CN110508552A - 一种表面附氧化物的原生硅料的处理方法 - Google Patents

一种表面附氧化物的原生硅料的处理方法 Download PDF

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张群
黄林
孟涛
张志强
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Abstract

本发明公开了一种表面附着氧化物的原生硅料的处理方法,采用两步酸洗,第一步酸洗混合酸中氢氟酸和硝酸体积比较小,反应时间较长、反应温度较高,第二步酸洗混合酸中氢氟酸和硝酸体积比较大,反应时间较短、反应温度较低,硅料与第一混合酸快速剧烈的反应,表面附着的异色氧化物能有效地彻底去除干净,在反应结束后,受配比和反应温度的影响,硅料提出酸液的瞬间表面极易产生酸斑,即表面形成新的氧化物杂质,此时再进入反应更为平缓的第二混合酸液中去除。经过两步酸洗,彻底去除了硅料表面的氧化物杂质,提高了硅料清洗质量,杜绝了硅料表面的非硅杂质引入到晶锭中,达到了正常投炉用料要求。

Description

一种表面附氧化物的原生硅料的处理方法
技术领域
本发明涉及太阳能多晶硅铸锭领域,主要涉及硅料处理工序的硅料清洗技术。
背景技术
原生硅料生产出现异常时,容易造成硅料表面附有发黄、发绿或发黑等异色的氧化物,这些氧化物为非硅杂质,这种硅料一般低价出售给多晶铸锭公司使用。
目前各家公司购买该类硅料后主要按如下方案处理使用:
1.不清洗,直接限量使用。这种处理方式把硅料表面的非硅杂质引入到了晶锭中,存在一定的质量风险,且限量使用,成本下降幅度受限;
2.按正常原生硅料清洗工艺处理,清洗效果不佳,绝大部分硅料表面依然附着氧化物,合格率低,严重影响清洗产能及增加处理成本;
3.直接用于提纯,增加了提纯成本,没有起到降低成本的目的。
发明内容
本发明的目的是提供一种表面附着氧化物的原生硅料的处理方法,实现对硅料表面氧化物的有效清洗,降低处理成本。
本发明具体采用如下技术方案:
一种表面附着氧化物的原生硅料的处理方法,包括如下步骤:
步骤1.配制第一混合酸,第一混合酸为质量浓度为47%氢氟酸和质量浓度为65%硝酸按体积比1:3~1:4.5配制而成,把待酸洗的硅料浸没在第一混合酸中,反应过程中不断搅动硅料,确保腐蚀充分。
步骤2.配制第二混合酸,第二混合酸为质量浓度为47%氢氟酸和质量浓度为65%硝酸按体积比1:10~1:15配制而成,把硅料从第一混合酸中迅速转移至第二混合酸中,反应过程中不断搅动硅料,彻底去除硅料表面的氧化物;
步骤3.反应结束后进行纯水漂洗、超声波清洗、烘干、分选和包装。
优选地,第一混合酸酸洗时间为3-6min,反应温度控制在30-40℃。
优选地,第二混合酸酸洗时间为20-50S,反应温度控制在20-30℃。
现有酸洗方法为混合酸为质量浓度为47%氢氟酸和质量浓度为65%硝酸按体积比1:6~1:8配制而成,反应较为平缓,硅料表面附着的异色氧化物清洗效果不佳,清洗合格率低,现有酸洗方法无法完全去除干净,需不断的反复清洗。本发明处理方法采用两步酸洗,第一步酸洗混合酸中氢氟酸和硝酸体积比较小,反应时间较长、反应温度较高,第二步酸洗混合酸中氢氟酸和硝酸体积比较大,反应时间较短、反应温度较低,硅料与第一混合酸快速剧烈的反应,表面附着的异色氧化物能有效地彻底去除干净,在反应结束后,受配比和反应温度的影响,硅料提出酸液的瞬间表面极易产生酸斑,即表面形成新的氧化物杂质,此时再进入反应更为平缓的第二混合酸液中去除。经过两步酸洗,彻底去除了硅料表面的氧化物杂质。
本发明的有益效果:
