CN114334725A - 一种操作方便的cvd蚀刻方法和蚀刻装置 - Google Patents

Abstract

本发明涉及蚀刻装置技术领域，具体为一种操作方便的CVD蚀刻方法和蚀刻装置，包括底座，所述底座顶部设有水箱、放置台、热风发生器、加热箱和蚀刻仓，所述水箱顶部设有进液管，所述进液管与所述箱体内部相通，所述进液管上设有第一密封阀，所述水箱顶部设有水泵，所述水泵一端与抽水管一端连接，所述抽水管另一端伸入所述水箱内部，所述水泵另一端与出水管一端连接，所述出水管另一端与雾化喷头一端连接，所述放置台上开设有放置槽，所述放置台顶部一侧与支柱一端连接，所述支柱另一端与所述出水管连接，所述热风发生器上设有出气管，本发明一种操作方便的CVD蚀刻方法和蚀刻装置，解决了目前设备不方便清洗和烘干效果差的问题。

Description

一种操作方便的CVD蚀刻方法和蚀刻装置

技术领域

本发明涉及蚀刻装置技术领域，具体为一种操作方便的CVD蚀刻方法和蚀刻装置。

背景技术

众所周知，随着科技的发展，蚀刻技术也随着出现，蚀刻技术的出现给人们带来了很大的便利，蚀刻是将材料使用化学反应或物理撞击作用而移除的技术，蚀刻技术可以分为湿蚀刻和干蚀刻两类。

现有的设备在使用时，不方便清洗需要蚀刻的基材，设备的烘干效果差，会影响设备加工的效果。

发明内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本发明提供了一种操作方便的CVD蚀刻方法和蚀刻装置，解决了目前设备不方便清洗和烘干效果差的问题。

(二)技术方案

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种操作方便的CVD蚀刻装置，包括底座，所述底座顶部设有水箱、放置台、热风发生器、加热箱和蚀刻仓，所述水箱顶部设有进液管，所述进液管与所述水箱内部相通，所述进液管上设有第一密封阀，所述水箱顶部设有水泵，所述水泵一端与抽水管一端连接，所述抽水管另一端伸入所述水箱内部，所述水泵另一端与出水管一端连接，所述出水管另一端与雾化喷头一端连接，所述放置台上开设有放置槽，所述放置台顶部一侧与支柱一端连接，所述支柱另一端与所述出水管连接，所述热风发生器上设有出气管，所述出气管一端设置在所述热风发生器上，所述出气管另一端连通所述加热箱，所述加热箱正面铰接有第一开关门，所述第一开关门上设有第一门锁，所述加热箱上设有吹风机构，所述吹风机构包括电机和风扇，所述电机输出端与所述风扇连接，所述吹风机构设有两个且对称设置，所述加热箱内部一端与第一连接块一端连接，所述第一连接块另一端与沥水网一端连接，所述沥水网另一端与第二连接块一端连接，所述第二连接块另一端与所述加热箱内部另一端连接，所述沥水网上设有若干网眼，所述网眼贯穿于所述沥水网，所述加热箱内部设有回收箱，所述回收箱顶部设有开口，所述开口与所述回收箱内部相通，所述加热箱内部设有限位机构，所述蚀刻仓正面铰接有第二开关门，所述第二开关门上设有第二门锁。

所述限位机构包括弹簧、按压块和辅助杆，所述弹簧一端与所述加热箱内部一端连接，所述弹簧另一端与所述按压块一端连接，所述按压块上设有辅助杆，所述限位机构设有若干个，若干个所述限位机构对称设置在所述加热箱内部两侧。

为了实现密封的效果，本发明改进有，所述第一开关门四周设有密封圈。

为了方便观察蚀刻仓内部的情况，本发明改进有，所述第二开关门上嵌入观察窗。

为了实现排气的效果，本发明改进有，所述加热箱顶部一侧设有排气管，所述排气管与所述加热箱内部相通，所述排气管上设有第二密封阀。

为了实现方便操作的效果，本发明改进有，所述底座顶部设有控制器，所述控制器与所述水泵电性连接，所述控制器与所述热风发生器电性连接，所述控制器与所述电机电性连接。

本发明进一步提供了一种操作方便的CVD蚀刻方法，包括以下步骤：

步骤1：首先将设备放在指定的位置，通过底座对设备进行支撑，然后将基材放在放置台上的放置槽上，然后打开第一密封阀，通过进液管向水箱内部加入清洗液，然后通过控制器启动水泵，通过水泵配合抽水管将水箱内部的清洗液抽出，再通过出水管流到雾化喷头，通过雾化喷头将清洗液雾化，然后雾化后的清洗液喷到放置槽上的基材上，从而对基材进行清洗。

