CN111509144B - Oled器件的制备方法及显示面板的制备方法 - Google Patents
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Abstract
本申请提供一种OLED器件的制备方法及显示面板的制备方法，能够有效降低攀爬效应，提高膜厚的均匀性，提高器件有效开口率，提升显示面板寿命。该OLED器件的制备方法包括：在像素界定层的容纳部中形成墨滴，墨滴用以形成有机功能层，墨滴包括溶剂和溶质，溶剂包括第一溶剂、第二溶剂；通过真空冷凝干燥工艺使墨滴形成有机功能层，包括：调节真空干燥设备的真空度至第一真空度，以使容纳部中的墨滴中的第一溶剂逸出，保持第一真空度至完成去除第一溶剂；调节真空干燥设备的真空度至第二真空度，以使容纳部中的墨滴中的第二溶剂逸出，保持第二真空度至完成去除第二溶剂。该显示面板的制备方法包括该OLED器件的制备方法。
Description
技术领域
本申请涉及显示技术领域，尤其涉及一种OLED器件的制备方法及显示面板的制备方法。
背景技术
有机电致发光器件(Organic Light-Emitting Device；OLED)作为一种新型的发光器件在显示和照明领域体现出了巨大的应用潜力，因而受到了学术界和产业界的强烈关注。在显示领域，有机电致发光器件(OLED)相对于LCD具有自发光、反应快、视角广、亮度高、色彩艳、轻薄等优点，被认为是下一代显示技术。
现有技术中，通常会利用喷墨打印等工艺形成OLED显示基板的有机功能层薄膜，例如，在制备OLED显示基板中的各子像素时，预先在基板上制作像素界定层(PDL)，通过PDL中的各容纳部限定出各子像素的形状，然后通过喷墨打印向各容纳部中滴入相应的墨滴，经干燥形成子像素的有机功能层。
由于PDL采用顶部表面能较小而底部表面能较大的双功能材料，PDL顶部表面能小使得表层具备疏液性从而保证墨滴不会溢流，PDL底部表面能大使得底层具备一定的亲液性，从而保证墨滴在容纳部内铺展完全以避免墨滴在容纳部铺展不完全而产生的针孔漏电现象，但是目前PDL材料一般只能做到顶部表面很薄一层具备疏液性，而PDL材料下部大部分厚度均具备亲液性，两侧的PDL对墨水溶液有很强的亲和力，这样由于墨滴在干燥过程中会沿着PDL亲液层攀爬至疏液层高度形成边缘厚，中间厚的不均匀薄膜，这种不均匀的薄膜容易导致器件像素内发光不均匀，进而影响器件的寿命表现。
并且，在干燥的过程中墨滴边缘处的蒸发速率相对于墨滴中心处的蒸发速率较快，墨滴边缘处的溶剂在相同的时间内损失的较多，使墨滴边缘处与墨滴中心处出现浓度梯度差，从而引起墨滴中心处的溶剂向墨滴边缘处流动，带动部分溶质被迁移到了墨滴边缘处，进而在干燥过程中，溶质墨滴边缘处形成了堆积，形成边缘厚，中间厚的不均匀薄膜(也即咖啡环结构)。而这种不均匀的薄膜容易导致子像素发光不均匀，影响OLED显示面板的寿命表现。
为了降低攀爬效应，目前的主流解决方案有四种：
1)降低容纳部的高度，如从1.5um降低1.0um，但是像素的最大容纳量降低，有溢流风险；
2)提高容纳部的坡度角，坡度角降低可以降低墨滴的攀爬效应，但是目前曝光显影刻蚀的工艺问题(主要是曝光量会随着深度降低)，实施起来较为困难；
3)提高容纳部侧壁的疏液性，目前材料供应厂商还未解决；
4)通过快速抽真空的方式使得干燥墨滴的真空装置(VCD)的真空度降至最低，从而降低攀爬效应，但是，容易出现两边薄中间厚的状况，无法充分解决膜厚均匀性的问题。
因此，如何有效降低墨滴在干燥过程中的攀爬效应，得到膜厚均匀性的有机功能层，是本领域亟待解决的技术难题。
发明内容
本申请提供一种OLED器件的制备方法及显示面板的制备方法，以有效缓解墨滴在干燥过程中的攀爬效应而造成的膜层两边厚中间薄的现象，提高有机功能层的膜厚均匀性，提高器件有效开口率，提升显示面板寿命。
根据本申请实施例的第一方面，提供一种OLED器件的制备方法。所述OLED器件的制备方法包括：
在基底上形成像素界定层，并在所述像素界定层中形成容纳部；
在所述容纳部中形成墨滴，所述墨滴用以形成OLED器件的有机功能层，所述墨滴包括溶剂和溶质，所述溶剂包括第一溶剂、第二溶剂，其中，所述第一溶剂的饱和蒸气压高于所述第二溶剂的饱和蒸气压，且第一溶剂对所述溶质的溶解度小于第二溶剂对所述溶质的溶解度，所述第一溶剂、所述第二溶剂与所述容纳部的侧壁靠近所述基底的部分具有亲液性，且所述第一溶剂的亲液性强于所述第二溶剂的亲液性，或者，所述第一溶剂、所述第二溶剂和所述容纳部的侧壁靠近所述基底的部分具有疏液性，且所述第一溶剂的疏液性强于所述第二溶剂的疏液性；
通过真空冷凝干燥工艺使所述墨滴形成有机功能层，包括：
调节真空干燥设备的真空度至第一真空度，所述第一真空度低于所述第一溶剂的饱和蒸气压，且高于所述第二溶剂的饱和蒸气压，以使所述容纳部中的所述墨滴中的第一溶剂逸出，保持所述第一真空度至完成去除所述第一溶剂；
