CN109483748A - 一种高精度晶圆切割机集中控制系统、方法和装置 - Google Patents

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朱晓锦
张合生
高志远
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    • B28D5/00Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
    • B28D5/0058Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material
    • B28D5/0064Devices for the automatic drive or the program control of the machines

Abstract

本发明提供了一种高精度晶圆切割机集中控制系统、方法和装置,通过多台现场侧切割机独立设备;信号总线,所述信号总线与所述多台现场侧切割机独立设备连接,与所述多台现场侧切割机独立设备进行信号交互;控制侧中控台,所述控制侧中控台与所述信号总线连接,包括:控制信号、视频信号切换器,多台控制端主机,且,所述多台控制端主机为串行连接;多台控制端显示器,与所述多台控制端主机一一对应连接。解决现有的采用总机控制模式,由一台主机集中控制多台设备,存在集中管理模式容易造成操作阻塞的技术问题。达到采用两台至多台控制端主机串行同时通过总线控制现场侧多台设备,有效避免了集中管理的操作阻塞现象,提高操作精度的技术效果。

Description

一种高精度晶圆切割机集中控制系统、方法和装置
技术领域
本发明涉及高精度晶圆切割机管理技术领域,尤其涉及一种高精度晶圆切割机集中控制系统、方法和装置。
背景技术
高精度晶圆切割机是一种控制方式较为复杂的工业切割设备,一般由高精度晶圆切割机专业技术操作员在现场侧通过高精度晶圆切割机触摸显示器控制进行相关技术操作。现今的高精度晶圆切割设备控制系统针对独立高精度晶圆切割机集中控制方面升级较为困难且成本大,无法做到对于多个独立高精度晶圆切割机进行集中控制。
但本发明申请人发现上述现有技术至少存在如下技术问题:
现有的工业触摸屏设备集中控制系统中多数采用总机控制模式,存在集中管理模式容易造成操作阻塞,影响操作管理的效率的技术问题。
发明内容
本发明实施例提供了一种高精度晶圆切割机集中控制系统、方法和装置,解决了现有的工业触摸屏设备集中控制系统中多数采用总机控制模式,由一台主机集中控制多台设备,存在集中管理模式容易造成操作阻塞,影响操作管理的效率的技术问题。
鉴于上述问题,提出了本发明实施例提供了一种高精度晶圆切割机集中控制系统、方法和装置。
第一方面,本发明提供了一种高精度晶圆切割机集中控制系统,所述集中控制系统包括:多台现场侧切割机独立设备;信号总线,所述信号总线与所述多台现场侧切割机独立设备连接,与所述多台现场侧切割机独立设备进行信号交互,其中,所述信号总线包括:控制信号总线,所述控制信号总线与所述多台现场侧切割机独立设备通过控制信号接口连接,用于控制信号的交互;视频信号总线,所述视频信号总线与所述多台现场侧切割机独立设备通过控制信号接口连接,用于视频信号的交互;控制侧中控台,所述控制侧中控台与所述信号总线连接,其中,所述控制侧中控台包括:控制信号切换器,所述控制信号切换器与所述控制信号总线连接,将接收到的控制信号选择发送至所述多台现场侧切割机独立设备中指定的现场侧切割机独立设备;视频信号切换器,所述视频信号切换器与所述视频信号总线连接,将接收到的视频信号选择发送至所述多台现场侧切割机独立设备中指定的所述现场侧切割机独立设备;多台控制端主机,所述多台控制端主机与所述控制信号切换器、所述视频信号切换器分别连接,对所述控制信号切换器、所述视频信号切换器进行控制,且,所述多台控制端主机之间为串行连接;多台控制端显示器,所述多台控制端显示器与所述多台控制端主机一一对应连接。
优选的,所述现场侧切割机独立设备包括:高精度晶圆切割机床;现场操作主机,所述现场操作主机与所述高精度晶圆切割机床连接,发送控制信号给所述高精度晶圆切割机床;触摸屏综合控制器,所述触摸屏综合控制器一端与所述现场操作主机连接,另一端与所述控制信号总线连接,在所述现场操作主机与所述控制信号总线之间进行控制信号交互;切割机触摸显示器,所述切割机触摸显示器与所述触摸屏综合控制器连接,接收所述触摸屏综合控制器发送的控制信号;视频信号控制器,所述视频信号控制器的输入端与所述现场操作主机连接,其输出端与所述切割机触摸显示器、所述视频信号总线连接,接收所述现场操作主机发送的视频信号发送至所述切割机触摸显示器进行显示。
优选的,所述集中控制系统包括抢占式控制模式、分时控制模式。
第二方面,一种高精度晶圆切割机集中控制方法,应用于所述集中控制系统,所述方法包括:获得所述多台现场侧切割机独立设备发送的视频信号、控制信号;通过所述控制信号切换器从所述控制信号中选择其中一台所述现场侧切割机独立设备发送的所述控制信号,获得第一控制信号;通过所述视频信号切换器从所述视频信号中选择其中一台所述现场侧切割机独立设备发送的所述视频信号,获得第一视频信号,其中,所述第一控制信号与所述第一视频信号为来自同一台所述现场侧切割机独立设备;将所述第一视频信号发送至多台所述控制端主机中任意一台所述控制端主机进行解析,并通过所述控制端主机对应的所述控制端显示器进行显示;将所述第一控制信号发送至多台所述控制端主机中任意一台所述控制端主机进行解析,并通过所述控制信号切换器传输至对应的所述现场侧切割机独立设备进行执行。