步骤2：通过第一门锁打开第一开关门，然后将基材放入加热箱内部的第一连接块和第二连接块中间的沥水网上，然后关闭第一开关门，在通过第一门锁将第一开关门锁上，基材放在沥水网上，能够将多余的水分流到回收箱内部。

步骤3：通过控制器启动热风发生器，通过热风发生器配合出气管将热风流到加热箱内部，然后通过控制器启动设有两个且对称设置的吹风机构上的电机，通过电机带动风扇吹风，从而使通过热风发生器配合出气管流到加热箱内部的热风均匀的吹到加热箱内部，从而方便将沥水网上的基材烘干，在烘干的过程中，如果担心加热箱内部的温度过高，可以打开第二密封阀，能够将加热箱内部的热气通过排气管排出，热气排放一部分后，在关闭第二密封阀。

步骤4：然后通过第一门锁打开第一开关门，然后将烘干好的基材取出，然后关闭第一开关门，在通过第一门锁将第一开关门锁住。

步骤5、然后通过第二门锁打开第二开关门，将物品放入蚀刻仓内部进行加工，然后关闭第二开关门，在通过第二门锁将第二开关门锁上。

步骤6：通过观察窗观看蚀刻仓内部的加工情况，加工完成后，通过第二门锁打第二开关门，将加工好的基材取出即可，然后将第二开关门关闭，在通过第二门锁将第二开关门锁上。

步骤7：通过第一门锁打开第一开关门，通过拉动限位机构，使限位机构与回收箱分离，不对回收箱限位，然后将回收箱从加热箱中取出，将回收箱回收的废水倒在指定的回收位置，然后再将回收箱放入加热箱内部，然后通过若干个限位机构对回收箱进行限位，防止回收箱出现晃动。

步骤8：然后关闭第一开关门，在通过第一门锁将第一开关门锁住。

(三)有益效果

与现有技术相比，本发明提供了一种操作方便的CVD蚀刻装置，具备以下有益效果：

该操作方便的CVD蚀刻装置，通过底座能够对设备进行支撑，通过放置台上的放置槽能够将基材放入，然后打开第一密封阀，通过进液管能够向水箱内部加入清洗液，然后通过控制器启动水泵，通过水泵配合抽水管将水箱内部的清洗液抽出，再通过出水管流到雾化喷头，通过雾化喷头将清洗液雾化，喷到放置槽上的基材上，从而能够对基材清洗，通过对称设置在加热箱内部两侧的若干个所述限位机构，能够对回收箱进行限位，防止回收箱晃动，通过第一开关门四周设有的密封圈，能够实现密封的效果，然后通过第二门锁能够打开第二开关门，工作人员能够将基材放在蚀刻仓内部进行加工，通过控制器能够使操作变的简便，通过第二开关门上嵌入观察窗，方便观看蚀刻仓内部的情况。

附图说明

图1为本发明结构示意图；

图2为本发明图1中加热箱的内部结构示意图；

图3为本发明图1中按压块与辅助杆的侧视连接图。

图中：1、底座；2、水箱；3、进液管；4、第一密封阀；5、水泵；6、抽水管；7、出水管；8、雾化喷头；9、支柱；10、放置台；11、放置槽；12、热风发生器；13、出气管；14、加热箱；15、第一开关门；16、第一门锁； 17、密封圈；18、排气管；19、第二密封阀；20、第一连接块；21、第二连接块；22、沥水网；23、网眼；24、吹风机构；25、电机；26、风扇；27、回收箱；28、限位机构；29、弹簧；30、按压块；31、辅助杆；32、开口； 33、蚀刻仓；34、第二开关门；35、第二门锁；36、控制器；37、观察窗。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

