CN111408830A - 一种cvd设备超精密零件的加工工艺 - Google Patents
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Abstract
本发明公开一种超精密零件的加工工艺将精密机械加工，精密电子束焊接，超高洁净度清洗工艺，超厚度硬质阳极表面处理工艺等多种工艺结合，完成一款超精密零件的制造。本发明焊接零件达到超高精度需求的极限，壁厚1mm‑2mm。
Description
技术领域
本发明涉IC装备技术领域，具体说是一种CVD设备超精密零件的加工工艺。
背景技术
现有焊接零件的方法无法保证超高精度需求。现有技术无法实现平面度平行度要求0.01mm；焊缝与焊缝之间的壁厚极薄，最薄之处仅有1mm-2mm。
发明内容
本发明的目的是提供一种CVD设备超精密零件的加工工艺。
本发明采用的技术方案是：
一种超精密零件的加工工艺，将精密机械加工，精密电子束焊接，超高洁净度清洗工艺，超厚度硬质阳极表面处理工艺等多种工艺结合，完成一款超精密零件的制造；
超精密机械加工指的是要经过1道焊前加工，2道焊后加工，保证零件尺寸精度，平面度平行度0.01-0.03mm，密封槽Ra0.4-Ra0.8mm，销孔位置度0.03mm-0.05mm；
精密电子束焊接指的是先完成单面单条焊缝焊接，去除余高0.5mm-1mm，再加工出第二次焊接腔室，进行第二次焊接；否则会因为焊缝相互干涉，造成其他焊缝塌陷；
超高洁净度清洗工艺指的是零件要经过脱脂清洗，碱咬，酸洗，热水洗，酸洗，热水洗等多个槽液，后用高压水枪彻底冲洗干净，用氮气吹干；每道焊接工序之间，都要经过超高洁净度清洗工艺；
超厚硬质阳极表面处理，阳极前需要对图面要求遮蔽区域，进行选择性遮蔽，硬质阳极要求零件的R角大于0.5mm，降低阳极崩裂的风险。
本发明的有益效果为：
1、本发明焊接零件达到超高精度需求的极限，壁厚1mm-2mm对接焊缝，对焊接要求极为精准精密。
2、本发明完美结合了机械加工，精密焊接，特殊表面处理。
3、本发明平面度平行度达到要求0.01mm；焊缝与焊缝之间的壁厚极薄，最薄之处仅有1mm-2mm；焊前保证洁净，焊后保证密封，机加保证没有脏污进入密封腔室，硬质阳极要求膜厚达到76±12μm。
附图说明
图1为本发明的流程图。
具体实施方式
下面结合说明书附图1及实施例对本发明进一步详细说明。
一种超精密零件的加工工艺方案，将精密机械加工，精密电子束焊接，超高洁净度清洗工艺，超厚度硬质阳极表面处理工艺等多种工艺结合，完成一款超精密零件的制造。
所述超精密机械加工，要经过1道焊前加工，2道焊后加工，保证零件尺寸精度：平面度平行度0.01-0.03mm，密封槽Ra0.4-Ra0.8mm，销孔位置度0.03mm-0.05mm等。
所述精密电子束焊接，需要先完成单面单条焊缝焊接，去除余高0.5mm-1mm，再加工出第二次焊接腔室，进行第二次焊接。否则会因为焊缝相互干涉，造成其他焊缝塌陷。
所述超高洁净度清洗工艺指的是零件要经过脱脂清洗，碱咬，酸洗(HF+HCL)，热水洗，酸洗(NaNO3)，热水洗等多个槽液，后用高压水枪彻底冲洗干净，用氮气吹干。每道焊接工序之间，都要经过超高洁净度清洗工艺。
所述超厚硬质阳极表面处理，阳极前需要对图面要求遮蔽区域，进行选择性遮蔽，硬质阳极要求零件的R角大于0.5mm,降低阳极崩裂的风险。
所述此工艺方案，焊前上下表面余量1.5mm，外形余量5mm。第一次焊接后，去除余量1mm，第二次焊接后，去除余量0.5mm。焊前加工腔室及与腔室连接的孔，避免焊后加工，脏污及铝屑进入腔室，造成污染。
Claims (2)
1.一种超精密零件的加工工艺，其特征在于，将精密机械加工，精密电子束焊接，超高洁净度清洗工艺，超厚度硬质阳极表面处理工艺等多种工艺结合，完成一款超精密零件的制造；
超精密机械加工指的是要经过1道焊前加工，2道焊后加工，保证零件尺寸精度，平面度平行度0.01-0.03mm，密封槽Ra0.4-Ra0.8mm，销孔位置度0.03mm-0.05mm；
精密电子束焊接指的是先完成单面单条焊缝焊接，去除余高0.5mm-1mm，再加工出第二次焊接腔室，进行第二次焊接；否则会因为焊缝相互干涉，造成其他焊缝塌陷；
超高洁净度清洗工艺指的是零件要经过脱脂清洗，碱咬，酸洗，热水洗，酸洗，热水洗等多个槽液，后用高压水枪彻底冲洗干净，用氮气吹干；每道焊接工序之间，都要经过超高洁净度清洗工艺；
超厚硬质阳极表面处理，阳极前需要对图面要求遮蔽区域，进行选择性遮蔽，硬质阳极要求零件的R角大于0.5mm，降低阳极崩裂的风险。
2.按照权利要求1所述的一种超精密零件的加工工艺，其特征在于，焊前上下表面余量1.5mm，外形余量5mm；第一次焊接后，去除余量1mm，第二次焊接后，去除余量0.5mm；焊前加工腔室及与腔室连接的孔，避免焊后加工，脏污及铝屑进入腔室，造成污染。
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111876777A (zh) * | 2020-07-24 | 2020-11-03 | 沈阳富创精密设备有限公司 | 一种刻蚀设备约束环的制造工艺 |
| CN112570999A (zh) * | 2020-12-15 | 2021-03-30 | 苏州市跃宇精密机械有限公司 | 高精度航天用零件超精密加工工艺 |
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2020
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Cited By (3)
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| CN112570999A (zh) * | 2020-12-15 | 2021-03-30 | 苏州市跃宇精密机械有限公司 | 高精度航天用零件超精密加工工艺 |
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