CN112768392A - 晶片传输装置 - Google Patents

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Abstract

本申请实施例提供了一种晶片传输装置。晶片传输装置包括传输本体、定位组件和驱动组件；传输本体的第一表面用于放置托盘，传输本体的第二表面用于连接定位组件，其中，第一表面和第二表面为传输本体相对的两个表面；定位组件包括多个定位点，驱动组件和定位组件驱动连接，驱动组件用于驱动定位组件移动，以使托盘限位在多个定位点围成的限位区域中。这样，在传输本体转运托盘的过程中，可以确保托盘始终处于多个定位点围成的限位区域内，保证托盘相对于传输本体的位置不会发生偏移，进而保证薄膜沉积工艺的正常进行，从而提高薄膜沉积工艺的生产效率。

Description

晶片传输装置
技术领域
本申请涉及半导体制造设备技术领域，具体涉及一种晶片传输装置。
背景技术
在半导体制造领域，通常需要一种增强型等离子体气相沉积设备用于薄膜的沉积。该设备在进行薄膜沉积工艺时，晶片需要在装载腔内进行装载，由机械手完成晶片的转运。
相关技术中，托盘中设置有凹槽，晶片固定在凹槽中。在工艺开始时，传输腔中的机械手伸出，将托盘托起，利用托盘和机械手之间的摩擦力使托盘相对固定在机械手上，之后通过机械手将托盘传输至工艺腔。
但是，在机械手的转运速度提升后，托盘相对于机械手的位置容易发生偏移，而托盘的位置发生偏移则会影响工艺的正常进行，进而降低薄膜沉积工艺的生产效率。
申请内容
本申请实施例提供了一种晶片传输装置，能够解决相关技术中托盘位置容易发生偏移，进而影响薄膜沉积工艺正常进行，降低薄膜沉积工艺的问题。
为了解决上述技术问题，本申请是这样实现的：
本申请实施例提供了一种晶片传输装置，所述晶片放置在托盘上，所述晶片传输装置包括传输本体、定位组件和驱动组件；
所述传输本体的第一表面用于放置所述托盘，所述传输本体的第二表面用于连接所述定位组件，其中，所述第一表面和所述第二表面为所述传输本体相对的两个表面；
所述定位组件包括多个定位点，所述驱动组件和所述定位组件驱动连接，所述驱动组件用于驱动所述定位组件移动，以使所述托盘限位在多个所述定位点围成的限位区域中。
可选的，所述定位组件在所述驱动组件的驱动下在第一状态和第二状态下切换；
在所述第一状态下，每个所述定位点和所述托盘边缘之间的距离均为第一距离，在所述第二状态下，每个所述定位点和所述托盘边缘之间的距离均为第二距离，其中，所述第一距离大于所述第二距离，所述第二距离趋于零值。
可选的，多个所述定位点围成的限位区域为圆形，所述托盘为圆盘；
在所述第一状态下，所述限位区域的直径和所述托盘的直径之间的差值为第一数值，在所述第二状态下，所述限位区域的直径和所述托盘的直径之间的差值为第二数值，其中，所述限位区域的直径大于所述托盘的直径，所述第一数值大于所述第二数值，且所述第二数值趋于零值。
可选的，所述定位组件包括多个传动框架；
多个所述传动框架之间铰接，每相邻两个所述传动框架的铰接点处固定有一个所述定位点。
可选的，多个所述传动框架包括第一传动框架、第二传动框架和第三传动框架，多个所述定位点包括第一定位点、第二定位点、第三定位点和第四定位点；
所述第一定位点位于所述第一传动框架第一端，所述第二定位点位于所述第一传动框架第二端和所述第二传动框架第一端的铰接点处，所述第三定位点位于所述第二传动框架的第二端和所述第三传动框架第一端的铰接点处，所述第四定位点位于所述第三传动框架第二端。
可选的，每个所述定位点的端部凸出于所述托盘的承载面。
可选的，所述定位组件包括第一折杆、第二折杆、第三折杆、第四折杆、第一直杆、第二直杆、第三直杆和第四直杆；
所述第一折杆、所述第二折杆、所述第三折杆和所述第四折杆均包括两个弯折部，两个所述弯折部在长度方向相交；
所述第一直杆、所述第三直杆、所述第一折杆的一个所述弯折部、所述第三折杆的一个所述弯折部围成所述第一传动框架；
所述第二直杆、所述第四直杆、所述第二折杆的一个弯折部、所述第四折杆的一个弯折部围成所述第三传动框架；
所述第一折杆的另一个弯折部、所述第二折杆的另一个弯折部、所述第三折杆的另一个弯折部、所述第四折杆的另一个弯折部围成所述第二传动框架。
可选的，所述第一折杆的一端和所述第二折杆的一端铰接在所述传输本体的所述第二表面上，所述第一折杆的另一端和所述第一直杆的一端铰接，所述第二折杆的另一端和所述第二直杆的一端铰接，所述第一直杆的另一端和所述第三直杆的一端铰接，所述第二直杆的另一端和所述第四直杆的一端铰接；
所述第三折杆的一端和所述第四折杆的一端铰接，所述第三折杆的弯折处和第一折杆的弯折处铰接，所述第四折杆的弯折处和所述第二折杆的弯折处铰接；
所述第三折杆的另一端和所述第三直杆的另一端铰接，所述第四折杆的另一端和所述第四直杆的另一端铰接；
所述第一定位点位于所述第一直杆和所述第三直杆的铰接点处，所述第二定位点位于所述第一折杆和所述第三折杆的铰接点处，所述第三定位点位于所述第二折杆和所述第四折杆的铰接点处，所述第四定位点位于所述第二直杆和所述第四直杆的铰接点处。
可选的，所述驱动组件包括驱动杆和设置在所述第二表面上的驱动电机；
