CN109513710B - 一种ito蚀刻液调控装置 - Google Patents
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- CN109513710B CN109513710B CN201811351163.9A CN201811351163A CN109513710B CN 109513710 B CN109513710 B CN 109513710B CN 201811351163 A CN201811351163 A CN 201811351163A CN 109513710 B CN109513710 B CN 109513710B
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- 238000005530 etching Methods 0.000 title claims abstract description 28
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract description 102
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims abstract description 37
- 239000007921 spray Substances 0.000 claims abstract description 21
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims abstract description 13
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims description 45
- 238000005406 washing Methods 0.000 claims description 3
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 abstract description 9
- 230000001276 controlling effect Effects 0.000 abstract description 6
- 230000001105 regulatory Effects 0.000 abstract description 6
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N HCl Chemical compound data:image/svg+xml;base64,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 data:image/svg+xml;base64,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 Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000011010 flushing procedure Methods 0.000 description 2
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 2
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances data:image/svg+xml;base64,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 data:image/svg+xml;base64,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 O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000006011 modification reaction Methods 0.000 description 1
- GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N nitric acid Chemical compound data:image/svg+xml;base64,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 data:image/svg+xml;base64,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 O[N+]([O-])=O GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B11/00—Cleaning flexible or delicate articles by methods or apparatus specially adapted thereto
- B08B11/04—Cleaning flexible or delicate articles by methods or apparatus specially adapted thereto specially adapted for plate glass, e.g. prior to manufacture of windshields
