CN110402034B - 一种提高pcb图形电镀面均性的方法 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种提高PCB图形电镀面均性的方法,包括:步骤1,将显影后的基板放入治具,并传送到前处理装置中;步骤2,将前处理装置抽真空;步骤3,等离子处理前处理装置;步骤4,将治具传送到治具脱着装置,使基板与治具分离;步骤5,将基板垂直安装在挂具上,且在所述PCB基板边缘设置辅助阴极;步骤6,将基板放到10%硫酸中浸渍7min;步骤7,配置镀铜液并放入镀铜槽中,再将基板浸入镀铜槽镀铜;步骤8,将基板移出镀铜槽并4级水洗;步骤9,完成电镀。本发明的方法可在板面和激光孔内形成厚度均匀的加厚铜层。

Description

一种提高PCB图形电镀面均性的方法
技术领域
本发明涉及PCB技术领域,具体而言,涉及一种提高PCB图形电镀面均性的方法。
背景技术
PCB图形电镀是利用电镀的方法进行板面和孔内的铜层加厚,并使激光孔全部填满铜,形成层间导体。现有的图形电镀工艺,由于工艺方法不合理,存在以下不足:
(1)没有专用搬送治具,使基板图形直接与设备接触,导致基板上粘上异物,产生断线、缺口和堵孔;
(2)没有等离子处理,使种子铜层和护铜干膜表面同药液接触不充分,产生镀铜不均和断线;
(3)没有辅助阴极或设置不合理,导致基板中央和周边的镀厚不均匀,或者基板边缘产生毛刺;
(4)镀铜槽内的喷流装置设置不合理,导致激光孔不能填满或者产生凹陷;
(5)镀铜药液中的添加剂成分和浓度设定不合理,导致镀铜粗糙、激光孔凹陷和板面不均。
发明内容
为解决上述问题,本发明的目的在于提供一种提高PCB图形电镀面均性的方法,可在板面和激光孔内形成符合厚度要求且全板均匀的加厚铜层。
本发明提供了一种提高PCB图形电镀面均性的方法,包括以下步骤:
步骤1,上料:将显影后的PCB基板放入治具,并将所述治具传送到前处理装置中;
步骤2,抽真空:将前处理装置抽真空;
步骤3,等离子处理:采用等离子处理机对抽真空后的前处理装置进行等离子处理;
步骤4,基板分离:在前处理装置中,将所述治具传送到治具脱着装置,使所述PCB基板与所述治具分离;
步骤5,装板:将所述PCB基板垂直安装在前处理装置的挂具上,且在所述PCB基板边缘设置辅助阴极;
步骤6,浸酸:将挂具上的PCB基板放到前处理装置中预先配置的10%硫酸溶液中,浸渍7min,去除所述PCB基板表面氧化膜;
步骤7,镀铜:配置镀铜液,并将镀铜液放入前处理装置的镀铜槽中,再将挂具上的PCB基板浸入所述镀铜槽,开始镀铜使激光孔全部填满铜,形成层间导体;
步骤8,水洗:将所述PCB基板移出所述镀铜槽,通过4级水洗将所述PCB基板表面的残余镀铜液彻底洗净;
步骤9,完成电镀,从前处理装置中取出所述PCB基板。
作为本发明进一步的改进,所述步骤1中,所述治具为回型结构,所述PCB基板放置在所述治具的中间部位,所述治具内侧的两个相对边缘分别设置有多个夹锁装置,所述PCB基板的两个边缘通过多个夹锁装置固定在所述治具上。
作为本发明进一步的改进,所述治具的材料采用316不锈钢。
作为本发明进一步的改进,所述步骤3中,在等离子处理时,将O2供给压力控制为0.2~0.3MPa,Ar供给压力控制为0.2~0.3MPa,入射电力控制为2.6±0.1KW。
作为本发明进一步的改进,所述步骤5中,每个挂具上下横梁上分别设置多个T型夹具,所述PCB基板的两个相对边缘被T型夹具夹住以将所述PCB基板限定在所述挂具的上下横梁之间,每3个T型夹具通过不锈钢板连接后作为扣型阴极,同时每5枚PCB基板并列作为一组,每组左右两边各设置一根不锈钢作为竖型阴极。
作为本发明进一步的改进,所述步骤7中,所述步骤7中,所述挂具固定在所述镀铜槽的V支架上。
作为本发明进一步的改进,所述步骤7中,所述镀铜槽底部设置若干喷流管。
作为本发明进一步的改进,所述步骤7,在配置镀铜液时,首先用水、氧化铜粉和硫酸配置成包含浓度为150g/L的硫酸铜和浓度为150g/L硫酸的电镀液,然后在电镀液中加入氯化钠将氯离子浓度调整到8ppm,最后加入镀铜添加剂。