所述驱动杆的第一端和所述驱动电机驱动连接，所述驱动杆的第二端固定在所述第三折杆和所述第四折杆的铰接点处；
在所述第一状态下，所述驱动电机驱动所述驱动杆的第二端向远离所述驱动电机的方向运动，在所述第二状态下，所述驱动电机驱动所述驱动杆的第二端向靠近所述驱动电机的方向运动。
可选的，所述晶片传输装置还包括转接头，
所述转接头包括第一固定部和第二固定部；
所述驱动杆的第二端和所述第一固定部螺纹连接，所述第二固定部螺纹连接在所述第三折杆和所述第四折杆的铰接点处。
在本申请实施例中，由于传输本体的第一表面用于放置托盘，传输本体的第二表面用于连接定位组件，定位组件包括多个定位点，驱动组件和定位组件驱动连接，驱动组件用于驱动定位组件移动，以使托盘限位在多个定位点围成的限位区域中，因此，当托盘放置在传输本体上后，可以通过驱动组件驱动定位组件，使多个定位点围成的限位区域的边缘和托盘的边缘接触，进而通过多个定位点形成的限位区域对托盘进行限位，以防止托盘在运输过程中发生位移。这样，在传输本体转运托盘的过程中，可以确保托盘始终处于多个定位点围成的限位区域内，保证托盘相对于传输本体的位置不会发生偏移，进而保证薄膜沉积工艺的正常进行，从而提高薄膜沉积工艺的生产效率。
附图说明
图1表示本申请实施例提供的晶片传输装置的俯视图；
图2表示本申请实施例提供的定位组件在第二状态下的仰视图；
图3表示本申请实施例提供的定位组件在第一状态下的仰视图；
图4表示本申请实施例提供的定位组件包括的定位点的分布示意图；
图5表示本申请实施例提供的驱动组件与定位组件的连接示意图；
图6表示本申请实施例提供的定位组件在第二状态下的结构示意图；
图7表示本申请实施例提供的定位组件在第一状态下的结构示意图；
图8表示本申请实施例提供的驱动组件的伸长量的计算原理示意图；
图9表示本申请实施例提供的转接头的结构示意图；
图10表示本申请实施例提供的直杆的结构示意图；
图11表示本申请实施例提供的弯杆的结构示意图；
附图标记：
1：晶片；2：托盘；10：传输本体；20：定位组件；30：驱动组件；40：转接头；201：定位点；202：第一传动框架；203：第二传动框架；204：第三传动框架；301：驱动电机；302：驱动杆；401：第一固定部；402：第二固定部；2011：第一定位点；2012：第二定位点；2013：第三定位点；2014：第四定位点；2021：第一折杆；2022：第二折杆；2023：第三折杆；2024：第四折杆；2025：第一直杆；2026：第二直杆；2027：第三直杆；2028：第四直杆。
具体实施方式
下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。
应理解，说明书通篇中提到的“一个实施例”或“一实施例”意味着与实施例有关的特定特征、结构或特性包括在本申请的至少一个实施例中。因此，在整个说明书各处出现的“在一个实施例中”或“在一实施例中”未必一定指相同的实施例。此外，这些特定的特征、结构或特性可以任意适合的方式结合在一个或多个实施例中。
参照图1，示出了本申请实施例提供的一种晶片传输装置的俯视图，如图1所示，晶片1放置在托盘2上，该晶片传输装置包括传输本体10、定位组件20和驱动组件30；传输本体10的第一表面用于放置托盘2，传输本体10的第二表面用于连接定位组件20，其中，第一表面和第二表面为传输本体10相对的两个表面；定位组件20包括多个定位点201，驱动组件30和定位组件20驱动连接，驱动组件30用于驱动定位组件20移动，以使托盘2限位在多个定位点201围成的限位区域中。
其中，传输本体10为运输托盘2的机械设备，晶片传输装置还可以包括控制模块，控制模块和传输本体10电连接，进而可以通过控制模块控制传输本体10，使得传输本体10可以按照预定轨迹运输托盘2。传输本体10可以为板状件，使得传输本体10具有相对的第一表面和第二表面。为增大和托盘2的接触面积，传输本体10和托盘2接触的第一表面应为平面，保证传输本体10的第一表面和托盘2的接触面积最大，进而增大传输本体10的第一表面和托盘2之间的摩擦力，在托盘2在传输本体10放置时，就可以起到预防托盘2和传输本体10发生相对滑动的作用。此外，传输本体10应具有一定的厚度，使得传输本体10具有一定的抗压强度和抗折强度。示例性的，可以选择屈服强度在310MPa～345MPa的钢材，例如310MPa、320MPa、330MPa、340MPa等，进而可以保证了本申请实施例中的传输本体10能够承受较高的屈服强度，从而使传输本体10具有一定的强度和韧性，使得传输本体10可以承受托盘2施加的重力，进而延长传输本体10的使用寿命。
可选的，传输本体10可以包括第一机械臂和第二机械臂，第一机械臂和第二机械臂之间间隔设置。
需要说明的是，由于第一机械臂和第二机械臂之间间隔设置，因此使得第一机械臂和第二机械臂之间形成空腔，进而降低传输本体10整体的重量，有利于降低传输本体10的运载压力。此外，在第一机械臂和第二机械臂间隔设置的情况下，第一机械臂和第二机械臂可以分别位于传输本体10中线的两侧，进而在托盘2放置时，托盘2对传输本体10施加的应力可以向第一机械臂和第二机械臂分散，进而避免应力集中，使得托盘2可以平稳的放置在传输本体10上，进而避免托盘2在放置时发生偏转。