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B3/00—Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
- B08B3/02—Cleaning by the force of jets or sprays
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C15/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by etching
Abstract
本发明公开了一种ITO蚀刻液调控装置，涉及LCD加工操作领域。本发明中：第一滑动板块上固定装设有液体喷头；竖向挡连板的一侧面板上固定装设有一对用于ITO玻璃板两侧限位的第二限位凸起块；第一调位连杆的端侧装设有压位导轮；第一延伸连杆的端侧装设有压位导轮。本发明通过转动调节动力装置对竖向挡连板进行旋转驱动操作，使ITO玻璃板以多方位的角度进行蚀刻以及清洗操作；通过在竖向挡连板上设置第一限位凸起块、第二限位凸起块，便于在支撑限位ITO玻璃板的同时，将蚀刻液和清洗液进行镂空除去，从而使得ITO玻璃板的蚀刻、清洗操作更加高效便捷；通过压位导轮在对ITO玻璃板进行固定，使ITO玻璃板的蚀刻操作更加稳固。
Description
技术领域
本发明涉及LCD加工操作领域，尤其涉及一种ITO蚀刻液调控装置。
背景技术
LCD的构造是在两片平行的玻璃基板当中放置液晶盒，下基板玻璃上设置TFT/薄膜晶体管，上基板玻璃上设置彩色滤光片，通过TFT上的信号与电压改变来控制液晶分子的转动方向，从而达到控制每个像素点偏振光出射与否而达到显示目的。
在LCD的加工操作过程中，需要将玻璃基板上未受到光刻胶保护的ITO膜去掉，而将有光刻胶保护的ITO膜留下来，最终形成所需要的图案，如何高效便捷的对LCD玻璃基板进行ITO蚀刻操作，成为需要提升ITO加工生产效率的重要基础。
发明内容
本发明要解决的技术问题是提供一种ITO蚀刻液调控装置，从而使得ITO玻璃板的蚀刻、清洗操作更加高效便捷，提升了ITO玻璃板的蚀刻效果。
为解决上述技术问题，本发明是通过以下技术方案实现的：
本发明提供一种ITO蚀刻液调控装置，包括ITO玻璃板，包括装置本体，装置本体内固定装设有盛放蚀刻液的第一储液盒体和盛放冲洗液的第二储液盒体；第一储液盒体和第二储液盒体中都设有用于监测当前盒内液体量的液位传感器；第一储液盒体和第二储液盒体中都设有监测当前盒内液体温度的温度传感器。
包括安装在装置本体内的第一固定支撑板；第一固定支撑板上活动装设有一对第一滑动板块；第一滑动板块上固定装设有液体喷头；第一储液盒体与其中一个液体喷头之间通过供液软连管相连通；第二储液盒体与另外一个液体喷头之间通过供液软连管相连通；第一固定支撑板的两侧都设有液体喷头相配合的边侧限位挡板。
装置本体上固定装设有一对对称分布的转动调节动力装置；转动调节动力装置的输出转轴上垂直固定连接有竖向挡连板；竖向挡连板的一侧面板上固定装设有若干用于支撑ITO玻璃板的第一限位凸起块；竖向挡连板的一侧面板上固定装设有一对用于ITO玻璃板两侧限位的第二限位凸起块。
装置本体的内侧面板上活动装设有一对第一伸缩动力装置；第一伸缩动力装置的输出轴上设有第一伸缩连杆；第一伸缩连杆的端侧活动连接有第一调位连杆；第一调位连杆上垂直固定连接有第一延伸连杆；第一调位连杆的端侧装设有压位导轮；第一延伸连杆的端侧装设有压位导轮。
作为本发明的一种优选技术方案，第一储液盒体和第二储液盒体所在的装置本体的壳体上设有进液管；第一储液盒体和第二储液盒体上都连接有回液连管。
作为本发明的一种优选技术方案，第一滑动板块上固定装设有位置调节动力装置；位置调节动力装置的输出轴上装设有行程导轮；第一固定支撑板上开设有行程导轮相配合的行程导槽。
作为本发明的一种优选技术方案，边侧限位挡板上开设有与液体喷头相配合的挡板限位槽。
作为本发明的一种优选技术方案，竖向挡连板的端侧倾斜连接有用于保护转动调节动力装置的挡液斜连板。
作为本发明的一种优选技术方案，第二限位凸起块位于若干第一限位凸起块的斜上侧。
作为本发明的一种优选技术方案，装置本体上固定连接有第一边位环板；第一边位环板与第一伸缩动力装置之间设有用于第一伸缩动力装置活动调节的第一轴承机构。
作为本发明的一种优选技术方案，第一伸缩连杆上固定连接有与第一调位连杆相配合的第一卡位连板；第一调位连杆上固定设有第二卡位环板；第一调位连杆上套设有位于第一卡位连板与第二卡位环板之间的第一调节弹簧。
作为本发明的一种优选技术方案，第二限位凸起块上开设有与压位导轮相配合的导槽结构；压位导轮的行程路径与第一限位凸起块的位置相配合。
与现有的技术相比，本发明的有益效果是：
1、本发明通过位置调节动力装置驱动调节液体喷头的位置，从而使液体喷头对ITO玻璃板进行均匀的蚀刻液/清洗液的喷洒操作；通过转动调节动力装置对竖向挡连板进行旋转驱动操作，使ITO玻璃板以多方位的角度进行蚀刻以及清洗操作；通过在竖向挡连板上设置第一限位凸起块、第二限位凸起块，便于在支撑限位ITO玻璃板的同时，将蚀刻液和清洗液进行镂空除去，从而使得ITO玻璃板的蚀刻、清洗操作更加高效便捷；
