CN111531760A - 一种热压印用柔性金属微模具的制造方法 - Google Patents

一种热压印用柔性金属微模具的制造方法 Download PDF

Info

Publication number
CN111531760A
CN111531760A CN202010389837.5A CN202010389837A CN111531760A CN 111531760 A CN111531760 A CN 111531760A CN 202010389837 A CN202010389837 A CN 202010389837A CN 111531760 A CN111531760 A CN 111531760A
Authority
CN
China
Prior art keywords
metal foil
metal
micromold
manufacturing
microstructure
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN202010389837.5A
Other languages
English (en)
Inventor
杨海峰
时明天
刘昊
郝敬宾
刘新华
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
China University of Mining and Technology Beijing CUMTB
Original Assignee
China University of Mining and Technology Beijing CUMTB
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by China University of Mining and Technology Beijing CUMTB filed Critical China University of Mining and Technology Beijing CUMTB
Priority to CN202010389837.5A priority Critical patent/CN111531760A/zh
Publication of CN111531760A publication Critical patent/CN111531760A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C33/00—Moulds or cores; Details thereof or accessories therefor
    • B29C33/38—Moulds or cores; Details thereof or accessories therefor characterised by the material or the manufacturing process
    • B29C33/3842—Manufacturing moulds, e.g. shaping the mould surface by machining
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/352—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring for surface treatment
    • B23K26/355—Texturing
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/70—Auxiliary operations or equipment
    • B23K26/702—Auxiliary equipment
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C33/00—Moulds or cores; Details thereof or accessories therefor
    • B29C33/38—Moulds or cores; Details thereof or accessories therefor characterised by the material or the manufacturing process
    • B29C33/3842—Manufacturing moulds, e.g. shaping the mould surface by machining
    • B29C33/3857—Manufacturing moulds, e.g. shaping the mould surface by machining by making impressions of one or more parts of models, e.g. shaped articles and including possible subsequent assembly of the parts
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C33/00—Moulds or cores; Details thereof or accessories therefor
    • B29C33/42—Moulds or cores; Details thereof or accessories therefor characterised by the shape of the moulding surface, e.g. ribs or grooves
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C59/00—Surface shaping of articles, e.g. embossing; Apparatus therefor
    • B29C59/02—Surface shaping of articles, e.g. embossing; Apparatus therefor by mechanical means, e.g. pressing
    • B29C59/022—Surface shaping of articles, e.g. embossing; Apparatus therefor by mechanical means, e.g. pressing characterised by the disposition or the configuration, e.g. dimensions, of the embossments or the shaping tools therefor
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C33/00—Moulds or cores; Details thereof or accessories therefor
    • B29C33/38—Moulds or cores; Details thereof or accessories therefor characterised by the material or the manufacturing process
    • B29C33/3842—Manufacturing moulds, e.g. shaping the mould surface by machining
    • B29C2033/385—Manufacturing moulds, e.g. shaping the mould surface by machining by laminating a plurality of layers
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C59/00—Surface shaping of articles, e.g. embossing; Apparatus therefor
    • B29C59/02—Surface shaping of articles, e.g. embossing; Apparatus therefor by mechanical means, e.g. pressing
    • B29C59/022—Surface shaping of articles, e.g. embossing; Apparatus therefor by mechanical means, e.g. pressing characterised by the disposition or the configuration, e.g. dimensions, of the embossments or the shaping tools therefor
    • B29C2059/023—Microembossing

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Laminated Bodies (AREA)

Abstract

本发明公开了一种热压印用柔性金属微模具的制造方法，首先对金属箔进行退火处理，消除内应力并降低硬度；然后采用金属箔表面微结构激光连续加工装置对退火后的金属箔进行加工，在金属箔的一面加工得到金属微模具需要的微结构；带有微结构的金属箔再次进行退火处理，去除金属箔内因加工产生的残余应力；最后将热塑性塑料薄膜或热固性塑料薄膜与金属箔无结构侧结合在一起，从而得到热压印用柔性金属微模具。本发明通过激光烧蚀牺牲层产生的热力耦合作用进行金属箔表面的微结构成型，具的绿色、高效的特点。

