CN113851416A - 载置台和检查装置 - Google Patents

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Abstract

本发明提供能够抑制翘曲的载置台和检查装置。载置台包括：载置部，其具有用于载置被检查体的板部件和透光性部件；以及光照射机构，其照射光以使上述被检查体升温，上述板部件和上述透光性部件由线膨胀系数为1.0×10‑6/K以下的低热膨胀材料形成。

Description

载置台和检查装置
技术领域
本发明涉及载置台和检查装置。
背景技术
已知有一种检查装置，其将形成有电子器件的晶片、配置有电子器件的载体载置在载置台，从测试器经由探针等对电子器件供给电流，由此来检查电子器件的电气特性。利用载置台内的冷却机构、加热机构，来控制电子器件的温度。
专利文献1公开了一种载置台，其特征在于：包括用于载置被检查体的冷却机构和光照射机构，该光照射机构以隔着该冷却机构与前述被检查体对置的方式配置，前述冷却机构由透光部件构成，其内部供光可透射的致冷剂流过，前述光照射机构具有指向前述被检查体的多个LED。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2018-151369号公报
发明内容
发明要解决的技术问题
然而，在用光照射机构加热被检查体时，由于冷却机构的上表面侧升温，所以，因冷却机构的上表面与下表面之间的温度差，而载置台可能产生翘曲。此外，因为限定了因光照射机构而升温的区域，所以被光照射机构照射光而升温的高温区域和不被光照射机构照射光的低温区域并存，因此，因冷却机构的高温区域与低温区域之间的温度差，而载置台可能产生翘曲。
在一个方面，本发明提供抑制翘曲的载置台和检查装置。
用于解决技术问题的技术方案
为了解决上述技术问题，依照一个方面，提供一种载置台，其包括：载置部，其具有用于载置被检查体的板部件和透光性部件；以及光照射机构，其照射光以使上述被检查体升温，上述板部件和上述透光性部件由线膨胀系数为1.0×10-6/K以下的低热膨胀材料形成。
发明效果
依照一方面，能够提供抑制翘曲的载置台和检查装置。
附图说明
图1是说明本实施方式的检查装置的结构的截面示意图。
图2是说明第一实施方式的工作台的上部结构的截面示意图。
图3是将光照射时的参考例的工作台和第一实施方式的工作台对比地表示的图。
图4是说明第二实施方式的工作台的上部结构的截面示意图。
图5是说明第三实施方式的工作台的上部结构的截面示意图。
附图标记说明
10 检查装置
11 工作台(载置台)
19 控制部
20 配线
21 致冷剂供给装置
22 送出配管
23 返回配管
25 电子器件
30、30A、30B 载置部
31、31A、31B 板部件
311 板部件
312 热传导膜
32 透光性部件
33 绝缘膜
34 测温电阻体膜
35 致冷剂流路
40 光照射机构
41 LED
C 载体(被检查体)。
具体实施方式
以下，参照附图，对用于实施本发明的方式详细地进行说明。在各附图中，存在对相同构成部分标注相同附图标记，省略重复说明的情况。
<检查装置>
使用图1，说明本实施方式的具有工作台(载置台)11的检查装置10。图1是说明本实施方式的检查装置10的结构的截面示意图。
检查装置10是对配置于载体(被检查体)C的多个电子器件各自的电特性进行检查的装置。检查装置10包括收纳用于载置载体C的工作台11的收纳室12、与收纳室12相邻地配置的装载器13和以覆盖收纳室12的方式配置的测试器14。
收纳室12具有内部为空洞的壳体形状。在收纳室12的内部，收纳有用于载置载体C的工作台11和以与工作台11相对的方式配置的探针卡15。探针卡15具有多个针状的探针(接触端子)16，多个探针16对应与载体C的各电子器件(图2中后述的电子器件25)的电极对应地设置的电极焊盘(图2中后述的电极焊盘26)、焊料凸块而配置。
工作台11具有将载体C固定在工作台11的固定机构(未图示)。由此，能够防止载体C相对于工作台11的相对位置的位置偏移。此外，通过在收纳室12设置使工作台11在水平方向和上下方向上移动的移动机构(未图示)，来调节探针卡15和载体C的相对位置，以使与各电子器件的电极对应地设置的电极焊盘、焊料凸块接触到探针卡15的各探针16。
