CN112466730A - 一种大功率移动式脉冲电子枪 - Google Patents

Abstract

一种大功率移动式脉冲电子枪，包括平行设于真空室内的两个竖直驱动组件，水平驱动组件，以及电子枪本体；电子枪本体包括上段壳体和下段壳体，顶盖，以及基座，上段壳体的内壁上安装有同轴绝缘子，顶盖与同轴绝缘子之间形成密封腔体，密封腔体内部充满绝缘油，密封腔体中设有水冷管。本发明通过在真空室内实现电子枪本体的水平方向和垂直方向的二维运动，这样既可在真空室有限空间内实现最大尺寸零件的成形，也可大幅降低设备成本，通过水冷带动油冷的方式冷却同轴绝缘子，可以保障电子枪本体的长期稳定工作，通过设置聚焦线圈和动态聚焦线圈，可以保障脉冲基值束流与峰值束流期间工件表面的焦点位置一致，避免产生热变形，从而保障成形质量。

Description

一种大功率移动式脉冲电子枪

技术领域

本发明涉及増材制造设备技术领域，特别是涉及一种大功率移动式脉冲电子枪。

背景技术

高性能、高可靠性、低成本与结构功能一体化是航空航天技术发展的趋势，传统机械加工制造技术的加工周期和制造成本已经无法适应航空航天领域新型结构日趋复杂化、大型化快速发展的需求。国内外常用电子束、激光等高能束流熔丝成形技术制备大型复杂结构，部分采用该技术制备的大型结构已经得到了装机应用。

与激光电子束熔丝成形技术相比，电子束能量转化效率高，电子束成形效率高，可熔丝成形难熔金属，例如，采用电子束对TC4钛合金进行熔丝成形，其成形速度达到5kg/h以上；并且整个成形过程在真空环境下进行，保护效果好，成形质量高。

然而常用电子束熔丝成形技术均是采用连续束流电子枪，电子枪输出的连续束流，需要采用较大束斑扫描熔化丝材，电子束能量一部分输入到金属丝端，熔化丝材；另一部分输入到已经成形零件上，对已经成形零件过度加热。尤其在要求高效快速成形时，电子束输入功率大，额外输入到已经成形零件上的能量大幅增大，容易产生热变形，并影响已经成形零件组织性能，使已经成形零件中的晶粒过度长大，形成粗大树枝晶，影响成形质量。

发明内容

本发明实施例提供了一种大功率移动式脉冲电子枪，以进一步提高电子束熔丝成形质量，满足航空航天领域大型复杂金属构件高效、低成本快速制造的需求。

一种大功率移动式脉冲电子枪，设于真空室内，所述真空室内设有X向工作台，该大功率移动式脉冲电子枪包括平行设于所述真空室内的两个竖直驱动组件，连接两个所述竖直驱动组件的水平驱动组件，以及设于所述水平驱动组件上且束流出口朝向所述X向工作台方向的电子枪本体；

所述电子枪本体包括通过安装盘相连接的上段壳体和下段壳体，与所述上段壳体连接的顶盖，以及设于所述下段壳体底部的基座，所述上段壳体的内壁上安装有同轴绝缘子，所述顶盖与同轴绝缘子之间形成密封腔体，所述密封腔体内部充满绝缘油，所述密封腔体中设有水冷管，所述水冷管的进水口、出水口穿过所述顶盖与水冷设备连接；

所述同轴绝缘子的内部同轴安装灯丝组件和栅极，所述安装盘上设有朝向所述栅极方向的阳极；

所述基座的顶部设有贯穿所述下段壳体并与所述安装盘连接的凸台，所述凸台的外壁上从上到下依次设有聚焦线圈、动态聚焦线圈和扫描线圈。

进一步地，所述同轴绝缘子通过密封环和第二密封垫安装在所述上段壳体的内壁凸台上，所述顶盖通过第一密封垫与所述上段壳体的法兰连接；

所述上段壳体的侧壁上设有电缆端子，所述电缆端子采用环氧树脂固化密封；

所述电缆端子中的高压电缆一端与高压逆变电源电性连接，另一端分别与所述灯丝组件和栅极电性连接。

进一步地，所述上段壳体与下段壳体的一侧通过铰链联接，另一侧通过卡钳螺栓固定，且所述上段壳体通过所述铰链支撑可以翻转90°。

进一步地，所述同轴绝缘子包括外层绝缘环，所述外层绝缘环内部通过高温真空钎焊方式从轴心向外依次设置有第一灯丝导电环、内层绝缘环、第二灯丝导电环、中间层绝缘环和栅极导电环；