Description

一种热压印用柔性金属微模具的制造方法
技术领域
本发明涉及金属微模具的制造技术领域，尤其涉及一种热压印用柔性金属微模具的制造方法。
背景技术
热压印是一种高通量、低成本的微结构制造技术，在适当的温度和压力条件下，通过这种技术可以使微模具表面的微结构精准的转移到聚合物基底上。在学术界和工业界，热压印被认为是可靠的高精度微纳结构制造方法。热压印在各种领域都有出众的表现，在制作一些结构简单、排列规则的微结构时，更有其他工艺不具备的优势。这种优势使得热压印在光学、生物学、仿生学、医药学与MEMS制造等领域都拥有重要的地位。并且采用热压印的方式在聚合物表面制作微结构具有成形效率高、加工简单、性价比高等优点。近年，卷对卷热压印技术有了较大发展，同时对热压印用金属微模具也提出了更高的要求。在卷对卷热压印工艺中，表面带有微结构的金属微模具对热压印的质量起着决定性作用。目前常用的金属微模具主要有超精密加工方法、LIGA技术等。超精密加工方法可以在卷对卷热压印的辊筒表面制作高精度的微纳米结构，但该方法对机床和刀具的精度要求很高，加工成本大，不适合进行大面积高精度加工。LIGA技术是通过曝光、刻蚀、电铸、脱模等过程实现金属微模具的加工，但制作工艺路线较长，涉及电化学技术、有污染、效率低等，对制作设备的投资很大，不适合进行大面积的制造。
目前，针对卷对卷热压印技术而言，仍缺乏一种大面积、简单、高效的金属微模具制造方法，因此，需要提出一种新的工艺来进行热压印用柔性金属微模具的制造。
发明内容
发明目的：为解决现有卷对卷热压印用金属微模具的绿色、高效制造问题，提供一种利用激光连续加工技术进行热压印用柔性金属微模具的制造方法。
技术方案：一种热压印用柔性金属微模具的制造方法，包括如下步骤：
步骤1：对金属箔进行退火处理，消除内应力并降低硬度；
步骤2：采用金属箔表面微结构激光连续加工装置对退火后的金属箔进行加工，在金属箔的一面加工得到金属微模具需要的微结构；
步骤3：带有微结构的金属箔再次进行退火处理，去除金属箔内因加工产生的残余应力；
步骤4：将热塑性塑料薄膜或热固性塑料薄膜与金属箔无结构侧结合在一起，从而得到热压印用柔性金属微模具。
进一步的，所述金属箔厚度不大于200μm，所述步骤1中退火温度高于金属箔的再结晶温度，且低于0.7倍的熔点，退火时间不小于20min。
进一步的，所述金属箔表面微结构激光连续加工装置包括激光模块和材料传输模块；所述材料传输模块包括底部升降台、顶部升降架，所述底部升降台上固定原模，所述顶部升降架上固定透明传输层；底部升降台的一侧设有第一张紧辊筒、绕有牺牲层的第一放卷辊筒以及绕有金属箔的第二放卷辊筒，底部升降台的另一侧设有第二张紧辊筒、回收所述牺牲层的第一收卷辊筒以及回收所述金属箔的第二收卷辊筒；所述牺牲层和金属箔经所述第一张紧辊筒和第二张紧辊筒层叠张紧后从原模和透明传输层之间穿过；所述激光模块位于顶部升降架上方。
进一步的，所述步骤3中，退火温度低于金属箔的再结晶温度，且高于0.2倍的熔点，退火时间不小于20min。
进一步的，所述热塑性塑料薄膜或热固性塑料薄膜的厚度不大于1mm。
进一步的，所述透明传输层为厚度不小于1mm的玻璃。
进一步的，所述牺牲层为厚度小于0.2mm且上表面覆有黑漆的金属薄膜。
有益效果：(1)本发明通过激光烧蚀牺牲层产生的热力耦合作用进行金属箔表面的微结构成型，无刀具产生的切削力，也无化学反应引起的污染问题，具有绿色、无刀具磨损的加工特点。