传输本体10的第一表面放置托盘2，晶片1放置在托盘2上。在本发明实施例中，晶片1为4吋或者6吋的晶圆，当托盘2上承载的晶片1的尺寸不同时，托盘2的尺寸也不同。相应的，在托盘2为圆盘的情况下，托盘2承载晶片1的承载面为圆面。
可选的，托盘2承载晶片1的承载面包括容纳槽；晶片1容纳在容纳槽内。
具体的，容纳槽的槽型和晶片1的形状一致，如晶片1为晶圆，则对应的容纳槽为圆形槽，容纳槽体积略大于晶片1的体积，进而便于将晶片1放置在容纳槽中，在将晶片1放置在容纳槽的过程中，晶片1不会与容纳槽的槽壁接触，进而避免在放置过程中损坏晶片1，同时晶片1容纳在容纳槽内后，也可以避免在运输过程中晶片1跌落而损坏晶片1。此外，容纳槽的个数依据单次运输的晶片1的个数确定，在托盘2的承载面上包括至少两个容纳槽的情况下，多个容纳槽均匀分布在托盘2的容纳面上，进而可以避免晶片1放置在托盘2上较为集中时，造成托盘2单侧受力较大，而造成托盘2位置的偏移。
为避免托盘2在运输过程中发生位置的偏移，如图2和图3所示，在传输本体10的第二表面上设置有定位组件20，定位组件20包括多个定位点201，如图4所示，多个定位点201可以环绕托盘2的边缘均匀设置，即多个定位点201以托盘2的中心为轴沿托盘2圆周方向均匀设置。
可选的，每个定位点的端部可以凸出于托盘2的表面，因此，可以使得托盘2可以限位在多个定位点201围成的限位区域中。
此外，定位组件20和驱动组件30驱动连接，定位组件20在驱动组件30的驱动下移动，以使托盘2限位在多个定位点201围成的限位区域中。在多个定位点201围成的限位区域的边缘和托盘2的边缘无接触的情况下，可以将托盘2放置在多个定位点201围成的限位区域中。在多个定位点201围成的限位区域的边缘和托盘2的边缘接触的情况下，可以通过多个定位点201形成的限位区域对托盘2进行限位，以防止托盘2在运输过程中发生位移。
在本申请实施例中，由于传输本体10的第一表面用于放置托盘2，传输本体10的第二表面用于连接定位组件20，定位组件20包括多个定位点201，驱动组件30和定位组件20驱动连接，驱动组件30用于驱动定位组件20移动，以使托盘2限位在多个定位点201围成的限位区域中，因此，当托盘2放置在传输本体10上后，可以通过驱动组件30驱动定位组件20，使多个定位点201围成的限位区域的边缘和托盘2的边缘接触，进而通过多个定位点201形成的限位区域对托盘2进行限位，以防止托盘2在运输过程中发生位移。这样，在传输本体10转运的过程中，可以确保托盘2始终处于多个定位点201围成的限位区域内，保证托盘2相对于传输本体10的位置不会发生偏移，进而保证薄膜沉积工艺的正常进行，从而提高薄膜沉积工艺的生产效率。
可选的，定位组件20在驱动组件30的驱动下可以在第一状态和第二状态下切换；如图3和图7所示，在第一状态下，每个定位点201和托盘2边缘之间的距离均为第一距离，如图2和图6所示，在第二状态下，每个定位点201和托盘2边缘之间的距离均为第二距离，其中，第一距离大于第二距离，第二距离趋于零值。
具体而言，如图2和图6所示，在第一状态下，每个定位点201和托盘2边缘之间的距离均为第一距离，即在第一状态下，多个定位点201和托盘2的边缘存在间隙，进而方便将托盘2放置在多个定位点201围成的限位区域中。如图3和图7所示，在第二状态下，每个定位点201和托盘2边缘之间的距离均为第二距离，由于第二距离趋于零值，因此托盘2的边缘和多个定位点201之间处于接触状态和不接触状态的临界状态，这样，在托盘2放置在传输本体10上后，可以通过多个定位点201对托盘2进行限位，以防止托盘2在运输过程中发生位移。
可选的，多个定位点201围成的限位区域为圆形，托盘2为圆盘；如图3和图7所示，在第一状态下，限位区域的直径和托盘2的直径之间的差值为第一数值，如图2和图6所示，在第二状态下，限位区域的直径和托盘2的直径之间的差值为第二数值，其中，限位区域的直径大于托盘2的直径，第一数值大于第二数值，且第二数值趋于零值。
需要说明的是，图3和图7所示，在第一状态下，限位区域的直径和托盘2的直径之间的差值为第一数值，由于限位区域的直径大于托盘2的直径，第一数值大于第二数值，即在第一状态下，多个定位点201和托盘2的边缘具有一定的距离，进而方便将托盘2放置在多个对个定位点201之间的限位区域中。如图2和图6所示，在第二状态下，限位区域的直径和托盘2的直径之间的差值为第二数值，又由于第二数值趋于零值，因此在第二状态下，多个定位点201和托盘2的边缘之间的距离趋于零值，在多个定位点201和托盘2的边缘之间的距离趋于零值时，托盘2的边缘和多个定位点201之间处于接触状态和不接触状态的临界状态，这样，在托盘2放置在传输本体10上后，可以通过多个定位点201对托盘2进行限位，以防止托盘2在运输过程中发生位移。此外，在定位组件20由第一状态切换到第二状态的过程中，多个定位点201围成的限位区域不断缩小，若托盘2未放置到指定位置，定位组件20在切换的过程中，可以带动托盘2重新移位到指定位置，使得托盘2在多个定位点201的带动下自动摆正。
可选的，定位组件20包括多个传动框架；多个传动框架之间铰接，每相邻两个传动框架的铰接点处固定有一个定位点201。
