CN113088915B - 驱动设备和蒸镀系统 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种驱动设备和蒸镀系统，包括主驱动电机、传动装置、调节驱动电机和控制装置；所述传动装置包括主传动机构、调节传动机构、第一抱紧机构、第二抱紧机构和传动基台，所述控制装置用于在监测到目标对象为倾斜状态时，控制所述第一抱紧机构断开、控制所述第二抱紧机构吸合、控制所述主驱动电机停止运行、控制所述调节驱动电机运行，使得所述调节驱动电机通过所述调节传动机构带动所述传动基台移动，以对所述目标对象进行水平调节，实现了在蒸镀腔室外部直接对需要调整基板基台水平度，无需在真空腔室降温后进行排气处理之后再使用水平尺测量后进行调整。采用本发明的技术方案，能够降低材料的损耗，提高产品的产能。

Description

驱动设备和蒸镀系统

技术领域

本发明属于蒸镀技术领域，具体涉及一种驱动设备和蒸镀系统。

背景技术

有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode，OLED)器件中的有机材料层的主流制备方法之一是蒸镀法。通常情况下，蒸镀腔室内的基板基台经过长时间旋转运动后，基板基台会发生倾斜，造成阵列基板与掩膜板在进行3um对位精度后无法进行紧密水平贴合。

现有技术中，由于调节基板基台水平度的螺栓在真空腔室，若需要调整基板基台水平度，需要在真空腔室降温后进行排气处理之后再使用水平尺测量后进行调整，大大浪费材料的损耗与降低产品的产能。

发明内容

本发明的主要目的是提供一种驱动设备和蒸镀系统，以解决现有技术中在需要调整基板基台水平度，需要在真空腔室降温后进行排气处理之后再使用水平尺测量后进行调整，大大浪费材料的损耗与降低产品的产能的问题。

针对上述问题，本发明提供了一种驱动设备，包括主驱动电机、传动装置、调节驱动电机和控制装置；

所述传动装置包括主传动机构、调节传动机构、第一抱紧机构、第二抱紧机构和传动基台；

所述主传动机构的第一端和所述调节传动机构的第一端通过所述第一抱紧机构连接或断开；

所述调节传动机构的第二端和所述调节驱动电机的动力输出端通过所述第二抱紧机构连接或断开；

所述主传动机构的第二端与所述主驱动电机的动力输出端相连；

所述主传动机构的第三端与所述传动基台的一侧驱动连接，所述调节传动机构的第三端与所述传动基台的另一侧驱动连接；

所述主驱动电机、所述调节驱动电机、所述第一抱紧机构和所述第二抱紧机构分别与所述控制装置电连接；

所述控制装置用于在监测到目标对象为倾斜状态时，控制所述第一抱紧机构断开、控制所述第二抱紧机构吸合、控制所述主驱动电机停止运行、控制所述调节驱动电机运行，使得所述调节驱动电机通过所述调节传动机构带动所述传动基台移动，以对所述目标对象进行水平调节。

进一步地，上述所述的驱动设备中，所述控制装置还用于在监测到所述目标对象为水平状态时，控制所述第一抱紧机构吸合、控制所述第二抱紧机构断开、控制所述调节驱动电机停止运行、控制所述主驱动电机运行，使得所述主驱动电机通过所述主传动机构和所述调节传动机构带动所述传动基台移动，以带动所述目标对象移动。

进一步地，上述所述的驱动设备中，所述主传动机构包括主传动部件、主驱动连接杆和主移动杆；

所述主传动部件的第一端与所述主驱动连接杆的第一端相连，所述主驱动连接杆的第二端作为所述主传动机构的第一端与所述调节传动机构的第一端通过所述第一抱紧机构连接或断开；