作为本发明进一步的改进,所述步骤7中,所述镀铜槽内的镀铜液控制温度在23.0±2.0℃。
作为本发明进一步的改进,所述步骤7中,采用1~3A/dm2的电流密度进行镀铜。
本发明的有益效果为:
1、通过专用搬送治具,使基板图形不直接与设备接触,避免基板上粘上异物而产生断线、缺口和堵孔。
2、增加等离子处理,使种子铜层和护铜干膜表面同药液接触更加充分,进而确保镀铜不均,并避免断线;
3、在合理的位置设置多个辅助阴极,使得基板中央和周边的镀厚更加均匀,避免基板边缘产生毛刺;
4、在镀铜槽内底部设置喷流管,通过喷流的方式冲击基板表面,加大板面接触镀液的交换能力,将板面线路和激光孔内的铜层加厚,并使激光孔全部填满铜,避免激光孔不能填满镀铜或者孔内产生凹陷;
5、镀铜药液中的添加剂成分和浓度设定合理,避免镀铜粗糙、激光孔凹陷和板面不均的问题。
附图说明
图1为本发明实施例所述的一种提高PCB图形电镀面均性的方法的流程示意图;
图2为本发明的治具的结构示意图;
图3为本发明的挂具的结构示意图;
图4为本发明的竖型阴极的结构示意图;
图5为本发明的扣型阴极的结构示意图;
图6为本发明的T型夹具的结构示意图;
图7为本发明的镀铜槽的结构示意图。
图中:
1、治具;2、PCB基板;3、夹锁装置;4、挂具;5、T型夹具;6、扣型阴极;7、竖型阴极;8、镀铜槽;9、镀铜液;10、V支架;11、阴极膜;12、阳极膜;13、阳极;14、喷流管。
具体实施方式
下面通过具体的实施例并结合附图对本发明做进一步的详细描述。
如图1所示,本发明实施例所述的一种提高PCB图形电镀面均性的方法,主要包括上料、抽真空、等离子处理、基板分离、装板、浸酸、镀铜、水洗这几个步骤。
下面将详述各个步骤的具体流程。
步骤1,上料:将显影后的PCB基板2放入治具1,并将治具1传送到前处理装置中。
如图2所示,治具1为回型结构,PCB基板2放置在治具1的中间部位,治具1内侧的两个相对边缘分别设置有多个夹锁装置3,PCB基板2的两个边缘通过多个夹锁装置3固定在治具1上。
本发明加入了治具1,用于搬送PCB基板2,通过治具1边缘的夹锁装置3将PCB基板2夹住,将PCB基板2固定在治具1的中间部位,使得PCB基板2在搬运的过程中避免接触各个设备造成异物附着、磕碰等不良,同时在加工过程中可以将PCB基板2两面同时进行等离子处理。
步骤2,抽真空:将前处理装置抽真空。
先对前处理装置抽真空,除去装置中的不凝性气体和水分,确保前处理装置中后续等离子过程的顺利进行,为等离子体提供高真空环境。
步骤3,等离子处理:采用等离子处理机对抽真空后的前处理装置进行等离子处理。
等离子体是一种具有一定颜色的准中性电子流,是正离子和电子的密度大致相等的电离气体。在等离子状态下脱离原子束缚的电子和原子,中性原子,分子和离子做无序运动,具有很高的能量,但整体显中性。高真空室内部的气体分子被电能激化,被加速的电子互相碰撞使原子、分子的最外层电子被激化脱离轨道,生成离子或反应性比较高的自由基。这样生成的离子、自由基继续相互碰撞和被电场加速,并与材料表面相互冲撞,破坏数微米深度的分子间原有的结合方式,削去孔内一定深度的表面物质形成微细凹凸,同时产生的气体成分成为反应性官能基(或官能团),它们诱导物质表面发生物理、化学变化,因此能够除去钻污从而能够提高镀铜的结合力。
本申请中对PCB基板去钻污使用的气体是O2和Ar。将O2供给压力控制为0.2~0.3MPa,Ar供给压力控制为0.2~0.3MPa,入射电力控制为2.6±0.1KW。
Ar和O2输入至等离子机真空腔体后,在等离子发生器的高频高压电场作用下,两种气体发生离解或相互作用生成含有自由基、原子、分子及电子的等离子气体氛,等离子体中的自由基,正离子与孔壁上高分子有机材料发生化学反应。
在等离子体化学反应中,起到化学作用的粒子主要是正离子及自由基粒子。自由基在化学反应过程中能量传递的“活化”作用,处于激发状态的自由基具有较高的能量,易于与物体表面分子结合时会形成新的自由基,新形成的自由基同样处于不稳定的高能量状态,很可能发生分解反应,在变成较小分子同时生成新的自由基,这种反应过程还可能继续进行下去,最后分解成水、二氧化碳之类的简单分子。在另一些情况下,自由基与物体表面分子结合的同时,会释放出大量的结合能,这种能量又成为引发新的表面反应推动力,从而引发物体表面上的物质发生化学反应而被去除。
