CN109720719A - 一种中测台的储料装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种中测台的储料装置，属于中测台的技术领域，旨在提供一种方便将晶圆匣放入机箱内的中测台的储料装置，其技术方案要点是包括机箱和机箱铰接的箱盖，所述机箱内设有用于放置晶圆匣的物料平台，所述机箱内设有用于驱动物料平台升降的升降机构和用于驱动升降机构运行的驱动电机，所述升降机构包括两根竖直设置的导杆，两根导杆转动设置在机箱内底壁，两根导杆之间设有升降螺杆，所述升降螺杆转动设置在机箱内，所述物料平台与导杆滑动连接，且与升降螺杆螺纹连接，所述升降螺杆与驱动电机之间设有第一传动机构。通过升降机构和物料平台的设置，能够起到方便工人将晶圆匣放入机箱内，同时避免晶圆从晶圆匣内滑落出的效果。

Description

一种中测台的储料装置

技术领域

本发明涉及中测台的技术领域，特别涉及一种中测台的储料装置。

背景技术

晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之IC产品。

晶圆制造厂把这些多晶硅融解，再在融液里种入籽晶，然后将其慢慢拉出，以形成圆柱状的单晶硅晶棒，由于硅晶棒是由一颗晶面取向确定的籽晶在熔融态的硅原料中逐渐生成，此过程称为“长晶”。硅晶棒再经过切段，滚磨，切片，倒角，抛光，激光刻，包装后，即成为集成电路工厂的基本原料——硅晶圆片，这就是“晶圆”。

中测台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及元器件的质量测试。随着科技的发展，元器件的体积越来越小，通常将多个元器件集成于晶圆上以形成待测件，方便后续进行检测。检测方式通常为：用带电的探针来导通待检测元器件的正负极，再根据元器件的工作情况来判断被检测的元器件是否合格。

在测试前，需要将装有晶圆的晶圆匣放入中测台的机箱内，并且为了方便机械手抓取晶圆匣内的晶圆送至探针台检测，需要将晶圆匣的开口侧向放置，在将装有晶圆的晶圆匣放置在机箱内时，如果稍有不慎就会导致晶圆从晶圆的侧边开口落出；此外，由于机箱内的深度较深，不方便工人操作。

发明内容

本发明的目的是提供一种中测台的储料装置，具有方便将晶圆匣放入机箱内的优点。

本发明的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：

一种中测台的储料装置，包括机箱和机箱铰接的箱盖，所述机箱内中空设置，所述机箱内设有用于放置晶圆匣的物料平台，所述机箱内设有用于驱动物料平台升降的升降机构和用于驱动升降机构运行的驱动电机，所述升降机构包括两根竖直设置的导杆，两根导杆转动设置在机箱内底壁，两根导杆之间设有升降螺杆，所述升降螺杆转动设置在机箱内，所述物料平台与导杆滑动连接，且与升降螺杆螺纹连接，所述升降螺杆与驱动电机之间设有第一传动机构；

所述机箱与箱盖之间设有铰接轴，所述铰接轴转动设置在机箱上，所述箱盖与铰接轴固定连接，所述铰接轴与驱动电机之间设有第二传动机构。

通过采用上述技术方案，当需要将装有晶圆的晶圆匣放入机箱内时，启动驱动电机，驱动电机通过第一传动机构驱动升降螺杆转动，从而带动物料平台上升，同时驱动电机通过第二传动机构带动铰接轴转动缓慢打开箱盖。当物料平台升至相应的高度时，将晶圆匣放在物料平台上，再随着物料平台进入机箱内，这样不需要人工将晶圆匣放入机箱内，方便了操作。

进一步的，所述第一传动机构包括设置在升降螺杆底部的第一锥齿轮，所述驱动电机的输出轴上固设有第一传动轴，所述第一传动轴背向驱动电机一端设有第二锥齿轮，所述第一锥齿轮与第二锥齿轮啮合。

