CN110308619A - 边缘曝光装置、方法、显示基板、显示装置 - Google Patents

边缘曝光装置、方法、显示基板、显示装置 Download PDF

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Abstract

本发明提供了一种边缘曝光装置、方法、显示基板、显示装置，属于显示技术领域。边缘曝光装置，包括：曝光光源，用于提供曝光光线，所述曝光光线为扩散光线；设置在所述曝光光源出光侧的光学调整组件，能够调整所述曝光光线的传播方向。通过本发明的技术方案，能够防止在柔性衬底的边缘出现膜层残留，保证显示装置的产品良率。

Description

边缘曝光装置、方法、显示基板、显示装置
技术领域
本发明涉及显示技术领域，特别是指一种边缘曝光装置、方法、显示基板、显示装置。
背景技术
目前，在制作柔性显示基板时，是在刚性载板上形成柔性衬底，在柔性衬底上制作显示器件，在显示器件制作完成后，将柔性衬底从刚性载板上剥离。在柔性显示基板的制作过程中，需要对刚性载板上涂覆的光阻层进行曝光，具体地，使用主曝光装置性显示基板的对显示区域的光阻层进行曝光，使用边缘曝光装置对柔性显示基板的外围区域的光阻层进行曝光，边缘曝光装置的曝光光线与光刻胶的高度方向所成角度接近0°，在柔性衬底的边缘，受柔性衬底的遮挡，柔性衬底边缘处的光刻胶接收的曝光光线比较少，边缘曝光装置的曝光光线对柔性衬底边缘处的光刻胶曝光不充分，导致柔性衬底边缘出现光刻胶残留，进而导致残留的光刻胶下方的膜层无法被刻蚀，导致柔性衬底边缘处出现膜层残留，影响后期柔性衬底与刚性载板上的剥离，降低了显示装置的产品良率。
发明内容
本发明要解决的技术问题是提供一种边缘曝光装置、方法、显示基板、显示装置，能够防止在柔性衬底的边缘出现膜层残留，保证显示装置的产品良率。
为解决上述技术问题，本发明的实施例提供技术方案如下：
一方面，提供一种边缘曝光装置，包括：
曝光光源，用于提供曝光光线，所述曝光光线为扩散光线；
设置在所述曝光光源出光侧的光学调整组件，能够调整所述曝光光线的传播方向。
进一步地，所述光学调整组件包括：
至少一个反射镜，所述反射镜的倾斜角度可调节；
控制机构，用于控制所述反射镜的倾斜角度。
进一步地，所述光学调整组件包括相互平行的第一反射镜和第二反射镜，所述第一反射镜的反光面朝向所述第二反射镜，所述第二反射镜的反光面朝向所述第一反射镜。
进一步地，所述反射镜的倾斜角度调节范围为±10°。
本发明实施例还提供了一种边缘曝光方法，包括：
将承载有柔性衬底的刚性载板放置在载台上，所述刚性基板和所述柔性衬底上涂覆有光阻层；
利用如上所述的边缘曝光装置对所述柔性衬底的边界所在区域的光阻层进行曝光，利用所述光学调整组件调整曝光光线的传播方向，使得所述曝光光线与所述光阻层的厚度方向所成的角度大于0°。
进一步地，所述边缘曝光方法包括：
通过所述控制机构控制所述反射镜的倾斜角度，使得经所述反射镜反射的曝光光线与所述光阻层的厚度方向所成的角度大于0°。
进一步地，包括：
控制所述反射镜的反光面与所述光阻层的厚度方向所成的角度不大于10°。
进一步地，包括：
控制所述曝光光源沿第一方向进行扫描曝光，完成所述柔性衬底沿第一方向延伸的边界所在区域的光阻层的曝光；
控制所述刚性载板旋转90°；
控制所述曝光光源沿第二方向进行扫描曝光，完成所述柔性衬底沿第二方向延伸的边界所在区域的光阻层的曝光，所述第二方向与所述第一方向垂直。
本发明实施例还提供了一种显示基板，采用如上所述的边缘曝光方法制作得到。
本发明实施例还提供了一种显示装置，包括如上所述的显示基板。
本发明的实施例具有以下有益效果：
上述方案中，边缘曝光装置包括曝光光源和设置在曝光光源出光侧的光学调整组件，光学调整组件能够调整曝光光线的传播方向，在进行边缘曝光时，将承载有柔性衬底的刚性载板放置在载台上，刚性基板和柔性衬底上涂覆有光阻层，利用边缘曝光装置对柔性衬底的边界所在区域的光阻层进行曝光时，可以利用光学调整组件调整曝光光线的传播方向，使得曝光光线与光阻层的厚度方向所成的角度大于0°，这样可以使得柔性衬底的边界所在区域的光阻层接收到更多的光照，持续感光使光阻层分解，在显影时即可完全去除，达到去除光刻胶残留的目的，进而防止在柔性衬底的边缘出现膜层残留，保证显示装置的产品良率。
附图说明
图1为承载有柔性衬底的刚性载板的示意图；
图2-图6为本发明实施例对光阻层进行曝光的示意图。
附图标记
A 边缘曝光装置
1-8 柔性衬底的边界
