CN111463163A - 一种高精密压紧装置 - Google Patents

Abstract

本申请提供了一种高精密压紧装置，包括：底座、滑动设于底座上的滑动组件、驱动滑动组件靠近或远离引线框架的驱动组件、对滑动组件施加弹性压力的弹性压紧组件、抵压引线框架的压板组件以及对引线框架喷氮气的氮气保护组件，弹性压紧组件包括：设于底座上的第一固定座，螺接于第一固定座上的调节压杆，以及一端抵接在滑动组件上，另一端抵接在调节压杆上的弹性件。通过弹性压紧组件实现了压板组件给引线框架施加的压力为弹性压力，且该弹性压力的大小可以调节，并且弹性压力具有缓冲作用和冲击力小的优点，相对现有技术中气缸的硬性压力来说，有效保证了引线框架不被压坏，同时通过氮气保护组件对引线框架处进行充氮保护，保证固晶质量。

Description

一种高精密压紧装置

技术领域

本申请属于芯片固晶技术领域，更具体地说，是涉及一种高精密压紧装置。

背景技术

引线框架作为集成电路的芯片载体，是一种借助于键合材料实现芯片内部电路引出端与外引线的电器连接，形成电器回路的关键结构件，它起到了和外部导线连接的桥梁作用，绝大部分的半导体集成块都需要使用引线框架，是电子信息产品中重要的基础材料。

目前，引线框架上芯片的固晶需要在引线框架压紧的情况下进行。而目前的压紧机构存在以下不足：1、压紧机构的平面度无法调整，造成引线框架不能压紧在加热板上，造成固晶不良；2、目前的芯片进行共晶固晶的氮气保护动作只在固晶前和固晶后才会实行，在固晶过程中缺乏氮气保护，容易引起引线框架的氧化，影响固晶品质，3、压紧力无法调整，不能针对不同引线框架采用不同的压力，引线框架压变形或压不紧，4、冲击大，效率低，传统压紧机构一般采用气缸的硬性压力进行压紧，压紧的过程中冲击大，引起震动和位置的移动，影响固晶品质。

发明内容

本申请实施例的目的在于提供一种高精密压紧装置，以解决现有技术中压紧机构在压引线框架过程中硬性压力的冲击力大且缺乏氮气保护而影响固晶品质的技术问题。

为实现上述目的，本申请采用的技术方案是：一种高精密压紧装置，包括：

底座；

滑动组件，滑动设于所述底座上；

驱动组件，设于所述底座上并用于驱动所述滑动组件靠近或远离引线框架；

弹性压紧组件，设于所述底座上并用于给所述滑动组件一个使所述滑动组件向所述引线框架运动的弹性压力；

压板组件，设于所述滑动组件上并用于压紧所述引线框架；

以及，氮气保护组件，用于对所述引线框架喷氮气；

所述弹性压紧组件包括：设于所述底座上的第一固定座，螺接于所述第一固定座上的调节压杆，以及一端抵接在所述滑动组件上、另一端抵接在所述调节压杆上的弹性件。

在一个实施例中，所述驱动组件包括：固设于所述底座上的安装座，设于所述安装座上的电机，以及设于所述电机的输出轴上的偏心组件，所述偏心组件与所述滑动组件接触式连接并用于驱动所述滑动组件作上下运动。

在一个实施例中，所述偏心组件包括：设于所述电机的输出轴上的联轴器，设于所述联轴器上的偏心轴，以及将所述偏心轴转动设于所述安装座上的轴承，所述偏心轴的偏心端与所述滑动组件接触式连接。

在一个实施例中，所述驱动组件上设有计圈组件，所述计圈组件包括设于所述安装座上的对射式光电传感器以及设于所述偏心轴上的并与其同步转动的遮光片。

在一个实施例中，所述滑动组件包括：设于所述底座上的导轨，滑动设于所述导轨上的滑块，以及凸设于所述滑块上的凸块，所述凸块的下端面与所述偏心轴的偏心端接触式连接。

在一个实施例中，所述底座上设有滑槽，所述凸块凸设于所述滑槽内，所述偏心轴的偏心端设有抵接圈，所述抵接圈的外周面与所述凸块的下端面接触式连接。

在一个实施例中，所述压板组件包括：设于所述滑动组件上的第二固定座，设于所述第二固定座上的第三固定座，以及设于第三固定座上的压板，所述压板上间隔凸设有若干用于抵压所述引线框架的凸肋。