所述主传动部件的第二端作为所述主传动机构的第二端与所述主驱动电机的动力输出端相连；

所述主传动部件的第三端与所述主移动杆的第一端连接，所述主移动杆的第二端作为所述主传动机构的第三端与所述传动基台驱动连接。

进一步地，上述所述的驱动设备中，所述主移动杆的轴向与所述主驱动连接杆的轴向垂直。

进一步地，上述所述的驱动设备中，所述调节传动机构包括调节传动部件、调节驱动连接杆和调节移动杆；

所述调节传动部件的第一端与所述调节驱动连接杆的第一端相连，所述调节驱动连接杆的第二端作为所述调节传动机构的第一端与所述主传动机构的第一端通过所述第一抱紧机构连接或断开；

所述调节传动部件的第二端作为所述调节传动机构的第二端与所述调节驱动电机的动力输出端通过所述第二抱紧机构连接或断开；

所述调节传动部件的第三端与所述调节移动杆的第一端相连，所述调节移动杆的第二端作为所述调节传动机构的第三端与所述传动基台连接。

进一步地，上述所述的驱动设备中，所述调节移动杆的轴向与所述调节驱动连接杆的轴向垂直。

进一步地，上述所述的驱动设备，还包括用于支撑所述主传动机构和所述调节传动机构的支撑机构；

所述支撑机构与所述主传动机构的第一端以及所述调节传动机构的第一端固定连接。

进一步地，上述所述的驱动设备，还包括联轴器；

所述主传动机构的第二端通过联轴器与所述主驱动电机的动力输出端相连。

进一步地，上述所述的驱动设备中，所述第一抱紧机构和/或所述第二抱紧机构包括电磁抱闸。

进一步地，上述所述的驱动设备中，所述控制装置包括水平检测器和控制器；

所述主驱动电机、所述调节驱动电机、所述第一抱紧机构和所述第二抱紧机构分别与所述控制器电连接；

所述水平检测器，设置在所述目标对象上，用于监测所述目标对象的状态，且所述水平检测器与所述控制装置电连接。

进一步地，上述所述的驱动设备，还包括：

显示器，与所述控制器电连接，用于显示所述目标对象的状态。

本发明还提供一种蒸镀系统，包括蒸镀腔室、基板基台、室内传动机构和如上任一项所述的驱动设备；

所述基板基台和所述室内传动机构均设置在所述蒸镀腔室内，且所述室内传动机构位于所述基板基台和所述驱动设备中的传动基台之间；

所述基板基台和所述传动基台分别与所述室内传动机构传动连接；

所述驱动设备中的控制装置与所述基板基台相连。

进一步地，上述所述的蒸镀系统，还包括微调机构；

所述基板基台包括支撑基台和掩膜板基台；

所述支撑基台通过所述微调机构与掩膜板基台相连，且所述支撑基台位于所述掩膜板基台和所述传动基台之间。

进一步地，上述所述的蒸镀系统中，所述基板基台还包括阵列基板基台；

所述阵列基板基台位于所述掩膜板基台和所述支撑基台之间，且与所述室内传动机构相连。

与现有技术相比，上述方案中的一个或多个实施例可以具有如下优点或有益效果：

本发明的驱动设备和蒸镀系统，通过控制装置监测蒸镀腔室内的基板基台的状态，在蒸镀腔室内的基板基台为倾斜状态时，控制第一抱紧机构断开、控制第二抱紧机构吸合、控制主驱动电机停止运行、控制调节驱动电机运行，使得调节驱动电机通过调节传动机构带动传动基台移动，以对蒸镀腔室内的基板基台进行水平调节，实现了在蒸镀腔室外部直接对需要调整基板基台水平度，无需在真空腔室降温后进行排气处理之后再使用水平尺测量后进行调整。采用本发明的技术方案，能够降低材料的损耗，提高产品的产能。

本发明的其它特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且部分地调节说明书中变得显而易见，或者通过实施本发明而了解。本发明的目的和其他优点可通过在说明书、权利要求书以及附图中所特别指出的结构来实现和获得。

附图说明

附图用来提供对本发明的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本发明的实施例共同用于解释本发明，并不构成对本发明的限制。在附图中：