优选的,所述获得所述多台现场侧切割机独立设备发送的视频信号,包括:通过所述视频信号控制器接收多台所述现场操作主机发送的视频信号,并对所述视频信号进行复制;将复制后的所述视频信号分别传输至所述切割机触摸显示器和所述视频信号总线;通过所述视频信号总线将所述视频信号传输至所述视频信号切换器。
优选的,所述将所述第一视频信号发送至多台所述控制端主机中任意一台所述控制端主机进行解析,并通过所述控制端主机对应的所述控制端显示器进行显示,包括:通过一台或多台所述控制端显示器进行显示。
优选的,所述将所述第一视频信号发送至多台所述控制端主机中任意一台所述控制端主机进行解析,并通过所述控制端主机对应的所述控制端显示器进行显示之后,包括:通过所述控制端主机对所述控制端显示器的操作记录进行备份。
优选的,所述方法还包括:当所述集中控制系统出现突发情况时,获得报警指令;通过所述触摸屏综合控制器将所述报警指令发送至所述控制端主机;根据所述报警指令所述触摸屏综合控制器、所述控制端主机同时进行预警,并通过所述控制端主机将所述突发情况的原因进行备案。
第三方面,本发明提供了一种高精度晶圆切割机集中控制装置,所述装置包括:
第一获得单元,所述第一获得单元用于获得所述多台现场侧切割机独立设备发送的视频信号、控制信号;
第二获得单元,所述第二获得单元用于通过所述控制信号切换器从所述控制信号中选择其中一台所述现场侧切割机独立设备发送的所述控制信号,获得第一控制信号;
第三获得单元,所述第三获得单元用于通过所述视频信号切换器从所述视频信号中选择其中一台所述现场侧切割机独立设备发送的所述视频信号,获得第一视频信号,其中,所述第一控制信号与所述第一视频信号为来自同一台所述现场侧切割机独立设备;
第一执行单元,所述第一执行单元用于将所述第一视频信号发送至多台所述控制端主机中任意一台所述控制端主机进行解析,并通过所述控制端主机对应的所述控制端显示器进行显示;
第二执行单元,所述第二执行单元用于将所述第一控制信号发送至多台所述控制端主机中任意一台所述控制端主机进行解析,并通过所述控制信号切换器传输至对应的所述现场侧切割机独立设备进行执行。
优选的,所述装置还包括:
第一复制单元,所述第一复制单元用于通过所述视频信号控制器接收多台所述现场操作主机发送的视频信号,并对所述视频信号进行复制;
第一传输单元,所述第一传输单元用于将复制后的所述视频信号分别传输至所述切割机触摸显示器和所述视频信号总线;
第二传输单元,所述第二传输单元用于通过所述视频信号总线将所述视频信号传输至所述视频信号切换器。
优选的,所述装置还包括:
第一显示单元,所述第一显示单元用于通过一台或多台所述控制端显示器进行显示。
优选的,所述装置还包括:
第一备份单元,所述第一备份单元用于通过所述控制端主机对所述控制端显示器的操作记录进行备份。
优选的,所述装置还包括:
第四获得单元,所述第四获得单元用于当所述集中控制系统出现突发情况时,获得报警指令;
第一发送单元,所述第一发送单元用于通过所述触摸屏综合控制器将所述报警指令发送至所述控制端主机;
第一预警单元,所述第一预警单元用于根据所述报警指令所述触摸屏综合控制器、所述控制端主机同时进行预警,并通过所述控制端主机将所述突发情况的原因进行备案。
第四方面,本发明提供了一种高精度晶圆切割机集中控制装置,包括存储器、处理器及存储在存储器上并可在处理器上运行的计算机程序,所述处理器执行所述程序时实现以下步骤:获得所述多台现场侧切割机独立设备发送的视频信号、控制信号;通过所述控制信号切换器从所述控制信号中选择其中一台所述现场侧切割机独立设备发送的所述控制信号,获得第一控制信号;通过所述视频信号切换器从所述视频信号中选择其中一台所述现场侧切割机独立设备发送的所述视频信号,获得第一视频信号,其中,所述第一控制信号与所述第一视频信号为来自同一台所述现场侧切割机独立设备;将所述第一视频信号发送至多台所述控制端主机中任意一台所述控制端主机进行解析,并通过所述控制端主机对应的所述控制端显示器进行显示;将所述第一控制信号发送至多台所述控制端主机中任意一台所述控制端主机进行解析,并通过所述控制信号切换器传输至对应的所述现场侧切割机独立设备进行执行。
本申请实施例中的上述一个或多个技术方案,至少具有如下一种或多种技术效果:
1、本发明实施例提供的一种高精度晶圆切割机集中控制系统,所述集中控制系统包括:多台现场侧切割机独立设备;信号总线,所述信号总线与所述多台现场侧切割机独立设备连接,与所述多台现场侧切割机独立设备进行信号交互,其中,所述信号总线包括:控制信号总线,所述控制信号总线与所述多台现场侧切割机独立设备通过控制信号接口连接,用于控制信号的交互;视频信号总线,所述视频信号总线与所述多台现场侧切割机独立设备通过控制信号接口连接,用于视频信号的交互;控制侧中控台,所述控制侧中控台与所述信号总线连接,其中,所述控制侧中控台包括:控制信号切换器,所述控制信号切换器与所述控制信号总线连接,将接收到的控制信号选择发送至所述多台现场侧切割机独立设备中指定的现场侧切割机独立设备;视频信号切换器,所述视频信号切换器与所述视频信号总线连接,将接收到的视频信号选择发送至所述多台现场侧切割机独立设备中指定的所述现场侧切割机独立设备,实现交互信号通过视频信号切换器和控制信号切换器选择性传输;多台控制端主机,所述多台控制端主机与所述控制信号切换器、所述视频信号切换器分别连接,对所述控制信号切换器、所述视频信号切换器进行控制,且,所述多台控制端主机之间为串行连接,多台控制端显示器,所述多台控制端显示器与所述多台控制端主机一一对应连接,结合多台控制端主机串行连接方式,以达到多台主机控制多台现场侧高精度晶圆切割机独立设备的方法。从而解决了现有的工业触摸屏设备集中控制系统中多数采用总机控制模式,由一台主机集中控制多台设备,存在集中管理模式容易造成操作阻塞,影响操作管理的效率的技术问题。
