CN109402563A - 一种防覆冰复合涂层及其制备方法与应用 - Google Patents

一种防覆冰复合涂层及其制备方法与应用 Download PDF

Info

Publication number
CN109402563A
CN109402563A CN201811267092.4A CN201811267092A CN109402563A CN 109402563 A CN109402563 A CN 109402563A CN 201811267092 A CN201811267092 A CN 201811267092A CN 109402563 A CN109402563 A CN 109402563A
Authority
CN
China
Prior art keywords
ice
covering
composite coating
layer
nitride film
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN201811267092.4A
Other languages
English (en)
Other versions
CN109402563B (zh
Inventor
王冉
张昕
邱维维
黄浩
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Beijing Research Institute of Auotomation for Machinery Industry Co Ltd
Original Assignee
Beijing Research Institute of Auotomation for Machinery Industry Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Beijing Research Institute of Auotomation for Machinery Industry Co Ltd filed Critical Beijing Research Institute of Auotomation for Machinery Industry Co Ltd
Priority to CN201811267092.4A priority Critical patent/CN109402563B/zh
Publication of CN109402563A publication Critical patent/CN109402563A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN109402563B publication Critical patent/CN109402563B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/34Sputtering
    • C23C14/35Sputtering by application of a magnetic field, e.g. magnetron sputtering
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05DPROCESSES FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05D5/00Processes for applying liquids or other fluent materials to surfaces to obtain special surface effects, finishes or structures
    • B05D5/08Processes for applying liquids or other fluent materials to surfaces to obtain special surface effects, finishes or structures to obtain an anti-friction or anti-adhesive surface
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05DPROCESSES FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05D5/00Processes for applying liquids or other fluent materials to surfaces to obtain special surface effects, finishes or structures
    • B05D5/08Processes for applying liquids or other fluent materials to surfaces to obtain special surface effects, finishes or structures to obtain an anti-friction or anti-adhesive surface
    • B05D5/083Processes for applying liquids or other fluent materials to surfaces to obtain special surface effects, finishes or structures to obtain an anti-friction or anti-adhesive surface involving the use of fluoropolymers
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C23C14/0641Nitrides
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C23C14/14Metallic material, boron or silicon
    • C23C14/16Metallic material, boron or silicon on metallic substrates or on substrates of boron or silicon
    • C23C14/165Metallic material, boron or silicon on metallic substrates or on substrates of boron or silicon by cathodic sputtering
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C23C14/14Metallic material, boron or silicon
    • C23C14/18Metallic material, boron or silicon on other inorganic substrates
    • C23C14/185Metallic material, boron or silicon on other inorganic substrates by cathodic sputtering
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/24Vacuum evaporation
    • C23C14/32Vacuum evaporation by explosion; by evaporation and subsequent ionisation of the vapours, e.g. ion-plating
    • C23C14/325Electric arc evaporation
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/34Sputtering
    • C23C14/3485Sputtering using pulsed power to the target
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/58After-treatment
    • C23C14/5846Reactive treatment
    • C23C14/5853Oxidation

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

本发明公开一种防覆冰复合涂层及其制备方法与应用,该复合涂层包括:金属膜层,位于基材表面;金属氮化物膜层,位于金属膜层之上;纳米棒状氧化锌层,位于金属氮化物膜层之上;以及疏水层,位于纳米棒状氧化锌层之上。本发明采用磁过滤阴极真空弧放电技术和真空脉冲磁控溅射技术得到的涂层具有优良的超疏水性能,可达到明显的防覆冰效果。