9 曝光光源
10 光学调整组件
11 光刻胶
12 刚性载板
13 柔性衬底
具体实施方式
为使本发明的实施例要解决的技术问题、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图及具体实施例进行详细描述。
柔性显示基板制作工艺中，在刚性载板上形成柔性衬底后，在柔性衬底边缘与周围刚性载板存在约20μm的高度差，在刚性载板和柔性衬底上涂覆光刻胶后，柔性衬底边缘的光刻胶比较厚，在使用边缘曝光装置对柔性衬底边缘的光阻层进行曝光时，边缘曝光装置的曝光光线与光刻胶的高度方向所成角度接近0°，在柔性衬底的边缘，受柔性衬底的遮挡，柔性衬底边缘处的光刻胶接收的曝光光线比较少，边缘曝光装置的曝光光线对柔性衬底边缘处的光刻胶曝光不充分，导致柔性衬底边缘出现光刻胶残留，进而导致残留的光刻胶下方的膜层无法被刻蚀，导致柔性衬底边缘处出现膜层残留，影响后期柔性衬底与刚性载板上的剥离，降低了显示装置的产品良率。
为了解决上述问题，本发明的实施例提供一种边缘曝光装置、方法、显示基板、显示装置，能够防止在柔性衬底的边缘出现膜层残留，保证显示装置的产品良率。
本发明实施例提供一种边缘曝光装置，包括：
曝光光源，用于提供曝光光线，所述曝光光线为扩散光线；
设置在所述曝光光源出光侧的光学调整组件，能够调整所述曝光光线的传播方向。
本实施例中，边缘曝光装置包括曝光光源和设置在曝光光源出光侧的光学调整组件，光学调整组件能够调整曝光光线的传播方向，在进行边缘曝光时，将承载有柔性衬底的刚性载板放置在载台上，刚性基板和柔性衬底上涂覆有光阻层，利用边缘曝光装置对柔性衬底的边界所在区域的光阻层进行曝光时，可以利用光学调整组件调整曝光光线的传播方向，使得曝光光线与光阻层的厚度方向所成的角度大于0°，这样可以使得柔性衬底的边界所在区域的光阻层接收到更多的光照，持续感光使光阻层分解，在显影时即可完全去除，达到去除光刻胶残留的目的，进而防止在柔性衬底的边缘出现膜层残留，保证显示装置的产品良率。
一具体实施例中，所述光学调整组件可以包括：
至少一个反射镜，所述反射镜的倾斜角度可调节；
控制机构，用于控制所述反射镜的倾斜角度。
通过控制反射镜的倾斜角度，可以使得反射镜的反光面对曝光光源出射的曝光光线进行反射，改变曝光光线的传播方向。
一具体实施例中，所述光学调整组件包括相互平行的第一反射镜和第二反射镜，所述第一反射镜的反光面朝向所述第二反射镜，所述第二反射镜的反光面朝向所述第一反射镜。
如果反射镜的倾斜角度过大，会使得曝光光线照射到柔性衬底的显示区域，为了避免曝光光线照射到柔性衬底的显示区域，所述反射镜的倾斜角度不能过大，具体地，反射镜的倾斜角度调节范围为±10°。
本发明实施例还提供了一种边缘曝光方法，包括：
将承载有柔性衬底的刚性载板放置在载台上，所述刚性基板和所述柔性衬底上涂覆有光阻层；
利用如上所述的边缘曝光装置对所述柔性衬底的边界所在区域的光阻层进行曝光，利用所述光学调整组件调整曝光光线的传播方向，使得所述曝光光线与所述光阻层的厚度方向所成的角度大于0°。
本实施例中，边缘曝光装置包括曝光光源和设置在曝光光源出光侧的光学调整组件，光学调整组件能够调整曝光光线的传播方向，在进行边缘曝光时，将承载有柔性衬底的刚性载板放置在载台上，刚性基板和柔性衬底上涂覆有光阻层，利用边缘曝光装置对柔性衬底的边界所在区域的光阻层进行曝光时，可以利用光学调整组件调整曝光光线的传播方向，使得曝光光线与光阻层的厚度方向所成的角度大于0°，这样可以使得柔性衬底的边界所在区域的光阻层接收到更多的光照，持续感光使光阻层分解，在显影时即可完全去除，达到去除光刻胶残留的目的，进而防止在柔性衬底的边缘出现膜层残留，保证显示装置的产品良率。
一具体实施例中，光学调整组件包括：至少一个反射镜，所述反射镜的倾斜角度可调节；控制机构，用于控制所述反射镜的倾斜角度，所述边缘曝光方法包括：
通过所述控制机构控制所述反射镜的倾斜角度，使得经所述反射镜反射的曝光光线与所述光阻层的厚度方向所成的角度大于0°。
通过控制反射镜的倾斜角度，可以使得反射镜的反光面对曝光光源出射的曝光光线进行反射，改变曝光光线的传播方向。
进一步地，所述方法具体包括：
控制所述反射镜的反光面与所述光阻层的厚度方向所成的角度不大于10°。
如果反射镜的倾斜角度过大，会使得曝光光线照射到柔性衬底的显示区域，为了避免曝光光线照射到柔性衬底的显示区域，所述反射镜的倾斜角度不能过大，具体地，控制所述反射镜的反光面与所述光阻层的厚度方向所成的角度不大于10°。
