位于标准偏差量范围内，并提供第一判断结果。接着，判断阻抗值是否位于标准阻抗值范围内，并提供第二判断结果。然后，判断静态电容值是否位于标准静态电容值范围内，并提供第三判断结果。当第一判断结果、第二判断结果以及第三判断结果之一者为否时，决定此待测石英谐振器为重测品，并于承载盘离开腔室后，取出此重测品，以再次对此重测品进行气密检测步骤。
在一些实施例中，前述的第二气压值为4.7公斤/平方公分～5.0公斤/平方公分。
在一些实施例中，前述的第二加压阶段将腔室加压至第二气压值后，维持第二气压值3.0分钟。
附图说明
图1示出根据本发明实施例的气密检测设备的功能方框示意图。
图2示出根据本发明实施例的气密检测设备所适用的气密检测方法的流程示意图。
图3a和图3b示出本发明实施例的气密检测设备的结构上视图。
图4示出根据本发明实施例的加压系统的简单结构示意图。
图5示出利用加压系统来提供高压环境的步骤的流程示意图。
其中，附图标记说明如下：
100：气密检测设备
110：承载盘
120：加压系统
121：腔室
122：主要储气筒
123：回收储气筒
124：第一阀门
125：第二阀门
126：第三阀门
130：检测系统
140：平台
150：轨道装置
160：选别系统
161：平台
162：机器手臂
163：承载盘
170：容器
200：气密检测方法
210～230：步骤
500：步骤
510～530：步骤
OSC：待测石英谐振器
SL：槽孔
具体实施方式
关于本文中所使用的“第一”、“第二”、…等，并非特别指次序或顺位的意思，其仅为了区别以相同技术用语描述的元件或操作。
请参照图1，其示出根据本发明实施例的气密检测设备100的功能方框示意图。气密检测设备100包含承载盘110、加压系统120以及检测系统130。承载盘110用以承载至少一个待测石英谐振器OSC。加压系统120用以接收承载盘110，并提供高压环境。检测系统130用以于此高压环境中对待测石英谐振器OSC进行气密检测步骤，以判断待测石英谐振器OSC的气密性是否正常。
请同时参照图2、图3a以及图3b，图2示出根据本发明实施例的气密检测设备100所适用的气密检测方法200的流程示意图，图3a-图3b示出根据本发明实施例的气密检测设备100的结构上视图。在气密检测方法200中，首先进行步骤210，以将待测石英谐振器OSC送入加压系统120中。在本发明的一实施例中，待测石英谐振器OSC是置放于承载盘110上。承载盘110具有容置空间来容纳待测石英谐振器OSC，例如承载盘163的槽孔SL。当待测石英谐振器OSC皆置入承载盘110的槽孔后，将承载盘110置放于平台140上，再通过轨道装置150来送入加压系统120的腔室121中，如图3a所示。然而，本发明的实施例并不受限于此。在本发明的其他实施例中，承载盘110亦可利用机器手臂来置入加压系统120的腔室121中。当承载盘110进入腔室121后，腔室121的出入口便会关闭，以使腔室121维持气密状态。
接着，进行步骤220，以利用加压系统120来于腔室121中产生高压环境，并于此高压环境下利用检测系统130来对承载盘110上的每个待测石英谐振器OSC进行气密检测步骤，以判断每个待测石英谐振器OSC的气密性是否正常。在本发明的一实施例中，检测系统130包含设置于腔室121中的一检测治具(未示出)，此检测治具接触待测石英谐振器OSC的引脚，以利检测系统130于高压环境下测量待测石英谐振器OSC的电子特性，例如频率值、阻抗值(RR)、静态电容值。然而，本发明的实施例并不受限于此。在本发明的其他实施例中，检测系统130所测量的电子特性可根据使用者需求增加或减少。
在本发明的实施例中，检测系统130是利用待测石英谐振器OSC的阻值来判断待测石英谐振器OSC的气密性是否正常。例如，在待测石英谐振器OSC进行检测前，先记录待测石英谐振器OSC在常压状态下的阻值，以作为待测石英谐振器OSC的标准阻值。在步骤220中，计算待测石英谐振器OSC在高压环境下的阻值与此标准阻值的差值，并判断此差值是否位于预设的标准差值范围内。若此差值位于标准差值范围内，则判定待测石英谐振器OSC的气密性正常。反之，若此差值位于标准差值范围外，则判定待测石英谐振器OSC的气密性异常，其为异常品。