图1为本发明的驱动设备实施例的结构示意图；

图2为本发明的驱动设备实施例的拓扑图；

图3为本发明的蒸镀系统实施例的结构示意图。

具体实施方式

以下将结合附图及实施例来详细说明本发明的实施方式，借此对本发明如何应用技术手段来解决技术问题，并达成技术效果的实现过程能充分理解并据以实施。需要说明的是，只要不构成冲突，本发明中的各个实施例以及各实施例中的各个特征可以相互结合，所形成的技术方案均在本发明的保护范围之内。

实施例一

为解决现有技术中存在的上述技术问题，本发明实施例提供了一种空调的控制方法。

图1为本发明的驱动设备实施例的结构示意图，如图1所示，本实施例的驱动设备可以包括主驱动电机11、传动装置12、调节驱动电机13和控制装置(图中不再示出)。传动装置12可以包括主传动机构121、调节传动机构122、第一抱紧机构123、第二抱紧机构124和传动基台125。其中，第一抱紧机构123具有抱紧状态和松开状态，第一抱紧机构123在抱紧状态下能够将两个被抱紧对象连接在一起形成一个整体结构，在第一抱紧机构123的抱紧状态下，两个被第一抱紧机构123所抱紧的对象能够同步运动，在下面实施例中，抱紧也称为吸合，在松开状态两个被抱紧对象则断开，同理，第二抱紧机构124也具有抱紧状态和松开状态。第一抱紧机构123和/或第二抱紧机构124可以包括电磁抱闸。

在一些实施例中，主传动机构121的第一端和调节传动机构122的第一端通过第一抱紧机构123连接或断开。调节传动机构122的第二端和调节驱动电机13的动力输出端通过第二抱紧机构124连接或断开。主传动机构121的第二端与主驱动电机11的动力输出端相连。主传动机构121的第三端与传动基台125的一侧驱动连接，调节传动机构122的第三端与传动基台125的另一侧驱动连接。主驱动电机11、调节驱动电机13、第一抱紧机构123和第二抱紧机构124分别与控制装置电连接。

在一些实施例中，该控制装置可以包括水平检测器(图中不再示出)和控制器(图中不再示出)，水平检测器、主驱动电机11、调节驱动电机13、第一抱紧机构123和第二抱紧机构124分别与控制器电连接。可以将水平检测器设置在目标对象上，以监测目标对象的状态。例如，水平检测器可以包括倾角传感器，目标对象可以包括蒸镀腔室内的基板基台。倾角传感器在绝对水平状态下水平安装时初始设置为零，装在基板基台上时，若基板基台不水平倾角传感器会出现水平正负偏差值，进而可以监测到基板基台处于水平状态还是倾斜状态。

控制器若通过倾角传感器监测到基板基台为倾斜状态，则会分别向第一抱紧机构123、第二抱紧机构124、主驱动电机11、调节驱动电机13发送相应的控制信号，以控制第一抱紧机构123断开，控制第二抱紧机构124吸合、控制主驱动电机11停止运行、控制调节驱动电机13运行。这样，主传动机构121的第一端和调节传动机构122的第一端断开，主传动机构121和调节传动机构122能够独立传动，调节传动机构122的第二端和调节驱动电机13的动力输出端连接，调节驱动电机13能够驱动调节传动机构122动作，并由调节传动机构122带动传动基台125的一侧沿着竖直方向运动，而传动基台125另一侧则由于主驱动电机11的不工作而保持静止，使得传动基台125的一侧与另一侧之间的高度差得到调整，从而对基板基台进行水平调节。

在一些实施例中，控制器若通过倾角传感器监测到基板基台为水平状态，控制第一抱紧机构123吸合、控制第二抱紧机构124断开、控制调节驱动电机13停止运行、控制主驱动电机11运行，这样，主传动机构121的第一端和调节传动机构122的第一端连接作为一个整体传动，调节传动机构122的第二端和调节驱动电机13的动力输出端断开，主驱动电机11能够驱动主传动机构121和驱动调节传动机构122动作，主驱动电机11通过主传动机构121和调节传动机构122带动传动基台125的两侧同步运动，使得传动基台125整体进行运动，使得传动基台125实现在竖直方向上的移动，完成蒸镀。

