CN110653772A

CN110653772A - 一种单晶硅热场坩埚检修设备

Info

Publication number: CN110653772A
Application number: CN201910910318.6A
Authority: CN
Inventors: 狄志宇
Original assignee: Datong Xincheng New Material Co Ltd
Current assignee: Datong Xincheng New Material Co Ltd
Priority date: 2019-09-25
Filing date: 2019-09-25
Publication date: 2020-01-07

Abstract

本发明涉及附属装置的技术领域，特别是涉及一种单晶硅热场坩埚检修设备，其放置板支撑高度能够方便根据当下整体使用需要进行调节，从而提高其适应能力，降低使用局限性；包括底板和放置板；还包括齿轮、两组齿条、两组调节架、连接杆和移动杆，还包括转把、转动块和转动轴，底板纵向设置有第一通槽，并在第一通槽内侧壁可转动固定有第一滚珠组，转动轴外侧固定套设有两组固定环，两组固定环内侧均设置有滚动轮组，齿轮底端左侧和右侧均设置有滚轮，且两组滚轮的底端均与底板顶端贴紧接触，还包括两组固定板、两组丝杠和两组夹块，两组丝杠的外端均设置有限位块，转动块位于两组夹块之间。

Description

一种单晶硅热场坩埚检修设备

技术领域

本发明涉及附属装置的技术领域，特别是涉及一种单晶硅热场坩埚检修设备。

背景技术

众所周知，单晶硅热场坩埚检修设备是一种用于单晶硅热场坩埚使用过程中，对损坏的进行坩埚进行支撑放置，使其更好进行人工维修的辅助装置，其在坩埚检修的领域中得到了广泛的使用；现有的单晶硅热场坩埚检修设备包括底板和放置板，放置板安装在底板顶端；现有的单晶硅热场坩埚检修设备使用时，通过放置板对损坏的进行坩埚进行支撑放置即可；现有的单晶硅热场坩埚检修设备使用中发现，其放置板支撑高度固定，不能方便根据当下整体使用需要进行调节，从而导致其适应能力较差，使用局限性较高。

发明内容

为解决上述技术问题，本发明提供一种其放置板支撑高度能够方便根据当下整体使用需要进行调节，从而提高其适应能力，降低使用局限性的单晶硅热场坩埚检修设备。

本发明的一种单晶硅热场坩埚检修设备，包括底板和放置板；还包括齿轮、两组齿条、两组调节架、连接杆和移动杆，两组齿条分别位于齿轮前后两侧且均与齿轮啮合，两组调节架一端分别与两组齿条一端轴连接，两组调节架另一端分别与连接杆前后两端轴连接，移动杆安装在连接杆顶端，移动杆顶端与放置板底端中心连接，两组调节架相互交错，还包括转把、转动块和转动轴，齿轮安装在转动轴顶端，转把可转动固定在转动块底端，转动轴底端与转动块顶端连接，底板纵向设置有第一通槽，并在第一通槽内侧壁可转动固定有第一滚珠组，转动轴顶端穿过第一滚珠组并伸出至底板上方，转动轴外侧固定套设有两组固定环，两组固定环内侧均设置有滚动轮组，两组滚动轮组分别与底板顶底两侧贴紧接触，齿轮底端左侧和右侧均设置有滚轮，且两组滚轮的底端均与底板顶端贴紧接触，还包括两组固定板、两组丝杠和两组夹块，两组固定板分别安装在底板底端左右两侧，两组丝杠的内端分别螺装穿过两组固定板外侧并均螺穿出至两组固定板内侧且分别与两组夹块连接，两组丝杠的外端均设置有限位块，转动块位于两组夹块之间。

优选的，还包括两组固定条和两组支座组，两组固定条分别通过两组支座组安装在底板顶端前后两方，且两组固定条内侧横向均设置有滑动槽，两组滑动槽内侧横向均设置有滑轨，并在两组滑轨处均可滑动固定有滑杆，两组滑杆分别安装在两组齿条外侧中心，两组齿条上下两侧均连接有移动轮组，四组移动轮组分别与两组固定条内顶侧壁和内底侧壁贴紧接触。

优选的，还包括滑轮组、限位环和限位杆组，限位环套设在移动杆外侧，限位杆组一端与限位环连接，限位杆组另一端与底板顶端连接，滑轮组一端与限位环内侧连接，滑轮组另一端与移动杆外侧贴紧接触。

