CN113665250A - 多重基板处理装置及利用此的ocr喷墨系统 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了多重基板处理装置。本发明的一实施例的多重基板处理装置可包括：驱动轴，相互面对地并排配置，并且以着第一方向提供移动路线；至少一个平台单元，支撑基板，并且可沿着所述驱动轴移动；其中，所述平台单元包括：平台，可贴装所述基板；及转向部，以与所述第一方向直交的第二方向转换所述平台的方向。另外，公开了利用所述多重基板处理装置的OCR喷墨系统。
Description
技术领域
本发明涉及多重基板处理装置及利用此的OCR喷墨系统，更详细地说，涉及可多重处理多个基板的多重基板处理装置及利用此的OCR喷墨系统。
背景技术
显示装置根据发光方式有液晶显示装置(LCD,liquid crystal display)、有机发光显示装置(OLED,organic light emitting diode display)、等离子显示装置(PDP,plasma display panel)、微发光显示装置(Micro-LED)等。
显示装置由相互不同的功能性基板构成，在各个基板之间介入粘合层进行粘合。粘合层根据种类有薄膜型粘合层(OCA,optical clear adhesive)和涂敷液态类型的粘合剂进行固化的液体固化型粘合层(OCR,optical clear resin)。
在显示装置的制造工艺中，为了在基板上形成液体固化型粘合层(OCR)，可利用OCR喷墨系统。对于液体固化型粘合层(OCR)的形成，经过超声波干洗(USC,ultra sonicdry clear)、保护膜(PF,protective film)剥离和等离子处理，利用喷墨印刷技术在基板上形成液体固化型粘合层(OCR)。
为了制造显示装置，经过许多工艺，按顺序依次执行各个工艺。在显示装置的工艺设备中，作为提高产品产量的方法有用双线(dual line)构成执行相同功能的生产线或者单独配置两台设备的方案，还有将诸如预处理工艺和主要工艺的一系列的连锁生产线配置成一体化以进行基板的工艺处理的方案。
随着显示装置大型化，需要大面积的工作空间，与此相对应相关设备的尺寸也随之变大，最终出现需要空间制约效率化的问题。
(现有技术文献)
(专利文献)
韩国授权专利公报第10-1848039号(公告日期：2018.04.05.)
发明内容
(要解决的问题)
本发明要解决的一技术课题涉及具有高基板产量(high throughput)的多重基板处理装置及利用此的OCR喷墨系统。
(解决问题的手段)
为了解决上述技术课题，本发明提供多重基板处理装置。
本发明的一实施例的多重基板处理装置可包括：驱动轴，相互面对地并排配置，并且以着第一方向提供移动路线；至少一个平台单元，支撑基板，并且可沿着所述驱动轴移动，其中，所述平台单元可以包括：平台，可贴装所述基板；及转向部，以与所述第一方向直交的第二方向转换所述平台的方向。
根据一实施例，以基板进入区域和基板处理区域、基板运出区域的顺序区划所述移动路线；所述多重基板处理装置还包括控制器，在所述移动路线上控制所述平台单元的移动方向和移动位置；所述控制器在所述基板进入区域和所述基板运出区域中可驱动所述转向部以转换所述平台的方向。
根据一实施例，所述平台单元还可包括升降移动部，所述升降移动部以与所述第一方向直交的第三方向升降移动所述平台。
根据一实施例，所述多重基板处理装置还包括下沉感应传感器，所述下沉感应传感器与所述基板以所述第二方向相互间隔且与所述基板相互面对，并且具有发光部和受光部；所述下沉感应传感器比较被所述基板反射回来的反射光到达时间可感应是否下沉。
本发明的另一实施例的多重基板处理装置包括：驱动轴，相互面对地并排配置，并且以第一方向提供移动路线；至少一个平台单元，支撑基板，并且可沿着所述驱动轴移动，其中，所述平台单元可包括：平台，可贴装所述基板；及升降移动部，以与所述第一方向直交的第三方向升降移动所述平台。