通过采用上述技术方案，驱动电机驱动第一传动轴转动，第一转动轴带动第二锥齿轮转动，第二锥齿轮与第一锥齿轮啮合驱动升降螺杆转动，从而带动物料平台升降。

进一步的，所述第二传动机构包括与第一传动轴相互垂直设置的第二传动轴，所述第二传动轴与铰接轴相互平行且位于铰接轴正下方，所述第一传动轴朝向第二传动轴一端设有第三锥齿轮，所述第二传动轴上设有与第三锥齿轮啮合的第四锥齿轮，所述第二传动轴背向第三锥齿轮一端设有主动轮，所述铰接轴上设有从动轮，所述主动轮与从动轮之间设有传动带。

通过采用上述技术方案，驱动电机驱动第一传动轴转动，第一传动轴通过第三锥齿轮和第四锥齿轮啮合从而第二传动轴转动，第二传动轴通过带轮传动驱动铰接轴转动，从而带动箱盖开合。

进一步的，所述物料平台包括基板，所述基板上滑动设有托板，所述基板与托板之间设有驱动托板滑移的滑移机构。

通过采用上述技术方案，滑移机构驱动托板在基板上滑移，伸出机箱方便工人取放晶圆匣。

进一步的，所述滑移机构包括设置在基板上的两条滑槽，两条滑槽相互平行设置，所述托板底面设有与滑槽滑动连接的滑轨，所述托板底面还设有螺母座，所述基板上转动设有滑移螺杆，所述滑移螺杆与螺母座螺纹连接，所述滑移螺杆一端设有驱动其转动的滑移电机。

通过采用上述技术方案，滑移电机驱动滑移螺杆转动，滑移螺杆与螺母座配合驱动托板在基板上滑移。

进一步的，两根所述导杆的顶端固设有连接板，所述滑移螺杆与连接板转动连接，所述连接板上设有触点开关。

通过采用上述技术方案，当物料平台上移触碰到触点开关时，启动滑移电机，滑移电机驱动滑移螺杆转动驱动托板在基板上滑移。

进一步的，所述基板上设有同线设置的第一行程开关和第二行程开关，所述托板底面设有限位触点。

通过采用上述技术方案，第一行程开关和第二行程开关限制托板的滑移区间。

进一步的，所述机箱内底壁设有风扇，所述风扇位于物料平台下方。

通过采用上述技术方案，当打开箱盖时，开启风扇，减少灰尘进入机箱内，保持机箱内的洁净。

进一步的，所述机箱内设有用于感知物料平台位移的定位传感器。

通过采用上述技术方案，定位传感器感知到物料平台上升时，马上开启风扇，避免外部灰尘进入机箱内。

综上所述，本发明具有以下有益效果：

1.通过升降机构和物料平台的设置，能够起到方便工人将晶圆匣放入机箱内，同时避免晶圆从晶圆匣内滑落出的效果；

2.通过滑移机构的设置，方便工人将晶圆匣放置于物料平台上；

3.通过风扇的设置，当打开箱盖时，减少灰尘进入机箱内，保持机箱内的洁净。

附图说明

图1是实施例中中测台的示意图；

图2是实施例中用于体现机箱内部结构的示意图；

图3是实施例中用于体现升降机构的示意图；

图4是实施例中用于体现物料平台的示意图。

图中，1、机箱；11、箱盖；12、铰接轴；2、物料平台；21、基板；22、托板；23、滑移机构；231、滑槽；232、滑轨；233、螺母座；234、滑移螺杆；235、滑移电机；236、第一行程开关；237、第二行程开关；3、升降机构；31、导杆；32、升降螺杆；33、连接板；34、触点开关；4、驱动电机；5、第一传动机构；51、第一锥齿轮；52、第一传动轴；53、第二锥齿轮；6、第二传动机构；61、第二传动轴；62、第三锥齿轮；63、第四锥齿轮；64、主动轮；65、从动轮；66、传动带；7、风扇。

具体实施方式

以下结合附图对本发明作进一步详细说明。

其中相同的零部件用相同的附图标记表示。需要说明的是，下面描述中使用的词语“前”、“后”、“左”、“右”、“上”和“下”指的是附图中的方向，词语“底面”和“顶面”、“内”和“外”分别指的是朝向或远离特定部件几何中心的方向。

实施例：一种中测台的储料装置，如图1和2所示，包括机箱1，机箱1内中空设置，机箱1顶边开口处铰接有箱盖11。机箱1内设有用于放置晶圆匣的物料平台2，机箱1内设有用于驱动物料平台2升降的升降机构3和用于驱动升降机构3运行的驱动电机4。升降机构3驱动物料平台2升降，方便工人取放晶圆匣。