另外，由于步骤220另测量了待测石英谐振器OSC的频率值、阻抗值(RR)以及静态电容值，故可利用频率值、阻抗值以及静态电容值来判断是否需要重新检测待测石英谐振器OSC。例如，在待测石英谐振器OSC进行检测前，先记录待测石英谐振器OSC在常压状态下的频率值，以作为待测石英谐振器OSC的标准频率值。然后，计算待测石英谐振器OSC在高压环境下的频率值与标准频率值间的频率偏差量。接着，判断频率偏差量是否位于预设的标准偏差量范围内，并提供第一判断结果。又例如，判断待测石英谐振器OSC在高压环境下的阻抗值与是否位于预设的标准阻抗值范围内，并提供第二判断结果。再例如，判断待测石英谐振器OSC在高压环境下的静态电容值是否位于预设的标准静态电容值范围内，并提供第三判断结果。当前述的第一判断结果、第二判断结果以及第三判断结果之一者为否时，判定此待测石英谐振器OSC为重测品，其需再次进行检测。
在步骤220检测完成后，接着进行步骤230，以将重测品和异常品选出，如图3b所示。在本发明的实施例中，气密检测设备100还包含选别系统160，其包含平台161、机器手臂162以及承载盘163。平台161是用以接收承载盘110，并将承载盘110移动至机器手臂162的工作区域，以利机器手臂162将承载盘110中的重测品挑出，并置放于承载盘163中，以及将异常品挑出并放置于容器170中。在本发明实施例中，步骤220会纪录异常品和重测品在承载盘110上的位置，以利机器手臂162将异常品和重测品挑出。
当承载盘110中的重测品皆被挑出置放于承载盘163后，承载盘163会被置放于气密检测设备100的平台140上，以再次对承载盘163上的重测品进行检测(前述的步骤220)，其中当重测品进行检测后，依旧被判定为重测品时，会再次对此重测品进行重测。
请参照图4，其示出根据本发明实施例的加压系统120的简单结构示意图。加压系统120包含前述的腔室121、主要储气筒122、回收储气筒123、第一阀门124、第二阀门125以及第三阀门126。第一阀门124设置于腔室121与主要储气筒122之间，以控制主要储气筒122对腔室121供应加压气体。第二阀门125设置于腔室121与回收储气筒123之间，以控制回收储气筒123对腔室121供应加压气体，或控制回收储气筒123从腔室121回收加压气体。第三阀门126设置于腔室121与排气管道OU之间，以控制腔室121通过排气管道OU排出加压气体，以进行腔室121的泄压。
请参照图5，其示出在前述步骤220中，利用加压系统120来提供高压环境的步骤500的流程示意图。在本实施例中，步骤500包含第一加压阶段510、第二加压阶段520以及回收阶段530。在第一加压阶段510中，开启第二阀门125，以利用回收储气筒123供应加压气体至腔室121来将腔室121加压至第一气压值。在本发明的实施例中，回收储气筒123是回收前次加压步骤所留下的加压气体，并于第一加压阶段510中提供加压气体至腔室121。在本实施例中，回收储气筒123在回收后具有2公斤/平方公分的气压值，并据此来提供加压气体至腔室121。在第二加压阶段520中，关闭第二阀门125并开启第一阀门124，以利用主要储气筒122来供应加压气体至腔室121，以将腔室121加压至第二气压值。在本实施例中，主要储气筒122具有5公斤/平方公分的气压值，其可将腔室121加压至4.7公斤/平方公分～5.0公斤/平方公分(第二气压值)，并维持3.0分钟。在腔室121的压力达到4.7公斤/平方公分～5.0公斤/平方公分后，前述的步骤220便会对待测石英谐振器OSC进行检测。
在检测完成后，进行回收阶段530。在回收阶段530中，关闭第一阀门124并开启第二阀门125，以利用回收储气桶123来从腔室121回收加压气体。在本实施例中，当回收储气筒123具有2公斤/平方公分的气压值后，关闭第二阀门125并开启第三阀门126，以利用排气管道OU来进行泄压。