在一些实施例中，该驱动设备还包括显示器(图中不再示出)。显示器与控制器电连接，用于显示目标对象的状态。

需要说明的是，本发明实施例的控制器可以由单个设备实现，也可以由多台设备相互配合来完成。例如，由多台设备相互配合来完成时可以设置一个主控制模块，由控制模块向倾角传感器和显示器分别发出信号，倾角传感器和显示器开始工作。可以在倾角传感器中设置一个中央处理器，用于进行信号分析，确定目标对象的状态，然后通过显示器显示，显示器中也设置有中央处理器，通过检测用户的操控信息向主驱动电机11、调节驱动电机13、第一抱紧机构123和第二抱紧机构124等发出相应的控制信号。

本实施例的驱动设备，通过控制装置监测蒸镀腔室内的基板基台的状态，在蒸镀腔室内的基板基台为倾斜状态时，控制第一抱紧机构123断开、控制第二抱紧机构124吸合、控制主驱动电机11停止运行、控制调节驱动电机13运行，使得调节驱动电机13通过调节传动机构122带动传动基台125移动，以对蒸镀腔室内的基板基台进行水平调节，实现了在蒸镀腔室外部直接对需要调整基板基台水平度，无需在真空腔室降温后进行排气处理之后再使用水平尺测量后进行调整。采用本发明的技术方案，能够降低材料的损耗，提高产品的产能。

在一些实施例中，如图1所示，主传动机构121包括主传动部件1211、主驱动连接杆1212和主移动杆1213。其中，主移动杆1213的轴向与主驱动连接杆1212的轴向垂直。主传动部件1211的第一端与主驱动连接杆1212的第一端相连，主驱动连接杆1212的第二端作为主传动机构121的第一端与调节传动机构122的第一端通过第一抱紧机构123连接或断开；主传动部件1211的第二端作为主传动机构121的第二端与主驱动电机11的动力输出端相连；主传动部件1211的第三端与主移动杆1213的第一端连接，主移动杆1213的第二端作为主传动机构121的第三端与传动基台125驱动连接。

在一些实施例中，如图1所示，调节传动机构122包括调节传动部件1221、调节驱动连接杆1222和调节移动杆1223。其中，调节移动杆1223的轴向与调节驱动连接杆1222的轴向垂直。调节传动部件1221的第一端与调节驱动连接杆1222的第一端相连，调节驱动连接杆1222的第二端作为调节传动机构122的第一端与主传动机构121的第一端通过第一抱紧机构123连接或断开；调节传动部件1221的第二端作为调节传动机构122的第二端与调节驱动电机13的动力输出端通过第二抱紧机构124连接或断开；调节传动部件1221的第三端与调节移动杆1223的第一端相连，调节移动杆1223的第二端作为调节传动机构122的第三端与传动基台125连接。

在一些实施例中，主移动杆1213和调节移动杆1223均可以为丝杠，主传动部件1211和调节传动部件1221均可以为蜗轮蜗杆，蜗轮蜗杆和丝杠作为一个整体，蜗轮蜗杆转动的同时丝杠也处于旋转状态，从而可以由丝杠带动传动基台125动作，实现对基板基台的水平调节或者带动基板基台移动完成蒸镀。

在一些实施例中，该驱动设备还可以包括用于支撑所述主传动机构121和所述调节传动机构122的支撑机构14，该支撑机构14与主传动机构121的第一端以及调节传动机构122的第一端固定连接。具体地，该支撑机构14可以包括支架台141和支架142。主移动杆1213和调节移动杆1223可以穿过支架台141，并能够在轴向上与支架台141相对移动，例如，主移动杆1213和调节移动杆1223为丝杠，支架台141可以设置螺纹孔，丝杠能够沿螺纹孔轴向方向移动，这样，支架台141分别与主移动杆1213和调节移动杆1223相互支持。支架142的一端与固定在支架台141上，支架142的另一端与主传动机构121的第一端以及调节传动机构122的第一端固定连接，以对主传动机构121以及调节传动机构122进行支撑。