一具体实施例中，在对柔性衬底边缘处的光刻胶进行曝光时，所述边缘曝光方法包括：
控制所述曝光光源沿第一方向进行扫描曝光，完成所述柔性衬底沿第一方向延伸的边界所在区域的光阻层的曝光；
控制所述刚性载板旋转90°；
控制所述曝光光源沿第二方向进行扫描曝光，完成所述柔性衬底沿第二方向延伸的边界所在区域的光阻层的曝光，所述第二方向与所述第一方向垂直。
下面结合附图以及具体的实施例对本发明的技术方案进行进一步介绍：
如图1所示，在柔性显示基板制作工艺中，在刚性载板12上形成柔性衬底，在刚性载板12和柔性衬底上涂覆光刻胶11，使用边缘曝光装置A对柔性衬底边缘的光刻胶11进行曝光。
如图2-图6所示，边缘曝光装置包括曝光光源9和位于曝光光源9出光侧的光学调整组件10，光学调整组件10包括相互平行的第一反射镜和第二反射镜，所述第一反射镜的反光面朝向所述第二反射镜，所述第二反射镜的反光面朝向所述第一反射镜，第一反射镜和第二反射镜的倾斜角度可以调节，第一反射镜和第二反射镜的倾斜角度调节范围为±10°，在利用边缘曝光装置对柔性衬底13边缘的光刻胶进行曝光时，控制第一反射镜和第二反射镜的倾斜角度，使得曝光光线与光刻胶的厚度方向所成的角度大于0°，这样能够使得柔性衬底的边界所在区域的光刻胶接收到更多的光照，持续感光使光刻胶分解，在显影时即可完全去除，达到去除光刻胶残留的目的，进而防止在柔性衬底的边缘出现膜层残留，保证显示装置的产品良率。
本实施例中，曝光光源可以采用LED光源，如照射面积为70×70mm2，照度为1000mW/cm2；光学调整组件采用两个能够改变曝光光线的传播方向的反射镜，反射镜的倾斜角度可调，调节范围为±10°。
如图1所示，在对柔性衬底13边界所在区域的光刻胶进行曝光时，对于边界5，可以采用如图3所示的边缘曝光装置沿y方向进行扫描曝光；对于边界8，可以采用如图4所示的边缘曝光装置沿y方向进行扫描曝光；对于边界6，可以采用如图6所示的边缘曝光装置沿y方向进行扫描曝光；对于边界7，可以采用如图5所示的边缘曝光装置沿y方向进行扫描曝光；为了节约曝光时间，边界5、4、6的曝光可同时进行，边界7的曝光单独进行。完成后将刚性载板12旋转90°，对于边界1和2，可以采用如图3所示的边缘曝光装置沿x方向进行扫描曝光；对于边界3和4，可以采用如图4所示的边缘曝光装置沿x方向进行扫描曝光；为了节约曝光时间，边界1和2与边界3和4的曝光可同时进行，最终完成所有边界的边缘曝光。
本实施例中，在边缘曝光装置的曝光光源的出光口增加一对倾斜角度可调节的反射镜，对柔性衬底13边缘位置进行倾斜曝光，增加了柔性衬底13与刚性载板12交界处的光刻胶11的受光面积，可使该处的光刻胶11全部分解。
本发明实施例还提供了一种显示基板，采用如上所述的边缘曝光方法制作得到。
本发明实施例还提供了一种显示装置，包括如上所述的显示基板。所述显示装置可以为：电视、显示器、数码相框、手机、平板电脑等任何具有显示功能的产品或部件，其中，所述显示装置还包括柔性电路板、印刷电路板和背板。
在本发明各方法实施例中，所述各步骤的序号并不能用于限定各步骤的先后顺序，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，对各步骤的先后变化也在本发明的保护范围之内。
除非另外定义，本公开使用的技术术语或者科学术语应当为本发明所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本公开中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同的组成部分。“包括”或者“包含”等类似的词语意指出现该词前面的元件或者物件涵盖出现在该词后面列举的元件或者物件及其等同，而不排除其他元件或者物件。“连接”或者“相连”等类似的词语并非限定于物理的或者机械的连接，而是可以包括电性的连接，不管是直接的还是间接的。“上”、“下”、“左”、“右”等仅用于表示相对位置关系，当被描述对象的绝对位置改变后，则该相对位置关系也可能相应地改变。
可以理解，当诸如层、膜、区域或基板之类的元件被称作位于另一元件“上”或“下”时，该元件可以“直接”位于另一元件“上”或“下”，或者可以存在中间元件。
以上所述是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明所述原理的前提下，还可以作出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。