所述栅极导电环的顶端与所述电缆端子内部的高压电缆中传输栅极电压的导线电性连接，所述栅极导电环的底端设置有与所述栅极连接的外螺纹；

所述第一灯丝导电环的顶端与所述电缆端子内部的高压电缆中传输灯丝加热电流的一根导线电性连接，底端设置沉孔；

所述第二灯丝导电环的顶端与所述电缆端子内部的高压电缆中传输灯丝加热电流的另外一根导线电性连接，底端靠近所述中间层绝缘环的部分设置一段外螺纹。

进一步地，所述灯丝组件包括导电筒，设于所述导电筒内壁上的设有陶瓷绝缘环，设于所述陶瓷绝缘环中间处的导电柱，以及连接所述导电柱和导电筒的蚊香盘式灯丝；

所述导电柱与所述第一灯丝导电环下端的沉孔连接，所述导电筒通过锁紧螺母与所述第二灯丝导电环的底端连接。

进一步地，所述安装盘中设有水冷通道、真空管道和分子泵接口，水冷通道与所述真空室外的水冷设备连接，所述真空管道与所述上段壳体连通，所述分子泵接口与分子泵连接。

进一步地，所述基座中设有水冷通道，水冷通道与所述真空室外的水冷设备连接；

所述凸台中设有束流导引通道，所述束流导引通道贯穿所述安装盘与阳极的中心孔连通。

进一步地，所述基座的底部通过绝缘垫块连接电容传感器，所述电容传感器的中心处设有与所述束流导引通道位置对应的中心孔。

进一步地，所述竖直驱动组件包括一对平行设置的立柱，及分别通过两个Z轴固定轴承设于每个所述立柱上的Z轴丝杠，每个所述Z轴丝杠均与一个Z轴伺服电机连接。

进一步地，所述水平驱动组件包括水平梁，及通过两个Y轴固定轴承设于所述水平梁上的Y轴丝杠，所述Y轴丝杠与Y轴伺服电机连接；

所述Y轴丝杠通过丝母座与所述Z轴丝杠滑动连接，所述Y轴丝杠上滑动设有溜板，所述下段壳体与所述溜板固定连接。

综上，本发明中，具有以下优点：

第一，通过在所述真空室内实现电子枪本体的水平方向和垂直方向的二维运动，这样既可在所述真空室有限空间内实现最大尺寸零件的成形，也可大幅降低设备成本；

第二，通过水冷带动油冷的方式冷却同轴绝缘子，通过水冷方式分别冷却阳极和基座，可以保障电子枪本体的长期稳定工作；

第三，通过设置聚焦线圈和动态聚焦线圈，可以保障脉冲基值束流与峰值束流期间工件表面的焦点位置一致，避免产生热变形，从而保障成形质量；

第四，通过电容传感器检测电子枪本体下端与成形件的距离，防止电子枪本体碰撞到X工作台上的成形件，提高工作过程的安全可靠性。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对本发明实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面所描述的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本发明一种大功率移动式脉冲电子枪在真空室内的安装方式示意图。