需要说明的是，多个传动框架中的一个可以和驱动组件30进行连接，在一种实施例中，和驱动组件30进行连接的传动框架两侧的传动框架的个数相等。这样，在驱动组件40的驱动下，使得传动框架的形状发生变化，促使相邻两个传动框架的铰接点处固定的定位点201的位置发生变化，进而使得多个定位点201之间围成的限位区域发生变化，这样可以通过控制传动框架之间的联动实现定位点201之间的限位区域发生变化，进而简化传动路径，提高传动速率。此外，在本发明实施例中，优选传动框架为棱形框架，正三角形框架等规则形状框架，便于和托盘进行适配。
另外，在本申请实施例中，多个定位点201的个数依据定位组件20的结构确定，定位点201个数可以为大于或者等于3的数值中的任一个，本申请对此不做限定。
可选的，如图5～图7所示，在一些实施例中，多个传动框架包括第一传动框架202、第二传动框架203和第三传动框架204，多个定位点201包括第一定位点2011、第二定位点2012、第三定位点2013和第四定位点2014；第一定位点2011位于第一传动框架202第一端，第二定位点2022位于第一传动框架202第二端和第二传动框架203第一端的铰接点处，第三定位点2023位于第二传动框架203第二端和第三传动框架204第一端的铰接点处，第四定位点2014位于第三传动框架204的第二端。
具体而言，示例性的，如图6和图7所示，第一传动框架202、第二传动框架203和第三传动框架204均可以为棱形框架，每个棱形框架的顶点均为铰接点；第一传动框架202的第一端的铰接点和第二传动框架203的第一端的铰接点同轴，第二传动框架203的第二端的铰接点和第三传动框架204的第一端的铰接点同轴；第一定位点2011位于第一传动框架202的第二端的铰接点处，第二定位点2012位于第一传动框架202和第二传动框架103的铰接点处，第三定位点2013位于第二传动框架103和第三传动框架104的铰接点处，第四定位点2014位于第三传动框架104的第二端的铰接点处。
需要说明的是，由于第一传动框架202、第二传动框架103、第三传动框架104均为棱形框架，且棱形框架的每个顶点均为铰接点，因此可以通过转动第一传动框架202的每个铰接点，使得第一传动框架202围成的面积减小或者增大，通过转动第二传动框架203的每个铰接点，使得第二传动框架103的围成的面积减小或者增大，通过转动第三传动框架204的每个铰接点，使得第三传动框架204的围成的面积减小或者增大。又由于第一传动框架202的第一端的铰接点和第二传动框架203的第一端的铰接点同轴，第二传动框架203的第二端的铰接点和第三传动框架204的第一端的铰接点同轴，因此使得第一传动框架202和第三传动框架204分别铰接在第二传动框架203的两侧，这样，可以将驱动组件30驱动连接在第二传动框架203中部的一个铰接点上，通过控制第二传动框架203各个铰接点的转动带动第一传动框架202上各个铰接点和第三传动框架204上各个铰接点转动，进而使得第一传动框架202、第二传动框架203和第三传动框架204围成的面积同时扩大或者同时缩小。又由于第一定位点2011位于第一传动框架202的第二端的铰接点处，第二定位点2012位于第一传动框架202和第二传动框架203的铰接点处，第三定位点2013位于第二传动框架203和第三传动框架204的铰接点处，第四定位点2014位于第三传动框架204的第二端的铰接点处，因此在第一传动框架202、第二传动框架203和第三传动框架204围成的面积同时扩大或者同时缩小的过程中，可以改变第一定位点2011、第二定位点2012、第三定位点2013和第四定位点2014之间相对位置，进而改变第一定位点2011、第二定位点2012、第三定位点2013和第四定位点2014围成的限位区域的大小。
进一步的，第一传动框架202围成的面积、第二传动框架203围成的面积和第三传动框架204围成的面积可以相等，且第一传动框架202、第二传动框架203、第三传动框架204均为棱形框架，在这种情况下，第一传动框架202、第二传动框架203、第三传动框架204的各个边的长度相等。这样，在第一定位点2011位于第一传动框架202的第二端的铰接点处，第二定位点2012位于第一传动框架202和第二传动框架203的铰接点处，第三定位点2013位于第二传动框架203和第三传动框架204的铰接点处，第四定位点2014位于第三传动框架204的第二端的铰接点处的前提下，即在第一定位点2011和第二定位点2012之间的连线位于第一传动框架202的对角线上，第二定位点2012和第三定位点2013之间的连线位于第二传动框架203的对角线上，第三定位点2013和第四定位点2014之间的连线为第三传动框架204的对角线上的前提下，在第一传动框架202、第二传动框架203和第三传动框架204围成的面积同时扩大的过程中，使得第一传动框架202的对角线、第二传动框架203的对角线和第三传动框架204的对角线的长度变短，进而使得第一定位点2011、第二定位点2012、第三定位点2013和第四定位点2014围成的图形的面积缩小。相反的，在第一传动框架202、第二传动框架203和第三传动框架204围成的面积同时缩小的过程中，使得第一传动框架202的对角线、第二传动框架203的对角线和第三传动框架204的对角线的长度变长，第一定位点2011、第二定位点2012、第三定位点2013和第四定位点2014围成的限位区域的面积扩大。