另外,将PCB基板2表面的脏污去除后,可以在后续镀铜过程中,使种子铜层和护铜干膜表面同药液接触更加充分,保证铜表面均匀性较好,也避免断线。
步骤4,基板分离:在前处理装置中,将治具1传送到治具脱着装置,使PCB基板2与治具1分离。
治具脱着装置可以与治具1进行配套设置,该治具脱着装置可以解锁治具1的夹锁装置,使得PCB基板2脱离治具1,使得PCB基板2与治具1之间不会因为人为脱离而产生脏污,进一步确保基板表面的干净。
步骤5,装板:将PCB基板2垂直安装在前处理装置的挂具4上,且在PCB基板2边缘设置辅助阴极。
如图3-5所示,每个挂具4上下横梁上分别设置多个T型夹具5,PCB基板2的两个相对边缘被T型夹具5夹住以将PCB基板2限定在挂具4的上下横梁之间,每3个T型夹具5通过不锈钢板连接后作为扣型阴极6,同时每5枚PCB基板2并列作为一组,每组左右两边各设置一根不锈钢作为竖型阴极7。
因为PCB基板在电镀过程中PCB基板的端面附近电力线最大,如果没有辅助阴极的话,在镀铜过程中PCB基板断面附近厚度会明显大于基板中部,会造成PCB基板整版面厚度不均匀。增加了辅助阴极后会有导流的作用,会把多余的电力线吸引到辅助阴极的地方,这样可以将PCB基板端面附近的镀铜厚度和PCB基板中心部位的镀铜厚度保持一致,从而保证了基板镀铜厚度均匀性及稳定的生产性。同时在前处理等离子的配合下会增加抗镀膜及铜表面的亲水性,在镀铜的过程中使药液和PCB基板表面交换充分,从而达到镀铜厚度均匀的作用,提高整体的镀铜品质。本发明的多个辅助阴极包括:每个PCB基板上边缘的3个T型夹具所组成的辅助阴极(扣型阴极6)、PCB基板下边缘的3个T型夹具所组成的辅助阴极(扣型阴极6)、每组PCB基板左边缘所设置的辅助阴极(竖型阴极7)以及每组PCB基板右边缘所设置的辅助阴极(竖型阴极7),这些辅助阴极可以对每组PCB基板的周边及各个基板中央形成良好均匀的保护,消除PCB基板在电镀时由于电力线过于集中而出现的毛刺和烧焦等毛病,也避免基板中央和周边镀铜厚度不均匀。
如图6所示,T型夹具5用于夹住PCB基板2,同时通过不锈钢板连接后也可作为辅助阴极。
步骤6,浸酸:将PCB基板放到前处理装置中预先配置的10%硫酸溶液中,浸渍7min,去除PCB基板表面氧化膜。
步骤7,镀铜:配置镀铜液,并将镀铜液放入前处理装置的镀铜槽中,再将PCB基板浸入镀铜槽,开始镀铜使激光孔全部填满铜,形成层间导体。
在配置镀铜液时,首先用水、氧化铜粉和硫酸配置成包含浓度为150g/L的硫酸铜和浓度为150g/L硫酸的电镀液,然后在电镀液中加入氯化钠将氯离子浓度调整到8ppm,最后加入镀铜添加剂。氯化钠作为活化剂,帮助阳极溶解,消除镀层应力,增加镀层平整和光亮。选用合适的镀铜添加剂且设定合理浓度,可以避免镀铜粗糙、激光孔凹陷和板面不均。镀铜添加剂一般可以选用络合剂:酒石酸钾钠、柠檬酸钠、乙二胺四乙酸二钠、三乙醇胺等,可使镀层结晶细致光亮,防止铜离子在碱性条件下生成沉淀等作用;还原剂:甲醛、乙二醛、乙醛酸、次磷酸盐等,可使铜配离子还原为金属铜;促进剂:聚二硫二丙烷磺酸钠、3-巯基-1-丙烷磺酸钠等,可提高阴极电流密度,使镀层均匀细致;抑制剂:最常用聚乙二醇,能够吸附在镀件表面,减少光亮剂等助剂的扩散,达到平整效果。
在镀铜时,为确保整个镀铜过程的顺利进行,将镀铜槽8内的镀铜液9控制温度在23.0±2.0℃,并采用1~3A/dm2的电流密度进行镀铜。
如图7所示,本发明的镀铜槽8采用现有技术中的V支架结构,挂具4固定在V支架上,镀铜时将PCB基板2浸入镀铜槽8中。电镀液至槽体顶端的距离为A,溢流口至阴极顶端的距离为B,基板顶端至隔膜上部距离为C,电极高度及阳极膜高度为D,阴极膜底部至阴极下端距离为E,阴极底部至喷流管14中心的距离为F,喷流管中心至槽底距离为G,喷流管之间的间隙为H,阴极膜至阳极膜的宽度为I,阴极至阳极膜宽度为J,V支架中心至阳极距离为K,V支架中心至阳极膜宽度为L,镀铜槽槽体宽度M,槽体深度为N。