图2是图1中电子枪本体的结构示意图。

图3是图2中的同轴绝缘子的结构示意图。

图4是图2中的灯丝组件的结构示意图。

图5是本发明一种大功率移动式脉冲电子枪的控制电路示意图。

图中：1-电子枪本体；1001-顶盖；1002-第一密封垫；1003-水冷管；1004-上段壳体；1005-安装盘；1006-分子泵接口；1007-聚焦线圈；1008-动态聚焦线圈；1009-扫描线圈；1010-基座；1011-第一进水口；1012-绝缘垫块；1013-第一出水口；1014-下段壳体；1015-铰链；1016-阳极进水口；1017-阳极出水口；1018-第二密封垫；1019-密封环；1020-电缆端子；1021-锁紧螺母；2-同轴绝缘子；201-第一灯丝导电环；202-内层绝缘环；203-第二灯丝导电环；204-中间层绝缘环；205-栅极导电环；206-外层绝缘环；3-灯丝组件；301-导电柱；302-导电筒；303-陶瓷绝缘环；304-蚊香盘式灯丝；4-栅极；5-阳极；6-电容传感器；7-X向工作台；701-X轴伺服电机；8-竖直驱动组件；800-立柱；801-Z轴丝杠；802-Z轴固定轴承；803-Z轴限位开关；804-Z轴伺服电机；10-水平驱动组件；100-水平梁；101-Y轴丝杠；102-Y轴固定轴承；103-Y轴伺服电机；11-PLC控制系统；12-高压逆变电源；1201-灯丝加热电源；1202-脉冲栅极电源；1203-加速电源；13-高压电缆；14-聚焦驱动电路；15-动态聚焦驱动电路；16-偏转扫描控制系统；17-脉冲电子束；18-真空室；19-溜板。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本发明的实施方式作进一步详细描述。以下实施例的详细描述和附图用于示例性地说明本发明的原理，但不能用来限制本发明的范围，即本发明不限于所描述的实施例，在不脱离本发明的精神的前提下覆盖了零件、部件和连接方式的任何修改、替换和改进。

需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参照附图并结合实施例来详细说明本申请。

需要明确的是，脉冲电子束可以与送丝速度匹配，通过调节脉冲束流频率、占空比、幅值等参数，可以使束流最大能量输入到需要熔化的金属丝材上，从而避免电子束能量过多输入到成形零件上而导致的成形组织粗大问题。实现脉冲电子束技术的关键部件之一是脉冲电子枪，通过控制脉冲电子枪中栅极时间脉冲电压的频率、占空比、幅值等参数，即可实现脉冲束流频率、占空比、幅值等参数的调整。为了避免成形大型复杂金属构件时采用定枪结构导致真空室体积、运动机构成本过高的弊端，本发明将脉冲电子枪设计成动枪结构，在真空室内实现二维或三维方向运动，这样既可在真空室有限空间内实现最大尺寸零件的成形，也可大幅降低设备成本。

请参阅图1和图2，本发明提供了一种大功率移动式脉冲电子枪，设于真空室18内，所述真空室18内设有X向工作台7，该大功率移动式脉冲电子枪包括平行设于所述真空室18内的两个竖直驱动组件8，连接两个所述竖直驱动组件8的水平驱动组件10，以及设于所述水平驱动组件10上且束流出口朝向所述X向工作台7方向的电子枪本体1；

所述电子枪本体1包括通过安装盘1005相连接的上段壳体1004和下段壳体1014，与所述上段壳体1004连接的顶盖1001，以及设于所述下段壳体1014底部的基座1010，所述上段壳体1004的内壁上安装有同轴绝缘子2，所述顶盖1001与同轴绝缘子2之间形成密封腔体，所述密封腔体内部充满绝缘油，所述密封腔体中设有水冷管1003，所述水冷管1003的进水口、出水口穿过所述顶盖1001与水冷设备连接；

所述同轴绝缘子2的内部同轴安装灯丝组件3和栅极4，所述安装盘1005上设有朝向所述栅极4方向的阳极5；

所述基座1010的顶部设有贯穿所述下段壳体1014并与所述安装盘1005连接的凸台，所述凸台的外壁上从上到下依次设有聚焦线圈1007、动态聚焦线圈1008和扫描线圈1009。

需要说明的是，本发明中，所述水冷设备将冷却水送入所述水冷管1003中，通过水冷带动油冷，继而冷却同轴绝缘子2。具体的，绝缘油耐压达到15kV/mm以上，所述水冷管1003的形状为蛇形或波浪形，以增加所述水冷管1003和绝缘油的接触面积，从而加快冷却速度，增加冷却效果。

请参阅图2和图3，所述同轴绝缘子2通过密封环1019和第二密封垫1018安装在所述上段壳体1004的内壁凸台上，所述顶盖1001通过第一密封垫1002与所述上段壳体1004的法兰连接；

所述上段壳体1004的侧壁上设有电缆端子1020，所述电缆端子1020采用环氧树脂固化密封；

所述电缆端子1020中的高压电缆13一端与高压逆变电源12电性连接，另一端分别与所述灯丝组件3和栅极4电性连接。

具体的，所述电缆端子1020中有至少3根相互绝缘导线被高压电缆13的绝缘层包裹。

在本发明一优选实施方式中，所述上段壳体1004与下段壳体1014的一侧通过铰链1015联接，另一侧通过卡钳螺栓固定，且所述上段壳体1004通过所述铰链1015支撑可以翻转90°，以便于更换灯丝组件3。