1.有利于提高硅料清洗质量,杜绝了硅料表面的非硅杂质引入到晶锭中,达到了正常投炉用料要求;
2.有利于提高硅料清洗合格率,降低硅料处理成本。
具体实施方式
实施例1
一种表面附着氧化物的原生硅料的处理方法,包括如下步骤:
1.选取硅料表面附有异色氧化物的硅料,在第一槽酸槽中配制第一混合酸,第一混合酸为质量浓度为47%氢氟酸和质量浓度为65%硝酸按体积比1:3配制而成,把待酸洗的硅料浸没在第一混合酸中,酸洗时间为6min,反应温度控制在35℃,反应过程中需不断搅动硅料,确保腐蚀充分,去除硅料表面附着的异色氧化物;
2.在第二槽酸槽中配制第二混合酸,第二混合酸为质量浓度为47%氢氟酸和质量浓度为65%硝酸按体积比1:15配制而成,把硅料从第一槽酸中迅速转移至第二槽酸中,酸洗时间为20S,反应温度控制在30℃,并不断搅动硅料,彻底去除硅料表面的氧化物;
3.反应结束后,和正常清洗工艺一样进行纯水漂洗、超声波清洗、烘干、分选和包装。
实施例2
一种表面附着氧化物的原生硅料的处理方法,包括如下步骤:
1.选取硅料表面附有异色氧化物的硅料,在第一槽酸槽中配制第一混合酸,第一混合酸为质量浓度为47%氢氟酸和质量浓度为65%硝酸按体积比1:4配制而成,把待酸洗的硅料浸没在第一混合酸中,酸洗时间为4min,反应温度控制在30℃,反应过程中需不断搅动硅料,确保腐蚀充分,去除硅料表面附着的异色氧化物;
2.在第二槽酸槽中配制第二混合酸,第二混合酸为质量浓度为47%氢氟酸和质量浓度为65%硝酸按体积比1:10配制而成,把硅料从第一槽酸中迅速转移至第二槽酸中,酸洗时间为40S,反应温度控制在25℃,并不断搅动硅料,彻底去除硅料表面的氧化物;
3.反应结束后,和正常清洗工艺一样进行纯水漂洗、超声波清洗、烘干、分选和包装。
实施例3
一种表面附着氧化物的原生硅料的处理方法,包括如下步骤:
1.选取硅料表面附有异色氧化物的硅料,在第一槽酸槽中配制第一混合酸,第一混合酸为质量浓度为47%氢氟酸和质量浓度为65%硝酸按体积比1:4.5配制而成,把待酸洗的硅料浸没在第一混合酸中,酸洗时间为3min,反应温度控制在40℃,反应过程中需不断搅动硅料,确保腐蚀充分,去除硅料表面附着的异色氧化物;
2.在第二槽酸槽中配制第二混合酸,第二混合酸为质量浓度为47%氢氟酸和质量浓度为65%硝酸按体积比1:12配制而成,把硅料从第一槽酸中迅速转移至第二槽酸中,酸洗时间为50S,反应温度控制在20℃,并不断搅动硅料,彻底去除硅料表面的氧化物;
3.反应结束后,和正常清洗工艺一样进行纯水漂洗、超声波清洗、烘干、分选和包装。

Claims (3)

1.一种表面附着氧化物的原生硅料的处理方法,其特征在于包括如下步骤:
步骤1.配制第一混合酸,第一混合酸为质量浓度为47%氢氟酸和质量浓度为65%硝酸按体积比1:3~1:4.5配制而成,把待酸洗的硅料浸没在第一混合酸中,反应过程中不断搅动硅料,确保腐蚀充分,去除硅料表面附着的异色氧化物;
步骤2.配制第二混合酸,第二混合酸为质量浓度为47%氢氟酸和质量浓度为65%硝酸按体积比1:10~1:15配制而成,把硅料从第一混合酸中迅速转移至第二混合酸中,反应过程中不断搅动硅料,彻底去除硅料表面的氧化物;
步骤3.反应结束后进行纯水漂洗、超声波清洗、烘干、分选和包装。
2.如权利要求1所述的表面附着氧化物的原生硅料的处理方法,其特征在于第一混合酸酸洗时间为3-6min,反应温度控制在30-40℃。
3.如权利要求1所述的表面附着氧化物的原生硅料的处理方法,其特征在于第二混合酸酸洗时间为20-50S,反应温度控制在20-30℃。
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