CN113814251A - 一种集成光电子器件制造用蚀刻装置 - Google Patents
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- 238000005530 etching Methods 0.000 title claims abstract description 24
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 14
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims abstract description 22
- 230000005693 optoelectronics Effects 0.000 claims abstract description 18
- 238000011084 recovery Methods 0.000 claims abstract description 15
- 238000012545 processing Methods 0.000 abstract description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 230000008569 process Effects 0.000 description 3
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 239000012141 concentrate Substances 0.000 description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- 238000013461 design Methods 0.000 description 2
- 238000004064 recycling Methods 0.000 description 2
- 239000011435 rock Substances 0.000 description 2
- TVEXGJYMHHTVKP-UHFFFAOYSA-N 6-oxabicyclo[3.2.1]oct-3-en-7-one Chemical compound C1C2C(=O)OC1C=CC2 TVEXGJYMHHTVKP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 239000000306 component Substances 0.000 description 1
- 239000008358 core component Substances 0.000 description 1
- 238000004377 microelectronic Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
Images
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B17/00—Methods preventing fouling
- B08B17/02—Preventing deposition of fouling or of dust
- B08B17/025—Prevention of fouling with liquids by means of devices for containing or collecting said liquids
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16F—SPRINGS; SHOCK-ABSORBERS; MEANS FOR DAMPING VIBRATION
- F16F15/00—Suppression of vibrations in systems; Means or arrangements for avoiding or reducing out-of-balance forces, e.g. due to motion
- F16F15/02—Suppression of vibrations of non-rotating, e.g. reciprocating systems; Suppression of vibrations of rotating systems by use of members not moving with the rotating systems
- F16F15/04—Suppression of vibrations of non-rotating, e.g. reciprocating systems; Suppression of vibrations of rotating systems by use of members not moving with the rotating systems using elastic means
- F16F15/06—Suppression of vibrations of non-rotating, e.g. reciprocating systems; Suppression of vibrations of rotating systems by use of members not moving with the rotating systems using elastic means with metal springs