2、本发明实施例提供的一种高精度晶圆切割机集中控制方法和装置,通过获得所述多台现场侧切割机独立设备发送的视频信号、控制信号;通过所述控制信号切换器从所述控制信号中选择其中一台所述现场侧切割机独立设备发送的所述控制信号,获得第一控制信号;通过所述视频信号切换器从所述视频信号中选择其中一台所述现场侧切割机独立设备发送的所述视频信号,获得第一视频信号,其中,所述第一控制信号与所述第一视频信号为来自同一台所述现场侧切割机独立设备;将所述第一视频信号发送至多台所述控制端主机中任意一台所述控制端主机进行解析,并通过所述控制端主机对应的所述控制端显示器进行显示;将所述第一控制信号发送至多台所述控制端主机中任意一台所述控制端主机进行解析,并通过所述控制信号切换器传输至对应的所述现场侧切割机独立设备进行执行。解决了现有的工业触摸屏设备集中控制系统中多数采用总机控制模式,由一台主机集中控制多台设备,存在集中管理模式容易造成操作阻塞,影响操作管理的效率的技术问题。达到了在未改变原有的高精度晶圆切割设备控制系统基础上,对于多个独立高精度晶圆切割机的集中控制,采用2台至多台控制端主机串行同时通过总线控制现场侧多台设备,以达到多台主机控制多台现场侧高精度晶圆切割机独立设备的方法,有效避免了集中管理的操作阻塞现象,有利于操作精度的提高的技术效果。
上述说明仅是本发明技术方案的概述,为了能够更清楚了解本发明的技术手段,而可依照说明书的内容予以实施,并且为了让本发明的上述和其它目的、特征和优点能够更明显易懂,以下特举本发明的具体实施方式。
附图说明
图1为本发明实施例的一种高精度晶圆切割机集中控制系统的结构示意图;
图2为本发明实施例中现场侧切割机独立设备的结构示意图;
图3为本发明实施例的一种高精度晶圆切割机集中控制方法的流程示意图;
图4为本发明实施例中一种高精度晶圆切割机集中控制装置的结构示意图;
图5为本发明实施例中另一种高精度晶圆切割机集中控制装置的结构示意图。
附图标记说明:现场侧切割机独立设备1,视频信号总线2,控制信号总线3,控制信号切换器4,视频信号切换器5,控制端主机6,控制端显示器7,高精度晶圆切割机床101,现场操作主机102,触摸屏综合控制器103,切割机触摸显示器104,视频信号控制器105,第一获得单元11,第二获得单元12,第三获得单元13,第一执行单元14,第二执行单元15,总线300,接收器301,处理器302,发送器303,存储器304,总线接口306。
具体实施方式
本发明实施例提供了一种高精度晶圆切割机集中控制系统、方法和装置,用于解决现有的工业触摸屏设备集中控制系统中多数采用总机控制模式,由一台主机集中控制多台设备,存在集中管理模式容易造成操作阻塞,影响操作管理的效率的技术问题。
本发明提供的技术方案总体思路如下:
多台现场侧切割机独立设备;信号总线,所述信号总线与所述多台现场侧切割机独立设备连接,与所述多台现场侧切割机独立设备进行信号交互,其中,所述信号总线包括:控制信号总线,所述控制信号总线与所述多台现场侧切割机独立设备通过控制信号接口连接,用于控制信号的交互;视频信号总线,所述视频信号总线与所述多台现场侧切割机独立设备通过控制信号接口连接,用于视频信号的交互;控制侧中控台,所述控制侧中控台与所述信号总线连接,其中,所述控制侧中控台包括:控制信号切换器,所述控制信号切换器与所述控制信号总线连接,将接收到的控制信号选择发送至所述多台现场侧切割机独立设备中指定的现场侧切割机独立设备;视频信号切换器,所述视频信号切换器与所述视频信号总线连接,将接收到的视频信号选择发送至所述多台现场侧切割机独立设备中指定的所述现场侧切割机独立设备;多台控制端主机,所述多台控制端主机与所述控制信号切换器、所述视频信号切换器分别连接,对所述控制信号切换器、所述视频信号切换器进行控制,且,所述多台控制端主机之间为串行连接;多台控制端显示器,所述多台控制端显示器与所述多台控制端主机一一对应连接。达到了在未改变原有的高精度晶圆切割设备控制系统基础上,对于多个独立高精度晶圆切割机的集中控制,采用2台至多台控制端主机串行同时通过总线控制现场侧多台设备,以达到多台主机控制多台现场侧高精度晶圆切割机独立设备的方法,有效避免了集中管理的操作阻塞现象,有利于操作精度的提高的技术效果。
下面通过附图以及具体实施例对本发明技术方案做详细的说明,应当理解本申请实施例以及实施例中的具体特征是对本申请技术方案的详细的说明,而不是对本申请技术方案的限定,在不冲突的情况下,本申请实施例以及实施例中的技术特征可以相互组合。
本文中术语“和/或”,仅仅是一种描述关联对象的关联关系,表示可以存在三种关系,例如,A和/或B,可以表示:单独存在A,同时存在A和B,单独存在B这三种情况。另外,本文中字符“/”,一般表示前后关联对象是一种“或”的关系。
实施例一
图1为本发明实施例中一种高精度晶圆切割机集中控制系统的结构示意图。本发明实施例提供了一种高精度晶圆切割机集中控制系统,请参考图1、图2,所述集中控制系统包括:多台现场侧切割机独立设备1、信号总线、控制侧中控台。
进一步的,所述现场侧切割机独立设备包括:高精度晶圆切割机床101;现场操作主机102,所述现场操作主机102与所述高精度晶圆切割机床101连接,发送控制信号给所述高精度晶圆切割机床101;触摸屏综合控制器103,所述触摸屏综合控制器103一端与所述现场操作主机102连接,另一端与所述控制信号总线3连接,在所述现场操作主机102与所述控制信号总线3之间进行控制信号交互;切割机触摸显示器104,所述切割机触摸显示器104与所述触摸屏综合控制器103连接,接收所述触摸屏综合控制器103发送的控制信号;视频信号控制器105,所述视频信号控制器105的输入端与所述现场操作主机102连接,其输出端与所述切割机触摸显示器104、所述视频信号总线2连接,接收所述现场操作主机102发送的视频信号发送至所述切割机触摸显示器104进行显示。