(2)本发明与传统方法相比，激光连续加工方法制备柔性金属微模具所需工序少，无需超精密机床和刀具，具有设备投资小、工艺简洁的特点。
(3)本发明结合辊筒对牺牲层和约束层的连续传输和回收，可以实现柔性金属微模具的大面积高效加工。
附图说明
图1为金属箔表面微结构激光连续加工装置结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图对本发明做更进一步的解释。
一种热压印用柔性金属微模具的制造方法，包括如下步骤：
步骤1：对金属箔进行退火处理，消除内应力并降低硬度，提高后续激光加工的加工工艺性。其中，金属箔可以为铝箔、铜箔、不锈钢箔、镍箔等金属薄膜，厚度不大于200μm，退火温度高于金属箔的再结晶温度，且低于0.7倍的熔点，退火时间不小于20min。
步骤2：采用金属箔表面微结构激光连续加工装置对退火理后的金属箔进行加工，在金属箔的一面加工得到金属微模具需要的微结构。
如图1所示，金属箔表面微结构激光连续加工装置包括激光模块和材料传输模块。激光加工模块由脉冲激光控制器1、脉冲激光发生器2、光束整形装置3。材料传输模块包括底部升降台8、顶部升降架5，底部升降台8上固定原模7，顶部升降架5上固定透明传输层4。底部升降台8的一侧设有第一张紧辊筒13、绕有牺牲层12的第一放卷辊筒11以及绕有金属箔17的第二放卷辊筒16，底部升降台8的另一侧设有第二张紧辊筒14、回收牺牲层12的第一收卷辊筒15以及回收金属箔17的第二收卷辊筒18。牺牲层12和金属箔17经第一张紧辊筒13和第二张紧辊筒14层叠张紧后从原模7和透明传输层4之间穿过。
激光模块位于顶部升降架5上方，正对透明传输层4，脉冲激光发生器2发出的激光脉冲宽度不小于1ps。透明传输层4为厚度不小于1mm的玻璃。牺牲层12为厚度小于0.2mm且上表面覆有黑漆的金属薄膜。原模7可以为金属、塑料等其他材料，上表面有微结构，形状与所需金属微模具结构相反。
加工过程包括4个步骤，依次为夹紧、加工、分离和传输。首先，控制器10控制两个电机9驱动底部升降台8和顶部升降架5的相向运动，顶部升降架5带动透明传输层4向下运动，底部升降台8带动原模7向上运动，从而实现牺牲层12和金属箔17的夹紧。然后，脉冲激光控制器1控制脉冲激光发生器2发射脉冲激光束，激光束经光束整形装置3后穿过透明传输层4作用于牺牲层12表面，激光与牺牲层12相互作用过程中产生的热力耦合作用使金属箔17的下表面获得了与原模7相反的微结构。再次，控制器10控制两个电机9，实现底部升降台8和顶部升降架5分开，顶部升降架5带动透明传输层4向上运动，底部升降台8带动原模7向下运动，从而实现透明传输层4和原模7的分离。最后，控制器10控制收卷辊筒15和收卷辊筒18转动，收卷辊筒15的转动使得牺牲层12从放卷辊筒11放出，依次经过张紧辊筒13、张紧辊筒14、回收于收卷辊筒15；收卷辊筒18的转动使得金属箔17从放卷辊筒16放出，依次经过张紧辊筒13、张紧辊筒14、回收于收卷辊筒18。重复上述四个过程，即可实现金属箔17表面微结构的激光连续加工。
步骤3：对加工后带有微结构的金属箔再次进行退火处理，去除金属箔内因加工产生的残余应力。退火温度低于金属箔的再结晶温度，且高于0.2倍的熔点，退火时间不小于20min。
步骤4：将厚度不大于1mm的热塑性塑料薄膜或热固性塑料薄膜与金属箔无结构侧结合在一起，从而得到热压印用柔性金属微模具，塑料薄膜可以为PI、PDMS等。
以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。