Description

一种防覆冰复合涂层及其制备方法与应用
技术领域
本发明涉及采用物理气相沉积法进行表面改性的领域,特别是在金属基材表面制备防覆冰复合涂层的方法、所得到的复合涂层、复合涂层的应用。
背景技术
飞行器在高空低温及高湿度环境下,容易发生结冰现象而导致仪器零部件失灵,使飞行员失去判断飞行状态的依据,对飞行人员的安全造成严重威胁,因此需要进行快速地防除冰处理来降低飞行风险。目前常用的防覆冰方法为电加热方法,但是随着加热温度的升高和时间的增长,涂层容易氧化变色,疏水效果大幅度降低,不能完全满足飞行器结冰部件加热除冰等高温工况环境的需求,严重影响飞机零件的使用寿命。
CN107061193A公开了一种多层结构复合的防冰除冰系统及其组装方法,由双稳态复合材料层及通过耐热胶贴覆于双稳态复合材料层上、下表面的防水层和电热合金层构成;双稳态复合结构层由至少一层环氧树脂层和铺设在环氧树脂层内部的碳纤维构成,防水层包括金属基底和超疏水结构层。该发明通过将防水层、双稳态复合材料层和电热合金层结合成一个整体,从而形成一个多层结构复合功能的、高效的防冰除冰系统,具有防水、防覆冰特性,在通电后可产生电热并发生形变,起到快速除冰、排水的效果,并在短时间内可有效预防二次覆冰的发生,可根据不同应用领域而做出相应调整,如飞机螺旋桨、风力发电机和汽车部件等。该复合结构通过耐热胶贴进行结合,虽然可在一定程度上起到防覆冰效果,但是耐高温性有待提高。
CN105032731A公开了一种超疏水涂层与加热涂层复合的节能防除冰涂层制备方法,其是在超疏水涂层基础上增加了新型的加热涂层,将超疏水涂层防冰技术和热防冰技术结合,其中超疏水涂层是将商用气相二氧化硅用氟硅烷改性,再与树脂按适当比例混合,同时加入导热颗粒。其制备方法为在基材上喷涂隔热涂层,在隔热涂层上喷涂具有导热性能的防水保护涂层,然后再喷涂疏水涂料。同样,该发明虽然可以起到加热和疏水除冰的作用,但是其各层间的结合强度有待提高,在飞行器高速飞行频繁强烈的冲击下,涂层寿命受到很大的威胁。
CN105154879A公开了一种风速管复合涂层、其制备方法及具有该复合涂层的风速管,该风速管复合涂层包括:第一层过渡层;导电层,位于第一过渡层之上;第二过渡层,位于该导电层之上;导热层,位于该第二过渡层之上;第三过渡层,位于该导热层之上;疏水层,位于第三过渡层之上。其中过渡层为金属或金属氧化物层,疏水层为金属氮化物层。该复合涂层虽然具有综合的导电、导热及疏水性能,但疏水层为无机疏水层,疏水能力有待提高。
因此,需要开发一种防覆冰效果较好的用于飞行器零部件的复合膜层,以提高飞行器零部件工作过程中的可靠性。
发明内容
本发明的主要目的在于提供一种防覆冰复合涂层及其制备方法与应用,以克服现有技术中涂层防覆冰效果差,以及在高温环境下使用时涂层寿命短的缺陷。
为了达到上述目的,本发明提供了一种防覆冰复合涂层,该复合涂层包括:
金属膜层,位于基材表面;
金属氮化物膜层,位于所述金属膜层之上;
纳米棒状氧化锌层,位于所述金属氮化物膜层之上;以及
疏水层,位于所述纳米棒状氧化锌层之上。
本发明所述的防覆冰复合涂层,其中,所述金属膜层优选为Cr或Ti金属膜层,所述金属氮化物膜层优选为Cr或Ti金属氮化物膜层。
本发明所述的防覆冰复合涂层,其中更优选的是,所述金属膜层为Cr金属膜层,所述金属氮化物膜层为Cr金属氮化物膜层;或者所述金属膜层为Ti金属膜层,所述金属氮化物膜层为Ti金属氮化物膜层。