具体而言,本发明实施例的集中控制系统主要分为现场侧切割机独立设备1与集中控制侧,通过所述信号总线进行两侧的信号交互,实现所述集中控制侧对所述现场侧切割机独立设备1的集中控制,所述现场侧高精度晶圆切割机独立设备1作用是处理现场侧独立的高精度晶圆切割机现场操作主机102、高精度晶圆切割机触摸显示器104和集中控制侧中控台的控制信号和视频信号的传输。包括集中控制侧中控台,其作用是处理由现场侧高精度晶圆切割机独立设备传输的控制信号和视频信号,自主式常规高精度晶圆切割机机械操作和将历史操作记录在集中控制侧的控制端主机6中等相关集中控制上位机系统操作。现场侧高精度晶圆切割机独立设备1包括触摸屏综合控制器103,其作用是控制独立的高精度晶圆切割机现场操作主机102、高精度晶圆切割机触摸显示器104、集中控制侧中控台的控制信号的传输,以及现场侧报警信号灯的控制。包括视频信号控制器105,其作用是控制独立的高精度晶圆切割机现场操作主机102、高精度晶圆切割机触摸显示器104、集中控制侧中控台的视频信号的传输。包括视频信号接口,其作用是发送视频信号控制器105传输的视频信号至集中控制侧视频信号切换器5。包括控制信号接口,其作用是控制现场侧触摸屏综合控制器103和集中控制侧控制信号切换器4的控制信号的双向传输。同时通过现场侧触摸屏综合控制器103对高精度晶圆切割机现场操作主机102与高精度晶圆切割机触摸显示器104的控制信号传输进行控制,可以通过触摸屏综合控制器103中的继电器控制信号的流向,使信号流向有以下几种:
(1)通过高精度晶圆切割机触摸控制器产生控制信号直接通过触摸屏综合控制器103传输至高精度晶圆切割机现场操作主机102进行解析控制高精度晶圆切割机床101。
(2)通过集中控制侧控制端主机6产生控制信号经过控制端主机6、控制信号切换器4、控制信号接口、触摸屏综合控制器103的传输发送至高精度晶圆切割机现场操作主机102进行解析控制高精度晶圆切割机床101。
(3)通过高精度晶圆切割机触摸控制器产生控制信号直接通过触摸屏综合控制器103传输至高精度晶圆切割机现场操作主机102进行解析控制高精度晶圆切割机床101,同时信号通过触摸屏综合控制器103、控制信号接口、控制信号切换器4传送至集中控制侧控制端主机6进行操作记录。
所述信号总线与所述多台现场侧切割机独立设备1连接,与所述多台现场侧切割机独立设备1进行信号交互,其中,所述信号总线包括:控制信号总线3,所述控制信号总线3与所述多台现场侧切割机独立设备1连接,用于控制信号的交互;视频信号总线2,所述视频信号总线2与所述多台现场侧切割机独立设备1连接,用于视频信号的交互。
控制侧中控台,所述控制侧中控台与所述信号总线连接,其中,所述控制侧中控台包括:控制信号切换器4,所述控制信号切换器4与所述控制信号总线3连接,将接收到的控制信号选择发送至所述多台现场侧切割机独立设备1中指定的现场侧切割机独立设备1;视频信号切换器5,所述视频信号切换器5与所述视频信号总线2连接,将接收到的视频信号选择发送至所述多台现场侧切割机独立设备1中指定的所述现场侧切割机独立设备1;多台控制端主机6,所述多台控制端主机6与所述控制信号切换器4、所述视频信号切换器5分别连接,对所述控制信号切换器4、所述视频信号切换器5进行控制,且,所述多台控制端主机6之间为串行连接;多台控制端显示器7,所述多台控制端显示器7与所述多台控制端主机6一一对应连接。
具体而言,所述控制侧中控台包括控制信号切换器4,其作用是选择接收来自现场侧的现场侧切割机独立设备1的控制信号,所述现场侧切割机独立设备1的个数根据具体情况具体设定,本发明实施例的集中控制系统可实现200台以上高精度晶圆切割机独立设备的集中控制。以及传输集中控制端中控台的控制端主机6发送的控制信号至现场侧高精度晶圆切割机独立设备1。包括视频信号切换器5,其作用是受集中控制端中控台的控制端主机6控制选择接收来自现场侧高精度晶圆切割机独立设备1的视频信号,并将视频转发至集中控制端中控台的控制端主机6。包括控制端主机6,其作用是处理来自现场侧的高精度晶圆切割机独立设备1的视频信号和控制信号,以及转发来自控制端显示器7的控制信号。包括控制端显示器7,其作用是显示集中控制端中控台的控制端主机6选择发送的视频信号,通过高精度晶圆切割机集中控制上位机系统操作,产生控制信号发送给集中控制端中控台的控制端主机6。实现了在未改变原有的高精度晶圆切割设备控制系统基础上,对于多个独立高精度晶圆切割机的集中控制。并且,高精度晶圆切割机专业技术操作员可通过模式切换选择原有工作模式和集中控制侧工作模式等管理模式,真正做到非入侵式升级原有系统,利用控制端与现场端信号的交互,实现对高精度晶圆切割机的集中控制,大多数常规化指令可以通过高精度晶圆切割机集中控制上位机系统自动产生并发送,有利于节约高精度晶圆切割机专业技术操作员操作时间,同时有利于操作精度的提高,同时交互信号通过视频信号切换器5和控制信号切换器4选择性传输,结合多台控制端主机6串行连接方式,以达到多台主机控制多台现场侧高精度晶圆切割机独立设备的方法,避免一管多出现阻塞问题,从而解决现有的工业触摸屏设备集中控制系统中多数采用总机控制模式,由一台主机集中控制多台设备,存在集中管理模式容易造成操作阻塞,影响操作管理的效率的技术问题。另外,在通过此高精度晶圆切割机集中控制系统,无需对原有高精度晶圆切割机控制系统进行任何破坏式修改,在符合原高精度晶圆切割机控制系统操作实施方式的基础之上进行拓展,并且本高精度晶圆切割机集中控制系统的外部接口即视频信号接口、控制信号接口,符合绝大多数高精度晶圆切割机控制系统的外部接口。也就是说,在多数高精度晶圆切割机控制系统中,此高精度晶圆切割机集中控制系统能够非入侵式融入操作控制多台现场侧高精度晶圆切割机独立设备,并且对于原有控制操作系统的接口无需做任何修改。