Claims (7)

1.一种热压印用柔性金属微模具的制造方法，其特征在于，包括如下步骤：
步骤1：对金属箔进行退火处理，消除内应力并降低硬度；
步骤2：采用金属箔表面微结构激光连续加工装置对退火后的金属箔进行加工，在金属箔的一面加工得到金属微模具需要的微结构；
步骤3：带有微结构的金属箔再次进行退火处理，去除金属箔内因加工产生的残余应力；
步骤4：将热塑性塑料薄膜或热固性塑料薄膜与金属箔无结构侧结合在一起，从而得到热压印用柔性金属微模具。
2.根据权利要求1所述的热压印用柔性金属微模具的制造方法，其特征在于，所述金属箔厚度不大于200μm，所述步骤1中退火温度高于金属箔的再结晶温度，且低于0.7倍的熔点，退火时间不小于20min。
3.根据权利要求1所述的热压印用柔性金属微模具的制造方法，其特征在于，所述金属箔表面微结构激光连续加工装置包括激光模块和材料传输模块；所述材料传输模块包括底部升降台(8)、顶部升降架(5)，所述底部升降台(8)上固定原模(7)，所述顶部升降架(5)上固定透明传输层(4)；底部升降台(8)的一侧设有第一张紧辊筒(13)、绕有牺牲层(12)的第一放卷辊筒(11)以及绕有金属箔(17)的第二放卷辊筒(16)，底部升降台(8)的另一侧设有第二张紧辊筒(14)、回收所述牺牲层(12)的第一收卷辊筒(15)以及回收所述金属箔(17)的第二收卷辊筒(18)；所述牺牲层(12)和金属箔(17)经所述第一张紧辊筒(13)和第二张紧辊筒(14)层叠张紧后从原模(7)和透明传输层(4)之间穿过；所述激光模块位于顶部升降架(5)上方。
4.根据权利要求1所述的热压印用柔性金属微模具的制造方法，其特征在于，所述步骤3中，退火温度低于金属箔的再结晶温度，且高于0.2倍的熔点，退火时间不小于20min。
5.根据权利要求1所述的热压印用柔性金属微模具的制造方法，其特征在于，所述热塑性塑料薄膜或热固性塑料薄膜的厚度不大于1mm。
6.根据权利要求3所述的热压印用柔性金属微模具的制造方法，其特征在于，所述透明传输层(4)为厚度不小于1mm的玻璃。
7.根据权利要求3所述的热压印用柔性金属微模具的制造方法，其特征在于，所述牺牲层(12)为厚度小于0.2mm且上表面覆有黑漆的金属薄膜。
CN202010389837.5A 2020-05-11 2020-05-11 一种热压印用柔性金属微模具的制造方法 Pending CN111531760A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202010389837.5A CN111531760A (zh) 2020-05-11 2020-05-11 一种热压印用柔性金属微模具的制造方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202010389837.5A CN111531760A (zh) 2020-05-11 2020-05-11 一种热压印用柔性金属微模具的制造方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN111531760A true CN111531760A (zh) 2020-08-14

Family

ID=71971904

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202010389837.5A Pending CN111531760A (zh) 2020-05-11 2020-05-11 一种热压印用柔性金属微模具的制造方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN111531760A (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI836274B (zh) * 2020-11-17 2024-03-21 日商Ｔｏｗａ股份有限公司 雷射加工裝置以及加工品的製造方法

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20050045607A1 (en) * 2003-09-02 2005-03-03 Lsp Technologies, Inc. Laser peening process and apparatus using a liquid erosion-resistant opaque overlay coating
US20070039933A1 (en) * 2005-08-18 2007-02-22 Cheng Gary J System and method of laser dynamic forming
CN202670825U (zh) * 2012-07-19 2013-01-16 上海美声服饰辅料有限公司 一种用于电子标签中衬垫或芯片的输送机构
CN203217239U (zh) * 2013-05-07 2013-09-25 青岛博纳光电装备有限公司 大面积纳米图形化的装置
CN204568906U (zh) * 2015-05-05 2015-08-19 广东嘉元科技股份有限公司 一种分切机耳料收卷再利用装置
CN110315209A (zh) * 2019-06-27 2019-10-11 江苏大学 快换式脉冲电流处理与激光冲击箔材复合可换凹模微成形装置及其方法
CN110640323A (zh) * 2019-10-23 2020-01-03 山东大学 利用激光冲击技术制备表面微纳米结构的方法及其应用
CN111014959A (zh) * 2019-12-30 2020-04-17 东华大学 一种基于激光冲击压印技术的仿生表面制备方法