请参阅图2和图3，所述同轴绝缘子2包括外层绝缘环206，所述外层绝缘环206内部通过高温真空钎焊方式从轴心向外依次设置有第一灯丝导电环201、内层绝缘环202、第二灯丝导电环203、中间层绝缘环204和栅极导电环205；

所述栅极导电环205的顶端与所述电缆端子1020内部的高压电缆13中传输栅极电压的导线电性连接，所述栅极导电环205的底端设置有与所述栅极4连接的外螺纹；

所述第一灯丝导电环201的顶端与所述电缆端子1020内部的高压电缆13中传输灯丝加热电流的一根导线电性连接，底端设置沉孔；

所述第二灯丝导电环203的顶端与所述电缆端子1020内部的高压电缆13中传输灯丝加热电流的另外一根导线电性连接，底端靠近所述中间层绝缘环204的部分设置一段外螺纹。

需要说明的是，本发明中，所述栅极4下端为内凹的中心开孔的半球面结构，以便于覆盖阳极5的顶端，其上端带有内螺纹，以便于与所述栅极导电环205的底端螺纹连接。

请参阅图2和图4，所述灯丝组件3包括导电筒302，设于所述导电筒302内壁上的设有陶瓷绝缘环303，设于所述陶瓷绝缘环303中间处的导电柱301，以及连接所述导电柱301和导电筒302的蚊香盘式灯丝304；

所述导电柱301与所述第一灯丝导电环201下端的沉孔连接，所述导电筒302通过锁紧螺母1021与所述第二灯丝导电环203的底端连接。

需要说明的是，本发明中，所述导电柱301的另外一端比导电筒302高出5mm，所述导电柱301直径为2-3mm，所述蚊香盘式灯丝304的下表面与导电筒302的底部平行，所述蚊香盘式灯丝304的电子发射面积不小于4mm²。

请参阅图2，所述安装盘1005中设有水冷通道、真空管道和分子泵接口1006，水冷通道与所述真空室外的水冷设备连接，所述真空管道与所述上段壳体1004连通，所述分子泵接口1006与分子泵连接，用于保持电子发射区域的真空度。

具体的，本发明中，所述安装盘1005的中心开孔，以便于束流通过。在所述安装盘1005的外侧设置阳极进水口1016和阳极出水口1017连接真空室18外的水冷设备，以便于对阳极5进行冷却。

进一步地，所述阳极5为中心开孔的锥形结构，所述阳极5中心孔尺寸与所述安装盘1005中心孔尺寸一致，以便于安装。

请参阅图2，所述基座1010中设有水冷通道，水冷通道与所述真空室18外的水冷设备连接；

所述凸台中设有束流导引通道，所述束流导引通道贯穿所述安装盘1005与阳极5中心孔联通，通过所述基座1010中的水冷通道对束流导引通道进行冷却。

具体的，所述束流导引通道的中心孔径不小于40mm，所述基座1010的下端设置与水冷通道和水冷设备连接的第一进水口1011与第一出水口1013。

请参阅图1和图5，所述基座1010的底部通过绝缘垫块1012连接电容传感器6，所述电容传感器6的中心处设有与所述束流导引通道位置对应的中心孔。

需要说明的是，所述电容传感器6用于判断电子枪本体1的束流输出端与成形件之间的距离，防止电子枪本体1的束流输出端碰撞成形件。具体的，所述电容传感器6中心开孔，开孔尺寸不小于60mm，从所述电子枪本体1中的脉冲电子束穿过所述电容传感器6的中心孔输送至所述X向工作台7上，所述X向工作台7由X轴伺服电机驱动。

请参阅图1和图5，所述竖直驱动组件8包括一对平行设置的立柱800，及通过两个Z轴固定轴承802设于每个所述立柱800上的Z轴丝杠801，每个所述Z轴丝杠801与Z轴伺服电机804连接。