调节真空干燥设备的真空度至第二真空度，所述第二真空度低于所述第二溶剂的饱和蒸气压，以使所述容纳部中的所述墨滴中的第二溶剂逸出，保持所述第二真空度至完成去除所述第二溶剂。
可选的，所述第一溶剂的饱和蒸气压大于或等于所述第二溶剂的饱和蒸气压的105％。
可选的，在所述墨滴的溶剂中，所述第一溶剂的体积占比大于或等于70％，所述第二溶剂的体积占比小于或等于30％。
可选的，在所述墨滴的溶剂中，所述第一溶剂的体积占比为70％～90％，所述第二溶剂的体积占比为10％～30％。
可选的，当所述第一溶剂、所述第二溶剂与所述容纳部的侧壁靠近所述基底的部分具有亲液性时，所述第一溶剂的分子极性大于所述第二溶剂的分子极性，所述第二溶剂的分子极性为0～2.5；或者，
当所述第一溶剂、所述第二溶剂和所述容纳部的侧壁靠近所述基底的部分具有疏液性时，所述第二溶剂的分子极性大于所述第一溶剂的分子极性，所述第一溶剂的分子极性为0～2.5。
可选的，当所述第一溶剂、所述第二溶剂与所述容纳部的侧壁靠近所述基底的部分具有亲液性时，所述第一溶剂选自环己苯、碳酸酯、烷芳香烃、芳香烃，芳香酯、4-甲基苯甲醚、甲苯，1,3-二甲基-2-咪唑啉酮、二甘醇、2-(2-甲氧基乙氧基)乙醇中的一种或多种；或者，
当所述第一溶剂、所述第二溶剂和所述容纳部的侧壁靠近所述基底的部分具有疏液性时，所述第一溶剂选自环乙烷、异辛烷、三甲基戊烷、二甘醇、乙二醇二甲醚中的一种或多种。
可选的，当所述第一溶剂、所述第二溶剂与所述容纳部的侧壁靠近所述基底的部分具有亲液性时，所述第二溶剂选自1,4-二氧六烷、二氯苯、二苯醚、十二烷、环丁砜、乙二醇二甲醚中的一种或多种；或者，
当所述第一溶剂、所述第二溶剂和所述容纳部的侧壁靠近所述基底的部分具有疏液性时，所述第二溶剂选自四氯化碳、三氯乙烯、环戊烷、丙醚中的一种或多种。
可选的，所述第一溶剂的表面张力系数与所述第二溶剂的表面张力系数的差的绝对值小于所述第一溶剂的表面张力系数的5％。
可选的，所述第一溶剂的表面张力与所述第二溶剂的表面张力相同。
可选的，所述在所述容纳部中形成墨滴的步骤具体包括：
通过喷墨打印工艺在所述容纳部中形成墨滴。
根据本申请实施例的第二方面，提供一种显示面板的制备方法。所述显示面板的制备方法包括如上所述的OLED器件的制备方法。
本申请的OLED器件的制备方法以及显示面板的制备方法，在形成OLED器件中的有机功能层时，选择包括第一溶剂、第二溶剂的溶剂作为有机功能层材料的溶剂，其中，所述第一溶剂的饱和蒸气压高于所述第二溶剂的饱和蒸气压，且第一溶剂对所述溶质的溶解度小于第二溶剂对所述溶质的溶解度，第一溶剂、第二溶剂、以及容纳部的侧壁靠近基底的部分具有同种亲液性(或者疏液性)，第一溶剂的亲液性(或者疏液性)能力强于第二溶剂。当对墨滴进行干燥以形成有机功能层的过程中，首先使靠近容纳部侧壁的位置的第一溶剂在第一真空度逸出，原溶于第一溶剂中的溶质将溶于第二溶剂中，然后使第二溶剂在第二真空度逸出，由于第二溶剂对容纳部的侧壁的亲液性(或者疏液性)较差(位于容纳部的中心位置)，最大限度的降低在高浓度下的墨滴攀爬，因此，在第二溶剂逸出过程中不会带动溶质攀爬容纳部的侧壁，从而有效降低了攀爬效应，提高了膜厚的均匀性，提高器件有效开口率，提升显示面板寿命。
附图说明
图1是本申请的实施例1的OLED器件的制备方法的流程图。
图2(a)-图2(g)是本申请的实施例1的OLED器件的制备方法的工艺流程图。
图3是参考设计方案的OLED器件的制备方法制备的像素的俯视结构示意图。
图4是参考设计方案的OLED器件的制备方法制备的像素的截面结构示意图。
图5是参考设计方案的OLED器件的制备方法制备的像素在白光干涉仪的测试效果图。
图6(a)是图5中沿A’-A’的剖面的膜层表面曲线图。
图6(b)是图5中沿B’-B’的剖面的膜层表面曲线图。
图7是本申请的实施例1的OLED器件的制备方法制备的像素的俯视结构示意图。
图8是本申请的实施例1的OLED器件的制备方法制备的像素的截面结构示意图。
图9是本申请的实施例1的OLED器件的制备方法制备的像素在白光干涉仪的测试效果图。
图10(a)是图9中沿A-A的剖面的膜层表面曲线图。
图10(b)是图9中沿B-B的剖面的膜层表面曲线图。
图11是本申请的实施例1的OLED器件的制备方法与参考设计方案的OLED器件的制备方法的效果比较表。
具体实施方式
这里将详细地对示例性实施例进行说明，其示例表示在附图中。下面的描述涉及附图时，除非另有表示，不同附图中的相同数字表示相同或相似的要素。以下示例性实施例中所描述的实施方式并不代表与本申请相一致的所有实施方式。相反，它们仅是与如所附权利要求书中所详述的、本申请的一些方面相一致的装置的例子。
