CN109554681B - 一种物理气相沉积用镀膜夹具 - Google Patents
一种物理气相沉积用镀膜夹具 Download PDFInfo
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Abstract
本发明公开了一种物理气相沉积用镀膜夹具,包括底座,承载工件的基板和设于底座和基板之间用于连接底座和基板的筋板,基板的上表面呈十字型,其四个端部上方分别固接有夹紧装置,夹紧装置由支座,推进螺栓和触头组成,基板上设有若干对规律的螺纹孔一,支座通过固定螺栓穿过螺纹孔一与基板固接,推进螺栓通过支座上开设的螺纹孔二螺接于支座内侧,触头固接于推进螺栓的端部,基板上还设有若干对上接通孔,上接通孔通过支撑杆与其它物理气相沉积用镀膜夹具相连,本发明结构简单、牢固,便于制造,操作便捷,涂层效率高,通用性强,可满足不同工件涂层需求,大幅减少工件涂层夹具数量,降低涂层成本,经济可靠,应用前景广阔,有利于推广应用。
Description
技术领域
本发明涉及工件夹具技术领域,尤其涉及一种物理气相沉积用镀膜夹具。
背景技术
随着物理气相沉积硬质耐磨涂层技术的不断发展,涂层的应用也越来越广。现代机械制造行业为了适应和满足客户对于产品质量的不断追求,对于成型工具提出更高的要求,特别是对于成型模具,例如注塑模具等。为了满足加工需求,一方面不断地挖掘现有材料的性能,另一方面也在不断寻找更好替代方案。物理气相沉积技术就是在这种情况下不断发展的新兴技术。工件在进行涂层后不仅能够保持很好的精度,还能够提高工件的硬度、耐磨等性能。降低生产成本的同时,为企业带来更大的利润空间。由于工件的尺寸大小和外部形状各不相同,给工件涂层增加了难度,特别是工件的装夹和固定。
工件涂层通常利用夹具固定。但因工件规格不同,需要不同夹具与之匹配,配套夹具就需要重新制造。这就造成了夹具灵活性差,功能单一等缺陷,增加了企业的制造成本,延长了企业的生产周期。由于企业生产需要不同规格工件,造成了对大量专用涂层夹具的需求,给整个涂层过程带来不便,不符合企业的质量、效率和经济性三原则。因此,为了满足不同工件涂层需求,急需研发一种可根据工件大小进行调节的通用性涂层用夹具以解决上述技术问题。
有鉴于此,特提出本发明。
发明内容
本发明的目的是提供一种物理气相沉积用镀膜夹具,结构简单、牢固,便于制造,操作便捷,涂层效率高,通用性强,可满足不同工件涂层需求,大幅减少工件涂层夹具数量,降低涂层成本,经济可靠,具有广阔的应用前景,有利于推广应用。
为了实现上述目的,本发明提供的一种物理气相沉积用镀膜夹具,其特征在于,包括底座,承载工件的基板和设于底座和基板之间用于连接底座和基板,同时支撑基板的筋板,所述基板的上表面呈十字型,其四个端部上方分别固接有夹紧装置,所述夹紧装置由支座,推进螺栓和触头组成,所述基板上设有若干对规律的螺纹孔一,所述支座通过固定螺栓穿过所述螺纹孔一与基板固接,所述推进螺栓通过支座上开设的螺纹孔二螺接于支座内侧,所述触头固接于推进螺栓的端部,所述基板上还设有若干对上接通孔。
优选地,所述底座上设有若干用于连接夹具与转炉架的底座通孔。
优选地,所述触头上开设有用于适应不同形状工件的缺口。
优选地,所述推进螺栓的头部开设有方便旋转操作的通孔。
优选地,所述触头通过螺纹孔与推进螺栓的端部相连接。
优选地,所述上接通孔通过支撑杆与其它所述物理气相沉积用镀膜夹具相连。
优选地,位于最底部的物理气相沉积用镀膜夹具的底座形状为圆形。
本发明提供的一种物理气相沉积用镀膜夹具,具有如下有益效果。
1.本发明结构简单、牢固,便于制造,操作便捷,涂层效率高,通用性强,可满足不同工件涂层需求,大幅减少工件涂层夹具数量,降低涂层成本,经济可靠,具有广阔的应用前景,有利于推广应用。
2.本发明可以通过改变夹紧装置部件的大小以适应不同尺寸和形状工件的装夹。此外,通过预留的上接通孔和支撑杆,可将该夹具变成双层或多层结构,提升工件装夹量,降低加工成本。利用螺栓连接底座与转炉架,让夹具整体随转炉架均匀转动,可提升镀膜质量。
附图说明
图1为本发明提供的一种物理气相沉积用镀膜夹具的轴测图;
图2为本发明提供的一种物理气相沉积用镀膜夹具的主视全剖图;
图3为本发明提供的一种物理气相沉积用镀膜夹具的俯视图;
图4为本发明提供的一种物理气相沉积用镀膜夹具的多层结构示意图。