具体的，每个所述立柱800上端靠近Z轴固定轴承802的上部位置安装Z轴限位开关804，所述Z轴限位开关804用于防止电子枪本体1顶部碰撞真空室18内侧顶部。

请参阅图1和图5，所述水平驱动组件10包括水平梁100，及通过两个Y轴固定轴承102设于所述水平梁100上的Y轴丝杠101，所述Y轴丝杠101与Y轴伺服电机103连接；

所述Y轴丝杠101通过丝母座与所述Z轴丝杠801滑动连接，所述Y轴丝杠101上滑动设有溜板19，所述下段壳体1014与所述溜板19固定连接。

参阅图5，为了进一步表述本发明大功率移动式脉冲电子枪的工作过程，详细说明如下：

为了获得脉冲电子束流，使所述电子枪本体1按照预定轨迹运动，所述电子枪本体1的灯丝组件3、栅极4通过高压电缆13分别连接高压逆变电源12中的灯丝加热电源1201、脉冲栅极电源1202，所述高压逆变电源12还包括加速电源1203，所述加速电源1203的正端接地，负端分别与灯丝加热电源1201、脉冲栅极电源1202进行电联接，所述阳极5接地；

所述电子枪本体1的聚焦线圈1007、动态聚焦线圈1008分别连接聚焦驱动电路14、动态聚焦驱动电路15；所述电子枪本体1的扫描线圈1009连接偏转扫描控制系统16；所述电子枪本体1的电容传感器6连接PLC控制系统11；所述PLC控制系统11还连接Z轴伺服电机对805、Y轴伺服电机103、X轴伺服电机701；

在工作过程中，PLC控制系统11保证两个Z轴伺服电机804的两个电机转速一致、方向同步；所述PLC控制系统11将工作电压、灯丝加热电流、脉冲束流等信号传输给高压逆变电源12，所述高压逆变电源12再通过高压电缆13将灯丝加热电流、栅极脉冲电压信号传输到电子枪本体1的灯丝组件3、栅极4，从而获得脉冲电子发射；所述PLC控制系统11还将聚焦电流信号、动态聚焦电流信号分别传输给聚焦驱动电路14、动态聚焦驱动电路15，所述聚焦驱动电路14、动态聚焦驱动电路15再分别将聚焦电流、动态聚焦电流分别输入到聚焦线圈1007、动态聚焦线圈1008；使脉冲电子束在基值束流期间和峰值束流期间均可在工件表面获得相同焦点位置，从而提高成形质量；所述PLC控制系统11还与偏转扫描控制系统16连接，所述PLC控制系统11将扫描图形转化成电流波形传输给偏转扫描控制系统16，所述偏转扫描控制系统16再将扫描电流输入到脉冲电子枪的扫描线圈1009，用于实现特殊加工工艺。

综上，本发明中，在所述真空室内，通过所述竖直驱动组件和水平驱动组件实现电子枪本体的水平方向和垂直方向的二维运动，这样既可在所述真空室有限空间内实现最大尺寸零件的成形，也可大幅降低设备成本；通过水冷带动油冷的方式冷却同轴绝缘子，通过水冷方式分别冷却阳极和基座，可以保障电子枪本体的长期稳定工作；通过设置聚焦线圈和动态聚焦线圈，可以保障脉冲基值束流与峰值束流期间工件表面的焦点位置一致，避免产生热变形，从而保障成形质量。

需要明确的是，本说明书中的各个实施例均采用递进的方式描述，各个实施例之间相同或相似的部分互相参见即可，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处。对于方法的实施例而言，相关之处可参见设备实施例的部分说明。本发明并不局限于上文所描述并在图中示出的特定步骤和结构。并且，为了简明起见，这里省略对已知方法技术的详细描述。

以上所述仅为本申请的实施例而已，并不限制于本申请。在不脱离本发明的范围的情况下对于本领域技术人员来说，本申请可以有各种更改和变化。凡在本申请的精神和原理之内所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本申请的权利要求范围内。

Claims (10)

1.一种大功率移动式脉冲电子枪，设于真空室内，所述真空室内设有X向工作台，其特征在于，该大功率移动式脉冲电子枪包括平行设于所述真空室内的两个竖直驱动组件，连接两个所述竖直驱动组件的水平驱动组件，以及设于所述水平驱动组件上且束流出口朝向所述X向工作台方向的电子枪本体；