在本申请使用的术语是仅仅出于描述特定实施例的目的，而非旨在限制本申请。除非另作定义，本申请使用的技术术语或者科学术语应当为本申请所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本申请说明书以及权利要求书中使用的“一个”或者“一”等类似词语也不表示数量限制，而是表示存在至少一个。“包括”或者“包含”等类似词语意指出现在“包括”或者“包含”前面的元件或者物件涵盖出现在“包括”或者“包含”后面列举的元件或者物件及其等同，并不排除其他元件或者物件。“连接”或者“相连”等类似的词语并非限定于物理的或者机械的连接，而且可以包括电性的连接，不管是直接的还是间接的。“多个”包括两个，相当于至少两个。在本申请说明书和所附权利要求书中所使用的单数形式的“一种”、“”和“该”也旨在包括多数形式，除非上下文清楚地表示其他含义。还应当理解，本文中使用的术语“和/或”是指并包含一个或多个相关联的列出项目的任何或所有可能组合。
本实施例中，亲液性和疏液性是相对同一液相介质而言的,例如当液相介质为水时，亲液性和疏液性则为亲水性和疏水性；当液相介质为油时，亲液性和疏液性则为亲油性和疏油性。
实施例1
如图1以及图2(a)-图2(g)所示，本实施例提供一种OLED器件的制备方法。
该OLED器件包括在基底10上依次设置的第一电极、有机功能层60以及第二电极；其中，第一电极和第二电极中的一者为阴极，另一者为阳极，在本实施例中以第一电极为阳极、第二电极为阴极为例进行说明。其中，有机功能层60可包括沿第一电极指向第二电极方向依次设置的空穴注入层、空穴传输层、有机发光层、电子传输层、电子注入层等。
图1是根据本申请一实例性实施例提出的OLED器件的制备方法的流程图。如图1所示，本实施例中的OLED器件的制备方法包括以下步骤：
步骤100：在基底上形成像素界定层，并在所述像素界定层中形成容纳部；
步骤200：在所述容纳部中形成墨滴，所述墨滴用以形成OLED器件的有机功能层，所述墨滴包括溶剂和溶质，所述溶剂包括第一溶剂、第二溶剂，其中，所述第一溶剂的饱和蒸气压高于所述第二溶剂的饱和蒸气压，且第一溶剂对所述溶质的溶解度小于第二溶剂对所述溶质的溶解度，所述第一溶剂、所述第二溶剂与所述容纳部的侧壁靠近所述基底的部分具有亲液性，且所述第一溶剂的亲液性强于所述第二溶剂的亲液性；
步骤300：通过真空冷凝干燥工艺使所述墨滴形成有机功能层，包括：
调节真空干燥设备的真空度至第一真空度，所述第一真空度低于所述第一溶剂的饱和蒸气压，且高于所述第二溶剂的饱和蒸气压，以使所述容纳部中的所述墨滴中的第一溶剂逸出，保持所述第一真空度至完成去除所述第一溶剂；
调节真空干燥设备的真空度至第二真空度，所述第二真空度低于所述第二溶剂的饱和蒸气压，以使所述容纳部中的所述墨滴中的第二溶剂逸出，保持所述第二真空度至完成去除所述第二溶剂。
在步骤100之前，还包括在基底上采用溅射等沉积工艺，形成阳极导电薄膜，并通过构图工艺形成包括阳极的图形。
基底作为OLED器件中电极层和有机功能层的依托，它在可见光区域有着良好的透光性能以及一定的防水汽和氧气渗透的能力，并具有较好的表面平整性，一般可以采用玻璃、或柔性基片等制成。如果选用柔性基片，可采用聚酯类，聚酞亚胺或者较薄的金属制成。
阳极作为OLED器件正向电压的连接层，具有较好的导电性能、可见光区域的透光性以及较高的功函数。阳极通常采用无机金属氧化物(例如：氧化铟锡ITO，氧化锌ZnO等)、有机导电聚合物或高功函数金属材料(比如：金、铜、银、铂等)制成。
在步骤100中，如图2(a)所示，通过构图工艺在基底10上形成像素界定层20，并在像素界定层20中形成容纳部30。
容纳部30为像素界定层20中的开口，用于容纳溶解有OLED器件的有机功能层材料的墨滴40。优选的，本实施例中，容纳部30的侧壁分为靠近基底10的部分和远离基底10的部分，二者对同种液相介质分别具有亲和力的性能(亲液性)和排斥力的性能(疏液性)。其中，容纳部30侧壁靠近基底10的部分是指，在制备工艺过程中，容纳部30的侧壁与墨滴40接触被浸润的部分；应当理解的是，容纳部30侧壁远离基底10的部分是指，容纳部30侧壁除靠近基底10的部分之外的部分。
需要说明的是，在形成像素界定层20的过程中，通过加热使像素界定层20的材料中的极性很大的氟分子向上表面移动，从而可以形成像素界定层20远离基底10的部分(第一部分21)为含氟的材料，像素界定层20靠近基底10的部分(第二部分22)为不含氟的材料。从而使容纳部30的侧壁远离基底10的部分(上部)具有排斥力的性能(疏液性)；容纳部30的侧壁靠近基底10的部分(下部)具有亲和力的性能(亲液性)。
具体的，例如，容纳部30侧壁远离基底10的部分(上部)具有疏液性，靠近基底10的部分(下部)具有亲液性，且溶解有机功能层材料的墨滴40也就有亲液性。同时，基底10可为玻璃等具有亲液性的材料。这样一来，容纳部30的底部和侧壁下部对同样具有亲液性的墨滴40具有亲和力，当在容纳部30中形成墨滴40时，墨滴40能够在容纳部30中充分铺展，从而避免因墨滴40铺展不完全而产生的针孔漏电现象；而同时，容纳部30侧壁的上部又对有机功能层材料具有排斥力，从而使有机功能层材料不易溢出容纳部30。