进一步的,所述集中控制系统包括抢占式控制模式、分时控制模式。
具体而言,本发明实施例的所述集中控制系统还通过抢占式控制和分时控制的方式,可采用2台至多台控制端主机6串行同时通过总线控制现场侧多台设备,通过此方式解决集中管理的操作阻塞问题。2台和多台集中控制侧控制端主机6和控制端显示器7串联模式下可选择抢占式控制和分时控制,抢占式控制是指在控制端显示器7同时显示主界面某现场侧对应的高精度晶圆切割机独立设备1需要技术员操作的情况下,多台控制端显示器7其中之一先接收现场侧的高精度晶圆切割机独立设备1发送的视频信号并进行处理,此控制端显示器7和其对应的控制端主机6就获得了优先控制权,其它控制端显示器7和控制端主机6必须在此控制端显示器7放弃控制权的前提下控制此现场侧高精度晶圆切割机独立设备1;分时控制指的是在某台获得现场侧高精度晶圆切割机独立设备1的优先控制权的情况下退出触摸屏控制界面,此操作行为就被视为放弃控制权,其他控制端显示器7可通过高精度晶圆切割机集中控制上位机系统选择此现场侧高精度晶圆切割机独立设备1的视频信号以获得优先控制权。达到了具有多个独立现场侧场侧高精度晶圆切割机独立设备集中控制的能力,并且在实际需求下可满足集中控制端多台设备抢占式控制和分时控制的能力,解决当前高精度晶圆切割机面临的集中控制问题和数字化问题。
实施例二
图3为本发明实施例中一种高精度晶圆切割机集中控制方法的流程示意图。如图3所示,本发明实施例提供了一种高精度晶圆切割机集中控制方法,应用于实施例一所述的高精度晶圆切割机集中控制系统中,所述方法包括:
步骤110:获得所述多台现场侧切割机独立设备1发送的视频信号、控制信号。
进一步的,所述获得所述多台现场侧切割机独立设备1发送的视频信号,包括:通过所述视频信号控制器105接收多台所述现场操作主机102发送的视频信号,并对所述视频信号进行复制;将复制后的所述视频信号分别传输至所述切割机触摸显示器104和所述视频信号总线2;通过所述视频信号总线2将所述视频信号传输至所述视频信号切换器5。
步骤120:通过所述控制信号切换器4从所述控制信号中选择其中一台所述现场侧切割机独立设备1发送的所述控制信号,获得第一控制信号。
步骤130:通过所述视频信号切换器5从所述视频信号中选择其中一台所述现场侧切割机独立设备1发送的所述视频信号,获得第一视频信号,其中,所述第一控制信号与所述第一视频信号为来自同一台所述现场侧切割机独立设备1。
具体而言,所述现场侧的多台现场侧切割机独立设备1发送视频信号、控制信号,通过所述信号总线与所述控制侧进行信号通讯,所述控制侧也是通过所述信号通讯来实现对所述现场侧设备的控制,所述控制信号的传递为:通过现场侧触摸屏综合控制器103上的切换开关控制,集中控制侧控制端主机6与控制端显示器7配合操作高精度晶圆切割机集中控制上位机系统进行控制两种控制方式相互作用来选择。所述视频信号的传输为通过现场侧视频信号控制器105对高精度晶圆切割机现场操作主机102发送的视频信号进行复制,将相同的视频信号分别传输至现场侧高精度晶圆切割机触摸显示器104和现场侧视频信号接口,并由视频信号接口传输至集中控制侧视频信号切换器5,通过集中控制侧控制端主机6进行控制集中控制侧视频信号切换器5选择现场侧某一路视频信号进行接收,通过集中控制侧控制端主机6解析传输至控制端显示器7进行显示。
步骤140:将所述第一视频信号发送至多台所述控制端主机中任意一台所述控制端主机6进行解析,并通过所述控制端显示器7进行显示。
进一步的,所述将所述第一视频信号发送至所述控制端主机6进行解析,并通过所述控制端显示器7进行显示,包括:通过一台或多台所述控制端显示器7进行显示。
进一步的,所述将所述第一视频信号发送至多台所述控制端主机中任意一台所述控制端主机6进行解析,并通过所述控制端显示器7进行显示之后,包括:通过所述控制端主机6对所述控制端显示器7的操作记录进行备份。
步骤150:将所述第一控制信号发送至所述控制端主机6进行解析,并通过所述控制信号切换器4传输至对应的所述现场侧切割机独立设备1进行执行。
具体而言,现场侧只有一台高精度晶圆切割机独立设备的情况,信号通过触摸屏综合控制器103和视频信号控制器105传输至控制信号接口与视频信号接口,通过控制信号接口与视频信号接口与集中控制侧进行通信,集中控制侧通过控制信号切换器4发送控制信号至现场侧,通过视频信号切换器5接收来自现场侧的视频信号。集中控制侧控制信号切换器4只做发送控制信号至现场侧作用,集中控制侧视频信号切换器5只做接收视频信号至控制端主机6作用。若现场侧有多台高精度晶圆切割机独立设备1的情况时,在这种情况下,集中控制侧控制信号切换器4先选择控制信号发送的现场侧高精度晶圆切割机独立设备序号,再通过控制信号接口发送控制信号至现场侧对应的高精度晶圆切割机独立设备;集中控制侧视频信号切换器5先选择视频信号接收的现场侧高精度晶圆切割机独立设备序号,此序号与控制信号发送的高精度晶圆切割机独立设备序号对应,再通过视频信号接口接收对应的视频信号至集中控制侧控制端主机6和控制端显示器7进行显示。集中控制侧主要由控制端主机6和控制端显示器7控制,集中控制侧控制端主机6和控制端显示器7两台串联,通过高精度晶圆切割机集中控制上位机系统进行模式切换进行集中控制,集中控制侧控制端主机6和控制端显示器7多台串联,通过高精度晶圆切割机集中控制上位机系统进行模式切换进行抢占式和分时集中控制。视频信号的选择是通过控制端主机67进行切换。控制端主机6之间相互串联,视频信号可以显示在其中一台控制端显示器7或者多台控制端显示器7上;在其中一台控制端显示器7上的高精度晶圆切割机集中控制上位机系统中进行控制操作之后,会在各控制端主机6进行操作记录备份,然后通过主机发送给控制信号切换器4进而传输至现场侧控制高精度晶圆切割机独立设备1对于高精度晶圆切割机床101进行控制。