实施例

请参阅图1-3，一种操作方便的CVD蚀刻装置，包括底座1，所述底座1 顶部设有水箱2、放置台10、热风发生器12、加热箱14和蚀刻仓33，所述水箱2顶部设有进液管3，所述进液管3与所述水箱2内部相通，所述进液管 3上设有第一密封阀4，所述水箱2顶部设有水泵5，所述水泵5一端与抽水管6一端连接，所述抽水管6另一端伸入所述水箱2内部，所述水泵5另一端与出水管7一端连接，所述出水管7另一端与雾化喷头8一端连接，所述放置台10上开设有放置槽11，所述放置台10顶部一侧与支柱9一端连接，所述支柱9另一端与所述出水管7连接，所述热风发生器12上设有出气管13，所述出气管13一端设置在所述热风发生器12上，所述出气管13另一端连通所述加热箱14，所述加热箱14正面铰接有第一开关门15，所述第一开关门 15上设有第一门锁16，所述加热箱14上设有吹风机构24，所述吹风机构24 包括电机25和风扇26，所述电机25输出端与所述风扇26连接，所述吹风机构24设有两个且对称设置，所述加热箱14内部一端与第一连接块20一端连接，所述第一连接块20另一端与沥水网22一端连接，所述沥水网22另一端与第二连接块21一端连接，所述第二连接块21另一端与所述加热箱14内部另一端连接，所述沥水网22上设有若干网眼23，所述网眼23贯穿于所述沥水网22，所述加热箱14内部设有回收箱27，所述回收箱27顶部设有开口32，所述开口32与所述回收箱27内部相通，所述加热箱14内部设有限位机构28，所述蚀刻仓33正面铰接有第二开关门34，所述第二开关门34上设有第二门锁35。

进一步的，所述限位机构28包括弹簧29、按压块30和辅助杆31，所述弹簧29一端与所述加热箱14内部一端连接，所述弹簧29另一端与所述按压块30一端连接，所述按压块30上设有辅助杆31，所述限位机构28设有若干个，若干个所述限位机构28对称设置在所述加热箱14内部两侧，通过限位机构28能够对回收箱27进行固定，防止回收箱27出现晃动。

进一步的，所述第一开关门15四周设有密封圈17，能够实现密封的效果。

本实施例中，所述第二开关门34上嵌入观察窗37，方便观看蚀刻仓33 内部的情况。

本实施例中，所述加热箱14顶部一侧设有排气管18，所述排气管18与所述加热箱14内部相通，所述排气管18上设有第二密封阀19，通过排气管 18能够实现排气的效果。

进一步的，通过所述底座1顶部设有控制器36，能够使操作变的简便，所述控制器36与所述水泵5电性连接，所述控制器36与所述热风发生器12 电性连接，所述控制器36与所述电机25电性连接。

本发明进一步提供了一种操作方便的CVD蚀刻方法，包括以下步骤：

步骤1：首先将设备放在指定的位置，通过底座1对设备进行支撑，然后将基材放在放置台10上的放置槽11上，然后打开第一密封阀4，通过进液管 3向水箱2内部加入清洗液，然后通过控制器36启动水泵5，通过水泵5配合抽水管6将水箱2内部的清洗液抽出，再通过出水管7流到雾化喷头8，通过雾化喷头8将清洗液雾化，然后雾化后的清洗液喷到放置槽11上的基材上，从而对基材进行清洗。

步骤2：通过第一门锁16打开第一开关门15，然后将基材放入加热箱14 内部的第一连接块20和第二连接块21中间的沥水网22上，然后关闭第一开关门15，在通过第一门锁16将第一开关门15锁上，基材放在沥水网22上，能够将多余的水分流到回收箱27内部。

步骤3：通过控制器36启动热风发生器12，通过热风发生器12配合出气管13将热风流到加热箱14内部，然后通过控制器36启动设有两个且对称设置的吹风机构24上的电机25，通过电机25带动风扇26吹风，从而使通过热风发生器12配合出气管13流到加热箱14内部的热风均匀的吹到加热箱14 内部，从而方便将沥水网22上的基材烘干，在烘干的过程中，如果担心加热箱14内部的温度过高，可以打开第二密封阀19，能够将加热箱14内部的热气通过排气管18排出，热气排放一部分后，在关闭第二密封阀19。

步骤4：然后通过第一门锁16打开第一开关门15，然后将烘干好的基材取出，然后关闭第一开关门15，在通过第一门锁16将第一开关门15锁住。

步骤5、然后通过第二门锁35打开第二开关门34，将物品放入蚀刻仓33 内部进行加工，然后关闭第二开关门34，在通过第二门锁35将第二开关门 34锁上。

步骤6：通过观察窗37观看蚀刻仓33内部的加工情况，加工完成后，通过第二门锁35打第二开关门34，将加工好的基材取出即可，然后将第二开关门34关闭，在通过第二门锁35将第二开关门34锁上。