本发明所述的防覆冰复合涂层,其中,所述纳米棒状氧化锌层是以锌为靶材进行真空脉冲磁控溅射得到纳米棒状结构锌层,然后在含氧气氛下进行热处理得到的。
本发明所述的防覆冰复合涂层,其中,所述含氧气氛中氧气的体积含量优选不小于21%。
本发明所述的防覆冰复合涂层,其中,所述疏水层优选为含氟聚合物类、有机硅类、氟硅聚合物类和高级脂肪酸类有机涂层中的一种或几种。
本发明所述的防覆冰复合涂层,其中,所述金属膜层的厚度优选为100~500nm,所述金属氮化物膜层的厚度优选为500~1000nm,所述纳米棒状氧化锌层的厚度优选为2000~4000nm,所述疏水层的厚度优选为1000~2000nm。
为了达到上述目的,本发明还提供了一种防覆冰复合涂层的制备方法,该制备方法包括如下步骤:
S1,采用磁过滤阴极真空弧源在基材表面沉积金属膜层;
S2,采用磁过滤阴极真空弧源在通入氮气的条件下,在金属膜层上沉积金属氮化物膜层;
S3,采用真空脉冲磁控溅射技术,以锌为靶材进行溅射,在金属氮化物膜层上沉积粗糙的纳米棒状结构锌层,然后在含氧气氛下进行热处理得到纳米棒状氧化锌层;以及
S4,对纳米棒状氧化锌层进行修饰,得到疏水层。
本发明所述的防覆冰复合涂层的制备方法,其中,所述金属膜层优选为Cr或Ti金属膜层,所述金属氮化物膜层优选为Cr或Ti金属氮化物膜层。
本发明所述的防覆冰复合涂层的制备方法,其中,S1中采用磁过滤阴极真空弧源沉积的工艺条件优选为:阴极弧流控制在60~90A;沉积负偏压控制在100~800V,占空比维持为60~90%,沉积时间为0.5~1小时。
本发明所述的防覆冰复合涂层的制备方法,其中,S2中采用磁过滤阴极真空弧源沉积的工艺条件优选为:氮气流量控制为50~70sccm,真空室的真空度维持在1.3×10-2~1.6×10-2Pa,沉积负偏压控制在100~300V,占空比维持为70~90%,沉积时间为1~2小时。
本发明所述的防覆冰复合涂层的制备方法,其中,S3中采用真空脉冲磁控溅射技术进行溅射的工艺条件优选为:采用的靶材为99.99%以上的锌靶,溅射电压为300~700V,溅射电流为0.5~1A,沉积时间为30~100min;热处理的温度为300~400℃,时间为0.5~2h。
本发明所述的防覆冰复合涂层的制备方法,其中,S4中对纳米棒状氧化锌层进行修饰的方法优选为:将S3沉积纳米棒状氧化锌层后的基材浸泡于硅烷偶联剂的溶液中0.5~2h,然后在80~120℃加热10~30min,得到疏水层;所述硅烷偶联剂为有机硅氧烷类偶联剂。
为了达到上述目的,本发明更提供了一种飞机部件,该飞机部件上涂有上述的防覆冰复合涂层。
本发明的有益效果:
本发明采用磁过滤阴极真空弧放电技术和真空脉冲磁控溅射技术制备的涂层可提高金属材料表面疏水性能,在高低温环境下均具备优良的防覆冰性能,延长材料的使用寿命,具有经济价值和安全价值。
附图说明
图1为本发明复合涂层的示意图。
图2为本发明一实施例的复合涂层的制备方法。
图3为本发明复合涂层用于飞机部件上的示意图。
其中,附图标记:
10 复合涂层
100 基材
100a 飞机部件
110 金属膜层
120 金属氮化物膜层
130 纳米棒状氧化锌层
140 疏水层
S1-S4 步骤
具体实施方式
以下对本发明的实施例作详细说明:本实施例在以本发明技术方案为前提下进行实施,给出了详细的实施方式和过程,但本发明的保护范围不限于下述的实施例,下列实施例中未注明具体条件的实验方法,通常按照常规条件。
本发明提供了一种防覆冰复合涂层10,涂层示意图如图1所示,该复合涂层10包括:
金属膜层110,位于基材100表面;
金属氮化物膜层120,位于金属膜层110之上;
纳米棒状氧化锌层130,位于金属氮化物膜层120之上;以及
疏水层140,位于纳米棒状氧化锌层130之上。
本发明的基材100一般为金属基材。
其中,金属膜层110可以为Cr或Ti金属膜层,金属氮化物膜层120可以为Cr或Ti金属氮化物膜层,如CrN或TiN膜层。在本发明一实施方式中,金属膜层110为Cr金属膜层,金属氮化物膜层120为CrN膜层;在本发明另一实施方式中,金属膜层110为Ti金属膜层,金属氮化物膜层120为TiN膜层。金属膜层110的厚度可以为100~500nm,金属氮化物膜层120的厚度可以为500~1000nm。
其中,纳米棒状氧化锌层130是以锌为靶材进行真空脉冲磁控溅射得到纳米棒状结构锌层,然后在含氧气氛下进行热处理得到的,因此纳米棒状氧化锌层130呈粗糙的纳米棒状结构。纳米棒状氧化锌层130的厚度可以为2000~4000nm。
其中,疏水层140为有机疏水层,可以为含氟聚合物类、有机硅类、氟硅聚合物类和高级脂肪酸类有机涂层中的一种或几种;较佳的是,采用硅烷偶联剂对基材上纳米棒状氧化锌层130进行包覆形成疏水层。疏水层的厚度为1000~2000nm。
如此设置,纳米棒状氧化锌层和疏水层都可以起到疏水的作用,而且纳米棒状结构可以增加本发明复合涂层表面的粗糙度,进而提高本发明涂层的耐温性能和疏水性能。
本发明还提供了上述防覆冰复合涂层的制备方法,如图2所示,该制备方法包括如下步骤:
S1,采用磁过滤阴极真空弧源在基材表面沉积金属膜层;
S2,采用磁过滤阴极真空弧源在通入氮气的条件下,在金属膜层上沉积金属氮化物膜层;
S3,采用真空脉冲磁控溅射技术,以锌为靶材进行溅射,在金属氮化物膜层上沉积粗糙的纳米棒状结构锌层,然后在含氧气氛下进行热处理得到纳米棒状氧化锌层;以及
S4,对纳米棒状氧化锌层进行修饰,得到疏水层。
其中,S1为采用磁过滤阴极真空弧源在基材100表面沉积金属膜层110,金属膜层为Cr或Ti金属膜层,采用磁过滤阴极真空弧源沉积的工艺条件为:阴极弧流控制在60~90A;沉积负偏压控制在100~800V,占空比维持为60~90%,沉积时间为0.5~1小时。
S2为采用磁过滤阴极真空弧源在通入氮气的条件下,在金属膜层110上沉积金属氮化物膜层120,金属氮化物膜层120为Cr或Ti金属氮化物膜层,优选为S2中金属氮化物膜层120中金属与S1中金属膜层110中的金属相同。即金属氮化物膜层120为Cr金属氮化物膜层,金属膜层110为Cr金属膜层;或者金属氮化物膜层120为Ti金属氮化物膜层,金属膜层110为Ti金属膜层。采用磁过滤阴极真空弧源沉积的工艺条件优选为:氮气流量控制为50~70sccm,真空室的真空度维持在1.3×10-2~1.6×10-2Pa,沉积负偏压控制在100~300V,占空比维持为70~90%,沉积时间为1~2小时。
S3为采用真空脉冲磁控溅射技术,以锌为靶材进行溅射,在金属氮化物膜层120上沉积粗糙的纳米棒状结构锌层,真空脉冲磁控溅射技术进行溅射的工艺条件优选为:采用的靶材为99.99%以上的锌靶,溅射电压为300~700V,溅射电流为0.5~1A,沉积时间为30~100min。
然后在含氧气氛下进行热处理得到纳米棒状氧化锌层130,含氧气氛中氧气的体积含量应不小于21%,优选为富氧气流、空气气氛或者纯氧气气氛等。热处理方式可以为马弗炉中加热等,热处理的温度为300~400℃,时间为0.5~2h。