还需要说明的是，第一定位点2011、第二定位点2012、第三定位点2013和第四定位点2014围成的限位区域可以为方形区域，也可以为圆形区域。在第一定位点2011、第二定位点2012、第三定位点2013和第四定位点2014围成的限位区域为正方形区域的情况下，第一定位点2011、第二定位点2012、第三定位点2013和第四定位点2014围成的图形的中心和托盘2的承载面的中心同轴，这样，在第一定位点2011、第二定位点2012、第三定位点2013和第四定位点2014相对于传输本体10的位置固定时，托盘2相对于传输本体10的位置也固定，且由于第一定位点2011、第二定位点2012、第三定位点2013和第四定位点2014均匀分布，因此可以进一步提高托盘2的定位精度。
可选的，如图5所示，定位组件20包括第一折杆2021、第二折杆2022、第三折杆2023、第四折杆2024、第一直杆2025、第二直杆2026、第三直杆2027和第四直杆2028；第一折杆2021、第二折杆2022、第三折杆2023和第四折杆2024均包括两个弯折部，两个弯折部在长度方向相交；第一直杆2025、第三直杆2027、第一折杆2021的一个弯折部、第三折杆2023的一个弯折部围成第一传动框架202；第二直杆2026、第四直杆2028、第二折杆的一个弯折部、第四折杆2024的一个弯折部围成第三传动框架204；第一折杆2021的另一个弯折部、第二折杆2022的另一个弯折部、第三折杆2023的另一个弯折部、第四折杆2024的另一个弯折部围成所述第二传动框架203。
需要说明的是，第一折杆2021、第二折杆2022、第三折杆2023、第四折杆2024均为如11图所示的弯折杆，且每个弯折杆的两端和中部的弯折处均开设有铰接孔，第一直杆2025、第二直杆2026、第三直杆2027和第四直杆2028均为如图10所示的长直杆，在每个长直杆的两端开设有铰接孔。第一折杆2021弯折部、第二折杆2022的弯折部、第三折杆2023的弯折部和第四折杆2024的弯折部的长度均与第一直杆2025、第二直杆2026、第三直杆2027和第四直杆2028的长度相等，进而使得第一直杆2025、第三直杆2027、第一折杆2021的一个弯折部、第三折杆2023的一个弯折部围成第一传动框架202的面积，第二直杆2026、第四直杆2028、第二折杆2022的另一个弯折部、第四折杆2024的另一个弯折部围成第二传动框架203的面积，第二直杆2026、第四直杆2028、第二折杆2023的一个弯折部、第四折杆2024的一个弯折部围成第三传动框架104的面积相等。这样，可以通过第一折杆2021、第二折杆2022、第三折杆2023、第四折杆2024与第一直杆2025、第二直杆2026、第三直杆2027、第四直杆2028之间的铰接实现第一传动框架202、第二传动框架203和第三传动框架204围成的面积同时扩大或者同时缩小。
进一步的，第一折杆2021的一端和第二折杆2022的一端铰接在传输本体10的第二表面上，第一折杆2021的另一端和第一直杆2025的一端铰接，第二折杆2022的另一端和第二直杆2026的一端铰接，第一直杆2025的另一端和第三直杆2027的一端铰接，第二直杆2026的另一端和第四直杆2028的一端铰接；第三折杆2023的一端和第四折杆2024的一端铰接，第三折杆2023的弯折处和第一折杆2021的弯折处铰接，第四折杆2024的弯折处和第二折杆2022的弯折处铰接；第三折杆2023的另一端和第三直杆2027的另一端铰接，第四折杆2024的另一端和第四直杆2028的另一端铰接；第一定位点2011位于第一直杆2025和第三直杆2027的铰接点处，第二定位点2012位于第一折杆2021和第三折杆2023的铰接点处，第三定位点2013位于第二折杆2022和第四折杆2024的铰接点处，第四定位点2014位于第二直杆2026和第四直杆2028的铰接点处。
需要说明的是，如图5和图8所示，第一折杆2021的一端和第二折杆2022的一端与在传输本体10的第二表面的铰接点为S点，第一折杆2021的另一端和第一直杆2025的一端的铰接点为M点，第二折杆2022的另一端和第二直杆2026的一端的铰接点为P点，第一直杆2025的另一端和第三直杆2027的一端的铰接点为J点，第二直杆2026的另一端和第四直杆2028的一端的铰接点为O点，第三折杆2023的一端和第四折杆2024的一端的铰接点为N点，第三折杆2023的弯折处和第一折杆2021的弯折处的铰接点为L点，第四折杆2024的弯折处和第二折杆2022的弯折处的铰接点为R点，第三折杆2023的另一端和第三直杆2027的另一端的铰接点为K点，第四折杆2024的另一端和第四直杆2028的另一端的铰接点为Q点。其中，第一定位点2011、第二定位点2012、第三定位点2013、第四定位点2014分别位于图示中的J点、L点、R点和O点。在第一状态和第二状态的切换中，在第一状态下，可以转动N点，使N点靠近S点，使得R点和L点之间的距离增大。