- F16F15/067—Suppression of vibrations of non-rotating, e.g. reciprocating systems; Suppression of vibrations of rotating systems by use of members not moving with the rotating systems using elastic means with metal springs using only wound springs
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67017—Apparatus for fluid treatment
- H01L21/67063—Apparatus for fluid treatment for etching
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- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
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- Acoustics & Sound (AREA)
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Abstract
本发明涉及光电子器件技术领域，且公开了一种集成光电子器件制造用蚀刻装置，包括防护箱，所述防护箱内部固定连接有挡板，所述挡板顶部固定连接有回收盒，所述回收盒内底壁固定连接有卡槽，所述回收盒内部活动连接有存放盒，所述存放盒底部固定连接有嵌板，所述回收盒顶部活动连接有夹板，所述夹板内部活动了连接有伸缩气缸板。该集成光电子器件制造用蚀刻装置，在回收盒的内部设置了存放盒，在存放盒的底部设置了嵌板，在回收盒的内底壁设置了卡槽，在回收盒的顶部设置了通孔，在回收盒的顶部设置了夹板和伸缩气缸板，在工作过程中产生的碎屑，掉入回收盒的内部，工作完成之后可以进行集中处理，方便快捷，防止工作环境被碎屑污染。
Description
技术领域
本发明涉及光电子器件技术领域，具体为一种集成光电子器件制造用蚀刻装置。
背景技术
利用电到光子转换效应制成的各种功能器件。光电子器件的设计原理是依据外场对导波光传播方式的改变，它也有别于早期人们袭用的光电器件，光电子器件是光电子技术的关键和核心部件，是现代光电技术与微电子技术的前沿研究领域，是信息技术的重要组成部分，利用电-光子转换效应制成的各种功能器件。光电子器件的设计原理是依据外场对导波光传播方式的改变，它也有别于早期人们袭用的光电器件。
一些光电子器件制造用蚀刻装置在碎屑处理方面存在着一点缺陷，不能很好的进行处理工作过程中产生的碎屑，导致工作环境的破坏，为此我们提出了一种集成光电子器件制造用蚀刻装置。
发明内容
(一)解决的技术问题
针对现有技术的不足，本发明提供了一种集成光电子器件制造用蚀刻装置，具备可以很好的进行集中处理工作过程中产生的碎屑，保护工作环境等优点，解决了不能很好的进行处理工作过程中产生的碎屑，导致工作环境的破坏的问题。
(二)技术方案
为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种集成光电子器件制造用蚀刻装置，包括防护箱，所述防护箱内部固定连接有挡板，所述挡板顶部固定连接有回收盒，所述回收盒内底壁固定连接有卡槽，所述回收盒内部活动连接有存放盒，所述存放盒底部固定连接有嵌板，所述回收盒顶部活动连接有夹板，所述夹板内部活动了连接有伸缩气缸板。
优选的，所述防护箱内部固定连接有滑杆，所述滑杆侧表面活动连接有蚀刻机。
防护箱顶部是可以打开的，顶部可打开的门板是透明的，主要是为了方便工作人员进行观察。
优选的，所述挡板底部活动连接有斜板，所述防护箱内底壁固定连接有弹簧杆，所述弹簧杆侧表面活动连接有弹簧，所述斜板设置有两个，两个所述斜板相邻一侧分别与弹簧一侧固定连接。
优选的，所述防护箱底部固定连接有底座板，所述底座板内部螺纹连接有螺栓。
优选的，所述嵌板设置有多个，多个所述嵌板均与卡槽内部活动连接。
优选的，所述回收盒顶部开设有通孔，所述存放盒位于通孔底部，所述伸缩气缸板内部设置有漏孔。
与现有技术相比，本发明提供了一种集成光电子器件制造用蚀刻装置，具备以下有益效果：
1、该集成光电子器件制造用蚀刻装置，通过在回收盒的内部设置了存放盒，在存放盒的底部设置了嵌板，在回收盒的内底壁设置了卡槽，在回收盒的顶部设置了通孔，在回收盒的顶部设置了夹板和伸缩气缸板，在工作过程中产生的碎屑，掉入回收盒的内部，工作完成之后可以进行集中处理，方便快捷，防止工作环境被碎屑污染，达到了方便处理碎屑的效果。
2、该集成光电子器件制造用蚀刻装置，通过在防护箱的内底壁设置了弹簧杆，在挡板的底部设置了斜板，在斜板的底部设置了弹簧，弹簧与两个斜板的相邻的一侧固定连接，当发生晃动的时候，斜板向中间挤压，可以很好的防震，防止装置的零部件受到损坏，达到了保护装置的效果。
附图说明
图1为本发明蚀刻装置结构示意图；
图2为本发明夹板结构俯视图；
图3为本发明回收盒结构俯视图。
其中：1、防护箱；2、挡板；3、回收盒；4、卡槽；5、存放盒；6、嵌板；7、夹板；8、伸缩气缸板；9、滑杆；10、蚀刻机；11、斜板；12、弹簧杆；13、弹簧；14、底座板；15、螺栓。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
请参阅图1-3，一种集成光电子器件制造用蚀刻装置，包括防护箱1，防护箱1内部固定连接有挡板2，挡板2顶部固定连接有回收盒3，回收盒3内底壁固定连接有卡槽4，回收盒3内部活动连接有存放盒5，存放盒5底部固定连接有嵌板6，回收盒3顶部活动连接有夹板7，夹板7内部活动了连接有伸缩气缸板8。