S4为对纳米棒状氧化锌层130进行修饰,得到疏水层140。对纳米棒状氧化锌层130进行修饰的方法为:将S3沉积纳米棒状氧化锌层后的基材浸泡于硅烷偶联剂的溶液中0.5~2h,然后在80~120℃加热10~30min,得到疏水层140;所述硅烷偶联剂为有机硅氧烷类偶联剂。
上述的防覆冰复合涂层10可以用于飞机部件100a上,如图3所示,以起到防覆冰作用。飞机部件100a例如可以为机翼和水平尾翼、垂直尾翼前缘、发动机进气道唇口、进气部件(导向叶片、支撑等)、螺旋桨桨叶、整流帽罩、风挡、舱盖等,也可以为空速管、攻角、温度传感器等。
下面通过具体实施例对本发明技术方案进行详细的描述,以更进一步了解本发明的目的、方案及功效,但并非作为本发明所附权利要求保护范围的限制。
实施例1
S1步骤,首先是采用磁过滤阴极真空弧源在基材表面沉积Ti膜层,阴极弧流控制在60A;沉积负偏压控制在800V,占空比维持为70%,沉积时间为0.6小时。
S2步骤,沉积Ti膜层之后,采用磁过滤阴极真空弧源于Ti膜层上沉积TiN膜层。具体工艺条件为,氮气流量控制为70sccm,真空室的真空度维持在1.6×10-2Pa,沉积负偏压控制在200V,占空比维持为90%,沉积时间为1.5小时。
S3步骤,沉积TiN膜层之后,采用真空脉冲磁控溅射技术于TiN膜层上沉积纳米棒状结构锌层。具体工艺为,真空脉冲磁控溅射工艺中采用的靶材为99.99%的锌靶,溅射电压为700V,溅射电流为0.6A,沉积时间为100min。
沉积纳米棒状结构锌层之后,将工件放于马弗炉中在空气气氛下进行热处理,热处理温度为300℃,时间为2h。
S4步骤,热处理之后,对工件进行低表面能修饰。具体工艺为,将工件放入硅烷偶联剂中浸泡2h,然后加热120℃后保持15min。硅烷偶联剂为苯基三甲氧基硅烷溶液。
实施例2
S1步骤,首先是采用磁过滤阴极真空弧源在基材表面沉积Cr膜层,阴极弧流控制在80A;沉积负偏压控制在500V,占空比维持为80%,沉积时间为1小时。
S2步骤,沉积Cr膜层之后,采用磁过滤阴极真空弧源于Cr膜层上沉积CrN膜层。具体工艺条件为,氮气流量控制为55sccm,真空室的真空度维持在1.3×10-2Pa,沉积负偏压控制在300V,占空比维持为70%,沉积时间为1小时。
S3步骤,沉积CrN膜层之后,采用真空脉冲磁控溅射技术于CrN膜层上沉积纳米棒状结构锌层。具体工艺为,真空脉冲磁控溅射工艺中采用的靶材为99.99%的锌靶,溅射电压为500V,溅射电流为1A,沉积时间为50min。
沉积纳米棒状结构锌层之后,将工件放于马弗炉中在空气气氛下进行热处理,热处理温度为350℃,时间为1.5h。
S4步骤,热处理之后,对工件进行低表面能修饰。具体工艺为,将工件放入硅烷偶联剂中浸泡1h,然后加热80℃后保持30min。硅烷偶联剂为苯基三甲氧基硅烷溶液。
本发明制备的涂层经过实验测试可得性能如下:
疏水性能:工件在沉积本发明涂层前后,静态接触角从50°提高到150°,涂层表现出优秀的疏水性能。
本发明采用磁过滤阴极真空弧放电技术于工件表面沉积金属及陶瓷复合膜层,采用真空脉冲磁控溅射技术得到纳米棒状氧化锌层,然后通过包覆得到疏水层。该涂层具有优良的超疏水性能,在高低温工作环境下具有明显的防覆冰效果,并且涂层在高温下具有较长的寿命。
当然,本发明还可有其它多种实施例,在不背离本发明精神及其实质的情况下,熟悉本领域的技术人员可根据本发明作出各种相应的改变和变形,但这些相应的改变和变形都应属于本发明权利要求的保护范围。