在其他实施例中，像素界定层20可包括第一界定层和第二界定层，其中，容纳部30的侧壁靠近基底10的部分为第一界定层，容纳部30的侧壁远离基底10的部分为第二界定层；第一界定层具有亲液性，第二界定层具有疏液性；形成像素界定层20，并在像素界定层20中形成容纳部30的步骤可包括：在基底10上依次形成第一界定层和第二界定层，并通过构图工艺形成包括贯穿第一界定层和第二界定层的容纳部30的图形。其中，第一界定层的材料可包括氧化硅或者氮化硅；第二界定层的材料可包括聚合物树脂，具体可为含氟有机材料，例如聚四氟乙烯、聚偏氟乙烯、七氟丙烯酸酯薄膜等。
在步骤200中，如图2(b)所示，在所述容纳部30中形成墨滴40，所述墨滴40用以形成OLED器件的有机功能层。所述墨滴40包括溶剂41和溶质42，所述溶剂41包括第一溶剂411、第二溶剂412，其中，所述第一溶剂411的饱和蒸气压高于所述第二溶剂412的饱和蒸气压，且第一溶剂411对所述溶质42的溶解度小于第二溶剂412对所述溶质42的溶解度，所述第一溶剂411、所述第二溶剂412与所述容纳部30的侧壁靠近所述基底10的部分具有亲液性，且所述第一溶剂411的亲液性强于所述第二溶剂412的亲液性。
其中，通过将溶质42与第一溶剂411、第二溶剂412混合，以形成待进行滴注的墨水，并通过喷墨打印工艺在所述容纳部30中形成墨滴40。溶质42包括有机功能层材料，用于形成有机功能层，由于本实施例中的有机功能层可包括多层结构，例如空穴注入层、空穴传输层、有机发光层、电子传输层、电子注入层等，故根据所形成的有机功能层的具体结构的不同，墨水中的溶质42也不同。
第一溶剂411和第二溶剂412以及容纳部30的侧壁靠近基底10的部分应该具有同种亲液性，从而在第一溶剂411与第二溶剂412良好溶合的同时，也能够在容纳部30中充分延展。进一步的，第一溶剂411的亲液性能力应该强于第二溶剂412。具体的，容纳部30侧壁的下部具有亲液性，第一溶剂411具有亲液性，且其亲液性强于第二溶剂412的亲液性，故当将墨水滴入容纳部30中形成墨滴40时，其中的第一溶剂411会自发移动到靠近容纳部30侧壁的位置(也即墨滴40边缘)，而第二溶剂412则相对第一溶剂411位于容纳部30的中心位置(也即墨滴40中心)。
进一步的，由于现有技术中位于墨滴40边缘位置的溶剂41的蒸发速度比位于墨滴40中心位置的溶剂41的蒸发速度快。
故本实施例中，选用两种不同饱和蒸气压的溶剂41，所述第一溶剂411的饱和蒸气压高于所述第二溶剂412的饱和蒸气压，且第一溶剂411对所述溶质42的溶解度小于第二溶剂412对所述溶质42的溶解度，从而在后续墨滴40干燥形成有机功能层的过程中，首先使靠近容纳部30侧壁的位置的第一溶剂411在第一真空度逸出，原溶于第一溶剂411中的溶质42将溶于第二溶剂412中，然后使第二溶剂412在第二真空度逸出，由于第二溶剂412对容纳部30的侧壁的亲液性较差(位于容纳部30的中心位置)，因此，在第二溶剂412逸出过程中不会带动溶质42攀爬容纳部30的侧壁，从而有效降低了攀爬效应，提高了膜厚的均匀性。
采用本实施例的能够在保证不影响最大墨滴附着量的前提下，能够降低在干燥过程中，随着溶剂的挥发，高浓度的墨水在亲液性像素界定层的侧壁的攀爬效应，进而避免溶质在干燥过程中迁移所造成的堆积，从而有效缓解墨滴在干燥过程中的攀爬效应而造成的膜层两边厚中间薄的现象，最大程度地保证所形成的有机功能层的膜厚均匀性。
较佳的，所述第一溶剂411的饱和蒸气压大于或等于所述第二溶剂412的饱和蒸气压的105％，以在后续墨滴40干燥形成有机功能层中，能够较大地区分第一真空度和第二真空度，而使第一溶剂411能够在第一真空度完全干燥，第二溶剂412能够在第二真空度完全干燥。
较佳的，在所述墨滴40的溶剂41中，所述第一溶剂411的体积占比大于或等于70％，所述第二溶剂412的体积占比小于或等于30％。较佳的，所述第一溶剂411的体积占比为70％～90％，所述第二溶剂412的体积占比为10％～30％，从而通过溶剂41中第一溶剂411能够使墨滴40在容纳部30中充分铺展。
可选的，所述第一溶剂411的分子极性大于所述第二溶剂412的分子极性，所述第二溶剂412的分子极性为0～2.5，从而达到所述第一溶剂411的亲液性能力强于第二溶剂412。