如图2和3所示，升降机构3包括两根竖直设置的导杆31，两根导杆31靠近机箱1（见图1）侧壁设置，两根的底端均与机箱1（见图1）内底壁转动连接，两根导杆31之间设有升降螺杆32，升降螺杆32底端转动设置在机箱1（见图1）内底壁，物料平台2位于两根导杆31之间并与两根导杆31滑动连接，且物料平台2与升降螺杆32螺纹连接。如此，只要驱动升降螺杆32转动，便可带动物料平台2上下滑移。

两根导杆31顶端之间固设有连接板33，连接板33与两根导杆31和升降螺杆32均转动连接，连接板33底面设有触点开关34，当物料平台2上升触碰到触点开关34时，并可通过设置在机箱1（见图1）内的控制器向驱动电机4发送停机信号。

如图3所示，升降螺杆32与驱动电机4之间设有第一传动机构5，第一传动机构5包括设置在升降螺杆32底部的第一锥齿轮51，驱动电机4的输出轴上固设有第一传动轴52，第一传动轴52背向驱动电机4一端设有第二锥齿轮53，第一锥齿轮51与第二锥齿轮53啮合。

如图2和3所示，机箱1（见图1）与箱盖11之间设有铰接轴12，铰接轴12转动设置在机箱1（见图1）顶边开口处上，箱盖11与铰接轴12固定连接，铰接轴12与驱动电机4之间设有第二传动机构6。

第二传动机构6包括与第一传动轴52相互垂直设置的第二传动轴61，第二传动轴61与铰接轴12相互平行且位于铰接轴12正下方，第一传动轴52朝向第二传动轴61一端设有第三锥齿轮62，第二传动轴61上设有与第三锥齿轮62啮合的第四锥齿轮63，第二传动轴61背向第三锥齿轮62一端设有主动轮64，铰接轴12上设有从动轮65，主动轮64与从动轮65之间设有用于传动的传动带66。

驱动电机4通过第一传动机构5和第二传动机构6同时驱动物料平台2上升和箱盖11打开，缩短了工作时间，提升了工作效率。

如图2所示，机箱1（见图1）内底壁设有风扇7，风扇7位于物料平台2下方，同时在机箱1（见图1）内还设有用于感知物料平台2位移的定位传感器，定位传感器设置在机箱1（见图1）内侧壁，在图中并未画出，当物料平台2上升时，定位传感器感知到物料平台2上升时，通过控制器向风扇7发送启动信号，在机箱1（见图1）内形成正压，减少灰尘进入机箱1（见图1）内；当物料平台2下降回到初始位置后，定位传感器感知到物料平台2回到初始位置，通过控制器向风扇7发送停机信号。与此同时，箱盖11正好关闭。

本实例中的风扇7默认为带有电机的电动风扇7。

如图4所示，物料平台2包括基板21，基板21上滑动设有托板22，基板21与托板22之间设有用于驱动托板22在基板21上滑移的滑移机构23。滑移机构23包括设置在基板21的两条滑槽231，两条滑槽231相互平行设置，托板22底面设有与滑槽231滑动连接的滑轨232，滑槽231设置成T型滑槽231，滑轨232与滑槽231相互配合设置成T形滑轨232。

托板22底面固设有螺母座233，基板21上转动设有滑移螺杆234，滑移螺杆234与螺母座233螺纹连接，滑移螺杆234一端设有驱动其转动的滑移电机235。基板21上设有同线设置的第一行程开关236和第二行程开关237，托板22底面设有限位触点。

第一行程开关236和第二行程开关237限制托板22的滑移区间。

本装置中的中测台电气控制通过控制器进行控制。

具体实施过程：当需要将装有晶圆的晶圆匣放入机箱1内时，启动驱动电机4，驱动电机4通过第一传动机构5驱动升降螺杆32转动，从而带动物料平台2上升，同时驱动电机4通过第二传动机构6带动铰接轴12转动缓慢打开箱盖11；

与此同时，定位传感器检测到物料平台2位移，中测台的控制器同时启动风扇7；

当物料平台2移动至靠近连接板33时，触点开关34感应到物料平台2，驱动电机4停止工作，同时滑移电机235启动驱动滑移螺杆234转动，驱动托板22在基板21上滑移，方便工作人员取放晶圆匣；