在一些实施例中，如图1所示，该驱动设备还包括联轴器，主传动机构121的第二端通过联轴器与主驱动电机11的动力输出端相连，以保证主驱动电机11对主传动机构121驱动的可靠性。

实施例二

图2为本发明的驱动设备实施例的拓扑图，如图2所示，本实施例的驱动设备可以包括控制模块10、显示模块20、水平检测模块30、信号分析模块40、执行系统50、主驱动电机11、调节驱动电机13和传动装置12。其中，该控制模块20，信号分析模块40和设置在显示模块20中的中央处理器相互配合，实现实施例一中的控制装置中的控制器。也就是说，实施例一中的控制装置包括控制器，控制器可以包括制模块20，信号分析模块40和设置在显示模块20中的中央处理器。

控制模块10动作后发出两个信号，分别到显示模块20与水平检测模块30，水平检测模块30通过自身结构将会反应出一段编码同时将编码传递到水平检测模块30进行编码的读取与转换成需要数字或者角度数，然后将数字或者角度数反馈到显示器，人员通过显示模块20操作，显示模块20中的中央处理器会向执行系统50发出动作信号，当需要传动装置12进行水平调整时，执行系统50将显示模块20发过来的信号收集且将信号只传给调节驱动电机13，调节驱动电机13带动传动装置12，此时主驱动电机11信号将保持。当不需要调整传动装置12水平时，执行系统50将显示模块20发过来的信号收集且将信号只传给主驱动电机11，给主驱动电机11带动传动装置12，此时调节确定电机信号将保持。

实施例三

本发明实施例提供了一种蒸镀系统。

图3为本发明的蒸镀系统实施例的结构示意图，如图3所示，本实施例的蒸镀系统可以包括蒸镀腔室、基板基台、室内传动机构和上述实施例的驱动设备。其中，基板基台和室内传动机构均设置在蒸镀腔室内，且室内传动机构位于基板基台和驱动设备中的传动基台125之间，基板基台和传动基台125分别与室内传动机构传动连接；驱动设备中的控制装置与基板基台相连。

在一些实施例中，该控制装置可以包括水平检测器和控制器，该基板基台可以包括支撑基台和掩膜板基台。该蒸镀系统还可以包括微调机构，支撑基台通过微调机构与掩膜板基台相连，且支撑基台位于掩膜板基台和传动基台125之间。水平检测器可以设置在支撑基台朝向掩膜板基台的一面，但是并不仅限于将水平检测器设置在该面，可以根据实际需求选择设置位置。

在一些实施例中，倾角传感器在绝对水平状态下水平安装时初始设置为零，装在支撑基台上时，支撑基台不水平倾角传感器会出现水平正负偏差值，控制器会反馈给调节驱动电机13、第一抱紧机构123、第二抱紧机构124、主驱动电机11相应的控制信号，当调节驱动电机13、第一抱紧机构123、第二抱紧机构124、主驱动电机11接收到相应的控制信号后开始动作，第二抱紧机构124在吸合状态与调节驱动电机13进行固定连接，主驱动电机11在静止状态，第一抱紧机构123也处于断开状态，因第二抱紧机构124与调节驱动电机13连接，调节驱动电机13带动蜗轮蜗杆转动，因蜗轮蜗杆与丝杠是整体，所以蜗轮蜗杆转动的同时丝杠也处于旋转状态，传动基台125是通过左右两根丝杠固定在支架台141之上且在丝杠旋转下传动基台125可以上下移动，在调节水平时左侧丝杠是固定不动，右侧丝杠在调节驱动电机13的带动，传动基台125在丝杠带动下进行调整支撑基台的水平，而支撑基台通过微调结构与掩膜板基台连接，进而可以调整掩膜板基台的水平。