优选的，还包括放置盘和“十”字型分隔板，“十”字型分隔板安装在放置盘顶端。

优选的，还包括转轴，放置板顶端设置有转动槽，转轴底端设置有转动片，转动片位于转动槽内部，且转动片可相对转动槽旋转，转轴顶端与放置盘底端中心连接。

优选的，还包括两组上连接块、四组套簧、四组可伸缩管、两组下连接块、环形铁板和环形吸铁石板，环形铁板可转动套装在转轴外侧，环形吸铁石板固定套装在转轴外侧，两组上连接块的顶端分别安装在环形铁板底端左前侧、右前侧、左后侧和右后侧，四组套簧的一端分别与两组上连接块连接，四组套簧的另一端分别与两组下连接块连接，四组可伸缩管的一端分别与两组上连接块连接，四组可伸缩管的另一端分别与两组下连接块连接，四组套簧分别套装在四组可伸缩管外侧，两组下连接块均安装在放置板的顶端，环形铁板和环形吸铁石板相互吸附。

优选的，还包括四组连接弹簧，四组连接弹簧的顶端分别安装在放置板底端左前侧、右前侧、左后侧和右后侧，四组连接弹簧的底端均安装在底板顶端。

优选的，底板底端左右两侧均连接有支板，两组支板的底端均连接有防滑垫。

与现有技术相比本发明的有益效果为：能够通过手动转动转把，使其带动齿轮进行转动，两组齿条配合齿轮进行反向横移，此时带动两组调节架进行纵向移动，放置板支撑高度能够方便根据当下整体使用需要进行调节，从而提高其适应能力，降低使用局限性，与此同时，转把可自转的设计使其转动更加省力，第一滚珠组辅助转动轴转动更加可靠，两组滚轮方便转动并提高支撑效果，滚动轮组辅助转动并提高支撑效果，还可以对转动轴进行纵向限位，使其仅仅转动而不纵向移动。

附图说明

图1是本发明的结构示意图；

图2是齿轮和齿条连接的俯视图；

图3是位于前侧的固定条的右视图；

图4是图1的A部局部放大图；

图5是图1的B部局部放大图；

图6是图1的C部局部放大图；

附图中标记：1、底板；2、放置板；3、齿轮；4、齿条；5、调节架；6、连接杆；7、移动杆；8、转把；9、转动块；10、转动轴；11、固定环；12、滚动轮组；13、滚轮；14、固定板；15、丝杠；16、夹块；17、限位块；18、固定条；19、支座组；20、滑杆；21、移动轮组；22、滑轮组；23、限位环；24、限位杆组；25、放置盘；26、“十”字型分隔板；27、挂孔组；28、转轴；29、转动片；30、套簧；31、环形铁板；32、环形吸铁石板；33、连接弹簧；34、支板；35、防滑垫。

具体实施方式

下面结合附图和实施例，对本发明的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本发明，但不用来限制本发明的范围。

