CN109335689A - 一种自动整理硅片的装置 - Google Patents

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胡世珍
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/07—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for semiconductor wafers Not used, see H01L21/677

Abstract

本发明提供一种自动整理硅片的装置，包括基座，基座左上方设有入料斗，入料斗底部连接有震动电机，基座顶部左端设有旋转台，旋转台上连接有转盘，转盘的左端位于入料斗的正下方，基座顶部中间设有气泵与支撑杆，气泵位于支撑杆左方，支撑杆顶部连接有联轴器，联轴器的另一端连接有伸缩杆，伸缩杆下方设有吸嘴，吸嘴顶部连接有气管，吸嘴通过气管与气泵相连通，支撑杆与伸缩杆上均套有扎带，管通过扎带绑缚在支撑杆与伸缩杆上，基座顶部右端设有放置区，本发明通过联轴器的转动与伸缩杆的伸缩，使得吸嘴将硅片放入卡塞内，整个过程使用吸嘴代替人手与镊子，减小了硅片破损的概率。

Description

一种自动整理硅片的装置
技术领域
本发明涉及自动化技术领域，尤其涉及一种自动整理硅片的装置。
背景技术
科学技术的发展不断推动着半导体的发展，在半导体工业生产过程中，许多步骤中需要用到硅片，使用过后的硅片要经过整理后送去清洗，而由于硅片很脆弱，人员在整理硅片过程中，用手拿取或用镊子夹取硅片都极易造成硅片的破损，因此，解决这一问题就显的十分必要了。
发明内容
针对现有技术的不足，本发明提供了一种自动整理硅片的装置，解决了人员在整理硅片过程中极易造成硅片破损的问题，本发明为解决技术问题而采用如下技术方案：包括基座，基座左上方设有入料斗，入料斗底部连接有震动电机，基座顶部左端设有旋转台，旋转台上连接有转盘，转盘的左端位于入料斗的正下方，基座顶部中间设有气泵与支撑杆，气泵位于支撑杆左方，支撑杆顶部连接有联轴器，联轴器的另一端连接有伸缩杆，伸缩杆下方设有吸嘴，吸嘴顶部连接有气管，吸嘴通过气管与气泵相连通，支撑杆与伸缩杆上均套有扎带，扎带的长度超过支撑杆高度与伸缩杆长度之和，气管通过扎带绑缚在支撑杆与伸缩杆上，基座顶部右端设有放置区，放置区上放置卡塞。
进一步改进在于：所述基座上设有槽体，槽体位于旋转台与放置区之间，气泵与支撑杆的底部均穿过槽体底部，转盘底部与槽体底部均铺设有泡沫垫，当吸嘴吸附的是破碎硅片或吸嘴吸附力不够导致硅片掉落时，硅片掉入槽体内，避免加剧硅片的损坏。
进一步改进在于：转盘的圆弧边上设有阻挡环，防止转盘转动时将硅片甩出去。
进一步改进在于：所述入料斗的左上方为倾斜设置，震动电机与入料斗的左上方底部相连，将散装的硅片倒入入料斗后，通过震动电机带动入料斗震动，使得硅片连续掉落至转盘内，方便吸嘴吸附硅片表面。
本发明的有益效果是：通过振动电机带动入料斗震动，使得硅片陆续掉在转盘上，此时旋转台带动转盘转动，使得硅片平整的放置在转盘上，方便了吸嘴吸附硅片，吸嘴吸附硅片后，通过联轴器的转动与伸缩杆的伸缩，使得吸嘴将硅片放入卡塞内，整个过程使用吸嘴代替人手与镊子，减小了硅片破损的概率。
附图说明
图1是本发明的结构示意图。
其中：1-基座，2-入料斗，3-震动电机，4-旋转台，5-转盘，6-气泵，7-支撑杆，8-联轴器，9-伸缩杆，10-吸嘴，11-气管，12-扎带，13-放置区，14-槽体，15-泡沫垫，16-阻挡环。
具体实施方式
为了加深对本发明的理解，下面将结合实施例对本发明做进一步详述，本实施例仅用于解释本发明，并不构成对本发明保护范围的限定。
如图1示，本实施例提供了一种自动整理硅片的装置，包括基座1，基座1左上方设有入料斗2，入料斗2底部连接有震动电机3，基座1顶部左端设有旋转台4，旋转台4上连接有转盘5，转盘5的左端位于入料斗2的正下方，将散装的硅片倒入入料口2后，启动震动电机3，使得硅片从入料口2底端掉落至转盘5上，旋转台4带动转盘5转动，基座1顶部中间设有气泵6与支撑杆7，气泵6位于支撑杆7左方，支撑杆7顶部连接有联轴器8，联轴器8的另一端连接有伸缩杆9，伸缩杆9下方设有吸嘴10，吸嘴10顶部连接有气管11，吸嘴10通过气管11与气泵6相连通，支撑杆7与伸缩杆9上均套有扎带12，气管11通过扎带12绑缚在支撑杆7与伸缩杆9上，基座1顶部右端设有放置区13，转盘5转动后，通过联轴器8的转动与伸缩杆9的伸缩，将吸嘴10带至转盘5上方，此时气泵6抽气，通过吸嘴10将硅片吸附住，再次通过联轴器8的转动与伸缩杆9的伸缩，将硅片塞入放置区13上的卡塞内，实现对硅片的整理动作，基座1上设有槽体14，槽体14位于旋转台4与放置区13之间，气泵6与支撑杆7的底部均穿过槽体14底部，转盘5底部与槽体14底部均铺设有泡沫垫15，槽体14用来接住掉落的硅片，转盘5的圆弧边上设有阻挡环16，入料斗2的左上方为倾斜设置，震动电机3与入料斗2的左上方相连。

Claims (4)

1.一种自动整理硅片的装置，包括基座（1），其特征在于：所述基座（1）左上方设有入料斗（2），所述入料斗（2）底部连接有震动电机（3），所述基座（1）顶部左端设有旋转台（4），所述旋转台（4）上连接有转盘（5），所述转盘（5）的左端位于入料斗（2）的正下方，所述基座（1）顶部中间设有气泵（6）与支撑杆（7），所述气泵（6）位于支撑杆（7）左方，所述支撑杆（7）顶部连接有联轴器（8），所述联轴器（8）的另一端连接有伸缩杆（9），所述伸缩杆（9）下方设有吸嘴（10），所述吸嘴（10）顶部连接有气管（11），所述吸嘴（10）通过气管（11）与气泵（6）相连通，所述支撑杆（7）与伸缩杆（9）上均套有扎带（12），所述气管（11）通过扎带（12）绑缚在支撑杆（7）与伸缩杆（9）上，所述基座（1）顶部右端设有放置区（13）。
2.如权利要求1所述的一种自动整理硅片的装置，其特征在于：所述基座（1）上设有槽体（14），所述槽体（14）位于旋转台（4）与放置区（13）之间，所述气泵（6）与支撑杆（7）的底部均穿过槽体（14）底部，所述转盘（5）底部与槽体（14）底部均铺设有泡沫垫（15）。
3.如权利要求1所述的一种自动整理硅片的装置，其特征在于：所述转盘（5）的圆弧边上设有阻挡环（16）。
4.如权利要求1所述的一种自动整理硅片的装置，其特征在于：所述入料斗（2）的左上方为倾斜设置，所述震动电机（3）与入料斗（2）的左上方底部相连。
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