由以上说明可知，本发明实施例的气密检测设备100与气密检测方法200是利用加压的方式来检测待测石英谐振器的气密性，其中气密检测设备100可回收加压气体来降低检测的成本，而气密检测方法200则通过测量待测石英谐振器的多个电子特性来辅助判断待测石英谐振器是否需要重测或异常。故，本发明实施例的气密检测设备与气密检测方法可提高石英谐振器的检测准确率并降低检测所需的成本。
虽然本发明已以实施例公开如上，然其并非用以限定本发明，任何所属技术领域中具有通常知识者，在不脱离本发明的精神和范围内，当可作些许的更动与润饰，故本发明的保护范围当视后附的权利要求所界定者为准。

Claims (10)

1.一种气密检测设备，其特征在于，包含：
一承载盘，用以承载至少一待测石英谐振器；
一加压系统，包含：
一腔室，用以容置该承载盘，其中该腔室具有一腔室入口，当该承载盘由该腔室入口进入该腔室后，该腔室入口关闭，以使该腔室维持气密状态；
一回收储气筒，用以于一第一加压阶段中，供应加压气体至该腔室来将该腔室加压至一第一气压值，以及用以于一回收阶段中从该腔室回收加压气体；以及
一主要储气筒，用以于一第二加压阶段中，供应加压气体至该腔室，以将该腔室加压至一第二气压值，其中该第二加压阶段接续于该第一加压阶段，该回收阶段接续于该第二加压阶段，该第二气压值大于该第一气压值；以及
一检测系统，用以于该第二加压阶段中检测该至少一待测石英谐振器的一阻值，并根据该阻值来进行一气密检测步骤，以判断该至少一待测石英谐振器的气密性是否正常。
2.如权利要求1所述的气密检测设备，其特征在于，该加压系统还包含：
一第一阀门，设置于该腔室与该主要储气筒之间，以控制该主要储气筒对该腔室供应加压气体；
一第二阀门，设置于该腔室与该回收储气筒之间，以控制该回收储气筒对该腔室供应加压气体，或控制该回收储气筒从该腔室回收加压气体；以及
至少一第三阀门，设置于该腔室与一排气管道之间，以控制该腔室通过该排气管道排出加压气体，以进行泄压。
3.如权利要求1所述的气密检测设备，其特征在于，该检测系统所进行的该气密检测步骤包含：
计算该至少一待测石英谐振器的该阻值与一标准阻值的一差值；以及
判断该差值是否位于一标准差值范围内；
当该差值位于该标准差值范围内时，判定该至少一待测石英谐振器的气密性为正常。
4.如权利要求3所述的气密检测设备，其特征在于，该检测系统还进行一特性检测步骤，该特性检测步骤包含：
获取该至少一待测石英谐振器的一频率偏差量、一阻抗值以及一静态电容值：
判断该频率偏差量是否位于一标准偏差量范围内，并提供一第一判断结果；
判断该阻抗值是否位于一标准阻抗值范围内，并提供一第二判断结果；以及
判断该静态电容值是否位于一标准静态电容值范围内，并提供一第三判断结果；
其中，当该第一判断结果、该第二判断结果以及该第三判断结果之一者为否时，决定该至少一待测石英谐振器为一重测品，并于该承载盘离开该腔室后，取出该重测品，以再次对该重测品进行该气密检测步骤。
5.如权利要求1所述的气密检测设备，其特征在于，该第二气压值为4.7公斤/平方公分～5.0公斤/平方公分。
6.一种气密检测方法，其特征在于，包含：
将一待测石英谐振器送入一加压系统的一腔室中；
封闭该腔室，以使该腔室维持气密状态；
利用该加压系统来对该腔室进行一加压步骤，其中该加压步骤包含：
进行一第一加压阶段，以利用一回收储气桶来供应加压气体至该腔室来将该腔室加压至一第一气压值；
进行一第二加压阶段，以利用一主要储气桶来供应加压气体至该腔室来将该腔室加压至一第二气压值，其中该第二加压阶段接续于该第一加压阶段，该第二气压值大于该第一气压值；以及
进行一回收阶段，以利用该回收储气桶来从该腔室回收加压气体；
以及于该第二加压阶段中，检测该待测石英谐振器的一阻值，并根据该阻值来进行一气密检测步骤，以判断该待测石英谐振器的气密性是否正常。
7.如权利要求第6项所述的气密检测方法，其特征在于，该气密检测步骤包含：
计算该待测石英谐振器的该阻值与一标准阻值的一差值；以及
判断该差值是否位于一标准差值范围内；
其中，当该差值位于该标准差值范围内时，判定该待测石英谐振器的气密性为正常。
8.如权利要求7所述的气密检测方法，其特征在于，还包含：
于该第二加压阶段中，进行一特性检测步骤，其中该特性检测步骤包含：
获得该待测石英谐振器的一频率偏差量、一阻抗值以及一静态电容值：