在一个实施例中，所述第二固定座包括：与所述滑动组件固定连接的第一固定板，以及垂直设于所述第一固定板上的第二固定板，所述第三固定座转动设于所述第二固定板上，所述第二固定板上设有用于调节所述第三固定座转动角度的调节件。

在一个实施例中，所述第二固定板上设有第一安装孔，所述第一安装孔内设有转轴，所述第三固定座通过所述转轴转动设于所述第二固定板上，所述第一安装孔的两侧设有用于螺接紧固件的螺纹孔，所述第三固定座上设有与所述螺纹孔对应的腰形沉孔，所述腰形沉孔的宽度大于所述螺纹孔的孔径，所述第二固定板的顶面间隔设有两个第二安装孔，两个所述第二安装孔在竖直方向上位于所述第一安装孔的两侧，各所述调节件螺接于所述第二安装孔内并抵接于所述第三固定座的端面。

在一个实施例中，所述氮气保护组件包括：氮气罐、管道和氮气接头，所述压板内设有氮气通道，所述氮气通道的一端安装所述氮气接头，另一端设有若干贯穿所述压板表面的氮气出孔，各所述氮气出孔位于两所述凸肋之间。

本申请提供的一种高精密压紧装置的有益效果在于：通过弹性压紧组件实现了压板组件给引线框架施加的压力为弹性压力，且该弹性压力的大小可以调节，并且弹性压力具有缓冲作用和冲击力小的优点，相对现有技术中气缸的硬性压力来说，有效保证了引线框架不被压坏，同时通过氮气保护组件对引线框架处进行充氮保护，保证固晶质量。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本申请实施例提供的高精密压紧装置的整体结构示意图；

图2为本申请实施例提供的高精密压紧装置中驱动组件与滑动组件的爆炸结构示意图；

图3为本申请实施例提供的高精密压紧装置中滑动组件与弹性压紧组件的爆炸结构示意图；

图4为本申请实施例提供的高精密压紧装置中驱动组件的爆炸结构示意图；

图5为本申请实施例提供的高精密压紧装置中压板组件的结构示意图；

图6为本申请实施例提供的高精密压紧装置中压板组件的部分爆炸结构示意图。

其中，图中各附图标记：

1、底座；11、滑槽；2、滑动组件；21、导轨；22、滑块；221、导向孔；222、凸台；23、凸块；3、驱动组件；31、安装座；32、电机；33、偏心组件；331、联轴器；332、偏心轴；333、轴承；334、抵接圈；4、弹性压紧组件；41、第一固定座；42、调节压杆；43、弹性件；5、压板组件；51、第二固定座；511、第一固定板；5111、第一安装孔；5112、螺纹孔；5113、第二安装孔；512、第二固定板；52、第三固定座；521、腰形沉孔；53、压板；531、凸肋；532、氮气出孔；6、氮气保护组件；61、氮气接头；7、计圈组件；71、安装片；72、对射式光电传感器；73、遮光片。

具体实施方式

为了使本申请所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本申请进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本申请，并不用于限定本申请。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者间接在该另一个元件上。当一个元件被称为是“连接于”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或间接连接至该另一个元件上。

需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本申请的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

如图1和图2，现对本申请实施例提供的一种高精密压紧装置进行说明。该高精密压紧装置，包括：底座1、滑动组件2、驱动组件3、弹性压紧组件4、压板组件5以及氮气保护组件6。具体地，滑动组件2滑动设于底座1上，驱动组件3设于底座1上并用于驱动滑动组件2靠近或远离引线框架，弹性压紧组件4设于底座1上并用于给滑动组件2提供一个使滑动组件2向引线框架运动的弹性压力，压板组件5设于滑动组件2上并用于压紧引线框架，氮气保护组件6用于对引线框架喷氮气，从而保证引线框架上固晶的品质。在本实施例中，驱动组件3的输出轴线沿水平设置，滑动组件2在未受外力作用下可自由向下滑动，从而滑动组件2在弹性压紧组件4的配合下始终保持向下运动的趋势。

本申请实施例提供的一种高精密压紧装置，通过弹性压紧组件4实现了压板组件5给引线框架施加的压力为弹性压力，而弹性压力具有缓冲作用和冲击力小的优点，相对现有技术中气缸的硬性压力来说，有效保证了引线框架不被压坏，同时通过氮气保护组件6对引线框架处进行充氮保护，保证固晶质量。