根据一实施例，以基板进入区域和基板处理区域、基板运出区域的顺序区划所述移动路线；所述多重基板处理装置还包括控制器，在所述移动路线上控制所述平台单元的移动方向和移动位置；所述控制器在所述基板进入区域和所述基板运出区域中可驱动所述升降移动部，以升降移动所述平台。
根据一实施例，所述多重基板处理装置还可包括转向部，所述转向部以与所述第一方向直交的第二方向转换所述平台的方向。
为了解决上述技术课题，本发明提供OCR喷墨系统。
本发明的一实施例的OCR喷墨系统包括：头桥，配置在基板处理区域上；头部单元，通过所述头桥能够以第二方向移动，可在基板上喷墨；及多重基板处理装置，沿着所述基板处理区域和配置在所述基板处理区域前后的基板进入区域、基板运出区域移动所述基板，其中，所述多重基板处理装置可具有权利要求1或者4的特征。
本发明的一实施例，所述OCR喷墨系统还可包括头部对准调整部，所述头部对准调整部两端被支撑在驱动轴上，能够以第一方向及所述第二方向移动，并且配置成与所述头部单元相互面对，其中所述驱动轴相互面对地并排配置。
(发明的效果)
根据本发明的实施例，驱动轴以第一方向提供移动路线，通过转向部和升降移动部提供附加的上下移动路线，进而具有将多个基板之间的干涉最小化并且可提高基板处理效率的优点。
根据本发明的一实施例，平台单元通过多个驱动轴在预定的移动路线上提供基板，进而将基板之间的干涉最小化的同时在处理基板时也可快速且有效地运送基板，因此具有明显缩短基板处理节拍时间(tact time)的优点。
根据本发明的另一实施例，通过转向部转换贴装有基板的平台单元的方向，进而具有如下的优点：在基板进入区域和基板运出区域上可有效调整由运送机器人臂提供的基板的进、出方向，并且在运送基板及处理基板时可提高空间效率和生产速度。
根据本发明的其他一实施例，沿着移动路线在各个驱动轴上移动贴装有相互不同的基板的平台的同时处理基板，进而具有可不扩大一系列的生产空间来提高设备运作性能的优点。
根据本发明的其他一实施例，驱动轴以移动路线为基准相互面对地并排配置，因此连读运行单一的处理设备，具有可提高设备运作性能的优点。
附图说明
图1的(a)至与图1的(d)是示出本发明的一实施例的在基板上层叠形成液体固化性粘合层的过程的图。
图2是示出本发明的一实施例的OCR喷墨系统的立体图。
图3示出本发明的一实施例的OCR喷墨系统的侧视图。
图4是本发明的一实施例的OCR喷墨系统的立体图和A的扩大图。
图5是示出本发明的一实施例的位置传感器和上限检测部、下限检测部的立体图。
图6是示出本发明的一实施例的头部对准调整部的立体图。
图7的(a)至图7的(f)是示出本发明的一实施例的多重基板处理装置的动作状态图的图。
(附图标记说明)
10：多重基板处理装置
100a、100b：驱动轴
200：平台单元
210：平台
220：转向部
230：升降移动部
310：下沉感应传感器
320：位置传感器
321：上限检测部
322：下限检测部
21：头桥
22：头部单元
40：头部对准调整部
Pa：基板进入区域
Pb：基板处理区域
Pc：基板运出区域
S：基板
A：液体固化型粘合层
PF：保护膜
具体实施方式
以下，参照附图详细说明本发明的优选实施例。然而，本发明的技术思想不限于在此说明的实施例，而是也可细化成其他形态。反而，在此说明的实施例是为使公开的内容彻底和完整以及本发明的思想充分传达给本领域技术人员而提供的。
在本说明书中，在谈及某一构件位于另一构件上时，这意味着可直接形成在另一构件上或者在两者之间也介入第三构件。另外，在附图中，夸张示出了形状及尺寸，以有效说明技术内容。
另外，在本说明书的各种实施例中，第一、第二、第三等的用语是为了说明各种构件而使用的，不得用如此的用语限定这些构件。这些用语只是为了将一构件与另一构件区分而使用的。据此，在某一实施例称为第一构件的在另一实施例也可称为第二构件。在此，说明并示例的各个实施例也包括互补的实施例。另外，在本说明书中，“以和/或者”以包括在前后排列的构件中的至少一个的意思使用。