装载器13从作为输送容器的FOUP(未图示)取出配置有电子器件的载体C并将其载置在收纳室12内部的工作台11，从工作台11移走进行了检查的载体C并将其收纳在FOUP。
探针卡15经由接口17连接到测试器14，在各探针16接触到与载体C的各电子器件的电极对应地设置的电极焊盘、焊料凸块时，各探针16从测试器14经由接口17对电子器件供给电功率，或者将来自电子器件的信号经由接口17传递到测试器14。
测试器14具有再现搭载电子器件的主板的电路结构的一部分的测试板(未示出)，测试板连接到测试器计算机18，该测试器计算机18基于来自电子器件的信号判断电子器件良好与否。在测试器14中，通过更换测试板，能够再现多种主板的电路结构。
控制部19控制工作台11的动作。控制部19控制工作台11的移动机构(未图示)，以使工作台11在水平方向和上下方向上移动。此外，控制部19经由配线20与工作台11连接。控制部19经由配线20控制后述的光照射机构40的动作。控制部19经由配线20连接到后述的测温电阻体膜34，检测温度。
致冷剂供给装置21经由送出配管22和返回配管23与工作台11的致冷剂流路35连接，使致冷剂能够在致冷剂供给装置21与工作台11的致冷剂流路35之间循环。控制部19控制致冷剂供给装置21，以控制从致冷剂供给装置21供给到致冷剂流路35的致冷剂的温度、流量等。
另外，虽然控制部19和致冷剂供给装置21被图示为设置在装载器13内，但是不限于此，也可以设置在其他位置。
在检查装置10中，当进行电子器件的电气特性的检查时，测试器计算机18将数据发送到经由各探针16与电子器件连接的测试板，然后基于来自测试板的电信号，来判断所发送的数据是否被该测试板正确地处理了。
<载置台>
下面，使用图2，对第一实施方式的载置台进行说明。图2是说明工作台11的上部结构的截面示意图。此外，在图2(以及后述的图4和图5)中，用白底箭头表示致冷剂的流动。此外，在图2(以及后述的图3～图5)中，用实线箭头表示从光照射机构40照射的光。
载置在工作台11的载体C由大致圆板状的基片24形成。在载体C，在表面彼此隔开规定的间隔地配置有从半导体器件切出(切割)的多个电子器件25。此外，在载体C，与各电子器件25的多个电极对应地设置有多个电极焊盘26，通过对各电极焊盘26施加电压，能够使电流流到各电子器件25的内部的电路。此外，载体C的基片24的形状不限于大致圆板状，只要能够载置在工作台11即可，例如可以是大致矩形形状。
工作台11具有载置部30和光照射机构40。
载置部30具有板部件31、透光性部件32、绝缘膜33和测温电阻体膜34。
板部件31是用于载置载体C的部件，形成为大致圆板状。
在板部件31的上表面(载体C的载置面)形成热喷涂膜。热喷涂膜具有绝缘膜33，绝缘膜33例如形成为Al2O3、Cr2O3、TiO2、Y2O3、YSZ、ZnO、ZrSiO4、MgAl2O4、Y2SiO5、Al6Si2O13、HfO2、Al2O3-TiO2、YF3、B4C、AlN等陶瓷的热喷涂膜。
测温电阻体膜34是形成在绝缘膜33内的测温电阻体的膜。测温电阻体膜34按规定的区域被分割，形成多通道的传感器。作为测温电阻体，例如形成为钨的热喷涂膜。控制部19(参照图1)经由配线20(参照图1)与测温电阻体膜34连接。控制部19能够检测测温电阻体膜34的电阻值，基于电阻值来推算温度。
即，形成在板部件31的上表面的热喷涂膜，形成为具有：形成在板部件31上的第一绝缘膜33；形成在第一绝缘膜33上的测温电阻体膜34；和形成在测温电阻体膜34上的第二绝缘膜33。
另外，在透光性部件32的上表面形成凹槽，通过将板部件31和透光性部件32粘接或接合，而形成致冷剂流路35。致冷剂从致冷剂供给装置21(参照图1)经由送出配管22(参照图1)被供给到致冷剂流路35。流过致冷剂流路35的致冷剂经由返回配管23(参照图1)返回到致冷剂供给装置21。此外，也可以为，在板部件31的下表面侧形成凹槽，通过将板部件31和透光性部件32粘接或接合，形成致冷剂流路35。作为致冷剂，可以使用例如无色且光可透射的液体，即水、Galden(注册商标)。