所述电子枪本体包括通过安装盘相连接的上段壳体和下段壳体，与所述上段壳体连接的顶盖，以及设于所述下段壳体底部的基座，所述上段壳体的内壁上安装有同轴绝缘子，所述顶盖与同轴绝缘子之间形成密封腔体，所述密封腔体内部充满绝缘油，所述密封腔体中设有水冷管，所述水冷管的进水口、出水口穿过所述顶盖与水冷设备连接；

所述同轴绝缘子的内部同轴安装灯丝组件和栅极，所述安装盘上设有朝向所述栅极方向的阳极；

所述基座的顶部设有贯穿所述下段壳体并与所述安装盘连接的凸台，所述凸台的外壁上从上到下依次设有聚焦线圈、动态聚焦线圈和扫描线圈。

2.根据权利要求1所述的大功率移动式脉冲电子枪，其特征在于，所述同轴绝缘子通过密封环和第二密封垫安装在所述上段壳体的内壁凸台上，所述顶盖通过第一密封垫与所述上段壳体的法兰连接；

所述上段壳体的侧壁上设有电缆端子，所述电缆端子采用环氧树脂固化密封；

所述电缆端子中的高压电缆一端与高压逆变电源电性连接，另一端分别与所述灯丝组件和栅极电性连接。

3.根据权利要求1所述的大功率移动式脉冲电子枪，其特征在于，所述上段壳体与下段壳体的一侧通过铰链联接，另一侧通过卡钳螺栓固定，且所述上段壳体通过所述铰链支撑可以翻转90°。

4.根据权利要求1所述的大功率移动式脉冲电子枪，其特征在于，所述同轴绝缘子包括外层绝缘环，所述外层绝缘环内部通过高温真空钎焊方式从轴心向外依次设置有第一灯丝导电环、内层绝缘环、第二灯丝导电环、中间层绝缘环和栅极导电环；

所述栅极导电环的顶端与所述电缆端子内部的高压电缆中传输栅极电压的导线电性连接，所述栅极导电环的底端设置有与所述栅极连接的外螺纹；

所述第一灯丝导电环的顶端与所述电缆端子内部的高压电缆中传输灯丝加热电流的一根导线电性连接，底端设置沉孔；

所述第二灯丝导电环的顶端与所述电缆端子内部的高压电缆中传输灯丝加热电流的另外一根导线电性连接，底端靠近所述中间层绝缘环的部分设置一段外螺纹。

5.根据权利要求4所述的大功率移动式脉冲电子枪，其特征在于，所述灯丝组件包括导电筒，设于所述导电筒内壁上的设有陶瓷绝缘环，设于所述陶瓷绝缘环中间处的导电柱，以及连接所述导电柱和导电筒的蚊香盘式灯丝；

所述导电柱与所述第一灯丝导电环下端的沉孔连接，所述导电筒通过锁紧螺母与所述第二灯丝导电环的底端连接。

6.根据权利要求1所述的大功率移动式脉冲电子枪，其特征在于，所述安装盘中设有水冷通道、真空管道和分子泵接口，水冷通道与所述真空室外的水冷设备连接，所述真空管道与所述上段壳体连通，所述分子泵接口与分子泵连接。

7.根据权利要求1所述的大功率移动式脉冲电子枪，其特征在于，所述基座中设有水冷通道，水冷通道与所述真空室外的水冷设备连接；

所述凸台中设有束流导引通道，所述束流导引通道贯穿所述安装盘与阳极的中心孔连通。

8.根据权利要求7所述的大功率移动式脉冲电子枪，其特征在于，所述基座的底部通过绝缘垫块连接电容传感器，所述电容传感器的中心处设有与所述束流导引通道位置对应的中心孔。

9.根据权利要求1所述的大功率移动式脉冲电子枪，其特征在于，所述竖直驱动组件包括一对平行设置的立柱，及分别通过两个Z轴固定轴承设于每个所述立柱上的Z轴丝杠，每个所述Z轴丝杠均与一个Z轴伺服电机连接。

10.根据权利要求9所述的大功率移动式脉冲电子枪，其特征在于，所述水平驱动组件包括水平梁，及通过两个Y轴固定轴承设于所述水平梁上的Y轴丝杠，所述Y轴丝杠与Y轴伺服电机连接；

所述Y轴丝杠通过丝母座与所述Z轴丝杠滑动连接，所述Y轴丝杠上滑动设有溜板，所述下段壳体与所述溜板固定连接。

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