由于N点和K点是第三折杆2023的两个端点，因此使得K点靠近M点，使得L点和J点之间的距离增大。同理，由于N点和Q点是第四折杆2024的两个端点，因此使得P靠近Q点，使得R点和O点之间的距离增大，这样，可以使得第一定位点2011和第二定位点2012之间的距离增大、第二定位点2012和第三定位点2013之间的距离增大、第三定位点2013和第四定位点2014之间的距离增大，进而使得第一定位点2011、第二定位点2012、第三定位点2013、第四定位点2014围成的限位区域的面积增大，以方便托盘2的放置。相反的，在第二状态下，可以转动N点，使N点远离S点，使得R点和L点之间的距离减小，使得L点和J点之间的距离减小，使得R点和O点之间的距离减小，这样，可以使得第一定位点2011和第二定位点2012之间的距离减小、第二定位点2012和第三定位点2013之间的距离减小、第三定位点2013和第四定位点2014之间的距离减小，进而使得第一定位点2011、第二定位点2012、第三定位点2013、第四定位点2014围成的限位区域面积减小，以方便对托盘2进行定位。还需要说明的是，上述各个铰接点均可以通过转轴连接，进而实现转轴连接的两个件之间可以围绕转轴转动。
可选的，如图7和图8所示，驱动组件30包括驱动电机301和驱动杆302；驱动杆302的第一端和驱动电机301驱动连接，驱动杆302的第二端固定在第三折杆2023和第四折杆2024的铰接点处；在第一状态下，驱动电机301驱动驱动杆302的第二端向远离驱动电机301的方向运动，在第二状态下，驱动电机301驱动驱动杆302的第二端向靠近驱动电机301的方向运动。
需要说明的是，驱动电机301为直线电机的一种，在驱动杆302的第一端和驱动电机301驱动连接后，可以使得驱动杆302沿直线运动。驱动杆302的第二端固定在第三折杆2023和第四折杆2024的铰接点N点处。这样，可以通过驱动电机301带动驱动杆302向远离或者靠近驱动电机301的方向运动，进而改变N点和S点之间的距离。具体的，当驱动电机301驱动驱动杆302的第二端向远离驱动电机301的方向运动时，使N点和S点之间的距离增大，得第一定位点2011、第二定位点2012、第三定位点2013、第四定位点2014围成的限位区域的面积减小，当驱动电机301驱动驱动杆302的第二端向靠近驱动电机301的方向运动时，使N点和S点之间的距离减小，使得第一定位点2011、第二定位点2012、第三定位点2013、第四定位点2014围成的图形的限位区域增大。此外，通过驱动电机301驱动定位组件20在第一状态和第二状态之间切换，由于驱动电机301运动的误差较小，在保证驱动电机301运动精度的情况下，可以保证托盘2与传输本体10的相对位置之间的误差较小，进而提高托盘2的定位精度。
进一步的，晶片传输装置还包括转接头40；如图9所示，转接头40包括第一固定部401和第二固定部402；驱动杆302的第二端和第一固定部401螺纹连接，第二固定部402螺纹连接在第三折杆2023和第四折杆2024的铰接点处。
需要说明的是，第一固定部401和第二固定部402可以为筒体，第一固定部401和第二固定部402的内部可以开设内螺纹，驱动杆302的第二端可以开设外螺纹，第三折杆2023和第四折杆2024的铰接点处可以设置有外螺纹。第一固定部401和第二固定部402中部的筒体的轴线可以互相垂直，进而在驱动杆302的第二端通过转接头40固定在第三折杆2023和第四折杆2024的铰接点处后，驱动杆302的长度方向与第三折杆2023和第四折杆2024的铰接点处转轴的长度方向垂直，这样，可以通过控制驱动杆302的运动方向控制第三折杆2023和第四折杆2024之间的弯折角，进而控制N点和S点之间的距离。
进一步的，结合图8对本申请实施例提供的晶片传输装置的工作原理进行进一步说明，具体如下：在第一状态下，即将托盘2放置在传输本体10上之前，可以通过驱动电机301驱动驱动杆302，使得驱动杆302的第二端向靠近驱动电机301的方向运动，进而带动铰接点N点向铰接点S点靠近，使得铰接点N点和铰接点S点之间的距离减小，由于第二传动框架203为棱形框架，因此在对角线N点和S点之间的连线减小的情况下，使得第二传动框架203另一个对角线铰接点L点和铰接点R点之间的距离增大。铰接点L点和铰接点R点分别为第二定位点2012和第三定位点2013所在的铰接点，因此使得第二定位点2012和第三定位点2013之间的连线的长度变长。同理，使得处于第一传动框架202一个对角线位置的铰接点J点和铰接点L点之间的距离增大，铰接点J点为第一定位点2011所在的铰接点，因此使得第一定位点2011和第二定位点2012之间的连线的长度变长。同样的，使得处于第三传动框架104一个对角线位置的铰接点O点和铰接点R点之间的距离增大，铰接点O点为第四定位点2014所在的铰接点，因此使得第三铰接点和第四铰接点之间的连线的长度边长。这样，使得第一定位点2011、第二定位点2012、第三定位点2013和第四定位点2014围成的限位区域的面积增大，且大于托盘2的盘面的面积，进而使得第一定位点2011、第二定位点2012、第三定位点2013和第四定位点2014不影响托盘2的放置。