光照射机构40包括照射光的多个LED 41。LED 41在俯视下按规定的区域被划分。控制部19能够按所划分的LED 41控制点亮。控制部19能够按所划分的区域，切换点亮LED41使电子器件升温的高温区域和不点亮LED 41的低温区域。此外，关于光照射机构40，虽然以使用LED 41作为光源的光照射机构进行说明，但是光源的种类并不限定于此。
此处，在第一实施方式的工作台11中，板部件31和透光性部件32由线膨胀系数为1.0×10-6/K以下的低热膨胀材料形成。此外，板部件31和透光性部件32由透光性材料形成。例如，板部件31和透光性部件32由线膨胀系数为1.0×10-6/K以下的石英玻璃形成。此外，在板部件31的上表面形成能够吸收光的热喷涂膜(绝缘膜33、测温电阻体膜34)。
从光照射机构40辐射的光，透射过透光性部件32、致冷剂流路35中流动的致冷剂、板部件31，而照射到热喷涂膜(绝缘膜33)。由此，被照射了光的热喷涂膜(绝缘膜33)升温，电子器件25升温。
此处，与参考例的工作台11X对比，并说明第一实施方式的工作台11的效果。图3是将光照射时的参考例的工作台11X与第一实施方式的工作台11对比地表示的图。图3的(a)表示参考例的工作台11X的例子，图3的(b)表示第一实施方式的工作台11的例子。此外，参考例的工作台11X具有载置部30X和光照射机构40。载置部30X具有板部件31X和透光性部件32X。在载置部30X形成有供致冷剂流动的致冷剂流路35X。板部件31X由能够吸收光的陶瓷形成。透光性部件32X能够透射光。此外，板部件31X和透光性部件32X由线膨胀系数基本相等的材料形成。此外，参考例的板部件31X和透光性部件32X由线膨胀系数为3.2×10-6/K的材料形成。
例如，将与作为检查对象的电子器件25对应的区域的LED 41点亮。通过对板部件31X照射光，在载置部30X的上表面中央部形成升温了的升温区域50。此处，由于升温区域50形成在载置部30X的上表面侧，因此在载置部30X的上表面侧与载置部30X的下表面侧之间产生温度差。此外，当俯视载置部30X时，形成被照射光的高温区域(在图3的例子中为中央部)和不被照射光的低温区域(在图3的例子中为外周侧)。因此，在面方向上也产生温度差。由此，在图3的(a)所示的例子中，如白底箭头所示，载置部30X的上表面中央部的热膨胀变得比其他部分大，在载置载体C的载置部30X发生翘曲，载体C的载置面的平面度降低。
与此相对，如图3的(b)所示，在第一实施方式的工作台11中，即使在载置部30的上表面中央部形成升温区域50，而在载置部30的上表面侧与下表面侧之间形成温度差，或者即使在俯视时，在被照射光的高温区域与不被照射光的低温区域之间形成温度差，也能够抑制由热膨胀引起的变形，以抑制载置载体C的载置部30的翘曲。由此，能够确保载体C的载置面的平面度。此外，由于热喷涂膜(绝缘膜33、测温电阻体膜34)通过热喷涂而形成为薄膜，因此热喷涂膜的由热膨胀引起的变形力与板部件31的刚度相比足够小，能够充分减小对载置部30的翘曲的影响。
下面，使用图4，对第二实施方式的工作台11A进行说明。图4是说明工作台11A的上部结构的截面示意图。第二实施方式的工作台11A具有载置部30A和光照射机构40。载置部30A具有板部件31A、透光性部件32、绝缘膜33和测温电阻体膜34。
此处，在第二实施方式的工作台11A中，板部件31A和透光性部件32由线膨胀系数为1.0×10-6/K以下的低热膨胀材料形成。此外，板部件31A由非透光性材料形成。透光性部件32由透光性材料形成。例如，板部件31A由因瓦合金材料(金属材料)形成。透光性部件32由石英玻璃形成。
从光照射机构40辐射的光，透射过透光性部件32、致冷剂流路35中流动的致冷剂，而照射到板部件31A的背面。由此，被照射了光的板部件31A升温。板部件31A的热经由绝缘膜33和测温电阻体膜34传递到电子器件25，电子器件25升温。