在说明书中，对于单数的表述，除非在文章中有不同的意思，否则包括复数的表述。另外，“包括”或者“具有”等的用语是要指定在说明书中记载的特征、数字、步骤、构件或者这些组合的存在，不得理解为排除一个或者一个以上的其他特征、数字、步骤、构件或者这些组合的存在或者附加的可能性。另外，在本说明书中，“连接”以将间接连接以及直接连接多个构件情况全部包括的意思来使用。
另外，以下在对本发明的说明中，若判断相关的公知功能或者结构的具体说明可使本发明的要点不清楚，则省略其详细说明。
以下，为了便于说明，第一方向为基板S的水平方向移动路线，是指直角坐标系的X轴；第二方向为头部单元22的移动路线，是指直角坐标系的Y轴；第三方向为基板S的垂直方向移动路线，是指直角坐标系的Z轴。此时，第一方向和第二方向、第三方向相互直交。
图1的(a)至与图1的(d)是示出本发明的一实施例的在基板S上层叠形成液体固化性粘合层的过程的图；图2是示出本发明的一实施例的OCR喷墨系统的立体图；图3示出本发明的一实施例的OCR喷墨系统的侧视图；图4是本发明的一实施例的OCR喷墨系统的立体图和A的扩大图；图5是示出本发明的一实施例的位置传感器320和上限检测部321、下限检测部322的立体图；图6是示出本发明的一实施例的头部对准调整部40的立体图；图7的(a)至图7的(f)是示出本发明的一实施例的多重基板处理装置10的动作状态图的图。
以下，对于构成本发明的一实施例的OCR喷墨系统的各个构件进行详细说明。
参照图1的(a)至图1的(d)，液体固化型粘合层(OCR,A)可层叠形成在基板S的一面。液体固化型粘合层(OCR,A)通过喷墨印刷方式可层叠形成在基板S。
如图1的(a)所示，为了保护基板S，可在基板S的两面分别附着保护膜(PF,protection film)。如图1的(b)所示，头部单元22通过喷墨印刷方式在去除保护膜PF的基板S上喷射OCR墨水，可层叠形成液体固化型粘合层(OCR,A)。
液体固化型粘合层(OCR,A)可以是丙烯酸类、环氧类、硅类或者橡胶类的树脂中的一种或者这些的混合物，优选为可以是可被UV光固化的UV固化树脂。
参照图2和图3、图6、图7的(a)至图7的(f)，本发明的一实施例的OCR喷墨系统利用待后述的多重基板处理装置10可在基板S上形成液体固化型粘合层A。OCR喷墨系统包括头桥21和头部单元22、多重基板处理装置10，还可包括头部对准调整部40。
本发明的一实施例的头桥21配置在基板处理区域Pb上，可支撑待后述的头部单元22。OCR喷墨系统可包括至少一个头桥21，但是在图2中公开了两台头桥21。
本发明的一实施例的头部单元22排放液体固化型粘合剂(OCR)，可在基板S的前面连续地形成液体固化型粘合层A或者形成液体固化型粘合层A构成层。头部单元22可在基板S上喷射墨水。头部单元22可延伸配置在头桥21的一端。头部单元22可通过头桥21能够以第二方向移动。
头部单元22可配置数十个至数千个喷嘴(未示出)。喷嘴(未示出)可排放微小尺寸的液体的液体固化型粘合剂(OCR)。喷嘴(未示出)通过编程数据可按照各个液体固化型粘合剂(OCR)的特性调节驱电压和电压脉冲时间等。编程数据可保存在控制器(未示出)。编程数据可包括用于控制头部单元22的移动动作及喷嘴(未示出)的排放动作的内容。
参照图2和图6，本发明的一实施例的头部对准调整部40与头部单元22相互面对可对准调整喷嘴(未示出)的位置。头部对准调整部40两端以第二方向被支撑在驱动轴100a、100b上。头部对准调整部40两端可被相互面对地并排配置的驱动轴100a、100b支撑。
头部对准调整部40可沿着驱动轴100a、100b以第一方向及所述第二方向移动，以移动到与头部单元22相互面对的位置。