当调节驱动电机13旋转带动传动基台125对支撑基台和掩膜板基台调整水平后，倾角传感器会显示当时水平状态为零，此时控制器会在进行新一轮信号值的分析与传输，当调节驱动电机13、第一抱紧机构123、第二抱紧机构124、主驱动电机11接收到控制器反馈过来控制信号时，调节驱动电机13停止转动，第一抱紧机构123处于吸合状态，使得第一抱紧机构123左右驱动连接杆进行整体连接动作，主驱动电机11进行动作准备，第二抱紧机构124处于断开状态，使得与调节驱动电机13进行断开连接。当基台调整水平完毕后，主驱动电机11带动第一抱紧机构123、第二抱紧机构124、左右驱动连接杆、左右蜗轮蜗杆进行旋转动作，传动基台125通过蜗轮蜗杆转动进行上下移动，此时真空区域部件支撑基台、掩膜板基台等部件都处于水平状态，因调节驱动电机13与第二抱紧机构124处于断开状态，故调节驱动电机13处于静止状态，当需要自动进行调整水平或者根据需要调整水平后可以启动调节驱动电机13功能，当不需要启动调节驱动电机13功能时可以禁用放置，根据自身设备情况合理选用。这样，即可在蒸镀腔室外部直接对需要调整基板基台水平度，无需在真空腔室降温后进行排气处理之后再使用水平尺测量后进行调整，从而降低了材料的损耗，提高产品的产能。

在一些实施例中，该基板基台还包括阵列基板基台，阵列基板基台位于掩膜板基台和支撑基台之间，且与室内传动机构相连，水平检测器可以设置在阵列基板基台背离掩膜板基台的一面，但是并不仅限于将水平检测器设置在该面，可以根据实际需求选择设置位置。其中，对阵列基板基台调整水平的方式与对支撑基台和掩膜板基台调整水平的方式相似，详细请参考上述相关记载，在此不再赘述。

可以理解的是，上述各实施例中相同或相似部分可以相互参考，在一些实施例中未详细说明的内容可以参见其他实施例中相同或相似的内容。

需要说明的是，在本发明的描述中，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。此外，在本发明的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是指至少两个。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

虽然本发明所公开的实施方式如上，但所述的内容只是为了便于理解本发明而采用的实施方式，并非用以限定本发明。任何本发明所属技术领域内的技术人员，在不脱离本发明所公开的精神和范围的前提下，可以在实施的形式上及细节上作任何的修改与变化，但本发明的保护范围，仍须以所附的权利要求书所界定的范围为准。

Claims (14)

1.一种驱动设备，其特征在于，包括主驱动电机、传动装置、调节驱动电机和控制装置；

所述传动装置包括主传动机构、调节传动机构、第一抱紧机构、第二抱紧机构和传动基台；

所述主传动机构的第一端和所述调节传动机构的第一端通过所述第一抱紧机构连接或断开；

所述调节传动机构的第二端和所述调节驱动电机的动力输出端通过所述第二抱紧机构连接或断开；

所述主传动机构的第二端与所述主驱动电机的动力输出端相连；

所述主传动机构的第三端与所述传动基台的一侧驱动连接，所述调节传动机构的第三端与所述传动基台的另一侧驱动连接；

所述主驱动电机、所述调节驱动电机、所述第一抱紧机构和所述第二抱紧机构分别与所述控制装置电连接；

所述控制装置用于在监测到目标对象为倾斜状态时，控制所述第一抱紧机构断开、控制所述第二抱紧机构吸合、控制所述主驱动电机停止运行、控制所述调节驱动电机运行，使得所述调节驱动电机通过所述调节传动机构带动所述传动基台移动，以对所述目标对象进行水平调节。