如图1至图6所示，本发明的一种单晶硅热场坩埚检修设备，包括底板1和放置板2；还包括齿轮3、两组齿条4、两组调节架5、连接杆6和移动杆7，两组齿条4分别位于齿轮3前后两侧且均与齿轮3啮合，两组调节架5一端分别与两组齿条4一端轴连接，两组调节架5另一端分别与连接杆6前后两端轴连接，移动杆7安装在连接杆6顶端，移动杆7顶端与放置板2底端中心连接，两组调节架5相互交错，还包括转把8、转动块9和转动轴10，齿轮3安装在转动轴10顶端，转把8可转动固定在转动块9底端，转动轴10底端与转动块9顶端连接，底板1纵向设置有第一通槽，并在第一通槽内侧壁可转动固定有第一滚珠组，转动轴10顶端穿过第一滚珠组并伸出至底板1上方，转动轴10外侧固定套设有两组固定环11，两组固定环11内侧均设置有滚动轮组12，两组滚动轮组12分别与底板1顶底两侧贴紧接触，齿轮3底端左侧和右侧均设置有滚轮13，且两组滚轮13的底端均与底板1顶端贴紧接触，还包括两组固定板14、两组丝杠15和两组夹块16，两组固定板14分别安装在底板1底端左右两侧，两组丝杠15的内端分别螺装穿过两组固定板14外侧并均螺穿出至两组固定板14内侧且分别与两组夹块16连接，两组丝杠15的外端均设置有限位块17，转动块9位于两组夹块16之间，手动转动转把8，使其带动齿轮3进行转动，两组齿条4配合齿轮3进行反向横移，此时带动两组调节架5进行纵向移动，放置板2支撑高度能够方便根据当下整体使用需要进行调节，从而提高其适应能力，降低使用局限性，与此同时，转把8可自转的设计使其转动更加省力，第一滚珠组辅助转动轴10转动更加可靠，两组滚轮13方便转动并提高支撑效果，滚动轮组12辅助转动并提高支撑效果，还可以对转动轴10进行纵向限位，使其仅仅转动而不纵向移动，还包括两组固定条18和两组支座组19，两组固定条18分别通过两组支座组19安装在底板1顶端前后两方，且两组固定条18内侧横向均设置有滑动槽，两组滑动槽内侧横向均设置有滑轨，并在两组滑轨处均可滑动固定有滑杆20，两组滑杆20分别安装在两组齿条4外侧中心，两组齿条4上下两侧均连接有移动轮组21，四组移动轮组21分别与两组固定条18内顶侧壁和内底侧壁贴紧接触，两组固定条18和两组支座组19方便对两组齿条4进行支撑，滑轨方便齿条4滑动更加稳定，移动轮组21辅助齿条4仅仅横向滑动而不纵向移动，还包括滑轮组22、限位环23和限位杆组24，限位环23套设在移动杆7外侧，限位杆组24一端与限位环23连接，限位杆组24另一端与底板1顶端连接，滑轮组22一端与限位环23内侧连接，滑轮组22另一端与移动杆7外侧贴紧接触，限位杆组24限定限位环23的位置，可以通过限位环23对移动杆7转动起到一定的限位作用，提高使用可靠性，减少移动杆7的晃动，滑轮组22辅助转动更加顺滑并提高支撑效果，还包括放置盘25和“十”字型分隔板26，“十”字型分隔板26安装在放置盘25顶端，“十”字型分隔板26上设置有挂孔组27，放置盘25对检修工具进行盛放，并方便通过“十”字型分隔板26对其进行分类盛放，挂孔组27方便对检修工具进行挂装，还包括转轴28，放置板2顶端设置有转动槽，转轴28底端设置有转动片29，转动片29位于转动槽内部，且转动片29可相对转动槽旋转，转轴28顶端与放置盘25底端中心连接，手动转动转轴28配合转动片29可相对转动槽旋转的设计使放置盘25上放置的检修工具进行转动，将后方的检修工具转至前侧，方便进行取放，提高其适应能力，还包括两组上连接块、四组套簧30、四组可伸缩管、两组下连接块、环形铁板31和环形吸铁石板32，环形铁板31可转动套装在转轴28外侧，环形吸铁石板32固定套装在转轴28外侧，两组上连接块的顶端分别安装在环形铁板31底端左前侧、右前侧、左后侧和右后侧，四组套簧30的一端分别与两组上连接块连接，四组套簧30的另一端分别与两组下连接块连接，四组可伸缩管的一端分别与两组上连接块连接，四组可伸缩管的另一端分别与两组下连接块连接，四组套簧30分别套装在四组可伸缩管外侧，两组下连接块均安装在放置板2的顶端，环形铁板31和环形吸铁石板32相互吸附，环形铁板31和环形吸铁石板32相互吸附方便对转轴28进行限位，在转轴28转动时，通过手动挤压四组套簧30使环形铁板31和环形吸铁石板32不再相互吸附，方便转轴28再次转动，四组可伸缩管辅助四组套簧30在支撑时不易扭曲变形，还包括四组连接弹簧33，四组连接弹簧33的顶端分别安装在放置板2底端左前侧、右前侧、左后侧和右后侧，四组连接弹簧33的底端均安装在底板1顶端，四组连接弹簧33方便调节和提高支撑效果，底板1底端左右两侧均连接有支板34，两组支板34的底端均连接有防滑垫35，两组支板34方便支撑并为转把8使用预留空间，方便转把8正常使用，防滑垫35方便防滑，提高支撑稳定性。

本发明的一种单晶硅热场坩埚检修设备，以上所述所有部件的安装方式、连接方式或设置方式均为焊接、铆接或其他常见机械方式，其中可滑动/转动固定即为滑动/转动状态下不脱落，密封连通即两连接件连通的同时进行密封，并且其所有部件的具体结构、型号和系数指标均为其自带技术，只要能够达成其有益效果的均可进行实施，上述所有用电模块及用电器均为市面常见电器件，买回使用时仅需按照一同购回的使用说明书相互电连接即可进行使用，且控制模块为其常见自带模块，故均在此不再赘述。

本发明的一种单晶硅热场坩埚检修设备，在未作相反说明的情况下，“上下左右、前后内外以及垂直水平”等包含在术语中的方位词仅代表该术语在常规使用状态下的方位，或为本领域技术人员理解的俗称，而不应视为对该术语的限制，与此同时，“第一”、“第二”和“第三”等数列名词不代表具体的数量及顺序，仅仅是用于名称的区分，而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明技术原理的前提下，还可以做出若干改进和变型，这些改进和变型也应视为本发明的保护范围。