本发明的一实施例的基板S可以是诸如LCD和OLED、PDP面板的显示面板、触摸面板、窗口面板中的一种，或者可以是由将这些面板层叠结合的多层构成的面板。另外，基板S不仅可包括刚性面板，还可包括能够弯曲(bending)、折叠(folding)或者卷曲(rolling)的柔韧材料的柔性面板。
重新参照图2至图7的(d)，本发明的一实施例的多重基板处理装置10可以是针对用于制造显示装置的基板S执行预定的工艺的基板处理装置。多重基板处理装置10沿着预定的区域运送基板S并执行各个工艺。多重基板处理装置10可沿着移动路线移动基板S，即沿着板进入区域Pa和基板处理区域Pb、基板运出区域Pc移动基板S。
能够以第一方向设置移动路线。移动路线可意味着基板处理工艺方向。以第一方向按照基板进入区域Pa和基板处理区域Pb、基板运出区域Pc的顺序区划移动路线。
在基板进入区域Pa中，通过运送机器人臂(未示出)可接收基板S。此时的基板S可装载到待后述的平台210，以经过基板处理工艺。
在基板处理区域Pb中，基板S在贴装于平台210上的状态下以第一方向移动，并且可进行预定的工艺。在基板处理区域Pb中，在沿着移动路线移动的基板S可至少进行一种基板处理工艺。
在基板运出区域Pc中，可向多重基板处理装置10外部运出完成基板处理工艺的基板S。在基板运出区域Pc中，运送机器人臂(未示出)可接收沿着驱动轴100a、100b移动的基板S。可从平台210卸载(unload)基板S。
多重基板处理装置10包括驱动轴100a、100b和平台单元200，还可包括控制器(未示出)。
本发明的一实施例的驱动轴100a、100b可提供基板S移动路线。贴装基板S的平台单元200沿着驱动轴100a、100b移动，并且可进行一系列的基板处理工艺。为了移动平台单元200，此时在一实施例的驱动轴100a、100b可形成移动轨道。
参照图2和图3、图6、图7的(a)至图7的(f)，本发明的一实施例的驱动轴100a、100b可构成一对。各个驱动轴100a、100b相互面对地并排配置，可提供在一个移动路线上移动多个基板S的移动路线。即，在单一的多重基板处理装置10中，多个基板S可沿着各个驱动轴100a、100b移动。由于具有多个驱动轴100a、100b，进而可进一步将在移动路线上的基板S工艺的干涉最小化。
一实施例的驱动轴100a、100b可包括第一驱动轴100a和第二驱动轴100b。
第一驱动轴100a可配置成与第二驱动轴100b相互面对。第一驱动轴100a在与第二驱动轴100b相互间隔的状态下可给基板S提供相同的移动路线。
参照图2和图3、图6、图7的(a)至图7的(f)，本发明的一实施例的平台单元200可支撑基板S。平台单元200可沿着驱动轴100a、100b移动。至少可配置一个平台单元200，如图2也可配置多个平台单元200，在基板处理工艺中同时可在另一位置移动分别不同的基板S。平台单元200能够以悬臂形态连接于驱动轴(100a或者100b)。
平台单元200包括平台210和转向部220，还可包括升降移动部230。
平台210可贴装基板S。平台210一侧在驱动轴(100a或者100b)延伸可沿着移动路线移动。平台210可以是板形状。平台210可具有与基板S相对应的形状。平台210可具有四边形形状。
参照图3，转向部220能够以第一方向和第二方向或者反方向转换平台210的方向。通过转向部220平台210可从第一方向转换为第二方向或者从第二方向转换为第一方向。
参照图3至图5，升降移动部230能够以与第一方向直交的第三方向升降移动平台210。升降移动部230通过待后述的位置传感器320和上限检测部321、下限检测部322可控制升降位置。通过升降移动部230，平台210可具有第一高度和第二高度的位置值。
以第一方向的移动路线相同，但是为了防止多个基板S之间发生干涉，在第一高度进行基板处理工艺，在第二高度可进行平台回收工艺，以在运出基板之后在新基板执行任意的工艺。根据一实施例，第一高度是与上限检测部321相对应的高度，第二高度可以是与下限检测部322相对应的高度。