相反的，在第二状态下，即在将托盘2放置在托盘2上的过程中，可以通过驱动电机301驱动驱动杆302，使得驱动杆302的第二端向远离驱动电机301的方向运动，进而带动铰接点N点向远离铰接点S点的方向运动，使得铰接点N点和铰接点S点之间的距离增大，由于第二传动框架203为棱形框架，因此在对角线N点和S点之间的连线增大的情况下，使得第二传动框架203另一个对角线铰接点L点和铰接点R点之间的距离减小，因此使得第二定位点2012和第三定位点2013之间的连线的长度变短。同理，使得第一定位点2011和第二定位点2012之间的连线的长度变短，第二定位点2012和第三定位点2013的连线的长度变短。这样，使得第一定位点2011、第二定位点2012、第三定位点2013和第四定位点2014围成的限位区域的面积减小，且外接圆的面积和托盘2的盘面的面积之间的差值无线趋于零值，即第一定位点2011、第二定位点2012、第三定位点2013、第四定位点2014和托盘2的边缘处于接触状态和未接触状态的临界状态，进而托盘2定位在第一定位点2011、第二定位点2012、第三定位点2013、第四定位点2014构成的定位空腔中，使得托盘2和传输本体10的相对位置固定。
进一步的，在本申请实施例中，为使不同尺寸的托盘2均可以适配本申请实施例提供的晶片传输装置，可以通过控制驱动杆302的运动距离来控制各个定位点201的相对位置。具体的，对于不同尺寸的托盘2，可以根据不同的托盘2直径设置不同的电机伸出尺寸，以控制驱动杆302的运动距离。示例性的，以第一传动框架202、第二传动框架203和第三传动框架204为菱形框架，托盘为圆盘为例，在托盘2直径由b增加Δb的情况下，铰接点L点和N点之间的连线LN的长度为c，第一定位点2011、第二定位点2012、第三定位点2013、第四定位点2014组成的内切圆半径LO为无线接近于b+Δb，由于第一传动框架202、第二传动框架203、第三传动框架204的面积相等，且均为棱形，则可以由勾股定理得到铰接点L点和铰接点R点之间的连线LR的长度为
Figure BDA0002888154410000181
F点为棱形对角线的交点，则铰接点L点和棱形对角线的交点F之间的距离LF变为
Figure BDA0002888154410000182
由勾股定理可得，铰接点N和棱形对角线的交点F之间的距离NF的长度为
Figure BDA0002888154410000183
S点为第一折杆2021的一端和第二折杆2022的一端与在传输本体10的第二表面的铰接点，则NS长度的变化即为电机杆伸出长度的变化。NS的长度等于NF长度的2倍，为
Figure BDA0002888154410000184
则托盘2直径由b增加Δb时电机需收缩的长度为
Figure BDA0002888154410000185
由此可得，当需要适配的托盘2的直径发生变化时，只需要根据上述公式调整电机伸出尺寸即可以适配不同尺寸的托盘2，这样，扩大了本申请实施例提供的晶片传输装置的应用范围，进而可以节省晶片传输装置开发生产成本。
在本申请实施例中，由于传输本体10的第一表面用于放置托盘2，传输本体10的第二表面用于连接定位组件20，定位组件20包括多个定位点201，驱动组件30和定位组件20驱动连接，驱动组件30用于驱动定位组件20移动，以使托盘2限位在多个定位点201围成的限位区域中，因此，当需要将托盘2放置在传输本体10上时，可以通过驱动组件30驱动定位组件20，使得多个定位点201围成的限位区域的边缘和托盘2的边缘无接触，进而方便将托盘2放置在传输本体10的第一表面上。当托盘2放置在传输本体10上后，可以通过驱动组件30驱动定位组件20，使多个定位点201围成的限位区域的边缘和托盘2的边缘接触，进而通过多个定位点201形成的限位区域对托盘2进行限位，以防止托盘2在运输过程中发生位移。这样，在传输本体10转运的过程中，可以确保托盘2始终处于多个定位点201围成的限位区域内，保证托盘2相对于传输本体10的位置不会发生偏移，进而保证薄膜沉积工艺的正常进行，从而提高薄膜沉积工艺的生产效率。
除此之外，在定位组件20在驱动组件30的驱动下由第一状态切换到第二状态的过程中，多个定位点201围成的限位区域不断缩小，若托盘2未放置到指定位置，在定位组件20在切换的过程中，可以带动托盘2重新移位到指定位置，使得托盘2在多个定位点201的带动下自动摆正。
需要说明的是，本说明书中的各个实施例均采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似的部分互相参见即可。
尽管已描述了本申请实施例的可选实施例，但本领域内的技术人员一旦得知了基本创造性概念，则可对这些实施例做出另外的变更和修改。所以，所附权利要求意欲解释为包括可选实施例以及落入本申请实施例范围的所有变更和修改。
最后，还需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体与另一个实体区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的物品或者终端设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种物品或者终端设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括要素的物品或者终端设备中还存在另外的相同要素。