进一步的,所述方法还包括:当所述集中控制系统出现突发情况时,获得报警指令;通过所述触摸屏综合控制器103将所述报警指令发送至所述控制端主机6;根据所述报警指令所述触摸屏综合控制器103、所述控制端主机6同时进行预警,并通过所述控制端主机6将所述突发情况的原因进行备案。
具体而言,通过此高精度晶圆切割机集中控制系统,在突发情况发生时,高精度晶圆切割机集中控制上位机系统可自动采取预设且有效的紧急处理方式,并通过语音提示和显示提示的方式通知高精度晶圆切割机专业技术操作员进行进一步处理,并记录操作过程。实现对于原有高精度晶圆切割机控制系统不存在操作记录和警报提示不明显的情况,本发明实施例的高精度晶圆切割机集中控制系统做出了升级,采用数字化操作记录,发生突发情况时,集中控制侧控制端主机6与现场侧触摸屏综合控制器103同时报警模式,高精度晶圆切割机集中控制上位机系统具有预设紧急处理方式,来最大化保证机器的安全性。通过警报系统功能可以处理突发紧急情况,并且对于突发紧急情况发生原因进行分析备案。通讯设置和触摸设置功能对于高精度晶圆切割机集中控制系统进行设置,以实现最佳通信状态。在其他设置功能模块,可以设置一些常规指令,在通用机械操作情况下,可以设置高精度晶圆切割机集中控制系统自动回复功能,对于基本的操作指令,无需高精度晶圆切割机专业技术操作员进行操作,高精度晶圆切割机集中控制系统通过控制端显示器7自动进行操作,并且将控制信号传输至现场侧相应的高精度晶圆切割机独立设备上进行处理,同时将操作记录在集中控制侧控制端主机6上以供高精度晶圆切割机专业技术操作员查看认定。从而解决了现有技术中的控制系统功能不全,报警不明显的技术问题。
实施例三
基于与前述实施例中一种高精度晶圆切割机集中控制方法同样的发明构思,本发明提供了一种高精度晶圆切割机集中控制装置,如图4所示,所述装置包括:
第一获得单元11,所述第一获得单元11用于获得所述多台现场侧切割机独立设备1发送的视频信号、控制信号;
第二获得单元12,所述第二获得单元12用于通过所述控制信号切换器4从所述控制信号中选择其中一台所述现场侧切割机独立设备1发送的所述控制信号,获得第一控制信号;
第三获得单元13,所述第三获得单元13用于通过所述视频信号切换器5从所述视频信号中选择其中一台所述现场侧切割机独立设备1发送的所述视频信号,获得第一视频信号,其中,所述第一控制信号与所述第一视频信号为来自同一台所述现场侧切割机独立设备1;
第一执行单元14,所述第一执行单元14用于将所述第一视频信号发送至多台所述控制端主机中任意一台所述控制端主机6进行解析,并通过所述控制端显示器7进行显示;
第二执行单元15,所述第二执行单元15用于将所述第一控制信号发送至多台所述控制端主机中任意一台所述控制端主机6进行解析,并通过所述控制信号切换器4传输至对应的所述现场侧切割机独立设备1进行执行。
优选的,所述装置还包括:
第一复制单元,所述第一复制单元用于通过所述视频信号控制器105接收多台所述现场操作主机102发送的视频信号,并对所述视频信号进行复制;
第一传输单元,所述第一传输单元用于将复制后的所述视频信号分别传输至所述切割机触摸显示器104和所述视频信号总线2;
第二传输单元,所述第二传输单元用于通过所述视频信号总线2将所述视频信号传输至所述视频信号切换器5。
优选的,所述装置还包括:
第一显示单元,所述第一显示单元用于通过一台或多台所述控制端显示器7进行显示。
优选的,所述装置还包括:
第一备份单元,所述第一备份单元用于通过所述控制端主机6对所述控制端显示器7的操作记录进行备份。
优选的,所述装置还包括:
第四获得单元,所述第四获得单元用于当所述集中控制系统出现突发情况时,获得报警指令;
第一发送单元,所述第一发送单元用于通过所述触摸屏综合控制器103将所述报警指令发送至所述控制端主机6;
第一预警单元,所述第一预警单元用于根据所述报警指令所述触摸屏综合控制器103、所述控制端主机6同时进行预警,并通过所述控制端主机6将所述突发情况的原因进行备案。
前述图3实施例二中的一种高精度晶圆切割机集中控制方法的各种变化方式和具体实例同样适用于本实施例的一种高精度晶圆切割机集中控制装置,通过前述对一种高精度晶圆切割机集中控制方法的详细描述,本领域技术人员可以清楚的知道本实施例中一种高精度晶圆切割机集中控制装置的实施方法,所以为了说明书的简洁,在此不再详述。
实施例四
基于与前述实施例中一种高精度晶圆切割机集中控制方法同样的发明构思,本发明还提供一种高精度晶圆切割机集中控制装置,其上存储有计算机程序,该程序被处理器执行时实现前文所述一种高精度晶圆切割机集中控制方法的任一方法的步骤。
其中,在图5中,总线架构(用总线300来代表),总线300可以包括任意数量的互联的总线和桥,总线300将包括由处理器302代表的一个或多个处理器和存储器304代表的存储器的各种电路链接在一起。总线300还可以将诸如外围设备、稳压器和功率管理电路等之类的各种其他电路链接在一起,这些都是本领域所公知的,因此,本文不再对其进行进一步描述。总线接口306在总线300和接收器301和发送器303之间提供接口。接收器301和发送器303可以是同一个元件,即收发机,提供用于在传输介质上与各种其他装置通信的单元。
处理器302负责管理总线300和通常的处理,而存储器304可以被用于存储处理器302在执行操作时所使用的数据。
在具体实施过程中,该程序被处理器执行时,还可以实现实施例二中的任一方法步骤。
本申请实施例中的上述一个或多个技术方案,至少具有如下一种或多种技术效果:
1、本发明实施例提供的一种高精度晶圆切割机集中控制系统,所述集中控制系统包括:多台现场侧切割机独立设备;信号总线,所述信号总线与所述多台现场侧切割机独立设备连接,与所述多台现场侧切割机独立设备进行信号交互,其中,所述信号总线包括:控制信号总线,所述控制信号总线与所述多台现场侧切割机独立设备通过控制信号接口连接,用于控制信号的交互;视频信号总线,所述视频信号总线与所述多台现场侧切割机独立设备通过控制信号接口连接,用于视频信号的交互;控制侧中控台,所述控制侧中控台与所述信号总线连接,其中,所述控制侧中控台包括:控制信号切换器,所述控制信号切换器与所述控制信号总线连接,将接收到的控制信号选择发送至所述多台现场侧切割机独立设备中指定的现场侧切割机独立设备;视频信号切换器,所述视频信号切换器与所述视频信号总线连接,将接收到的视频信号选择发送至所述多台现场侧切割机独立设备中指定的所述现场侧切割机独立设备,实现交互信号通过视频信号切换器和控制信号切换器选择性传输;多台控制端主机,所述多台控制端主机与所述控制信号切换器、所述视频信号切换器分别连接,对所述控制信号切换器、所述视频信号切换器进行控制,且,所述多台控制端主机之间为串行连接,多台控制端显示器,所述多台控制端显示器与所述多台控制端主机一一对应连接,结合多台控制端主机串行连接方式,以达到多台主机控制多台现场侧高精度晶圆切割机独立设备的方法。从而解决了现有的工业触摸屏设备集中控制系统中多数采用总机控制模式,由一台主机集中控制多台设备,存在集中管理模式容易造成操作阻塞,影响操作管理的效率的技术问题。
2、本发明实施例提供的一种高精度晶圆切割机集中控制方法和装置,通过获得所述多台现场侧切割机独立设备发送的视频信号、控制信号;通过所述控制信号切换器从所述控制信号中选择其中一台所述现场侧切割机独立设备发送的所述控制信号,获得第一控制信号;通过所述视频信号切换器从所述视频信号中选择其中一台所述现场侧切割机独立设备发送的所述视频信号,获得第一视频信号,其中,所述第一控制信号与所述第一视频信号为来自同一台所述现场侧切割机独立设备;将所述第一视频信号发送至多台所述控制端主机中任意一台所述控制端主机进行解析,并通过所述控制端主机对应的所述控制端显示器进行显示;将所述第一控制信号发送至多台所述控制端主机中任意一台所述控制端主机进行解析,并通过所述控制信号切换器传输至对应的所述现场侧切割机独立设备进行执行。解决了现有的工业触摸屏设备集中控制系统中多数采用总机控制模式,由一台主机集中控制多台设备,存在集中管理模式容易造成操作阻塞,影响操作管理的效率的技术问题。达到了在未改变原有的高精度晶圆切割设备控制系统基础上,对于多个独立高精度晶圆切割机的集中控制,采用2台至多台控制端主机串行同时通过总线控制现场侧多台设备,以达到多台主机控制多台现场侧高精度晶圆切割机独立设备的方法,有效避免了集中管理的操作阻塞现象,有利于操作精度的提高的技术效果。
本领域内的技术人员应明白,本发明的实施例可提供为方法、系统、或计算机程序产品。因此,本发明可采用完全硬件实施例、完全软件实施例、或结合软件和硬件方面的实施例的形式。而且,本发明可采用在一个或多个其中包含有计算机可用程序代码的计算机可用存储介质(包括但不限于磁盘存储器、CD-ROM、光学存储器等)上实施的计算机程序产品的形式。
本发明是参照根据本发明实施例的方法、设备(系统)、和计算机程序产品的流程图和/或方框图来描述的。应理解可由计算机程序指令实现流程图和/或方框图中的每一流程和/或方框、以及流程图和/或方框图中的流程和/或方框的结合。可提供这些计算机程序指令到通用计算机、专用计算机、嵌入式处理机或其他可编程数据处理设备的处理器以产生一个机器,使得通过计算机或其他可编程数据处理设备的处理器执行的指令产生用于实现在流程图一个流程或多个流程和/或方框图一个方框或多个方框中指定的功能的装置。
这些计算机程序指令也可存储在能引导计算机或其他可编程数据处理设备以特定方式工作的计算机可读存储器中,使得存储在该计算机可读存储器中的指令产生包括指令装置的制造品,该指令装置实现在流程图一个流程或多个流程和/或方框图一个方框或多个方框中指定的功能。
这些计算机程序指令也可装载到计算机或其他可编程数据处理设备上,使得在计算机或其他可编程设备上执行一系列操作步骤以产生计算机实现的处理,从而在计算机或其他可编程设备上执行的指令提供用于实现在流程图一个流程或多个流程和/或方框图一个方框或多个方框中指定的功能的步骤。
显然,本领域的技术人员可以对本发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样,倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内,则本发明也意图包含这些改动和变型在内。

Claims (10)

1.一种高精度晶圆切割机集中控制系统,其特征在于,所述集中控制系统包括:
多台现场侧切割机独立设备;
信号总线,所述信号总线与所述多台现场侧切割机独立设备连接,与所述多台现场侧切割机独立设备进行信号交互;
控制侧中控台,所述控制侧中控台与所述信号总线连接;
其中,所述信号总线包括:
控制信号总线,所述控制信号总线与所述多台现场侧切割机独立设备通过控制信号接口连接,用于所述多台现场侧切割机独立设备与所述控制信号总线之间的控制信号交互;
视频信号总线,所述视频信号总线与所述多台现场侧切割机独立设备通过视频信号接口连接,用于所述多台现场侧切割机独立设备与所述视频信号总线之间的视频信号交互;
其中,所述控制侧中控台包括:
控制信号切换器,所述控制信号切换器与所述控制信号总线连接,将接收到的控制信号选择发送至所述多台现场侧切割机独立设备中指定的现场侧切割机独立设备;
视频信号切换器,所述视频信号切换器与所述视频信号总线连接,将接收到的视频信号选择发送至所述多台现场侧切割机独立设备中指定的所述现场侧切割机独立设备;