判断该频率偏差量是否位于一标准偏差量范围内，并提供一第一判断结果；
判断该阻抗值是否位于一标准阻抗值范围内，并提供一第二判断结果；以及
判断该静态电容值是否位于一标准静态电容值范围内，并提供一第三判断结果；
其中，当该第一判断结果、该第二判断结果以及该第三判断结果之一者为否时，决定该待测石英谐振器为一重测品，并于一承载盘离开该腔室后，取出该重测品，以再次对该重测品进行该气密检测步骤。
9.如权利要求6所述的气密检测方法，其特征在于，该第二气压值为4.7公斤/平方公分～5.0公斤/平方公分。
10.如权利要求9所述的气密检测方法，其特征在于，该第二加压阶段将该腔室加压至该第二气压值后，维持该第二气压值3.0分钟。
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Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH1151802A (ja) * 1997-07-31 1999-02-26 River Eletec Kk 圧電素子用パッケージの気密検査方法
CN1930719A (zh) * 2004-03-17 2007-03-14 丰田自动车株式会社 漏气检测装置及其方法
CN104535282A (zh) * 2014-11-24 2015-04-22 应达利电子(深圳)有限公司 一种石英晶体谐振器气密性检测方法和装置
CN204286709U (zh) * 2014-12-16 2015-04-22 江苏中宏机械制造有限公司 一种低噪声可回收余气的气密检测装置机
CN104874047A (zh) * 2007-12-31 2015-09-02 德卡产品有限公司 输注泵组件
CN208721330U (zh) * 2018-09-05 2019-04-09 广州新龙浩工业设备有限公司 一种氦气检漏回收装置
CN109738136A (zh) * 2019-03-07 2019-05-10 北京亿华通科技股份有限公司 自动气密测试系统
CN111562072A (zh) * 2020-05-12 2020-08-21 东晶电子金华有限公司 检测方法、检测设备和计算机可读存储介质

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH1151802A (ja) * 1997-07-31 1999-02-26 River Eletec Kk 圧電素子用パッケージの気密検査方法
CN1930719A (zh) * 2004-03-17 2007-03-14 丰田自动车株式会社 漏气检测装置及其方法
CN104874047A (zh) * 2007-12-31 2015-09-02 德卡产品有限公司 输注泵组件
CN104535282A (zh) * 2014-11-24 2015-04-22 应达利电子(深圳)有限公司 一种石英晶体谐振器气密性检测方法和装置
CN204286709U (zh) * 2014-12-16 2015-04-22 江苏中宏机械制造有限公司 一种低噪声可回收余气的气密检测装置机
CN208721330U (zh) * 2018-09-05 2019-04-09 广州新龙浩工业设备有限公司 一种氦气检漏回收装置
CN109738136A (zh) * 2019-03-07 2019-05-10 北京亿华通科技股份有限公司 自动气密测试系统
CN111562072A (zh) * 2020-05-12 2020-08-21 东晶电子金华有限公司 检测方法、检测设备和计算机可读存储介质

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
蔡洵;高杨;黄振华;: "薄膜体声波谐振器性能模型参数的提取方法", 强激光与粒子束, no. 06, 15 June 2016 (2016-06-15) *

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