以上对本申请所提供的技术方案进行了详细介绍，本文中应用了具体个例对本申请的原理及实施方式进行了阐述，同时，对于本领域的一般技术人员，依据本申请的原理及实现方式，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上，本说明书内容不应理解为对本申请的限制。

Claims (10)

1.一种晶片传输装置，所述晶片放置在托盘上，其特征在于，所述晶片传输装置包括传输本体、定位组件和驱动组件；
所述传输本体的第一表面用于放置所述托盘，所述传输本体的第二表面用于连接所述定位组件，其中，所述第一表面和所述第二表面为所述传输本体相对的两个表面；
所述定位组件包括多个定位点，所述驱动组件和所述定位组件驱动连接，所述驱动组件用于驱动所述定位组件移动，以使所述托盘限位在多个所述定位点围成的限位区域中。
2.根据权利要求1所述的晶片传输装置，其特征在于，所述定位组件在所述驱动组件的驱动下在第一状态和第二状态下切换；
在所述第一状态下，每个所述定位点和所述托盘边缘之间的距离均为第一距离，在所述第二状态下，每个所述定位点和所述托盘边缘之间的距离均为第二距离，其中，所述第一距离大于所述第二距离，所述第二距离趋于零值。
3.根据权利要求2所述的晶片传输装置，其特征在于，多个所述定位点围成的限位区域为圆形区域，所述托盘为圆盘；
在所述第一状态下，所述限位区域的直径和所述托盘的直径之间的差值为第一数值，在所述第二状态下，所述限位区域的直径和所述托盘的直径之间的差值为第二数值，其中，所述限位区域的直径大于所述托盘的直径，所述第一数值大于所述第二数值，且所述第二数值趋于零值。
4.根据权利要求1所述的晶片传输装置，其特征在于，所述定位组件包括多个传动框架；
多个所述传动框架之间铰接，每相邻两个所述传动框架的铰接点处固定有一个所述定位点。
5.根据权利要求4所述的晶片传输装置，其特征在于，多个所述传动框架包括第一传动框架、第二传动框架和第三传动框架，多个所述定位点包括第一定位点、第二定位点、第三定位点和第四定位点；
所述第一定位点位于所述第一传动框架第一端，所述第二定位点位于所述第一传动框架第二端和所述第二传动框架第一端的铰接点处，所述第三定位点位于所述第二传动框架的第二端和所述第三传动框架第一端的铰接点处，所述第四定位点位于所述第三传动框架第二端。
6.根据权利要求1所述的晶片传输装置，其特征在于，每个所述定位点的端部凸出于所述托盘的承载面。
7.根据权利要求5所述的晶片传输装置，其特征在于，所述定位组件包括第一折杆、第二折杆、第三折杆、第四折杆、第一直杆、第二直杆、第三直杆和第四直杆；
所述第一折杆、所述第二折杆、所述第三折杆和所述第四折杆均包括两个弯折部，两个所述弯折部在长度方向相交；
所述第一直杆、所述第三直杆、所述第一折杆的一个所述弯折部、所述第三折杆的一个所述弯折部围成所述第一传动框架；
所述第二直杆、所述第四直杆、所述第二折杆的一个弯折部、所述第四折杆的一个弯折部围成所述第三传动框架；
所述第一折杆的另一个弯折部、所述第二折杆的另一个弯折部、所述第三折杆的另一个弯折部、所述第四折杆的另一个弯折部围成所述第二传动框架。
8.根据权利要求7所述的晶片传输装置，其特征在于，所述第一折杆的一端和所述第二折杆的一端铰接在所述传输本体的所述第二表面上，所述第一折杆的另一端和所述第一直杆的一端铰接，所述第二折杆的另一端和所述第二直杆的一端铰接，所述第一直杆的另一端和所述第三直杆的一端铰接，所述第二直杆的另一端和所述第四直杆的一端铰接；
所述第三折杆的一端和所述第四折杆的一端铰接，所述第三折杆的弯折处和第一折杆的弯折处铰接，所述第四折杆的弯折处和所述第二折杆的弯折处铰接；
所述第三折杆的另一端和所述第三直杆的另一端铰接，所述第四折杆的另一端和所述第四直杆的另一端铰接；
所述第一定位点位于所述第一直杆和所述第三直杆的铰接点处，所述第二定位点位于所述第一折杆和所述第三折杆的铰接点处，所述第三定位点位于所述第二折杆和所述第四折杆的铰接点处，所述第四定位点位于所述第二直杆和所述第四直杆的铰接点处。
9.根据权利要求7所述的晶片传输装置，其特征在于，所述驱动组件包括驱动杆和设置在所述第二表面上的驱动电机；
所述驱动杆的第一端和所述驱动电机驱动连接，所述驱动杆的第二端固定在所述第三折杆和所述第四折杆的铰接点处；
在所述第一状态下，所述驱动电机驱动所述驱动杆的第二端向远离所述驱动电机的方向运动，在所述第二状态下，所述驱动电机驱动所述驱动杆的第二端向靠近所述驱动电机的方向运动。
10.根据权利要求9所述的晶片传输装置，其特征在于，所述晶片传输装置还包括转接头，所述转接头包括第一固定部和第二固定部；
所述驱动杆的第二端和所述第一固定部螺纹连接，所述第二固定部螺纹连接在所述第三折杆和所述第四折杆的铰接点处。
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