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20050045607A1 (en) * 2003-09-02 2005-03-03 Lsp Technologies, Inc. Laser peening process and apparatus using a liquid erosion-resistant opaque overlay coating
US20070039933A1 (en) * 2005-08-18 2007-02-22 Cheng Gary J System and method of laser dynamic forming
CN202670825U (zh) * 2012-07-19 2013-01-16 上海美声服饰辅料有限公司 一种用于电子标签中衬垫或芯片的输送机构
CN203217239U (zh) * 2013-05-07 2013-09-25 青岛博纳光电装备有限公司 大面积纳米图形化的装置
CN204568906U (zh) * 2015-05-05 2015-08-19 广东嘉元科技股份有限公司 一种分切机耳料收卷再利用装置
CN110315209A (zh) * 2019-06-27 2019-10-11 江苏大学 快换式脉冲电流处理与激光冲击箔材复合可换凹模微成形装置及其方法
CN110640323A (zh) * 2019-10-23 2020-01-03 山东大学 利用激光冲击技术制备表面微纳米结构的方法及其应用
CN111014959A (zh) * 2019-12-30 2020-04-17 东华大学 一种基于激光冲击压印技术的仿生表面制备方法

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
王顺兴: "《金属热处理原理与工艺》", 31 January 2019, 哈尔滨工业大学出版社 *

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI836274B (zh) * 2020-11-17 2024-03-21 日商Ｔｏｗａ股份有限公司 雷射加工裝置以及加工品的製造方法
US12564904B2 (en) 2020-11-17 2026-03-03 Towa Corporation Laser processing device and processed article manufacturing method

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4942994B2 (ja) 中間スタンプを用いたパターン複製装置
CN109407463B (zh) 大面积压印光刻
JP4939134B2 (ja) インプリント装置およびインプリント方法
JP5438578B2 (ja) 微細凹凸パターンの形成方法及び形成装置
CN104865792A (zh) 转印方法及热纳米压印装置
CN103802307B (zh) 导光板及其制造方法、模型构造、转印成形装置、面光源装置、液晶显示装置及移动设备
WO2012070546A1 (ja) 転写装置及び樹脂パターン製造方法
JP2022529692A (ja) フレキシブルエレクトロニクスを製造するシステムおよび方法
CN111531760A (zh) 一种热压印用柔性金属微模具的制造方法
CN103802306A (zh) 转印成形方法及转印成形装置
KR20160023819A (ko) 지지 기판 상의 얇은 유리의 접합된 물품, 그 준비 방법 및 용도
CN212174014U (zh) 一种金属箔表面微结构激光连续加工装置
CN110640323A (zh) 利用激光冲击技术制备表面微纳米结构的方法及其应用
CN102436140A (zh) 一种纳米压印模板的制备方法
US20110156293A1 (en) Embossing assembly, manufacturing method thereof, and embossing method using the same
JP2014202947A (ja) 微細構造を有する成形体の製造方法およびそれにより得られる光学部品
JP4569185B2 (ja) フィルム構造体の形成方法及びフィルム構造体
KR101355434B1 (ko) 미세 홀이 배열된 폴리머 멤브레인을 포함하는 플라스틱 챔버 플레이트의 제작 방법
TW201504698A (zh) 導光板的製造方法及導光板
US20150079341A1 (en) Fabrication method of resin compact, resin compact, and mold
JP6591161B2 (ja) フィルム状微細構造転写装置及びフィルム状微細構造体の製造方法
JP2000153556A (ja) 光学的立体造形方法
Schelb et al. Hot embossing of photonic crystal polymer structures with a high aspect ratio
JP2005041164A (ja) 成形用樹脂型および成形用樹脂型の製造方法並びに成形用樹脂型を用いたレンズシートの製造方法
CN117202485B (zh) 一种fpcb线路板、组合模切生产工艺及生产设备

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
RJ01 Rejection of invention patent application after publication
RJ01 Rejection of invention patent application after publication

Application publication date: 20200814