在镀铜槽8内底部设置喷流管14,将新鲜的药液(镀铜液)通过喷流管直接喷流到PCB基板的表面,在阴极膜的隔离作用下,基板表面能更好的进行药液交换,保证了其电镀铜过程的稳定性。这种喷流方式直接冲击基板表面,加大板面接触镀液的交换能力,将板面线路和激光孔内的铜层加厚,使得激光孔内填满镀铜,同时避免孔内产生凹陷。
步骤8,水洗:将PCB基板移出镀铜槽,通过4级水洗将PCB基板表面的镀铜液彻底洗净。
4级水洗即4次水洗,能洗去铜表面的杂质,也能将基板表面残留的镀铜液完全清洗干净。
步骤9,完成电镀,从前处理装置中取出PCB基板。
以上所述仅为本发明的优选实施例而已,并不用于限制本发明,对于本领域的技术人员来说,本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种提高PCB图形电镀面均性的方法,其特征在于,包括以下步骤:
步骤1,上料:将显影后的PCB基板(2)放入治具(1),并将所述治具(1)传送到前处理装置中;
步骤2,抽真空:将前处理装置抽真空;
步骤3,等离子处理:采用等离子处理机对抽真空后的前处理装置进行等离子处理;
步骤4,基板分离:在前处理装置中,将所述治具(1)传送到治具脱着装置,使所述PCB基板(2)与所述治具(1)分离;
步骤5,装板:将所述PCB基板(2)垂直安装在前处理装置的挂具(4)上,且在所述PCB基板(2)边缘设置辅助阴极;其中,每个挂具(4)上下横梁上分别设置多个T型夹具(5),所述PCB基板(2)的两个相对边缘被T型夹具(5)夹住以将所述PCB基板(2)限定在所述挂具(4)的上下横梁之间,每3个T型夹具(5)通过不锈钢板连接后作为扣型阴极(6),同时每5枚PCB基板(2)并列作为一组,每组左右两边各设置一根不锈钢作为竖型阴极(7);
步骤6,浸酸:将挂具(4)上的PCB基板(2)放到前处理装置中预先配置的10%硫酸溶液中,浸渍7min,去除所述PCB基板(2)表面氧化膜;
步骤7,镀铜:配置镀铜液(9),并将镀铜液(9)放入前处理装置的镀铜槽(8)中,再将挂具(4)上的PCB基板(2)浸入所述镀铜槽(8),开始镀铜使激光孔全部填满铜,形成层间导体,所述镀铜槽(8)底部设置若干喷流管(14);
步骤8,水洗:将所述PCB基板(2)移出所述镀铜槽(8),通过4级水洗将所述PCB基板(2)表面的残余镀铜液彻底洗净;
步骤9,完成电镀,从前处理装置中取出所述PCB基板(2)。
2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述步骤1中,所述治具(1)为回型结构,所述PCB基板(2)放置在所述治具(1)的中间部位,所述治具(1)内侧的两个相对边缘分别设置有多个夹锁装置(3),所述PCB基板(2)的两个边缘通过多个夹锁装置(3)固定在所述治具(1)上。
3.根据权利要求2所述的方法,其特征在于,所述治具(1)的材料采用316不锈钢。
4.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述步骤3中,在等离子处理时,将O2供给压力控制为0.2~0.3MPa,Ar供给压力控制为0.2~0.3MPa,入射电力控制为2.6±0.1KW。
5.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述步骤7中,所述步骤7中,所述挂具(4)固定在所述镀铜槽(8)的V支架(10)上。
6.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述步骤7,在配置镀铜液时,首先用水、氧化铜粉和硫酸配置成包含浓度为150g/L的硫酸铜和浓度为150g/L硫酸的电镀液,然后在电镀液中加入氯化钠将氯离子浓度调整到8ppm,最后加入镀铜添加剂。
7.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述步骤7中,所述镀铜槽(8)内的镀铜液(9)控制温度在23.0±2.0℃。