将晶圆匣放在物料平台2后，再随着物料平台2进入机箱1内，同时缓慢关闭箱门，当物料平台2回到初始位置，风扇7停止转动。

本具体实施例仅仅是对本发明的解释，其并不是对本发明的限制，本领域技术人员在阅读完本说明书后可以根据需要对本实施例做出没有创造性贡献的修改，但只要在本发明的权利要求范围内都受到专利法的保护。

Claims (9)

1.一种中测台的储料装置，包括机箱（1）和机箱（1）铰接的箱盖（11），所述机箱（1）内中空设置，所述机箱（1）内设有用于放置晶圆匣的物料平台（2），其特征在于：所述机箱（1）内设有用于驱动物料平台（2）升降的升降机构（3）和用于驱动升降机构（3）运行的驱动电机（4），所述升降机构（3）包括两根竖直设置的导杆（31），两根导杆（31）转动设置在机箱（1）内底壁，两根导杆（31）之间设有升降螺杆（32），所述升降螺杆（32）转动设置在机箱（1）内，所述物料平台（2）与导杆（31）滑动连接，且与升降螺杆（32）螺纹连接，所述升降螺杆（32）与驱动电机（4）之间设有第一传动机构（5）；

所述机箱（1）与箱盖（11）之间设有铰接轴（12），所述铰接轴（12）转动设置在机箱（1）上，所述箱盖（11）与铰接轴（12）固定连接，所述铰接轴（12）与驱动电机（4）之间设有第二传动机构（6）。

2.根据权利要求1所述的一种中测台的储料装置，其特征在于：所述第一传动机构（5）包括设置在升降螺杆（32）底部的第一锥齿轮（51），所述驱动电机（4）的输出轴上固设有第一传动轴（52），所述第一传动轴（52）背向驱动电机（4）一端设有第二锥齿轮（53），所述第一锥齿轮（51）与第二锥齿轮（53）啮合。

3.根据权利要求2所述的一种中测台的储料装置，其特征在于：所述第二传动机构（6）包括与第一传动轴（52）相互垂直设置的第二传动轴（61），所述第二传动轴（61）与铰接轴（12）相互平行且位于铰接轴（12）正下方，所述第一传动轴（52）朝向第二传动轴（61）一端设有第三锥齿轮（62），所述第二传动轴（61）上设有与第三锥齿轮（62）啮合的第四锥齿轮（63），所述第二传动轴（61）背向第三锥齿轮（62）一端设有主动轮（64），所述铰接轴（12）上设有从动轮（65），所述主动轮（64）与从动轮（65）之间设有传动带（66）。

4.根据权利要求1所述的一种中测台的储料装置，其特征在于：所述物料平台（2）包括基板（21），所述基板（21）上滑动设有托板（22），所述基板（21）与托板（22）之间设有驱动托板（22）滑移的滑移机构（23）。

5.根据权利要求4所述的一种中测台的储料装置，其特征在于：所述滑移机构（23）包括设置在基板（21）上的两条滑槽（231），两条滑槽（231）相互平行设置，所述托板（22）底面设有与滑槽（231）滑动连接的滑轨（232），所述托板（22）底面还设有螺母座（233），所述基板（21）上转动设有滑移螺杆（234），所述滑移螺杆（234）与螺母座（233）螺纹连接，所述滑移螺杆（234）一端设有驱动其转动的滑移电机（235）。

6.根据权利要求5所述的一种中测台的储料装置，其特征在于：两根所述导杆（31）的顶端固设有连接板（33），所述滑移螺杆（234）与连接板（33）转动连接，所述连接板（33）上设有触点开关（34）。

7.根据权利要求5所述的一种中测台的储料装置，其特征在于：所述基板（21）上设有同线设置的第一行程开关（236）和第二行程开关（237），所述托板（22）底面设有限位触点。

8.根据权利要求1所述的一种中测台的储料装置，其特征在于：所述机箱（1）内底壁设有风扇（7），所述风扇（7）位于物料平台（2）下方。

9.根据权利要求8所述的一种中测台的储料装置，其特征在于：所述机箱（1）内设有用于感知物料平台（2）位移的定位传感器。