Claims (14)

1.一种防覆冰复合涂层,其特征在于,该复合涂层包括:
金属膜层,位于基材表面;
金属氮化物膜层,位于所述金属膜层之上;
纳米棒状氧化锌层,位于所述金属氮化物膜层之上;以及
疏水层,位于所述纳米棒状氧化锌层之上。
2.根据权利要求1所述的防覆冰复合涂层,其特征在于,所述金属膜层为Cr或Ti金属膜层,所述金属氮化物膜层为Cr或Ti金属氮化物膜层。
3.根据权利要求2所述的防覆冰复合涂层,其特征在于,所述金属膜层为Cr金属膜层,所述金属氮化物膜层为Cr金属氮化物膜层;或者所述金属膜层为Ti金属膜层,所述金属氮化物膜层为Ti金属氮化物膜层。
4.根据权利要求1所述的防覆冰复合涂层,其特征在于,所述纳米棒状氧化锌层是以锌为靶材进行真空脉冲磁控溅射得到纳米棒状结构锌层,然后在含氧气氛下进行热处理得到的。
5.根据权利要求4所述的防覆冰复合涂层,其特征在于,所述含氧气氛中氧气的体积含量不小于21%。
6.根据权利要求1所述的防覆冰复合涂层,其特征在于,所述疏水层为含氟聚合物类、有机硅类、氟硅聚合物类和高级脂肪酸类有机涂层中的一种或几种。
7.根据权利要求1所述的防覆冰复合涂层,其特征在于,所述金属膜层的厚度为100~500nm,所述金属氮化物膜层的厚度为500~1000nm,所述纳米棒状氧化锌层的厚度为2000~4000nm,所述疏水层的厚度为1000~2000nm。
8.一种防覆冰复合涂层的制备方法,其特征在于,该制备方法包括如下步骤:
S1,采用磁过滤阴极真空弧源在基材表面沉积金属膜层;
S2,采用磁过滤阴极真空弧源在通入氮气的条件下,在金属膜层上沉积金属氮化物膜层;
S3,采用真空脉冲磁控溅射技术,以锌为靶材进行溅射,在金属氮化物膜层上沉积粗糙的纳米棒状结构锌层,然后在含氧气氛下进行热处理得到纳米棒状氧化锌层;以及
S4,对纳米棒状氧化锌层进行修饰,得到疏水层。
9.根据权利要求8所述的防覆冰复合涂层的制备方法,其特征在于,所述金属膜层为Cr或Ti金属膜层,所述金属氮化物膜层为Cr或Ti金属氮化物膜层。
10.根据权利要求8所述的防覆冰复合涂层的制备方法,其特征在于,S1中采用磁过滤阴极真空弧源沉积的工艺条件为:阴极弧流控制在60~90A;沉积负偏压控制在100~800V,占空比维持为60~90%,沉积时间为0.5~1小时。
11.根据权利要求8所述的防覆冰复合涂层的制备方法,其特征在于,S2中采用磁过滤阴极真空弧源沉积的工艺条件为:氮气流量控制为50~70sccm,真空室的真空度维持在1.3×10-2~1.6×10-2Pa,沉积负偏压控制在100~300V,占空比维持为70~90%,沉积时间为1~2小时。
12.根据权利要求8所述的防覆冰复合涂层的制备方法,其特征在于,S3中采用真空脉冲磁控溅射技术进行溅射的工艺条件为:采用的靶材为99.99%以上的锌靶,溅射电压为300~700V,溅射电流为0.5~1A,沉积时间为30~100min;热处理的温度为300~400℃,时间为0.5~2h。
13.根据权利要求8所述的防覆冰复合涂层的制备方法,其特征在于,S4中对纳米棒状氧化锌层进行修饰的方法为:将S3沉积纳米棒状氧化锌层后的基材浸泡于硅烷偶联剂的溶液中0.5~2h,然后在80~120℃加热10~30min,得到疏水层;所述硅烷偶联剂为有机硅氧烷类偶联剂。
14.一种飞机部件,其特征在于,该飞机部件上涂有权利要求1-7任一项所述的防覆冰复合涂层。
CN201811267092.4A 2018-10-29 2018-10-29 一种防覆冰复合涂层及其制备方法与应用 Active CN109402563B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201811267092.4A CN109402563B (zh) 2018-10-29 2018-10-29 一种防覆冰复合涂层及其制备方法与应用