如图2和图3所示，在本实施例中，弹性压紧组件4包括：设于底座1上的第一固定座41，螺接于第一固定座41上的调节压杆42，以及一端抵接在滑动组件2上、另一端抵接在调节压杆42上的弹性件43，弹性件43用于驱使滑动组件2始终具有向下运动的趋势并可使压板组件5可以有效回弹。具体地，滑动组件2上设有导向孔221，导向孔221为沉孔，弹性件43安装在导向孔221内且一端凸出滑动组件2的表面，第一固定座41通过螺丝固定在底座1上并位于弹性件43的上方，第一固定座41上设有与导向孔221同轴线的螺孔，调节压杆42部分螺接在螺孔内并抵接在弹性件43凸出滑动组件2的一端，调节压杆42可以调节弹性件43的伸缩长度，从而来调节弹性件43的弹力大小，达到调节压板组件5压紧引线框架弹力大小的目的。在本实施例中，弹性件43为弹簧杆或弹簧，即压板组件5给引线框架的压力为弹性件43的弹力加滑动组件2和压板组件5的重力和，这样使得给引线框架的压力比较柔和，有效避免引线框架发生震动或偏移，保证固晶精度。

如图3和图4所示，在本实施例中，驱动组件3包括：固设于底座1上的安装座31，设于安装座31上的电机32以及设于电机32的输出轴上的偏心组件33，偏心组件33与滑动组件2接触式连接并用于驱动滑动组件2作上下运动，偏心组件33与滑动组件2接触式连接，便于当压板组件5抵压引线框架时，滑动组件2可以自动向上回弹。在本实施例中，驱动组件3水平设置，电机32的输出轴水平延伸，安装座31为框体结构，内具有中空通道，为偏心组件33安装提供空间。在本实施例中，电机32为伺服电机或步进电机，这样电机32驱动偏心组件33转动的速度快，使得压板组件5压紧引线框架的效率高。

如图3和图4所示，在本实施例中，偏心组件33包括：设于电机32的输出轴上的联轴器331，设于联轴器331上的偏心轴332，以及将偏心轴332转动设于安装座31上的轴承333，偏心轴332的偏心端与滑动组件2接触式连接。在本实施例中，联轴器331用于实现偏心轴332和电机32的输出轴之间的传动连接，轴承333用于实现偏心轴332稳定的转动安装在安装座31上，偏心轴332在旋转过程中与弹性压紧组件4配合对滑动组件2施加作用力，用于实现滑动组件2的上下运动，即在本实施例中，驱动组件3仅用于给滑动组件2提供一个向上的驱动力。

如图3和图4所示，在本实施例中，驱动组件3上设有计圈组件7，计圈组件7用于计算电机32的旋转速度，从而来计算出压板组件5的压紧运动状态，便于调整压板组件5的压紧速度。具体地，计圈组件7包括通过安装片71设于安装座31上的对射式光电传感器72，以及设于偏心轴332上的并与偏心轴332同步转动的遮光片73。对射式光电传感器72上的发射端和接收端之间具有间距，遮光片73旋转过程中滑过该间距，从而对发射端发出的光线具有遮挡作用，遮光片73每遮挡一次，说明偏心轴332旋转一圈，从而可以得出压板组件5压紧引线框架一次。遮光片73为半圆片或条形片，遮光片73设置在一个圆环上，圆环套设在偏心轴332上并与偏心轴332同步转动。

如图2和图3所示，在本实施例中，滑动组件2包括：设于底座1上的导轨21，滑动设于导轨21上的滑块22，以及凸设于滑块22上的凸块23，凸块23的下端面与偏心轴332的偏心端接触式连接，当偏心轴332旋转时，偏心端和弹性压紧组件4配合驱使凸块23上下运动，从而实现滑块22的上下运动。

在本实施例中，滑动组件2设于底座1背离驱动组件3的一侧，底座1上设置凹槽，导轨21设置有四根且设置在凹槽内，滑块22滑动设置在导轨21上，在底座1上设有滑槽11，滑槽11为通槽，凸块23凸设在滑槽11内，在偏心轴332的偏心端设有抵接圈334，抵接圈334的外周面与凸块23的下端面接触式连接。在本实施例中，抵接圈334为轴承，这样能避免偏心轴332与凸块23直接接触的摩擦力，从而避免偏心轴332不必要的磨损。