图中:
1.底座 2.筋板 3.底座通孔 4.基板 5.固定螺栓 6.支座 7.推进螺栓8.触头 9.上接通孔 10.螺纹孔一 11.螺纹孔二。
具体实施方式
下面结合具体实施例和附图对本发明做进一步说明,以助于理解本发明的内容。
如图1-3所示,分别为本发明提供的一种物理气相沉积用镀膜夹具的轴测图,主视全剖图及其俯视图。该物理气相沉积用镀膜夹具包括底座1,承载工件的基板4和设于底座1和基板4之间用于连接底座1和基板4,同时支撑基板4的筋板2,筋板2具有一定高度,以保证炉腔底部的薄膜沉积质量。所述基板4的上表面呈十字型,其四个端部上方分别固接有夹紧装置,所述夹紧装置由支座6,推进螺栓7和触头8组成,所述支座6与基板4上方固接,所述基板4上开设有若干对规律的螺纹孔一10,通过固定螺栓5穿过所述螺纹孔一10将支座6固定在基板4上。可通过不同的螺纹孔一10调节支座6间的相互位置实现不同规格工件的装夹,提高夹具的灵活性和通用性。支座6也可以根据不同工件的尺寸大小进行灵活性地更换。支座6上设有与推进螺栓7相配合的螺纹孔二11,用来推进和导向,所述推进螺栓7通过螺纹孔二11螺接于支座6内侧,推进螺栓7的另一端与触头8相连,优选地,所述触头8通过螺纹孔与推进螺栓7的端部相连接,通过推进螺栓7带动触头8对工件进行夹紧和定位。在推进螺栓7的头部开设有通孔,用于旋转推进螺栓7,以方便操作推进螺栓7。支座6上与之相配合的推进螺栓7,其作用不仅是用于夹紧工件,还能够适应一定尺寸变化的工件。触头8上开设有不同形状的缺口,可适应不同形状的工件,也可以提高定位和固定的可靠性。触头8的大小也可以根据工件的宽度进行选择。所述基板4上还预留有若干对上接通孔9,所述上接通孔9通过支撑杆与其它所述物理气相沉积用镀膜夹具相连。优选地,位于最底部的物理气相沉积用镀膜夹具的底座1形状为圆形。可以通过上接通孔9使夹具成为双层或多层结构,以充分利用炉腔容积,提升沉积效率,降低涂层成本。所述底座1上设有若干用于连接夹具与转炉架的底座通孔3。底座1通过底座通孔3利用螺栓将其与转炉架固定在一起,进行匀速转动。底座1上的底座通孔3用于将夹具固定于转炉架上,使夹具整体随转炉架匀速转动,使工件表面薄膜均匀沉积。使用时,操作人员根据所要涂层的模具的尺寸大小,先选择支座6的高度,再改变四个支座6和推进螺栓7的位置,便可以将模具固定在夹具上。
如图4所示,为本发明提供的一种物理气相沉积用镀膜夹具的多层结构示意图。其通过八根支撑杆将下层夹具和上层夹具固接,上层夹具的基板4是由工字钢焊接而成,工字钢的下半部开设有与支撑杆连接的通孔,支撑杆的长度可以改变,支撑杆不仅支撑上层夹具,还传递扭矩,驱动上层夹具与下层夹具同步转动。上层基板上4对称、均匀分布着四组螺纹孔,每组包括三对螺纹孔,每对螺纹孔间具有一定距离,便于根据工件的形状尺寸对夹紧装置的位置进行调整,上层夹具的夹紧装置与下层夹具的夹紧装置相同。如果在实际工作中需要对多个工件进行镀膜操作,可以对该夹具进行堆叠,以便提升涂层效率。
本发明结构简单、牢固,便于制造,操作便捷,涂层效率高,通用性强,可满足不同工件涂层需求,大幅减少工件涂层夹具数量,降低涂层成本,经济可靠,具有广阔的应用前景,有利于推广应用。本发明可以通过改变夹紧装置部件的大小以适应不同尺寸和形状工件的装夹。此外,通过预留的上接通孔9和支撑杆,可将该夹具变成双层或多层结构,提升工件装夹量,降低加工成本。利用螺栓连接底座1与转炉架,让夹具整体随转炉架均匀转动,可提升镀膜质量。
本文中应用了具体个例对发明构思进行了详细阐述,以上实施例的说明只是用于帮助理解本发明的核心思想。应当指出,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离该发明构思的前提下,所做的任何显而易见的修改、等同替换或其他改进,均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (6)
1.一种物理气相沉积用镀膜夹具,其特征在于,包括底座,承载工件的基板和设于底座和基板之间用于连接底座和基板,同时支撑基板的筋板,所述基板的上表面呈十字型,其四个端部上方分别固接有夹紧装置,所述夹紧装置由支座,推进螺栓和触头组成,所述基板上设有若干对规律的螺纹孔一,所述支座通过固定螺栓穿过所述螺纹孔一与基板固接,所述推进螺栓通过支座上开设的螺纹孔二螺接于支座内侧,所述触头固接于推进螺栓的端部,所述基板上还设有若干对上接通孔,所述上接通孔通过支撑杆与其它所述物理气相沉积用镀膜夹具相连。