所述第一溶剂411选自环己苯、碳酸酯、烷芳香烃、芳香烃，芳香酯、4-甲基苯甲醚、甲苯，1,3-二甲基-2-咪唑啉酮、二甘醇、2-(2-甲氧基乙氧基)乙醇中的一种或多种。所述第二溶剂412选自1,4-二氧六烷、二氯苯、二苯醚、十二烷、环丁砜、乙二醇二甲醚中的一种或多种。需要说明的是，在形成有机功能层时，同一墨滴中选择第一溶剂和第二溶剂时，只需第一溶剂和第二溶剂符合上述限定条件即可。如前所述，有机功能层可包括多层结构，在形成不同的层结构时，其中的一层的第二溶剂所选用的材料，也有可能是另一层的第一溶剂所选用的材料，可以根据设计要求相应调整。
较佳的，所述第一溶剂411的表面张力系数与所述第二溶剂412的表面张力系数的差的绝对值小于所述第一溶剂411的表面张力系数的5％，也就是说，第一溶剂411的表面张力与第二溶剂412的表面张力相近，从而使得墨水溶液充分互溶，形成稳定的墨水溶液体系。更进一步，第一溶剂411的表面张力与第二溶剂412的表面张力相同。
在其他实施例中，在设置所述第一溶剂411的饱和蒸气压高于所述第二溶剂412的饱和蒸气压，且第一溶剂411对所述溶质42的溶解度小于第二溶剂412对所述溶质42的溶解度的同等情况下，也可以通过设置第一溶剂411、第二溶剂412和容纳部30的侧壁靠近基底10的部分具有同种疏液性，从而在第一溶剂411与第二溶剂412良好溶合的同时，也能够在容纳部30中充分延展。进一步的，第一溶剂411的疏液性强于第二溶剂412的疏液性，来实现第一溶剂411自发移动到靠近容纳部30侧壁的位置(也即墨滴40边缘)，而第二溶剂412则相对第一溶剂411位于容纳部30的中心位置(也即墨滴40中心)。此时，第二溶剂412的分子极性大于第一溶剂411的分子极性，所述第一溶剂412的分子极性为0～2.5，从而达到所述第一溶剂411的疏液性能力强于第二溶剂412。所述第一溶剂411可以选自环乙烷、异辛烷、三甲基戊烷、二甘醇、乙二醇二甲醚中的一种或多种。所述第二溶剂412可以选自四氯化碳、三氯乙烯、环戊烷、丙醚中的一种或多种。
与本实施例相同，在第一溶剂411、第二溶剂412和容纳部30的侧壁靠近基底10的部分具有同种疏液性，且第一溶剂411的疏液性强于第二溶剂412的疏液性的情况下：
较佳的，所述第一溶剂411的饱和蒸气压大于或等于所述第二溶剂412的饱和蒸气压的105％，以在后续墨滴40干燥形成有机功能层中，能够较大地区分第一真空度和第二真空度，而使第一溶剂411能够在第一真空度完全干燥，第二溶剂412能够在第二真空度完全干燥；
较佳的，在所述墨滴40的溶剂41中，所述第一溶剂411的体积占比大于或等于70％，所述第二溶剂412的体积占比小于或等于30％；更进一步，所述第一溶剂411的体积占比为70％～90％，所述第二溶剂412的体积占比为10％～30％，从而通过溶剂41中第一溶剂411能够使墨滴40在容纳部30中充分铺展；
较佳的，所述第一溶剂411的表面张力系数与所述第二溶剂412的表面张力系数的差的绝对值小于所述第一溶剂411的表面张力系数的5％，也就是说，第一溶剂411的表面张力与第二溶剂412的表面张力相近，从而使得墨水溶液充分互溶，形成稳定的墨水溶液体系；更进一步，第一溶剂411的表面张力与第二溶剂412的表面张力相同。
在步骤300中，通过真空冷凝干燥工艺使所述墨滴形成有机功能层。其中，真空冷凝干燥工艺是指通过真空干燥设备中的泵抽真空，达到待干燥的溶液中的溶剂的饱和蒸气压而使溶剂蒸发而从溶液中逸出，蒸发的溶剂一部分直接被泵抽走，其余部分遇到放置溶液的基板上方的冷凝板(冷凝板的温度低于基板的温度)，遇冷冷凝后再被转移走。在步骤300中，具体包括：
步骤310：如图2(c)和图2(d)所示，调节真空干燥设备的真空度至第一真空度，所述第一真空度低于所述第一溶剂411的饱和蒸气压，且高于所述第二溶剂412的饱和蒸气压，以使所述容纳部30中的所述墨滴40中的第一溶剂411逸出，保持所述第一真空度至完全去除所述第一溶剂411。其中，图2(d)为图2(c)的俯视方向的示意图。
在真空干燥设备的真空度达到第一真空度时，由于达到了第一溶剂411的饱和蒸汽压，能够使第一溶剂411蒸发而从墨滴40中逸出，蒸发的溶剂一部分直接被泵抽走，其余部分遇到基板上方的冷凝板，遇冷冷凝后再被转移走。
其中，判断保持所述第一真空度至完成去除所述第一溶剂411的时间，为通过肉眼观察没有液体再在冷凝板上冷凝为准。
步骤320：如图2(e)和图2(f)所示，调节真空干燥设备的真空度至第二真空度，所述第二真空度低于所述第二溶剂412的饱和蒸气压，以使所述容纳部30中的所述墨滴40中的第二溶剂412逸出，保持所述第二真空度至完全去除所述第二溶剂412。其中，图2(f)为图2(e)的俯视方向的示意图。
在真空干燥设备的真空度达到第二真空度时，由于达到了第二溶剂412的饱和蒸汽压，能够使第二溶剂412蒸发而从墨滴40中逸出，蒸发的溶剂一部分直接被泵抽走，其余部分遇到基板上方的冷凝板，遇冷冷凝后再被转移走。
其中，判断保持所述第二真空度至完成去除所述第二溶剂412的时间，为通过肉眼观察没有液体再在冷凝板上冷凝为准。