步骤7：通过第一门锁16打开第一开关门15，通过拉动限位机构28，使限位机构28与回收箱27分离，不对回收箱27限位，然后将回收箱27从加热箱14中取出，将回收箱27回收的废水倒在指定的回收位置，然后再将回收箱27放入加热箱14内部，然后通过若干个限位机构28对回收箱27进行限位，防止回收箱27出现晃动。

步骤8：然后关闭第一开关门15，在通过第一门锁16将第一开关门15 锁住。

综上所述，该操作方便的CVD蚀刻装置的工作原理和工作过程为，在使用时，首先将设备放在指定的位置，通过底座1能够对设备进行支撑，通过放置台10上的放置槽11能够将基材放入，然后打开第一密封阀4，通过进液管3能够向水箱2内部加入清洗液，然后通过控制器36启动水泵5，通过水泵5配合抽水管6将水箱2内部的清洗液抽出，再通过出水管7流到雾化喷头8，通过雾化喷头8将清洗液雾化，喷到放置槽11上的基材上，从而能够对基材清洗，通过支柱9能够对出水管7进行支撑，通过打开第一门锁16能够打开第一开关门15，然后通过第一连接块20和第二连接块21中间的沥水网22能够将基材放在上面，通过沥水网22上开设的若干网眼23和回收箱27 顶部的开口32，能够将基材上多余的水流到回收箱27内部，通过控制器36 能够启动热风发生器12，通过热风发生器12配合出气管13能够将热风流到加热箱14内部，然后通过控制器36启动设有两个且对称设置的吹风机构24 上的电机25，通过电机25带动风扇26吹风，从而使通过热风发生器12配合出气管13流到加热箱14内部的热风均匀的吹到加热箱14内部，从而热风能够对沥水网22上的基材烘干，通过打开第二密封阀19，能够将加热箱14内部的热气通过排气管18排出，通过对称设置在加热箱14内部两侧的若干个所述限位机构28，能够对回收箱27进行限位，防止回收箱27晃动，通过弹簧29上的按压块30抵接在回收箱27上，从而能够对回收箱27进行限位，通过拉动辅助杆31，使按压块30按压弹簧29，通过弹簧29受到压力发生形变，能够使按压块30与回收箱27分离，通过第一开关门15四周设有的密封圈17，能够实现密封的效果，然后通过第二门锁35能够打开第二开关门34，工作人员能够将基材放在蚀刻仓33内部进行加工，通过控制器36能够使操作变的简便，通过第二开关门34上嵌入观察窗37，方便观看蚀刻仓33内部的情况。

尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (7)

1.一种操作方便的CVD蚀刻装置，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)顶部设有水箱(2)、放置台(10)、热风发生器(12)、加热箱(14)和蚀刻仓(33)，所述水箱(2)顶部设有进液管(3)，所述进液管(3)与所述水箱(2)内部相通，所述进液管(3)上设有第一密封阀(4)，所述水箱(2)顶部设有水泵(5)，所述水泵(5)一端与抽水管(6)一端连接，所述抽水管(6)另一端伸入所述水箱(2)内部，所述水泵(5)另一端与出水管(7)一端连接，所述出水管(7)另一端与雾化喷头(8)一端连接，所述放置台(10)上开设有放置槽(11)，所述放置台(10)顶部一侧与支柱(9)一端连接，所述支柱(9)另一端与所述出水管(7)连接，所述热风发生器(12)上设有出气管(13)，所述出气管(13)一端设置在所述热风发生器(12)上，所述出气管(13)另一端连通所述加热箱(14)，所述加热箱(14)正面铰接有第一开关门(15)，所述第一开关门(15)上设有第一门锁(16)，所述加热箱(14)上设有吹风机构(24)，所述吹风机构(24)包括电机(25)和风扇(26)，所述电机(25)输出端与所述风扇(26)连接，所述吹风机构(24)设有两个且对称设置，所述加热箱(14)内部一端与第一连接块(20)一端连接，所述第一连接块(20)另一端与沥水网(22)一端连接，所述沥水网(22)另一端与第二连接块(21)一端连接，所述第二连接块(21)另一端与所述加热箱(14)内部另一端连接，所述沥水网(22)上设有若干网眼(23)，所述网眼(23)贯穿于所述沥水网(22)，所述加热箱(14)内部设有回收箱(27)，所述回收箱(27)顶部设有开口(32)，所述开口(32)与所述回收箱(27)内部相通，所述加热箱(14)内部设有限位机构(28)，所述蚀刻仓(33)正面铰接有第二开关门(34)，所述第二开关门(34)上设有第二门锁(35)。