2.根据权利要求1所述的一种物理气相沉积用镀膜夹具,其特征在于,所述底座上设有若干用于连接夹具与转炉架的底座通孔。
3.根据权利要求2所述的一种物理气相沉积用镀膜夹具,其特征在于,所述触头上开设有用于适应不同形状工件的缺口。
4.根据权利要求3所述的一种物理气相沉积用镀膜夹具,其特征在于,所述推进螺栓的头部开设有方便旋转操作的通孔。
5.根据权利要求4所述的一种物理气相沉积用镀膜夹具,其特征在于,所述触头通过螺纹孔与推进螺栓的端部相连接。
6.根据权利要求5所述的一种物理气相沉积用镀膜夹具,其特征在于,位于最底部的物理气相沉积用镀膜夹具的底座形状为圆形。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201811632052.5A CN109554681B (zh) | 2018-12-26 | 2018-12-26 | 一种物理气相沉积用镀膜夹具 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201811632052.5A CN109554681B (zh) | 2018-12-26 | 2018-12-26 | 一种物理气相沉积用镀膜夹具 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN109554681A CN109554681A (zh) | 2019-04-02 |
CN109554681B true CN109554681B (zh) | 2020-12-15 |
Family
ID=65871866
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201811632052.5A Active CN109554681B (zh) | 2018-12-26 | 2018-12-26 | 一种物理气相沉积用镀膜夹具 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN109554681B (zh) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110042358A (zh) * | 2019-04-15 | 2019-07-23 | 深圳菲比特光电科技有限公司 | 镀膜治具和镀膜设备 |
CN111334842B (zh) * | 2020-04-09 | 2021-06-18 | 厦门科瑞声科技有限公司 | 一种pvd电镀悬挂工装结构 |
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---|---|---|---|---|
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CN202465856U (zh) * | 2011-11-14 | 2012-10-03 | 广东星星光电科技有限公司 | 一种手机视窗玻璃用真空镀膜夹具 |
CN103722418A (zh) * | 2013-12-30 | 2014-04-16 | 汉捷机械部件(常州)有限公司 | 压叶轮五轴加工可调式工装夹具 |
CN207727141U (zh) * | 2017-12-27 | 2018-08-14 | 东莞市欣思维智能科技有限公司 | 一种三层真空电镀夹具 |
CN108588664A (zh) * | 2018-05-22 | 2018-09-28 | 桑尼光电技术(安徽)有限公司 | 一种光学镀膜机镀膜承载装置 |
CN208147694U (zh) * | 2018-05-07 | 2018-11-27 | 苏州久协精工制造有限公司 | 一种旋转压紧式通用夹具 |
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PB01 | Publication | ||
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