在上述步骤310中，通过调节真空干燥设备的真空度至第一真空度先让墨滴40中的饱和蒸气压较高的第一溶剂411逸出，使墨滴40溶液中仅留下饱和蒸气压较低的第二溶剂412，此时，第二溶剂412内溶解所有的溶质42，而第二溶剂412的攀爬容纳部30侧壁比较小；在上述步骤320中，通过调节真空干燥设备的真空度至第二真空度使第二溶剂412逸出，第二溶剂412的攀爬容纳部30的侧壁比较小，因此最后能够达到使最后形成的膜层的表面较为平坦，膜厚均匀性达到了85％左右。
如上所述，在本实施例中上，是通过阶梯分级调整调节真空干燥设备的真空度，使第一溶剂411在第一真空度充分地完全逸出，原溶于第一溶剂411中的溶质溶于第二溶剂412后，再调节真空干燥设备的真空度至使第二溶剂412逸出的第二真空度，由于第二溶剂412对容纳部30的侧壁的亲液性较差，在第二溶剂412逸出过程中不会带动溶质42攀爬容纳部30的侧壁，有效降低了攀爬效应，提高了膜厚的均匀性，提高器件有效开口率，提升显示面板寿命。
如若使真空干燥设备的真空度直接达到第二溶剂412逸出的真空度，第一溶剂411和第二溶剂412会同时进行蒸发而逸出，随着第一溶剂411和第二溶剂412的逸出，墨滴40的浓度变大；在第一溶剂411对容纳部30的侧壁的亲液性较强且墨滴40的浓度变大的情况下，还未全部逸出的剩余的第一溶剂411在继续逸出的过程中容易带动墨滴40产生攀爬效应，从而不能很好地提高膜厚的均匀性。
最终形成的有机功能层60的结构如图2(g)所示。
在完成步骤300后，还包括在形成有有机功能层60的基底10上，采用真空蒸镀等工艺形成阴极的步骤。
其中，阴极作为有机电致发光器件负向电压的连接层，具有较好的导电性能和较低的功函数。阴极通常采用低功函数金属材料，比如：锂、镁、钙、锶、铝、铟等或上述金属与铜、金、银的合金制成；或者采用一层很薄的缓冲绝缘层(如氟化锂LiF、碳酸铯CsCO3等)和上述金属或合金制成。
为了进一步突出本实施例的OLED器件的制备方法的有益技术效果，以下给出一个参考设计方案，对比该参考设计方案和本实施例的制备方法来具体说明。
在参考设计方案中，OLED器件的制备方法的墨滴(墨水)的溶剂为环己苯和烷芳香烃这些表面张力较小(≤30mN/m)的溶剂，墨滴的溶质为三苯胺的单体及交联聚合引发体，两者的饱和蒸气压及对极性差不多，导致其对溶质的溶解性差不多，在墨滴的干燥过程中攀爬现象严重。
具体工艺：在200mm*200mm 80PPI的像素中打印上述墨水，墨水的浓度为wt1％，剂量为36～54pl(较佳的，剂量为45pl)，然后通过真空冷凝干燥(Vacuum condense Dry；VCD)对墨滴进行干燥。其中，真空冷冻设备中的冷凝板的温度为8～12℃(较佳的，温度为10℃)，玻璃板的温度为36～54°(此处的玻璃板即为上文提及的基板，较佳的，玻璃板的温度为45℃)，先开启干式真空泵(Dry Pump)抽真空至0.75Torr，然后开启分子真空泵(Turbo Pump)抽真空至10-4Torr，维持480～720秒(维持时间至肉眼观察没有液体再在冷凝板冷凝为止)，使墨滴的溶剂中的环己苯和烷芳香烃全部逸出，然后进入高温热板(Hot Plate Baking；HPB)进行烘烤以烘干墨滴的溶剂中的其他添加剂，形成的有机功能层的目标厚度为31.9nm。
需要说明的是，一般为了性能及能效，需要配合先使用干式真空泵(DryPump)抽到低真空，然后再启动分子真空泵(Turbo Pump)来抽到高真空，可以抽到10的负四次方的高真空。
如图3和图4所示，以像素P’(有机功能层)的短边p1’为例，短边p1’的长度为d3’，d’为目标厚度，d1’为1.1d’，d2’为d1’厚度点离长边p2’的距离。
d2’/d3’＝15％。
长边p2’以此类推，长边p2’的长度为d5’，d4’为d1’厚度点离短边p1’的距离。
d4’/d5’＝5％。
像素P’面积膜厚均匀性为＝(1-15％*2)*(1-5％*2)＝63％。
其实际形成像素在白光干涉仪的测试效果如图5所示，由于有机功能层的表面呈严重的U形，膜厚均匀性在60％左右，导致有机功能层的发光不均匀。图6(a)中为图5中的沿A’-A’的剖面的膜层表面曲线图，图6(b)中为图5中的沿B’-B’的剖面的膜层表面曲线图，其中，图6(a)中R1’和M1’的位置对应于图5中的R1’和M1’的位置；同样，图6(b)中的R2’和M2’的位置对应于图5中'的R2’和M2’的位置。图6(a)和图6(b)中的测试结果可以看出，打印后墨滴在经过真空冷凝干燥(VCD)后，形成的有机功能层的膜层表面呈严重的U形，特别是像素的短边方向更为严重，膜厚均匀性在60％左右。