Claims

1.一种单晶硅热场坩埚检修设备，包括底板（1）和放置板（2）；其特征在于，还包括齿轮（3）、两组齿条（4）、两组调节架（5）、连接杆（6）和移动杆（7），两组齿条（4）分别位于齿轮（3）前后两侧且均与齿轮（3）啮合，两组调节架（5）一端分别与两组齿条（4）一端轴连接，两组调节架（5）另一端分别与连接杆（6）前后两端轴连接，移动杆（7）安装在连接杆（6）顶端，移动杆（7）顶端与放置板（2）底端中心连接，两组调节架（5）相互交错，还包括转把（8）、转动块（9）和转动轴（10），齿轮（3）安装在转动轴（10）顶端，转把（8）可转动固定在转动块（9）底端，转动轴（10）底端与转动块（9）顶端连接，底板（1）纵向设置有第一通槽，并在第一通槽内侧壁可转动固定有第一滚珠组，转动轴（10）顶端穿过第一滚珠组并伸出至底板（1）上方，转动轴（10）外侧固定套设有两组固定环（11），两组固定环（11）内侧均设置有滚动轮组（12），两组滚动轮组（12）分别与底板（1）顶底两侧贴紧接触，齿轮（3）底端左侧和右侧均设置有滚轮（13），且两组滚轮（13）的底端均与底板（1）顶端贴紧接触，还包括两组固定板（14）、两组丝杠（15）和两组夹块（16），两组固定板（14）分别安装在底板（1）底端左右两侧，两组丝杠（15）的内端分别螺装穿过两组固定板（14）外侧并均螺穿出至两组固定板（14）内侧且分别与两组夹块（16）连接，两组丝杠（15）的外端均设置有限位块（17），转动块（9）位于两组夹块（16）之间。

2.如权利要求1所述的一种单晶硅热场坩埚检修设备，其特征在于，还包括两组固定条（18）和两组支座组（19），两组固定条（18）分别通过两组支座组（19）安装在底板（1）顶端前后两方，且两组固定条（18）内侧横向均设置有滑动槽，两组滑动槽内侧横向均设置有滑轨，并在两组滑轨处均可滑动固定有滑杆（20），两组滑杆（20）分别安装在两组齿条（4）外侧中心，两组齿条（4）上下两侧均连接有移动轮组（21），四组移动轮组（21）分别与两组固定条（18）内顶侧壁和内底侧壁贴紧接触。

3.如权利要求2所述的一种单晶硅热场坩埚检修设备，其特征在于，还包括滑轮组（22）、限位环（23）和限位杆组（24），限位环（23）套设在移动杆（7）外侧，限位杆组（24）一端与限位环（23）连接，限位杆组（24）另一端与底板（1）顶端连接，滑轮组（22）一端与限位环（23）内侧连接，滑轮组（22）另一端与移动杆（7）外侧贴紧接触。

4.如权利要求3所述的一种单晶硅热场坩埚检修设备，其特征在于，还包括放置盘（25）和“十”字型分隔板（26），“十”字型分隔板（26）安装在放置盘（25）顶端，“十”字型分隔板（26）上设置有挂孔组（27）。

5.如权利要求4所述的一种单晶硅热场坩埚检修设备，其特征在于，还包括转轴（28），放置板（2）顶端设置有转动槽，转轴（28）底端设置有转动片（29），转动片（29）位于转动槽内部，且转动片（29）可相对转动槽旋转，转轴（28）顶端与放置盘（25）底端中心连接。

6.如权利要求5所述的一种单晶硅热场坩埚检修设备，其特征在于，还包括两组上连接块、四组套簧（30）、四组可伸缩管、两组下连接块、环形铁板（31）和环形吸铁石板（32），环形铁板（31）可转动套装在转轴（28）外侧，环形吸铁石板（32）固定套装在转轴（28）外侧，两组上连接块的顶端分别安装在环形铁板（31）底端左前侧、右前侧、左后侧和右后侧，四组套簧（30）的一端分别与两组上连接块连接，四组套簧（30）的另一端分别与两组下连接块连接，四组可伸缩管的一端分别与两组上连接块连接，四组可伸缩管的另一端分别与两组下连接块连接，四组套簧（30）分别套装在四组可伸缩管外侧，两组下连接块均安装在放置板（2）的顶端，环形铁板（31）和环形吸铁石板（32）相互吸附。

7.如权利要求6所述的一种单晶硅热场坩埚检修设备，其特征在于，还包括四组连接弹簧（33），四组连接弹簧（33）的顶端分别安装在放置板（2）底端左前侧、右前侧、左后侧和右后侧，四组连接弹簧（33）的底端均安装在底板（1）顶端。

8.如权利要求7所述的一种单晶硅热场坩埚检修设备，其特征在于，底板（1）底端左右两侧均连接有支板（34），两组支板（34）的底端均连接有防滑垫（35）。