多台控制端主机,所述多台控制端主机与所述控制信号切换器、所述视频信号切换器分别连接,对所述控制信号切换器、所述视频信号切换器进行控制,且,所述多台控制端主机之间为串行连接;
多台控制端显示器,所述多台控制端显示器与所述多台控制端主机一一对应连接。
2.如权利要求1所述的集中控制系统,其特征在于,所述现场侧切割机独立设备包括:
高精度晶圆切割机床;
现场操作主机,所述现场操作主机与所述高精度晶圆切割机床连接,发送控制信号给所述高精度晶圆切割机床;
触摸屏综合控制器,所述触摸屏综合控制器一端与所述现场操作主机连接,另一端与所述控制信号总线连接,在所述现场操作主机与所述控制信号总线之间进行控制信号交互;
切割机触摸显示器,所述切割机触摸显示器与所述触摸屏综合控制器连接,接收所述触摸屏综合控制器发送的控制信号;
视频信号控制器,所述视频信号控制器的输入端与所述现场操作主机连接,其输出端与所述切割机触摸显示器、所述视频信号总线连接,接收所述现场操作主机发送的视频信号发送至所述切割机触摸显示器进行显示。
3.如权利要求1所述的集中控制系统,其特征在于,所述集中控制系统包括抢占式控制模式、分时控制模式。
4.一种高精度晶圆切割机集中控制方法,应用于权利要求1-3任一所述集中控制系统,其特征在于,所述方法包括:
获得所述多台现场侧切割机独立设备发送的视频信号、控制信号;
通过所述控制信号切换器从所述控制信号中选择其中一台所述现场侧切割机独立设备发送的所述控制信号,获得第一控制信号;
通过所述视频信号切换器从所述视频信号中选择其中一台所述现场侧切割机独立设备发送的所述视频信号,获得第一视频信号,其中,所述第一控制信号与所述第一视频信号为来自同一台所述现场侧切割机独立设备;
将所述第一视频信号发送至多台所述控制端主机中任意一台所述控制端主机进行解析,并通过所述控制端主机对应的所述控制端显示器进行显示;
将所述第一控制信号发送至多台所述控制端主机中任意一台所述控制端主机进行解析,并通过所述控制信号切换器传输至对应的所述现场侧切割机独立设备进行执行。
5.如权利要求4所述的方法,其特征在于,所述获得所述多台现场侧切割机独立设备发送的视频信号,包括:
通过所述视频信号控制器接收多台所述现场操作主机发送的视频信号,并对所述视频信号进行复制;
将复制后的所述视频信号分别传输至所述切割机触摸显示器和所述视频信号总线;
通过所述视频信号总线将所述视频信号传输至所述视频信号切换器。
6.如权利要求4所述的方法,其特征在于,所述将所述第一视频信号发送至多台所述控制端主机中任意一台所述控制端主机进行解析,并通过所述控制端主机对应的所述控制端显示器进行显示,包括:
通过一台或多台所述控制端显示器进行显示。
7.如权利要求4所述的方法,其特征在于,所述将所述第一视频信号发送至多台所述控制端主机中任意一台所述控制端主机进行解析,并通过所述控制端主机对应的所述控制端显示器进行显示之后,包括:
通过所述控制端主机对所述控制端显示器的操作记录进行备份。
8.如权利要求4所述的方法,其特征在于,所述方法还包括:
当所述集中控制系统出现突发情况时,获得报警指令;
通过所述触摸屏综合控制器将所述报警指令发送至所述控制端主机;
根据所述报警指令所述触摸屏综合控制器、所述控制端主机同时进行预警,并通过所述控制端主机将所述突发情况的原因进行备案。
9.一种高精度晶圆切割机集中控制装置,其特征在于,所述装置包括:
第一获得单元,所述第一获得单元用于获得所述多台现场侧切割机独立设备发送的视频信号、控制信号;
第二获得单元,所述第二获得单元用于通过所述控制信号切换器从所述控制信号中选择其中一台所述现场侧切割机独立设备发送的所述控制信号,获得第一控制信号;
第三获得单元,所述第三获得单元用于通过所述视频信号切换器从所述视频信号中选择其中一台所述现场侧切割机独立设备发送的所述视频信号,获得第一视频信号,其中,所述第一控制信号与所述第一视频信号为来自同一台所述现场侧切割机独立设备;
第一执行单元,所述第一执行单元用于将所述第一视频信号发送至多台所述控制端主机中任意一台所述控制端主机进行解析,并通过所述控制端主机对应的所述控制端显示器进行显示;
第二执行单元,所述第二执行单元用于将所述第一控制信号发送至多台所述控制端主机中任意一台所述控制端主机进行解析,并通过所述控制信号切换器传输至对应的所述现场侧切割机独立设备进行执行。
10.一种高精度晶圆切割机集中控制装置,包括存储器、处理器及存储在存储器上并可在处理器上运行的计算机程序,其特征在于,所述处理器执行所述程序时实现以下步骤:
获得所述多台现场侧切割机独立设备发送的视频信号、控制信号;
通过所述控制信号切换器从所述控制信号中选择其中一台所述现场侧切割机独立设备发送的所述控制信号,获得第一控制信号;
通过所述视频信号切换器从所述视频信号中选择其中一台所述现场侧切割机独立设备发送的所述视频信号,获得第一视频信号,其中,所述第一控制信号与所述第一视频信号为来自同一台所述现场侧切割机独立设备;
将所述第一视频信号发送至多台所述控制端主机中任意一台所述控制端主机进行解析,并通过所述控制端主机对应的所述控制端显示器进行显示;
将所述第一控制信号发送至多台所述控制端主机中任意一台所述控制端主机进行解析,并通过所述控制信号切换器传输至对应的所述现场侧切割机独立设备进行执行。
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SE01 Entry into force of request for substantive examination
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GR01 Patent grant
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