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201811267092.4A CN109402563B (zh) 2018-10-29 2018-10-29 一种防覆冰复合涂层及其制备方法与应用

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN109402563A true CN109402563A (zh) 2019-03-01
CN109402563B CN109402563B (zh) 2020-09-15

Family

ID=65470505

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201811267092.4A Active CN109402563B (zh) 2018-10-29 2018-10-29 一种防覆冰复合涂层及其制备方法与应用

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN109402563B (zh)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109913823A (zh) * 2019-04-04 2019-06-21 北京师范大学 一种轻水堆锆管涂层
CN112662997A (zh) * 2020-12-18 2021-04-16 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 一种超疏水耐磨涂层及其制备方法与应用
CN114921190A (zh) * 2022-06-08 2022-08-19 中国空气动力研究与发展中心设备设计与测试技术研究所 一种柔性光热超疏水复合防冰薄膜及其制备方法

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104818454A (zh) * 2015-04-17 2015-08-05 北京机械工业自动化研究所 一种耐高温疏水材料及其制备方法
CN104818453A (zh) * 2015-04-17 2015-08-05 北京机械工业自动化研究所 一种耐冲蚀疏水材料及其制备方法
CN106637099A (zh) * 2017-03-07 2017-05-10 郑州航空工业管理学院 用于水下低速航行器的耐腐蚀减阻薄膜及制备方法
CN106746736A (zh) * 2016-12-21 2017-05-31 安徽凯盛基础材料科技有限公司 一种超疏水玻璃涂层及其制备方法

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104818454A (zh) * 2015-04-17 2015-08-05 北京机械工业自动化研究所 一种耐高温疏水材料及其制备方法
CN104818453A (zh) * 2015-04-17 2015-08-05 北京机械工业自动化研究所 一种耐冲蚀疏水材料及其制备方法
CN106746736A (zh) * 2016-12-21 2017-05-31 安徽凯盛基础材料科技有限公司 一种超疏水玻璃涂层及其制备方法
CN106637099A (zh) * 2017-03-07 2017-05-10 郑州航空工业管理学院 用于水下低速航行器的耐腐蚀减阻薄膜及制备方法

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
RUIJIN LIAO ET.AL: ""Anti-icing performance in glaze ice of nanostructured film prepared by RF magnetron sputtering"", 《APPLIED SURFACE SCIENCE》 *

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109913823A (zh) * 2019-04-04 2019-06-21 北京师范大学 一种轻水堆锆管涂层
CN112662997A (zh) * 2020-12-18 2021-04-16 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 一种超疏水耐磨涂层及其制备方法与应用
CN112662997B (zh) * 2020-12-18 2023-03-10 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 一种超疏水耐磨涂层及其制备方法与应用
CN114921190A (zh) * 2022-06-08 2022-08-19 中国空气动力研究与发展中心设备设计与测试技术研究所 一种柔性光热超疏水复合防冰薄膜及其制备方法
CN114921190B (zh) * 2022-06-08 2024-02-06 中国空气动力研究与发展中心设备设计与测试技术研究所 一种柔性光热超疏水复合防冰薄膜及其制备方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN109402563B (zh) 2020-09-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN109295416B (zh) 一种超疏水复合涂层及其制备方法与应用
CN109402563A (zh) 一种防覆冰复合涂层及其制备方法与应用
CN108715988B (zh) 一种兼具热障及抗cmas腐蚀附着的热障涂层及其制备工艺
JP3434504B2 (ja) 金属基体の断熱方法
EP1642993A1 (en) Segmented gadolinia zirconia coatings
CN111004990B (zh) 用于热障涂层抗熔融cmas腐蚀的max相涂层及热喷涂制备方法
CN110144541B (zh) 一种高温钛合金热障涂层材料及其制备方法
CN102477534B (zh) 镀膜件及其制备方法
CN104451675B (zh) 高抗热震性陶瓷封严涂层的制备方法
CN109402582B (zh) 一种耐冲蚀防覆冰复合涂层及其制备方法与应用
CN101776778A (zh) 耐候银镜及其制备方法
CN111962028A (zh) 一种eb-pvd/aps复合结构双陶瓷层热障涂层及其制备方法
CN108286036B (zh) 一种原位补氧型扫描式电子束气相沉积(ioc-sevd)装置及其方法
US20150292074A1 (en) A porous coating applied onto an aerial article
CN105605814B (zh) 一种太阳光谱选择性吸收涂层及其制备方法
CN102776512B (zh) 一种梯度热障涂层的制备方法
US11453941B2 (en) Cerium oxide coating, its preparation and use
CN106634118A (zh) 一种用于露天阀门防护的金属涂料
CN110527962A (zh) 一种低应力耐湿热复合热控薄膜及其制备方法
CN114164386B (zh) 一种低空飞行器表面的复合梯度涂层及其制备方法
CN211079339U (zh) 一种具有长寿命的热障涂层
CN106082700B (zh) 一种用于飞机风挡玻璃防冰防雾的电加热膜及其制备方法
CN105018886A (zh) 一种兼备抗热震性和抗冲蚀性热障涂层的制备方法
CN104369495A (zh) 一种自粘性丙烯酸乳液涂布的镀氧化铝膜及其制造方法
CN103818053A (zh) 复合结构的模内金属化

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant