CN110777365A - 一种mocvd加热器源及其操作方法 - Google Patents

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陈景升
田青林
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    • C23C16/00Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/44Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
    • C23C16/46Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating characterised by the method used for heating the substrate

Abstract

本发明公开了一种MOCVD加热器源及其操作方法,包括安装板、固定条、固定管、电磁铁、导向环、活动铁杆、第一弹簧、第二弹簧、固定套、嵌合柱、承载板、MOCVD加热器、保温罩金属外壳、石棉填充层、高导热陶瓷片、第一导热凸起、金属导热罩、第二导热凸起、顶盖、排气扇、铰链、螺纹环、活性炭过滤网、直杆、固定球块和搭扣锁。本发明通过两个平行设置的安装结构可便于MOCVD加热器源进行安装以及拆卸,从而便于进行维护和维修以及更换,避免损坏后,更换时间过长,而延长加热的时长;通过导热结构的设置可进行热量的传导,传导的温度较均匀,可对金属导热罩的内部进行均匀加热,加热效果较好,从而避免出现受热不均的现象。

Description

一种MOCVD加热器源及其操作方法
技术领域
本发明涉及一种MOCVD加热器源及其操作方法,属于MOCVD加热器应用技术领域。
背景技术
电加热器是指利用电能达到加热效果的电器;它体积小,加热功率高,使用十分广泛,采用智能控制模式,控温精度高,可与计算机联网;应用范围广,寿命长,可靠性高;加热器原理的核心的是能量转换,最广泛的就是电能转换成热能。
现有的MOCVD加热器源可能缺少导热的结构,对热量的利用较差,对物品的加热可能不均匀,从而使物品出现受热不均的现象,同时,一般加热器通过螺栓实现安装,拆、装较为不便。因此,针对上述问题提出一种MOCVD 加热器源及其操作方法。
发明内容
本发明的目的就在于为了解决上述问题而提供一种MOCVD加热器源及其操作方法。
本发明通过以下技术方案来实现上述目的,一种带有导热热利用结构的 MOCVD加热器源,包括安装板、承载板以及固定安装在承载板顶部的MOCVD加热器,所述安装板和承载板之间设置有两个平行设置的安装结构;
所述MOCVD加热器的顶部设置有导热结构,所述导热结构和MOCVD加热器套接有保温罩;
所述保温罩顶部设置有可翻转的顶盖,所述顶盖的一侧通过铰链与保温罩顶部一侧连接,所述顶盖与保温罩之间安装有若干个搭扣锁,所述顶盖设置有排气结构,所述排气结构顶部设置有过滤结构,所述过滤结构上安装有把手。
优选的,所述安装结构包括双端伸缩杆以及两个固定套,两个所述固定套设置在双端伸缩杆的两端,且双端伸缩杆和固定套均与安装板固接,所述固定套内部套接有嵌合柱,且嵌合柱与承载板底部固接,所述嵌合柱底部设置有第二弹簧,所述固定套和嵌合柱的水平方向开有通孔,所述双端伸缩杆的两端与通孔配合连接。
优选的,所述双端伸缩杆包括固定管以及固定安装在固定管两端的导向环,所述固定管通过固定条与安装板固接,所述固定管内壁套接有活动铁杆,所述活动铁杆与导向环的一侧通过第一弹簧弹性连接,所述固定管中部固定安装有电磁铁。
优选的,所述活动铁杆套接有第一弹簧,所述第一弹簧位于固定管内部,且第一弹簧两端分别与活动铁杆表面以及导向环一侧固接。
优选的,所述导热结构包括高导热陶瓷片和金属导热罩,所述金属导热罩固定安装在高导热陶瓷片顶部,且高导热陶瓷片底部与MOCVD加热器顶部固接,所述高导热陶瓷片的顶部设置有若干个第一导热凸起,所述金属导热罩的底部设置有若干个第二导热凸起。
优选的,所述保温罩由两个金属外壳和石棉填充层构成,所述石棉填充层设置在两个金属外壳之间。
优选的,所述排气结构包括排气扇以及固定安装在排气扇顶部的螺纹环,所述排气扇与顶盖中部固定嵌合连接,所述螺纹环的内壁开有内螺纹。
优选的,所述过滤结构包括活性炭过滤网,所述活性炭过滤网为圆盘型结构,且活性炭过滤网的边框外圈开有外螺纹。
优选的,所述把手的数目为两个,且两个把手固定安装在活性炭过滤网的顶部两侧,所述把手由直杆和固定球块固接而成,且直杆底端与活性炭过滤网固接。
优选的,一种带有导热热利用结构的MOCVD加热器源得出一种带有导热热利用结构的MOCVD加热器源的操作方法,其特征在于:所述操作方法包括如下步骤:
一、整体的安装,安装板与外部装置固接,为整个加热器源提供安装面,电磁铁通电,通过磁力对活动铁杆一端进行吸引,电磁铁与活动铁杆接触,活动铁杆一部分钻入固定管内部,同时第一弹簧受力拉伸变形,然后将承载板盖在安装板上,嵌合柱插入固定套中,对第二弹簧进行压缩,直到第二弹簧完全压缩,固定套上的通孔与嵌合柱的通孔对齐,电磁铁断电,通过第一弹簧的弹力,为活动铁杆提供驱动,插入通孔,进行限位,从而实现第二弹簧持续的压缩状态,完成安装;
二、内部加热,手握把手,转动活性炭过滤网,活性炭过滤网与螺纹环进行螺纹连接,翻转顶盖,打开金属导热罩顶部,将需要加热的物品放置在金属导热罩内部,MOCVD加热器进行加热,通过高导热陶瓷片和金属导热罩的传导,进行加热;
三、加热气体的外排,加热产生的气体,通过排气扇进行抽风,然后通过活性炭过滤网过滤,实现排出,完成排气。
本发明的有益效果是:
1、该种MOCVD加热器源通过两个平行设置的安装结构可便于MOCVD加热器源进行安装以及拆卸,从而便于进行维护和维修以及更换,避免损坏后,更换时间过长,而延长加热的时长;
2、该种MOCVD加热器源在进行加热时,通过导热结构的设置可进行热量的传导,传导的温度较均匀,可对金属导热罩的内部进行均匀加热,加热效果较好,从而避免出现受热不均的现象;
3、该种MOCVD加热器源在进行加热时,通过排气扇可进行产生气体的排出,同时可对排除的气体进行过滤处理,进行吸收,避免直接排到空气中,影响空气质量,同时活性炭过滤网通过螺纹进行连接,便于进行拆卸分离,便于更换。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动性的前提下,还可以根据这些附图获得其它的附图。
图1为本发明整体结构的立体图;
图2为本发明保温罩内部结构示意图;
图3为本发明MOCVD加热器顶部结构示意图;
图4为本发明安装结构侧视示意图;
图5为本发明保温罩结构示意图。
图中:1、安装板,2、固定条,3、固定管,4、电磁铁,5、导向环,6、活动铁杆,7、第一弹簧,8、第二弹簧,9、固定套,10、嵌合柱,11、承载板,12、MOCVD加热器,13、保温罩,1301,金属外壳,1302、石棉填充层, 14、高导热陶瓷片,1401、第一导热凸起,15、金属导热罩,1501、第二导热凸起,16、顶盖,17、排气扇,18、铰链,19、螺纹环,20、活性炭过滤网,21、直杆,22、固定球块,23、搭扣锁。
具体实施方式
为使得本发明的发明目的、特征、优点能够更加的明显和易懂,下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,下面所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而非全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例,都属于本发明保护的范围。
下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本发明的技术方案。
在本发明的描述中,需要理解的是,术语“上”、“下”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本发明和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本发明的限制。
请参阅图1-5所示,一种带有导热热利用结构的MOCVD加热器源,包括安装板1、承载板11以及固定安装在承载板11顶部的MOCVD加热器12,所述安装板1和承载板11之间设置有两个平行设置的安装结构;
所述MOCVD加热器12的顶部设置有导热结构,所述导热结构和MOCVD加热器12套接有保温罩13;
所述保温罩13顶部设置有可翻转的顶盖16,所述顶盖16的一侧通过铰链18与保温罩13顶部一侧连接,所述顶盖16与保温罩13之间安装有若干个搭扣锁23,所述顶盖16设置有排气结构,所述排气结构顶部设置有过滤结构,所述过滤结构上安装有把手。
所述安装结构包括双端伸缩杆以及两个固定套9,两个所述固定套9设置在双端伸缩杆的两端,且双端伸缩杆和固定套9均与安装板1固接,所述固定套9内部套接有嵌合柱10,且嵌合柱10与承载板11底部固接,所述嵌合柱10底部设置有第二弹簧8,所述固定套9和嵌合柱10的水平方向开有通孔,所述双端伸缩杆的两端与通孔配合连接,可实现安装,便于进行拆、装;所述双端伸缩杆包括固定管3以及固定安装在固定管3两端的导向环5,所述固定管3通过固定条2与安装板1固接,所述固定管3内壁套接有活动铁杆6,所述活动铁杆6与导向环5的一侧通过第一弹簧7弹性连接,所述固定管3 中部固定安装有电磁铁4,可进行两端的伸缩,可从通孔中插入和拔出;所述活动铁杆6套接有第一弹簧7,所述第一弹簧7位于固定管3内部,且第一弹簧7两端分别与活动铁杆6表面以及导向环5一侧固接,第一弹簧7实现活动铁杆6的弹性连接;所述导热结构包括高导热陶瓷片14和金属导热罩15,所述金属导热罩15固定安装在高导热陶瓷片14顶部,且高导热陶瓷片14底部与MOCVD加热器12顶部固接,所述高导热陶瓷片14的顶部设置有若干个第一导热凸起1401,所述金属导热罩15的底部设置有若干个第二导热凸起 1501,可进行导热,实现热量的传递;所述保温罩13由两个金属外壳1301 和石棉填充层1302构成,所述石棉填充层1302设置在两个金属外壳1301之间,可进行保温,减少热量的传出;所述排气结构包括排气扇17以及固定安装在排气扇17顶部的螺纹环19,所述排气扇17与顶盖16中部固定嵌合连接,所述螺纹环19的内壁开有内螺纹,可与活性炭过滤网20螺纹连接;所述过滤结构包括活性炭过滤网20,所述活性炭过滤网20为圆盘型结构,且活性炭过滤网20的边框外圈开有外螺纹,与内螺纹相匹配,可进行螺纹连接;所述把手的数目为两个,且两个把手固定安装在活性炭过滤网20的顶部两侧,所述把手由直杆21和固定球块22固接而成,且直杆21底端与活性炭过滤网20 固接,把手便于进行活性炭过滤网20的转动。
一种带有导热热利用结构的MOCVD加热器源得出一种带有导热热利用结构的MOCVD加热器源的操作方法,其特征在于:所述操作方法包括如下步骤:
一、整体的安装,安装板1与外部装置固接,为整个加热器源提供安装面,电磁铁4通电,通过磁力对活动铁杆6一端进行吸引,电磁铁4与活动铁杆6接触,活动铁杆6一部分钻入固定管3内部,同时第一弹簧7受力拉伸变形,然后将承载板11盖在安装板1上,嵌合柱10插入固定套9中,对第二弹簧8进行压缩,直到第二弹簧8完全压缩,固定套9上的通孔与嵌合柱10的通孔对齐,电磁铁4断电,通过第一弹簧7的弹力,为活动铁杆6提供驱动,插入通孔,进行限位,从而实现第二弹簧8持续的压缩状态,完成安装;
二、内部加热,手握把手,转动活性炭过滤网20,活性炭过滤网20与螺纹环19进行螺纹连接,翻转顶盖16,打开金属导热罩15顶部,将需要加热的物品放置在金属导热罩15内部,MOCVD加热器12进行加热,通过高导热陶瓷片14和金属导热罩15的传导,进行加热;
三、加热气体的外排,加热产生的气体,通过排气扇17进行抽风,然后通过活性炭过滤网20过滤,实现排出,完成排气。
涉及到电路和电子元器件和模块均为现有技术,本领域技术人员完全可以实现,无需赘言,本发明保护的内容也不涉及对于软件和方法的改进。
对于本领域技术人员而言,显然本发明不限于上述示范性实施例的细节,而且在不背离本发明的精神或基本特征的情况下,能够以其他的具体形式实现本发明。因此,无论从哪一点来看,均应将实施例看作是示范性的,而且是非限制性的,本发明的范围由所附权利要求而不是上述说明限定,因此旨在将落在权利要求的得同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
以上所述,以上实施例仅用以说明本发明的技术方案,而非对其限制;尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明,本领域的普通技术人员应当理解:其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分技术特征进行等同替换;而这些修改或者替换,并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的精神和范围。

Claims (10)

1.一种带有导热热利用结构的MOCVD加热器源,其特征在于:包括安装板(1)、承载板(11)以及固定安装在承载板(11)顶部的MOCVD加热器(12),所述安装板(1)和承载板(11)之间设置有两个平行设置的安装结构;
所述MOCVD加热器(12)的顶部设置有导热结构,所述导热结构和MOCVD加热器(12)套接有保温罩(13);
所述保温罩(13)顶部设置有可翻转的顶盖(16),所述顶盖(16)的一侧通过铰链(18)与保温罩(13)顶部一侧连接,所述顶盖(16)与保温罩(13)之间安装有若干个搭扣锁(23),所述顶盖(16)设置有排气结构,所述排气结构顶部设置有过滤结构,所述过滤结构上安装有把手。
2.根据权利要求1所述的一种带有导热热利用结构的MOCVD加热器源,其特征在于:所述安装结构包括双端伸缩杆以及两个固定套(9),两个所述固定套(9)设置在双端伸缩杆的两端,且双端伸缩杆和固定套(9)均与安装板(1)固接,所述固定套(9)内部套接有嵌合柱(10),且嵌合柱(10)与承载板(11)底部固接,所述嵌合柱(10)底部设置有第二弹簧(8),所述固定套(9)和嵌合柱(10)的水平方向开有通孔,所述双端伸缩杆的两端与通孔配合连接。
3.根据权利要求1所述的一种带有导热热利用结构的MOCVD加热器源,其特征在于:所述双端伸缩杆包括固定管(3)以及固定安装在固定管(3)两端的导向环(5),所述固定管(3)通过固定条(2)与安装板(1)固接,所述固定管(3)内壁套接有活动铁杆(6),所述活动铁杆(6)与导向环(5)的一侧通过第一弹簧(7)弹性连接,所述固定管(3)中部固定安装有电磁铁(4)。
4.根据权利要求1所述的一种带有导热热利用结构的MOCVD加热器源,其特征在于:所述活动铁杆(6)套接有第一弹簧(7),所述第一弹簧(7)位于固定管(3)内部,且第一弹簧(7)两端分别与活动铁杆(6)表面以及导向环(5)一侧固接。
5.根据权利要求1所述的一种带有导热热利用结构的MOCVD加热器源,其特征在于:所述导热结构包括高导热陶瓷片(14)和金属导热罩(15),所述金属导热罩(15)固定安装在高导热陶瓷片(14)顶部,且高导热陶瓷片(14)底部与MOCVD加热器(12)顶部固接,所述高导热陶瓷片(14)的顶部设置有若干个第一导热凸起(1401),所述金属导热罩(15)的底部设置有若干个第二导热凸起(1501)。
6.根据权利要求1所述的一种带有导热热利用结构的MOCVD加热器源,其特征在于:所述保温罩(13)由两个金属外壳(1301)和石棉填充层(1302)构成,所述石棉填充层(1302)设置在两个金属外壳(1301)之间。
7.根据权利要求1所述的一种带有导热热利用结构的MOCVD加热器源,其特征在于:所述排气结构包括排气扇(17)以及固定安装在排气扇(17)顶部的螺纹环(19),所述排气扇(17)与顶盖(16)中部固定嵌合连接,所述螺纹环(19)的内壁开有内螺纹。
8.根据权利要求1所述的一种带有导热热利用结构的MOCVD加热器源,其特征在于:所述过滤结构包括活性炭过滤网(20),所述活性炭过滤网(20)为圆盘型结构,且活性炭过滤网(20)的边框外圈开有外螺纹。
9.根据权利要求1所述的一种带有导热热利用结构的MOCVD加热器源,其特征在于:所述把手的数目为两个,且两个把手固定安装在活性炭过滤网(20)的顶部两侧,所述把手由直杆(21)和固定球块(22)固接而成,且直杆(21)底端与活性炭过滤网(20)固接。
10.根据权利要求1-9所述的一种带有导热热利用结构的MOCVD加热器源得出一种带有导热热利用结构的MOCVD加热器源的操作方法,其特征在于:所述操作方法包括如下步骤:
一、整体的安装,安装板(1)与外部装置固接,为整个加热器源提供安装面,电磁铁(4)通电,通过磁力对活动铁杆(6)一端进行吸引,电磁铁(4)与活动铁杆(6)接触,活动铁杆(6)一部分钻入固定管(3)内部,同时第一弹簧(7)受力拉伸变形,然后将承载板(11)盖在安装板(1)上,嵌合柱(10)插入固定套(9)中,对第二弹簧(8)进行压缩,直到第二弹簧(8)完全压缩,固定套(9)上的通孔与嵌合柱(10)的通孔对齐,电磁铁(4)断电,通过第一弹簧(7)的弹力,为活动铁杆(6)提供驱动,插入通孔,进行限位,从而实现第二弹簧(8)持续的压缩状态,完成安装;
二、内部加热,手握把手,转动活性炭过滤网(20),活性炭过滤网(20)与螺纹环(19)进行螺纹连接,翻转顶盖(16),打开金属导热罩(15)顶部,将需要加热的物品放置在金属导热罩(15)内部,MOCVD加热器(12)进行加热,通过高导热陶瓷片(14)和金属导热罩(15)的传导,进行加热;
三、加热气体的外排,加热产生的气体,通过排气扇(17)进行抽风,然后通过活性炭过滤网(20)过滤,实现排出,完成排气。
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