2、本发明通过第一调位连杆上连接的第一卡位连板，以及第二卡位环板、第一调节弹簧，使得压位导轮在对ITO玻璃板进行固定时，能够有效的根据ITO玻璃板的厚度/位置，进行压位导轮的伸缩调节操作，使得ITO玻璃板的蚀刻操作更加稳固，提升了ITO玻璃板的蚀刻效果。
附图说明
图1为本发明装置的整体结构示意图；
图2为本发明中第一限位凸起块、第二限位凸起块、压位导轮的配合结构/横截面的示意图；
图3为图2中A处局部放大的结构示意图；
其中：1-装置本体；2-第一储液盒体；3-第二储液盒体；4-进液管；5-液位传感器；6-温度传感器；7-供液软连管；8-第一固定支撑板；9-第一滑动板块；10-液体喷头；11-边侧限位挡板；12-挡板限位槽；13-位置调节动力装置；14-行程导轮；15-行程导槽；16-转动调节动力装置；17-竖向挡连板；18-ITO玻璃板；19-第一限位凸起块；20-第二限位凸起块；21-挡液斜连板；22-回液连管；23-第一伸缩动力装置；24-第一伸缩连杆；25-第一卡位连板；26-第一调位连杆；27-第一延伸连杆；28-压位导轮；29-第一边位环板；30-第一轴承机构；31-第二卡位环板；32-第一调节弹簧。
具体实施方式
为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。
本发明为一种ITO蚀刻液调控装置，包括ITO玻璃板18，包括装置本体1，装置本体1内固定装设有盛放蚀刻液的第一储液盒体2和盛放冲洗液的第二储液盒体3；第一储液盒体2和第二储液盒体3中都设有用于监测当前盒内液体量的液位传感器；第一储液盒体2和第二储液盒体3中都设有监测当前盒内液体温度的温度传感器。
包括安装在装置本体1内的第一固定支撑板8；第一固定支撑板8上活动装设有一对第一滑动板块9；第一滑动板块9上固定装设有液体喷头10；第一储液盒体2与其中一个液体喷头10之间通过供液软连管7相连通；第二储液盒体3与另外一个液体喷头10之间通过供液软连管7相连通；第一固定支撑板8的两侧都设有液体喷头10相配合的边侧限位挡板11。
装置本体1上固定装设有一对对称分布的转动调节动力装置16；转动调节动力装置16的输出转轴上垂直固定连接有竖向挡连板17；竖向挡连板17的一侧面板上固定装设有若干用于支撑ITO玻璃板18的第一限位凸起块19；竖向挡连板17的一侧面板上固定装设有一对用于ITO玻璃板18两侧限位的第二限位凸起块20。
装置本体1的内侧面板上活动装设有一对第一伸缩动力装置23；第一伸缩动力装置23的输出轴上设有第一伸缩连杆24；第一伸缩连杆24的端侧活动连接有第一调位连杆26；第一调位连杆26上垂直固定连接有第一延伸连杆27；第一调位连杆26的端侧装设有压位导轮28；第一延伸连杆27的端侧装设有压位导轮28。
进一步的，第一储液盒体2和第二储液盒体3所在的装置本体1的壳体上设有进液管4；第一储液盒体2和第二储液盒体3上都连接有回液连管22。
进一步的，第一滑动板块9上固定装设有位置调节动力装置13；位置调节动力装置13的输出轴上装设有行程导轮14；第一固定支撑板8上开设有行程导轮14相配合的行程导槽15。
进一步的，边侧限位挡板11上开设有与液体喷头10相配合的挡板限位槽12。
进一步的，竖向挡连板17的端侧倾斜连接有用于保护转动调节动力装置16的挡液斜连板21。
进一步的，第二限位凸起块20位于若干第一限位凸起块19的斜上侧。
进一步的，装置本体1上固定连接有第一边位环板29；第一边位环板29与第一伸缩动力装置23之间设有用于第一伸缩动力装置23活动调节的第一轴承机构30。
进一步的，第一伸缩连杆24上固定连接有与第一调位连杆26相配合的第一卡位连板25；第一调位连杆26上固定设有第二卡位环板31；第一调位连杆26上套设有位于第一卡位连板25与第二卡位环板31之间的第一调节弹簧32。
进一步的，第二限位凸起块20上开设有与压位导轮28相配合的导槽结构；压位导轮28的行程路径与第一限位凸起块19的位置相配合。
在本发明装置中，第一储液盒体2用于存储稀盐酸、稀硝酸、水等混合而成的蚀刻液，第二储液盒体3用于存储清水冲洗液，通过位置调节动力装置13驱动行程导轮14，从而使得液体喷头10能够稳定的进行位移操作，使液体喷头10对ITO玻璃板18进行均匀的蚀刻液喷洒操作；通过转动调节动力装置16进行旋转驱动操作，使ITO玻璃板18能够多方位的进行蚀刻以及清洗操作；通过在竖向挡连板17上设置第一限位凸起块19、第二限位凸起块20，便于在支撑限位ITO玻璃板18的同时，将蚀刻液和清洗液进行镂空除去。
在本发明装置中，第一伸缩动力装置23驱动调节第一调位连杆26、第一延伸连杆27，从而调节压位导轮28的行程位置；通过第一调位连杆26上连接的第一卡位连板25，以及第二卡位环板31、第一调节弹簧32，使得压位导轮28在对ITO玻璃板18进行固定时，能够有效的根据ITO玻璃板18的厚度/位置，进行压位导轮28的伸缩调节操作，使得ITO玻璃板18的蚀刻操作更加稳固。
以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (4)
1.一种ITO蚀刻液调控装置，包括ITO玻璃板（18），其特征在于：
包括装置本体（1），所述装置本体（1）内固定装设有盛放蚀刻液的第一储液盒体（2）和盛放冲洗液的第二储液盒体（3）；
所述第一储液盒体（2）和第二储液盒体（3）中都设有用于监测当前盒内液体量的液位传感器；