如图3和图5所示，在本实施例中，压板组件5包括：设于滑动组件2上的第二固定座51，设于第二固定座51上的第三固定座52，以及设于第三固定座52上的压板53，压板53上间隔凸设有若干用于抵压引线框架的凸肋531，各凸肋531的一端设置在压板53上，另一端通过连杆连接，使得压板53上用于抵压引线框架的凸肋531组成凸肋框。具体地，在滑块22上设有凸块23，第二固定座51通过螺丝固定在凸台222处，在本实施例中，压板53为水平延伸，凸肋531用于抵压在引线框架上不需要固晶的位置。

具体地，如图5和图6所示，第二固定座51包括：与滑动组件2固定连接的第一固定板511，以及垂直设于第一固定板511上的第二固定板512，第三固定座52转动设于第二固定板512上，第二固定板512上设有用于调节第三固定座52转动角度的调节件(图中未示出)。在本实施例中，第三固定座52的转动角度是指绕水平轴进行旋转，这样固定在第三固定座52上的压板53可以实现其平面度的微调，这样有利于对不同的引线框架压紧在加热板上。

具体地，如图5和图6所示，第二固定板512上设有第一安装孔5111，第一安装孔5111内设有转轴(图中未示出)，转轴为销钉，第三固定座52通过转轴转动设于第二固定板512上。第一安装孔5111的两侧设有用于螺接紧固件如螺钉的螺纹孔5112，第三固定座52上设有与螺纹孔5112对应的腰形沉孔521，腰形沉孔521的宽度大于螺纹孔5112的孔径(即腰形沉孔521的宽大大于螺钉的螺杆直径，但小于螺钉的螺帽直径)，这样在螺钉未有锁紧的情况下，可以实现第三固定座52绕转轴进行微小旋转，从而实现压板53宽度方向上的平面度调整。第二固定板512的顶面间隔设有两个第二安装孔5113，两个第二安装孔5113在竖直方向上位于第一安装孔5111的两侧，各调节件螺接于第二安装孔5113内并抵接于第三固定座52的端面，两个第二安装孔5113和两个调节件用于控制第三固定座52的旋转角度，保证压板53平面度调整的精度。在本实施例中，调节件为顶丝或调节螺杆。

在本实施例中，如图3和图5所示，第一固定板511与滑块22的安装方式与第二固定座51和第三固定座52的安装方式相同，即可以利用调节件来调节第一固定板511与滑块22之间的旋转角度，该旋转角度的轴线与第三固定座52的旋转轴线垂直，从而来实现压板53长度方向上的平面度调整。

如图1和图5所示，在本实施例中，氮气保护组件6包括：氮气罐、管道(图中未示出)和氮气接头61，氮气罐和管道用于将氮气供给氮气接头61，在压板53内设有氮气通道(图中未示出)，氮气通道的一端安装氮气接头61，另一端设有若干贯穿压板53表面的氮气出孔532，各氮气出孔532位于两凸肋531之间。两凸肋531之间的位置为引线框架需要固晶的位置，氮气出孔532喷出的氮气正好可以对固晶位置进行氮气保护，从而保证固晶的品质。在本实施例中，氮气出孔532设置在压板53上，这样可以充分提高氮气的利用率。

本申请实施例提供的高精密压紧装置，压板53的平面度可调，从而解决了引线框架不能压紧在加热板上的问题；在压板53上设置氮气出孔532，从而解决了引线框架在固晶时缺乏氮气保护而易氧化的问题；压板53抵压引线框架的抵压力通过弹性压紧组件4可调，从而保证了引线框架被硬性压力压紧而损坏的问题；压板53通过伺服电机32进行驱动压紧动作，提高了抵压效率，并与计圈组件7配合，实现了压板53压紧速度可调，有利于保证抵压引线框架的质量。

以上所述仅为本申请的较佳实施例而已，并不用以限制本申请，凡在本申请的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本申请的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种高精密压紧装置，其特征在于，包括：