2.根据权利要求1所述的一种操作方便的CVD蚀刻装置，其特征在于：所述限位机构(28)包括弹簧(29)、按压块(30)和辅助杆(31)，所述弹簧(29)一端与所述加热箱(14)内部一端连接，所述弹簧(29)另一端与所述按压块(30)一端连接，所述按压块(30)上设有辅助杆(31)，所述限位机构(28)设有若干个，若干个所述限位机构(28)对称设置在所述加热箱(14)内部两侧。

3.根据权利要求2所述的一种操作方便的CVD蚀刻装置，其特征在于：所述第一开关门(15)四周设有密封圈(17)。

4.根据权利要求3所述的一种操作方便的CVD蚀刻装置，其特征在于：所述第二开关门(34)上嵌入观察窗(37)。

5.根据权利要求4所述的一种操作方便的CVD蚀刻装置，其特征在于：所述加热箱(14)顶部一侧设有排气管(18)，所述排气管(18)与所述加热箱(14)内部相通，所述排气管(18)上设有第二密封阀(19)。

6.根据权利要求5所述的一种操作方便的CVD蚀刻装置，其特征在于：所述底座(1)顶部设有控制器(36)，所述控制器(36)与所述水泵(5)电性连接，所述控制器(36)与所述热风发生器(12)电性连接，所述控制器(36)与所述电机(25)电性连接。

7.一种操作方便的CVD蚀刻方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤1：首先将设备放在指定的位置，通过底座(1)对设备进行支撑，然后将基材放在放置台(10)上的放置槽(11)上，然后打开第一密封阀(4)，通过进液管(3)向水箱(2)内部加入清洗液，然后通过控制器(36)启动水泵(5)，通过水泵(5)配合抽水管(6)将水箱(2)内部的清洗液抽出，再通过出水管(7)流到雾化喷头(8)，通过雾化喷头(8)将清洗液雾化，然后雾化后的清洗液喷到放置槽(11)上的基材上，从而对基材进行清洗。

步骤2：通过第一门锁(16)打开第一开关门(15)，然后将基材放入加热箱(14)内部的第一连接块(20)和第二连接块(21)中间的沥水网(22)上，然后关闭第一开关门(15)，在通过第一门锁(16)将第一开关门(15)锁上，基材放在沥水网(22)上，能够将多余的水分流到回收箱(27)内部。

步骤3：通过控制器(36)启动热风发生器(12)，通过热风发生器(12)配合出气管(13)将热风流到加热箱(14)内部，然后通过控制器(36)启动设有两个且对称设置的吹风机构(24)上的电机(25)，通过电机(25)带动风扇(26)吹风，从而使通过热风发生器(12)配合出气管(13)流到加热箱(14)内部的热风均匀的吹到加热箱(14)内部，从而方便将沥水网(22)上的基材烘干，在烘干的过程中，如果担心加热箱(14)内部的温度过高，可以打开第二密封阀(19)，能够将加热箱(14)内部的热气通过排气管(18)排出，热气排放一部分后，在关闭第二密封阀(19)。

步骤4：然后通过第一门锁(16)打开第一开关门(15)，然后将烘干好的基材取出，然后关闭第一开关门(15)，在通过第一门锁(16)将第一开关门(15)锁住。

步骤5、然后通过第二门锁(35)打开第二开关门(34)，将物品放入蚀刻仓(33)内部进行加工，然后关闭第二开关门(34)，在通过第二门锁(35)将第二开关门(34)锁上。

步骤6：通过观察窗(37)观看蚀刻仓(33)内部的加工情况，加工完成后，通过第二门锁(35)打第二开关门(34)，将加工好的基材取出即可，然后将第二开关门(34)关闭，在通过第二门锁(35)将第二开关门(34)锁上。

步骤7：通过第一门锁(16)打开第一开关门(15)，通过拉动限位机构(28)，使限位机构(28)与回收箱(27)分离，不对回收箱(27)限位，然后将回收箱(27)从加热箱(14)中取出，将回收箱(27)回收的废水倒在指定的回收位置，然后再将回收箱(27)放入加热箱(14)内部，然后通过若干个限位机构(28)对回收箱(27)进行限位，防止回收箱(27)出现晃动。

步骤8：然后关闭第一开关门(15)，在通过第一门锁(16)将第一开关门(15)锁住。

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