而本实施例的OLED器件的制备方法在保持与参考设计方案的制备工艺条件基本相同的情况下，改用包括第一溶剂、第二溶剂的溶剂，其中，所述第一溶剂的饱和蒸气压高于所述第二溶剂的饱和蒸气压，且第一溶剂对所述溶质的溶解度小于第二溶剂对所述溶质的溶解度，所述第一溶剂、所述第二溶剂与所述容纳部的侧壁靠近所述基底的部分具有亲液性，且所述第一溶剂的亲液性强于所述第二溶剂的亲液性；并且，在通过真空冷凝干燥工艺使所述墨滴形成有机功能层包括：调节真空干燥设备的真空度至第一真空度，所述第一真空度低于所述第一溶剂的饱和蒸气压，且高于所述第二溶剂的饱和蒸气压，以使所述容纳部中的所述墨滴中的第一溶剂逸出，保持所述第一真空度至完成去除所述第一溶剂；调节真空干燥设备的真空度至第二真空度，所述第二真空度低于所述第二溶剂的饱和蒸气压，以使所述容纳部中的所述墨滴中的第二溶剂逸出，保持所述第二真空度至完成去除所述第二溶剂。从而最终能够得到表面较为平坦的有机功能层。
具体地，本实施例的OLED器件的制备方法的墨滴(墨水)的溶剂包括第一溶剂和第二溶剂，其中，第一溶剂包括环己苯和烷芳香烃，第二溶剂为1,4-二氧六烷，第一溶剂占溶剂的70％，第二溶剂占溶剂的30％，墨滴的溶质为三苯胺的单体及交联聚合引发体。所述第一溶剂的饱和蒸气压高于所述第二溶剂的饱和蒸气压，且第一溶剂对所述溶质的溶解度小于第二溶剂对所述溶质的溶解度，第一溶剂、第二溶剂、以及容纳部的侧壁靠近基底的部分具有同种亲液性，第一溶剂的亲液性能力强于第二溶剂。当对墨滴进行干燥以形成有机功能层的过程中，首先使靠近容纳部侧壁的位置的第一溶剂在第一真空度逸出，原溶于第一溶剂中的溶质将溶于第二溶剂中，然后使第二溶剂在第二真空度逸出，由于第二溶剂对容纳部的侧壁的亲液性较差(位于容纳部的中心位置)，最大限度的降低在高浓度下的墨滴攀爬，因此，在第二溶剂逸出过程中不会带动溶质攀爬容纳部的侧壁，从而有效降低了攀爬效应，提高了膜厚的均匀性，提高器件有效开口率，提升显示面板寿命。
具体工艺：在200mm*200mm 80PPI的像素中打印上述墨水，墨水的浓度为wt0.75％，剂量为48～72pl(较佳的，剂量为60pl)，然后通过真空冷凝干燥(Vacuumcondense Dry；VCD)对墨滴进行干燥。其中，真空冷冻设备中的冷凝板的温度为8～12℃(较佳的，温度为10℃)，玻璃板的温度为36～54°(此处的玻璃板即为上文提及的基板，较佳的，玻璃板的温度为45℃)，先开启干式真空泵(Dry Pump)抽真空至0.75Torr，然后开启分子真空泵(Turbo Pump)抽真空至10-2Torr(第一真空度)，维持240～360秒(维持时间至肉眼观察没有液体再在冷凝板冷凝为止)，使墨滴的溶剂中的第一溶剂全部逸出，分子真空泵(TurboPump)抽真空至10-4Torr(第二真空度)，维持480～720秒(维持时间至肉眼观察没有液体再在冷凝板冷凝为止)，使墨滴的溶剂中的第二溶剂全部逸出。然后进入高温热板(Hot PlateBaking；HPB)进行烘烤以烘干墨滴的溶剂中的其他添加剂，形成的有机功能层的目标厚度为31.9nm。
如图7和图8所示，以像素P(有机功能层)的短边p1为例，短边p1的长度为d3，d为目标厚度，d1为1.1d，d2为d1厚度点离长边p2的距离。
d2/d3＝7.5％。
长边p2以此类推，长边p2的长度为d5，d4为d1厚度点离短边p1的距离。
d4/d5＝2％。
像素P面积膜厚均匀性为＝((1-7.5％*2)*(1-2％*2)＝81.6％。
其实际形成像素在白光干涉仪的测试效果如图9所示，由于有机功能层的表面较为平坦，膜厚品质有很好的改善，膜厚均匀性达到了85％左右，使有机功能层的发光较为均匀。
图10(a)中为图9中的沿A-A的剖面的膜层表面曲线图，图10(b)中为图9中的沿B-B的剖面的膜层表面曲线图，其中，图10(a)中R1和M1的位置对应于图9中的R1和M1的位置；同样，图10(b)中的R2和M2的位置对应于图9中'的R2和M2的位置。图10(a)和图10(b)中的测试结果可以看出，打印后墨滴在经过真空冷凝干燥(VCD)后，形成的有机功能层的膜层表面表面较为平坦，膜厚品质有很好的改善，膜厚均匀性达到了85％左右。
从上述比较可以看出，如图11所示，在工艺条件基本相同的条件下，通过本实施例的OLED器件的制备方法所形成的像素P的短边、长边以及面积膜厚均匀性，均远远优于参考设计方案的OLED器件的制备方法所形成的像素P’的短边、长边以及面积膜厚均匀性。
实施例2
本实施例体提供一种显示面板的制备方法，其包括实施例1中提供的OLED器件的制备方法。
其中，显示面板为OLED显示面板，其包括OLED器件。
本实施例体提供的显示面板的制备方法中，在形成OLED器件中的有机功能层时，选择包括第一溶剂、第二溶剂的溶剂作为有机功能层材料的溶剂，其中，所述第一溶剂的饱和蒸气压高于所述第二溶剂的饱和蒸气压，且第一溶剂对所述溶质的溶解度小于第二溶剂对所述溶质的溶解度，第一溶剂、第二溶剂、以及容纳部的侧壁靠近基底的部分具有同种亲液性(或者疏液性)，第一溶剂的亲液性(或者疏液性)能力强于第二溶剂。当对墨滴进行干燥以形成有机功能层的过程中，首先使靠近容纳部侧壁的位置的第一溶剂在第一真空度逸出，原溶于第一溶剂中的溶质将溶于第二溶剂中，然后使第二溶剂在第二真空度逸出，由于第二溶剂对容纳部的侧壁的亲液性(或者疏液性)较差(位于容纳部的中心位置)，最大限度的降低在高浓度下的墨滴攀爬，因此，在第二溶剂逸出过程中不会带动溶质攀爬容纳部的侧壁，从而有效降低了攀爬效应，提高了膜厚的均匀性，提高器件有效开口率，提升显示面板寿命。