底座(1)；

滑动组件(2)，滑动设于所述底座(1)上；

驱动组件(3)，设于所述底座(1)上并用于驱动所述滑动组件(2)靠近或远离引线框架；

弹性压紧组件(4)，设于所述底座(1)上并用于给所述滑动组件(2)一个使所述滑动组件(2)向所述引线框架运动的弹性压力；

压板组件(5)，设于所述滑动组件(2)上并用于压紧所述引线框架；

以及氮气保护组件(6)，用于对所述引线框架喷氮气；

所述弹性压紧组件(4)包括：设于所述底座(1)上的第一固定座(41)，螺接于所述第一固定座(41)上的调节压杆(42)，以及一端抵接在所述滑动组件(2)上、另一端抵接在所述调节压杆(42)上的弹性件(43)。

2.如权利要求1所述的高精密压紧装置，其特征在于，所述驱动组件(3)包括：固设于所述底座(1)上的安装座(31)，设于所述安装座(31)上的电机(32)，以及设于所述电机(32)的输出轴上的偏心组件(33)，所述偏心组件(33)与所述滑动组件(2)接触式连接并用于驱动所述滑动组件(2)作上下运动。

3.如权利要求2所述的高精密压紧装置，其特征在于，所述偏心组件(33)包括：设于所述电机(32)的输出轴上的联轴器(331)，设于所述联轴器(331)上的偏心轴(332)，以及将所述偏心轴(332)转动设于所述安装座(31)上的轴承(333)，所述偏心轴(332)的偏心端与所述滑动组件(2)接触式连接。

4.如权利要求3所述的高精密压紧装置，其特征在于，所述驱动组件(3)上设有计圈组件(7)，所述计圈组件(7)包括设于所述安装座(31)上的对射式光电传感器(72)以及设于所述偏心轴(332)上的并与其同步转动的遮光片(73)。

5.如权利要求3所述的高精密压紧装置，其特征在于，所述滑动组件(2)包括：设于所述底座(1)上的导轨(21)，滑动设于所述导轨(21)上的滑块(22)，以及凸设于所述滑块(22)上的凸块(23)，所述凸块(23)的下端面与所述偏心轴(332)的偏心端接触式连接。

6.如权利要求5所述的高精密压紧装置，其特征在于，所述底座(1)上设有滑槽(11)，所述凸块(23)凸设于所述滑槽(11)内，所述偏心轴(332)的偏心端设有抵接圈(334)，所述抵接圈(334)的外周面与所述凸块(23)的下端面接触式连接。

7.如权利要求1-6中任一项所述的高精密压紧装置，其特征在于，所述压板组件(5)包括：设于所述滑动组件(2)上的第二固定座(51)，设于所述第二固定座(51)上的第三固定座(52)，以及设于第三固定座(52)上的压板(53)，所述压板(53)上间隔凸设有若干用于抵压所述引线框架的凸肋(531)。

8.如权利要求7所述的高精密压紧装置，其特征在于，所述第二固定座(51)包括：与所述滑动组件(2)固定连接的第一固定板(511)，以及垂直设于所述第一固定板(511)上的第二固定板(512)，所述第三固定座(52)转动设于所述第二固定板(512)上，所述第二固定板(512)上设有用于调节所述第三固定座(52)转动角度的调节件。

9.如权利要求8所述的高精密压紧装置，其特征在于，所述第二固定板(512)上设有第一安装孔(5111)，所述第一安装孔(5111)内设有转轴，所述第三固定座(52)通过所述转轴转动设于所述第二固定板(512)上，所述第一安装孔(5111)的两侧设有用于螺接紧固件的螺纹孔(5112)，所述第三固定座(52)上设有与所述螺纹孔(5112)对应的腰形沉孔(521)，所述腰形沉孔(521)的宽度大于所述螺纹孔(5112)的孔径，所述第二固定板(512)的顶面间隔设有两个第二安装孔(5113)，两个所述第二安装孔(5113)在竖直方向上位于所述第一安装孔(5111)的两侧，各所述调节件螺接于所述第二安装孔(5113)内并抵接于所述第三固定座(52)的端面。

10.如权利要求7所述的高精密压紧装置，其特征在于，所述氮气保护组件(6)包括：氮气罐、管道和氮气接头(61)，所述压板(53)内设有氮气通道，所述氮气通道的一端安装所述氮气接头(61)，另一端设有若干贯穿所述压板(53)表面的氮气出孔(532)，各所述氮气出孔(532)位于两所述凸肋(531)之间。

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