Claims (10)

1.一种边缘曝光装置，其特征在于，包括：
曝光光源，用于提供曝光光线，所述曝光光线为扩散光线；
设置在所述曝光光源出光侧的光学调整组件，能够调整所述曝光光线的传播方向。
2.根据权利要求1所述的边缘曝光装置，其特征在于，所述光学调整组件包括：
至少一个反射镜，所述反射镜的倾斜角度可调节；
控制机构，用于控制所述反射镜的倾斜角度。
3.根据权利要求1所述的边缘曝光装置，其特征在于，所述光学调整组件包括相互平行的第一反射镜和第二反射镜，所述第一反射镜的反光面朝向所述第二反射镜，所述第二反射镜的反光面朝向所述第一反射镜。
4.根据权利要求2所述的边缘曝光装置，其特征在于，所述反射镜的倾斜角度调节范围为±10°。
5.一种边缘曝光方法，其特征在于，包括：
将承载有柔性衬底的刚性载板放置在载台上，所述刚性基板和所述柔性衬底上涂覆有光阻层；
利用如权利要求1-4中任一项所述的边缘曝光装置对所述柔性衬底的边界所在区域的光阻层进行曝光，利用所述光学调整组件调整曝光光线的传播方向，使得所述曝光光线与所述光阻层的厚度方向所成的角度大于0°。
6.根据权利要求5所述的边缘曝光方法，其特征在于，利用如权利要求2所述的边缘曝光装置，所述边缘曝光方法包括：
通过所述控制机构控制所述反射镜的倾斜角度，使得经所述反射镜反射的曝光光线与所述光阻层的厚度方向所成的角度大于0°。
7.根据权利要求6所述的边缘曝光方法，其特征在于，包括：
控制所述反射镜的反光面与所述光阻层的厚度方向所成的角度不大于10°。
8.根据权利要求6所述的边缘曝光方法，其特征在于，包括：
控制所述曝光光源沿第一方向进行扫描曝光，完成所述柔性衬底沿第一方向延伸的边界所在区域的光阻层的曝光；
控制所述刚性载板旋转90°；
控制所述曝光光源沿第二方向进行扫描曝光，完成所述柔性衬底沿第二方向延伸的边界所在区域的光阻层的曝光，所述第二方向与所述第一方向垂直。
9.一种显示基板，其特征在于，采用如权利要求5-8中任一项所述的边缘曝光方法制作得到。
10.一种显示装置，其特征在于，包括如权利要求9所述的显示基板。
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