2.根据权利要求1所述的驱动设备，其特征在于，所述控制装置还用于在监测到所述目标对象为水平状态时，控制所述第一抱紧机构吸合、控制所述第二抱紧机构断开、控制所述调节驱动电机停止运行、控制所述主驱动电机运行，使得所述主驱动电机通过所述主传动机构和所述调节传动机构带动所述传动基台移动，以带动所述目标对象移动。

3.根据权利要求1所述的驱动设备，其特征在于，所述主传动机构包括主传动部件、主驱动连接杆和主移动杆；

所述主传动部件的第一端与所述主驱动连接杆的第一端相连，所述主驱动连接杆的第二端作为所述主传动机构的第一端与所述调节传动机构的第一端通过所述第一抱紧机构连接或断开；

所述主传动部件的第二端作为所述主传动机构的第二端与所述主驱动电机的动力输出端相连；

所述主传动部件的第三端与所述主移动杆的第一端连接，所述主移动杆的第二端作为所述主传动机构的第三端与所述传动基台驱动连接。

4.根据权利要求3所述的驱动设备，其特征在于，所述主移动杆的轴向与所述主驱动连接杆的轴向垂直。

5.根据权利要求1所述的驱动设备，其特征在于，所述调节传动机构包括调节传动部件、调节驱动连接杆和调节移动杆；

所述调节传动部件的第一端与所述调节驱动连接杆的第一端相连，所述调节驱动连接杆的第二端作为所述调节传动机构的第一端与所述主传动机构的第一端通过所述第一抱紧机构连接或断开；

所述调节传动部件的第二端作为所述调节传动机构的第二端与所述调节驱动电机的动力输出端通过所述第二抱紧机构连接或断开；

所述调节传动部件的第三端与所述调节移动杆的第一端相连，所述调节移动杆的第二端作为所述调节传动机构的第三端与所述传动基台连接。

6.根据权利要求5所述的驱动设备，其特征在于，所述调节移动杆的轴向与所述调节驱动连接杆的轴向垂直。

7.根据权利要求1所述的驱动设备，其特征在于，还包括用于支撑所述主传动机构和所述调节传动机构的支撑机构；

所述支撑机构与所述主传动机构的第一端以及所述调节传动机构的第一端固定连接。

8.根据权利要求6所述的驱动设备，其特征在于，还包括联轴器；

所述主传动机构的第二端通过联轴器与所述主驱动电机的动力输出端相连。

9.根据权利要求1所述的驱动设备，其特征在于，所述第一抱紧机构和/或所述第二抱紧机构包括电磁抱闸。

10.根据权利要求1所述的驱动设备，其特征在于，所述控制装置包括水平检测器和控制器；

所述主驱动电机、所述调节驱动电机、所述第一抱紧机构和所述第二抱紧机构分别与所述控制器电连接；

所述水平检测器，设置在所述目标对象上，用于监测所述目标对象的状态，且所述水平检测器与所述控制装置电连接。

11.根据权利要求10所述的驱动设备，其特征在于，还包括：

显示器，与所述控制器电连接，用于显示所述目标对象的状态。

12.一种蒸镀系统，其特征在于，包括蒸镀腔室、基板基台、室内传动机构和如权利要求1-11任一项所述的驱动设备；

所述基板基台和所述室内传动机构均设置在所述蒸镀腔室内，且所述室内传动机构位于所述基板基台和所述驱动设备中的传动基台之间；

所述基板基台和所述传动基台分别与所述室内传动机构传动连接；

所述驱动设备中的控制装置与所述基板基台相连。

13.根据权利要求12所述的蒸镀系统，其特征在于，还包括微调机构；

所述基板基台包括支撑基台和掩膜板基台；

所述支撑基台通过所述微调机构与掩膜板基台相连，且所述支撑基台位于所述掩膜板基台和所述传动基台之间。

14.根据权利要求13所述的蒸镀系统，其特征在于，所述基板基台还包括阵列基板基台；

所述阵列基板基台位于所述掩膜板基台和所述支撑基台之间，且与所述室内传动机构相连。

Images