以上仅为本申请的较佳实施例而已，并不用以限制本申请，凡在本申请的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本申请保护的范围之内。
Claims (13)
1.一种OLED器件的制备方法，其特征在于，包括：
在基底上形成像素界定层，并在所述像素界定层中形成容纳部；
在所述容纳部中形成墨滴，所述墨滴用以形成OLED器件的有机功能层，所述墨滴包括溶剂和溶质，所述溶剂包括第一溶剂、第二溶剂，其中，所述第一溶剂的饱和蒸气压高于所述第二溶剂的饱和蒸气压，且第一溶剂对所述溶质的溶解度小于第二溶剂对所述溶质的溶解度，所述第一溶剂、所述第二溶剂与所述容纳部的侧壁靠近所述基底的部分具有亲液性，且所述第一溶剂的亲液性强于所述第二溶剂的亲液性，或者，所述第一溶剂、所述第二溶剂和所述容纳部的侧壁靠近所述基底的部分具有疏液性，且所述第一溶剂的疏液性强于所述第二溶剂的疏液性；
通过真空冷凝干燥工艺使所述墨滴形成有机功能层，包括：
调节真空干燥设备的真空度至第一真空度，所述第一真空度低于所述第一溶剂的饱和蒸气压，且高于所述第二溶剂的饱和蒸气压，以使所述容纳部中的所述墨滴中的第一溶剂逸出，保持所述第一真空度至完成去除所述第一溶剂；
调节真空干燥设备的真空度至第二真空度，所述第二真空度低于所述第二溶剂的饱和蒸气压，以使所述容纳部中的所述墨滴中的第二溶剂逸出，保持所述第二真空度至完成去除所述第二溶剂。
2.如权利要求1所述的OLED器件的制备方法，其特征在于，所述第一溶剂的饱和蒸气压大于或等于所述第二溶剂的饱和蒸气压的105％。
3.如权利要求1所述的OLED器件的制备方法，其特征在于，在所述墨滴的溶剂中，所述第一溶剂的体积占比大于或等于70％，所述第二溶剂的体积占比小于或等于30％。
4.如权利要求3所述的OLED器件的制备方法，其特征在于，在所述墨滴的溶剂中，所述第一溶剂的体积占比为70％～90％，所述第二溶剂的体积占比为10％～30％。
5.如权利要求1所述的OLED器件的制备方法，其特征在于，当所述第一溶剂、所述第二溶剂与所述容纳部的侧壁靠近所述基底的部分具有亲液性时，所述第一溶剂的分子极性大于所述第二溶剂的分子极性，所述第二溶剂的分子极性为0～2.5；或者，
当所述第一溶剂、所述第二溶剂和所述容纳部的侧壁靠近所述基底的部分具有疏液性时，所述第二溶剂的分子极性大于所述第一溶剂的分子极性，所述第一溶剂的分子极性为0～2.5。
6.如权利要求1所述的OLED器件的制备方法，其特征在于，当所述第一溶剂、所述第二溶剂与所述容纳部的侧壁靠近所述基底的部分具有亲液性时，所述第一溶剂选自碳酸酯、芳香烃，芳香酯、4-甲基苯甲醚，1,3-二甲基-2-咪唑啉酮、二甘醇、2-(2-甲氧基乙氧基)乙醇中的一种或多种；或者，
当所述第一溶剂、所述第二溶剂和所述容纳部的侧壁靠近所述基底的部分具有疏液性时，所述第一溶剂选自环乙烷、异辛烷、三甲基戊烷、二甘醇、乙二醇二甲醚中的一种或多种。
7.如权利要求6所述的OLED器件的制备方法，其特征在于，所述芳香烃包括烷芳香烃。
8.如权利要求6所述的OLED器件的制备方法，其特征在于，所述芳香烃包括环己苯与甲苯中的一种或多种。
9.如权利要求1所述的OLED器件的制备方法，其特征在于，当所述第一溶剂、所述第二溶剂与所述容纳部的侧壁靠近所述基底的部分具有亲液性时，所述第二溶剂选自1,4-二氧六烷、二氯苯、二苯醚、十二烷、环丁砜、乙二醇二甲醚中的一种或多种；或者，
当所述第一溶剂、所述第二溶剂和所述容纳部的侧壁靠近所述基底的部分具有疏液性时，所述第二溶剂选自四氯化碳、三氯乙烯、环戊烷、丙醚中的一种或多种。
10.如权利要求1所述的OLED器件的制备方法，其特征在于，所述第一溶剂的表面张力系数与所述第二溶剂的表面张力系数的差的绝对值小于所述第一溶剂的表面张力系数的5％。
11.根据权利要求10所述的OLED器件的制备方法，其特征在于，所述第一溶剂的表面张力与所述第二溶剂的表面张力相同。
12.根据权利要求1所述的OLED器件的制备方法，其特征在于，所述在所述容纳部中形成墨滴的步骤具体包括：
通过喷墨打印工艺在所述容纳部中形成墨滴。
13.一种显示面板的制备方法，其特征在于，包括权利要求1至12中任意一项所述的OLED器件的制备方法。
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