8.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述步骤7中,采用1~3A/dm2的电流密度进行镀铜。
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Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2021134794A1 (zh) * 2020-01-03 2021-07-08 京东方科技集团股份有限公司 阵列基板、其制备方法及背光模组
CN114214713A (zh) * 2022-01-11 2022-03-22 成都明天高新产业有限责任公司 一种基于阴极框架结构的电镀挂具的线路板电镀工艺

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05320994A (ja) * 1992-05-21 1993-12-07 Nitto Denko Corp プリント回路板の電解メッキ用治具
US6193863B1 (en) * 1997-01-22 2001-02-27 Hideyuki Kobayashi Product conveyance mechanism for electroplating apparatus
KR101237833B1 (ko) * 2011-10-10 2013-02-27 (주)포인텍 연속도금장치의 인쇄회로기판용 통전지그
JP2015086444A (ja) * 2013-10-31 2015-05-07 凸版印刷株式会社 電解めっき装置
CN109898127A (zh) * 2019-04-15 2019-06-18 淮安特创科技有限公司 一种线路板生产用电镀装置

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN201264621Y (zh) * 2008-07-08 2009-07-01 欣兴电子股份有限公司 装载基板的运送车
CN102080253B (zh) * 2010-12-23 2012-07-25 北大方正集团有限公司 电镀夹具及印制线路板电镀系统
CN102134735A (zh) * 2011-02-28 2011-07-27 上海美维电子有限公司 印刷线路板载具
CN103305882B (zh) * 2012-03-07 2016-08-10 深南电路有限公司 Pcb板电镀方法及装置
CN106304668B (zh) * 2016-10-31 2019-03-05 广州市安旭特电子有限公司 一种采用增强型半加成法制作印制线路板的制作方法
CN206961859U (zh) * 2017-06-01 2018-02-02 福建金石能源有限公司 一种太阳能电池片金属成栅的挂具及系统
CN107740176A (zh) * 2017-09-29 2018-02-27 奥士康科技股份有限公司 一种电镀薄板架

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05320994A (ja) * 1992-05-21 1993-12-07 Nitto Denko Corp プリント回路板の電解メッキ用治具
US6193863B1 (en) * 1997-01-22 2001-02-27 Hideyuki Kobayashi Product conveyance mechanism for electroplating apparatus
KR101237833B1 (ko) * 2011-10-10 2013-02-27 (주)포인텍 연속도금장치의 인쇄회로기판용 통전지그
JP2015086444A (ja) * 2013-10-31 2015-05-07 凸版印刷株式会社 電解めっき装置
CN109898127A (zh) * 2019-04-15 2019-06-18 淮安特创科技有限公司 一种线路板生产用电镀装置

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