所述第一储液盒体（2）和第二储液盒体（3）中都设有监测当前盒内液体温度的温度传感器；
包括安装在装置本体（1）内的第一固定支撑板（8）；
所述第一固定支撑板（8）上活动装设有一对第一滑动板块（9）；
所述第一滑动板块（9）上固定装设有液体喷头（10）；
所述第一储液盒体（2）与其中一个液体喷头（10）之间通过供液软连管（7）相连通；
所述第二储液盒体（3）与另外一个液体喷头（10）之间通过供液软连管（7）相连通；
所述第一固定支撑板（8）的两侧都设有液体喷头（10）相配合的边侧限位挡板（11）；
所述装置本体（1）一组对侧面上固定装设有一对对称分布的转动调节动力装置（16）；
所述转动调节动力装置（16）的输出转轴上垂直固定连接有竖向挡连板（17）；
所述竖向挡连板（17）的一侧面板上固定装设有若干用于支撑ITO玻璃板（18）的第一限位凸起块（19）；
所述竖向挡连板（17）的一侧面板上固定装设有一对用于ITO玻璃板（18）两侧限位的第二限位凸起块（20）；
所述装置本体（1）另一组对侧面上活动装设有一对第一伸缩动力装置（23）；
所述第一伸缩动力装置（23）的输出轴上设有第一伸缩连杆（24）；
所述第一伸缩连杆（24）的端侧活动连接有第一调位连杆（26）；
所述第一调位连杆（26）上垂直固定连接有第一延伸连杆（27）；
所述第一调位连杆（26）的端侧装设有压位导轮（28）；
所述第一延伸连杆（27）的端侧装设有压位导轮（28）；
所述竖向挡连板（17）的端侧倾斜连接有用于保护转动调节动力装置（16）的挡液斜连板（21）；
所述第二限位凸起块（20）位于若干第一限位凸起块（19）的斜上侧；
所述装置本体（1）上固定连接有第一边位环板（29）；
所述第一边位环板（29）与第一伸缩动力装置（23）之间设有用于第一伸缩动力装置（23）活动调节的第一轴承机构（30）；
所述第一伸缩连杆（24）上固定连接有与第一调位连杆（26）相配合的第一卡位连板（25）；
所述第一调位连杆（26）上固定设有第二卡位环板（31）；
所述第一调位连杆（26）上套设有位于第一卡位连板（25）与第二卡位环板（31）之间的第一调节弹簧（32）；
所述第二限位凸起块（20）上开设有与压位导轮（28）相配合的导槽结构；
所述压位导轮（28）的行程路径与第一限位凸起块（19）的位置相配合。
2.根据权利要求1所述的一种ITO蚀刻液调控装置，其特征在于：
所述第一储液盒体（2）和第二储液盒体（3）所在的装置本体（1）的壳体上设有进液管（4）；
所述第一储液盒体（2）和第二储液盒体（3）上都连接有回液连管（22）。
3.根据权利要求1所述的一种ITO蚀刻液调控装置，其特征在于：
所述第一滑动板块（9）上固定装设有位置调节动力装置（13）；
所述位置调节动力装置（13）的输出轴上装设有行程导轮（14）；
所述第一固定支撑板（8）上开设有行程导轮（14）相配合的行程导槽（15）。
4.根据权利要求1所述的一种ITO蚀刻液调控装置，其特征在于：
所述边侧限位挡板（11）上开设有与液体喷头（10）相配合的挡板限位槽（12）。
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201811351163.9A CN109513710B (zh) | 2018-11-14 | 2018-11-14 | 一种ito蚀刻液调控装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201811351163.9A CN109513710B (zh) | 2018-11-14 | 2018-11-14 | 一种ito蚀刻液调控装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN109513710A CN109513710A (zh) | 2019-03-26 |
| CN109513710B true CN109513710B (zh) | 2021-04-20 |
Family
ID=65776345
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201811351163.9A Active CN109513710B (zh) | 2018-11-14 | 2018-11-14 | 一种ito蚀刻液调控装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN109513710B (zh) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112853355A (zh) * | 2020-12-31 | 2021-05-28 | 常州高光半导体材料有限公司 | 一种金属掩膜版用高精度蚀刻机 |
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2018
- 2018-11-14 CN CN201811351163.9A patent/CN109513710B/zh active Active
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN109513710A (zh) | 2019-03-26 |
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