通过上述技术方案，在回收盒3的内部设置了存放盒5，在存放盒5的底部设置了嵌板6，在回收盒3的内底壁设置了卡槽4，存放盒5搭接在卡槽4的顶部，方便进行拿取，在回收盒3的顶部设置了通孔，在回收盒3的顶部设置了夹板7和伸缩气缸板8，在工作过程中产生的碎屑，掉入回收盒3的内部，工作完成之后可以进行集中处理，方便快捷，防止工作环境被碎屑污染。
如图1所示，防护箱1内部固定连接有滑杆9，滑杆9侧表面活动连接有蚀刻机10。
通过上述技术方案，防护箱1顶部是可以打开的，顶部可打开的门板是透明的，主要是为了方便工作人员进行观察。
如图1所示，挡板2底部活动连接有斜板11，防护箱1内底壁固定连接有弹簧杆12，弹簧杆12侧表面活动连接有弹簧13，斜板11设置有两个，两个斜板11相邻一侧分别与弹簧13一侧固定连接。
通过上述技术方案，在防护箱1的内底壁设置了弹簧杆12，在挡板2的底部设置了斜板11，在斜板11的底部设置了弹簧13，弹簧13与两个斜板11的相邻的一侧固定连接，当发生晃动的时候，斜板11向中间挤压，可以很好的防震，防止装置的零部件受到损坏。
如图1所示，防护箱1底部固定连接有底座板14，底座板14内部螺纹连接有螺栓15。
如图1所示，嵌板6设置有多个，多个嵌板6均与卡槽4内部活动连接。
如图2和3所示，回收盒3顶部开设有通孔，存放盒5位于通孔底部，伸缩气缸板8内部设置有漏孔。
通过上述技术方案，伸缩气缸板8与伸缩气缸类似，伸缩气缸板8比较宽的一侧位于右侧夹板7的内部，比较细的一侧与左侧的夹板7一侧固定连接，方便进行控制关电机器件。
在使用时，工作人员将光电子器件放在伸缩气缸板8的顶部，然后将夹板7向中间推动，然后启动蚀刻机10进行工作，在处理碎屑的时候，将存放盒5从回收盒3拿出集中处理即可。
尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (6)
1.一种集成光电子器件制造用蚀刻装置，包括防护箱(1)，其特征在于：所述防护箱(1)内部固定连接有挡板(2)，所述挡板(2)顶部固定连接有回收盒(3)，所述回收盒(3)内底壁固定连接有卡槽(4)，所述回收盒(3)内部活动连接有存放盒(5)，所述存放盒(5)底部固定连接有嵌板(6)，所述回收盒(3)顶部活动连接有夹板(7)，所述夹板(7)内部活动了连接有伸缩气缸板(8)。
2.根据权利要求1所述的一种集成光电子器件制造用蚀刻装置，其特征在于：所述防护箱(1)内部固定连接有滑杆(9)，所述滑杆(9)侧表面活动连接有蚀刻机(10)。
3.根据权利要求1所述的一种集成光电子器件制造用蚀刻装置，其特征在于：所述挡板(2)底部活动连接有斜板(11)，所述防护箱(1)内底壁固定连接有弹簧杆(12)，所述弹簧杆(12)侧表面活动连接有弹簧(13)，所述斜板(11)设置有两个，两个所述斜板(11)相邻一侧分别与弹簧(13)一侧固定连接。
4.根据权利要求1所述的一种集成光电子器件制造用蚀刻装置，其特征在于：所述防护箱(1)底部固定连接有底座板(14)，所述底座板(14)内部螺纹连接有螺栓(15)。
5.根据权利要求1所述的一种集成光电子器件制造用蚀刻装置，其特征在于：所述嵌板(6)设置有多个，多个所述嵌板(6)均与卡槽(4)内部活动连接。
6.根据权利要求1所述的一种集成光电子器件制造用蚀刻装置，其特征在于：所述回收盒(3)顶部开设有通孔，所述存放盒(5)位于通孔底部，所述伸缩气缸板(8)内部设置有漏孔。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202010569914.5A CN113814251A (zh) | 2020-06-21 | 2020-06-21 | 一种集成光电子器件制造用蚀刻装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202010569914.5A CN113814251A (zh) | 2020-06-21 | 2020-06-21 | 一种集成光电子器件制造用蚀刻装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN113814251A true CN113814251A (zh) | 2021-12-21 |
Family
ID=78924867
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202010569914.5A Pending CN113814251A (zh) | 2020-06-21 | 2020-06-21 | 一种集成光电子器件制造用蚀刻装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN113814251A (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN115338192A (zh) * | 2022-08-12 | 2022-11-15 | 杨永朝 | 电子器件蚀刻装置 |
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2020
- 2020-06-21 CN CN202010569914.5A patent/CN113814251A/zh active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN115338192A (zh) * | 2022-08-12 | 2022-11-15 | 杨永朝 | 电子器件蚀刻装置 |
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| PB01 | Publication | ||
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