依照第二实施方式的工作台11A，即使在载置部30A的上表面侧与下表面侧之间形成温度差，或者即使在俯视时，在被照射光的高温区域与不被照射光的低温区域之间形成温度差，也能够抑制由热膨胀引起的变形，以抑制载置载体C的载置部30的翘曲。由此，能够确保载体C的载置面的平面度。
下面，使用图5，对第三实施方式的工作台11B进行说明。图5是说明工作台11B的上部结构的截面示意图。第三实施方式的工作台11B具有载置部30B和光照射机构40。载置部30B具有板部件31B、透光性部件32、绝缘膜33和测温电阻体膜34。
此处，在第三实施方式的工作台11B中，透光性部件32由线性膨胀系数为1.0×10-6/K以下的低热膨胀材料形成。透光性部件32由透光性材料形成。例如，透光性部件32由石英玻璃形成。
另外，板部件31B具有：板部件311，其形成为板状，在板厚方向上具有多个贯通孔；和热传导膜312，其覆盖板部件311的表面并填充贯通孔。板部件311由线膨胀系数为1.0×10-6/K以下的低热膨胀材料形成。此外，板部件311由非透光性材料形成。例如，板部件311由因瓦合金材料(金属材料)形成。热传导膜312由热传导性高的材料，例如Au镀膜、Cu镀膜形成。
从光照射机构40辐射的光，透射过透光性部件32、致冷剂流路35中流动的致冷剂，而照射到板部件31B的背面。由此，被照射了光的板部件31B的背面侧升温。此外，热传导膜312起到从板部件31B的背面侧向板部件31B的正面侧的热传导的作用。板部件31B的热经由绝缘膜33和测温电阻体膜34传递到电子器件25，电子器件25升温。
依照第三实施方式的工作台11B，即使在载置部30B的上表面侧与下表面侧之间形成温度差，或者即使在俯视时，在被照射光的高温区域与不被照射光的低温区域之间形成温度差，也能够抑制由热膨胀引起的变形，以抑制载置载体C的载置部30的翘曲。由此，能够确保载体C的载置面的平面度。此外，通过提高板部件31B的热传导性，能够提高电子器件25的温度控制的响应性。
以上，对检查装置10进行了说明，但是本发明并不限定于上述实施方式等，在权利要求的范围所记载的本发明的主旨的范围内，可以进行各种变形、改良。
以配置有多个电子器件25的载体C为例，对检查装置10的被检查体进行了说明，但是并不限定于此。检查装置10的被检查体也可以是形成有多个电子器件的晶片。

Claims (8)

1.一种载置台，其特征在于，包括：
载置部，其具有用于载置被检查体的板部件和透光性部件；以及
光照射机构，其照射光以使所述被检查体升温，
所述板部件和所述透光性部件由线膨胀系数为1.0×10-6/K以下的低热膨胀材料形成。
2.如权利要求1所述的载置台，其特征在于：
所述板部件由具有透光性的材料形成，
在所述板部件的表面具有热喷涂膜，
所述热喷涂膜能够被照射从所述光照射机构辐射的光而被加热。
3.如权利要求1所述的载置台，其特征在于：
所述板部件由金属材料形成，
所述金属材料能够被照射从所述光照射机构辐射的光而被加热。
4.如权利要求1所述的载置台，其特征在于：
所述板部件包括：金属材料，其具有在厚度方向上贯通的孔；和形成于该金属材料的表面的热传导膜，
所述板部件能够被照射从所述光照射机构辐射的光而被加热。
5.如权利要求3或4所述的载置台，其特征在于：
在所述板部件的表面具有热喷涂膜。
6.如权利要求2或5所述的载置台，其特征在于：
所述热喷涂膜具有：
在所述板部件上形成的第一绝缘膜；
在所述第一绝缘膜上形成的测温电阻体膜；和
在所述测温电阻体膜上形成的第二绝缘膜。
7.如权利要求1～6中任一项所述的载置台，其特征在于：
所述载置部具有供致冷剂流动的流路。
8.一种检查装置，其特征在于，包括：
用于载置被检查体的载置台；
与所述载置台相对地配置的探针卡；和
与所述探针卡连接的测试器，
所述载置台具有：
载置部，其具有用于载置所述被检查体的板部件和透光性部件；以及
光照射机构，其照射光以使所述被检查体升温，
所述板部件和所述透光性部件由线膨胀系数为1.0×10-6/K以下的低热膨胀材料形成。
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