参照图4和图5，本发明的一实施例的位置传感器320和上限检测部321、下限检测部322在平台210通过升降移动部230以第三方向移动时可调节升降或者下降位置。
上限检测部321和下限检测部322在以第三方向移动时可通过与位置传感器320雌雄结合可决定升降位置。
基板S在移动路线上通过转向部220能够以水平方向转换方向。基板S在基板进入区域Pa和基板运出区域Pc中可通过升降移动部230上升或者下降。另外，基板S为在平台210沿着驱动轴(100a或者100b)移动的同时可在基板进入区域Pa和基板处理区域Pb、基板运出区域Pc上移动。
本发明的一实施例的控制器(未示出)在移动路线上可控制平台单元200的移动方向和移动速度、移动位置。更详细地说，控制器(未示出)可在基板进入区域Pa和基板运出区域Pc驱动转向部220可转换平台210的方向。控制器(未示出)在基板进入区域Pa和基板运出区域Pc驱动升降移动部230可升降移动平台210。另外，控制器(未示出)在基板处理区域Pb上可将基板S移动到与头部单元22相对应的位置。
参照图3，本发明的一实施例的下沉感应传感器310可感应平台单元200是否下沉，其中所述平台单元200以悬臂形态一端连接于驱动轴(100a或者100b)。在每个平台单元200以第二方向配置多个下沉感应传感器310，可感应未连接于驱动轴(100a或者100b)的平台单元200的另一侧是否下沉。
下沉感应传感器310可配置在基板S上面，以与基板S相互面对。下沉感应传感器310可配置有发光部和受光部来构成一对。
基于从发光部照射的光被位于下方的基板S反射到达受光部的时间每个下沉感应传感器310分别比较被基板反射回来的反射光到达时间，可感应基板S是否下沉。
以下，以与本发明的第一实施例的多重基板处理装置10区别点为中心说明第二实施例的多重基板处理装置10。省略的说明可由在图2至图7的(d)说明的第一实施例的多重基板处理装置的内容代替。
本发明的一实施例的多重基板处理装置10包括驱动轴100a、100b和平台单元200，还可包括控制器(未示出)。
本发明的一实施例的平台单元200可支撑基板S。平台单元200可沿着驱动轴(100a或者100b)移动。至少可配置有一个平台单元200，但是也可配置有多个平台单元200，进而可在工艺中在移动路线上的另一位置同时移动基板S。
平台单元200包括平台210和升降移动部230，更进一步地还可包括转向部220。
升降移动部230能够以与第一方向直交的第三方向升降移动平台210。
转向部220能够以第一方向和第二方向转换平台210的方向。平台210通过转向部220可进行从第一方向到第二方向或者从第二方向到第一方向的方向转换。
控制器(未示出)在移动路线上可控制平台单元200的移动方向和移动速度、移动位置。更详细地说，控制器(未示出)在基板进入区域Pa和基板运出区域Pb中驱动升降移动部230，可升降移动平台210。另外，控制器(未示出)在基板进入区域Pa和基板运出区域Pc中驱动转向部220，可转换平台210的方向。
以下，说明本发明的一实施例的多重基板处理装置10和利用此的OCR喷墨系统的一系列动作方法。
参照图7的(a)，通过控制器(未示出)的控制可在基板进入区域Pa移动待贴装基板S的平台单元200的位置。
参照图7的(b)，通过控制器(未示出)的控制驱动转向部220，可将平台210的方向从第一方向转换到第二方向。运送机器人臂(未示出)在已转换方向的平台210上贴装基板S，可将基板S运进多重基板处理装置10中。
参照图7的(c)，平台210沿着驱动轴100a能够以第一方向(即，从基板进入区域Pa到基板处理区域Pb)进行位置移动。在位置移动中，通过控制器(未示出)的控制可移动或者停止移动基板S，以使基板S与位于基板处理区域Pb上的各个头部单元22相互面对。头部单元22在头桥21以第二方向移动的同时将液体固化型粘合剂(OCR)喷射于与在下部相互面对的基板S，可形成液体固化型粘合层A。多个头部单元22以第一方向间隔配置，可在基板S上处理分别不同的基板处理工艺。
通过升降移动部230可将另外的平台210从第二高度向第一高度位置移动。如图5所示，升降移动部230可升降平台210直到上限检测部321进入位置传感器320的时间点。驱动转向部220将平台210的方向从第一方向转换到第二方向，进而可从运送机器人臂(未示出)运进基板S。
在一个平台210贴装的基板S进行预定的基板处理工艺，与此同时可在另一平台210上可运进基板S。即，在多重基板处理装置10中可连续进行相互不同的工艺。
参照图7的(d)，为了从多重基板处理装置10运出完成一系列基板处理工艺的基板S，可将基板S位置移动至基板运出区域Pc。在基板运出区域Pc上通过转向部220的驱动可将平台210的方向从第一方向转换到第二方向。运送机器人臂(未示出)从已转换方向的平台210分离基板S可向外部运出。
参照图7的(e)，分离基板S的平台210为了运入新的基板S从第一高度下降到第二高度，之后从基板运出区域Pc经过基板处理区域Pb位置移动到基板进入区域Pa。
参照图7的(f)，多个平台单元200连接于分别不同的驱动轴(100a或者100b)以第一方向进行位置移动，并且在基板处理工艺中可同时执行各个不同的工艺。
以上，使用优选实施例详细说明了本发明，但是本发明的范围不限于特定实施例，而是应该通过权利要求的范围解释。另外，只要是在本领域技术人员应该理解为在不超出本发明的范围的同时可进行修改和变形。
Claims (9)
1.一种多重基板处理装置，包括：
驱动轴，相互面对地并排配置，并且以着第一方向提供移动路线；
至少一个平台单元，支撑基板，并且可沿着所述驱动轴移动；
其中，所述平台单元包括：
平台，可贴装所述基板；及
转向部，以与所述第一方向直交的第二方向转换所述平台的方向。
2.根据权利要求1所述的多重基板处理装置，其特征在于，还包括：
控制器，在所述移动路线上控制所述平台单元的移动方向和移动位置；
以基板进入区域和基板处理区域、基板运出区域的顺序区划所述移动路线；
所述控制器在所述基板进入区域和所述基板运出区域中驱动所述转向部以转换所述平台的方向。
3.根据权利要求1所述的多重基板处理装置，其特征在于，
所述平台单元还包括：
升降移动部，以与所述第一方向直交的第三方向升降移动所述平台。
4.根据权利要求1所述的多重基板处理装置，其特征在于，还包括：
下沉感应传感器，以所述第二方向相互间隔且与所述基板相互面对，并且具有发光部和受光部；
所述下沉感应传感器比较被所述基板反射回来的反射光到达时间以感应是否下沉。
5.一种多重基板处理装置，包括：
驱动轴，相互面对地并排配置，并且以第一方向提供移动路线；
至少一个平台单元，支撑基板，并且可沿着所述驱动轴移动；
所述平台单元包括：
平台，可贴装所述基板；及
升降移动部，以与所述第一方向直交的第三方向升降移动所述平台。
6.根据权利要求5所述的多重基板处理装置，其特征在于，还包括：
控制器，在所述移动路线上控制所述平台单元的移动方向和移动位置；
以基板进入区域和基板处理区域、基板运出区域的顺序区划所述移动路线；
所述控制器在所述基板进入区域和所述基板运出区域中驱动所述升降移动部，以升降移动所述平台。
7.根据权利要求5所述的多重基板处理装置，其特征在于，还包括：
转向部，以与所述第一方向直交的第二方向转换所述平台的方向。
8.一种OCR喷墨系统，包括：
头桥，配置在基板处理区域上；
头部单元，通过所述头桥能够以第二方向移动，可在基板上喷墨；及
多重基板处理装置，沿着所述基板处理区域和配置在所述基板处理区域前后的基板进入区域、基板运出区域移动所述基板；
其中，所述多重基板处理装置具有权利要求1或者4的特征。
9.根据权利要求8所述的OCR喷墨系统，其特征在于，还包括：
头部对准调整部，两端被支撑在驱动轴上，能够以第一方向及所述第二方向移动，并且配置成与所述头部单元相互面对，其中所述驱动轴相互面对地并排配置。
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