CN109295432A - 一种真空设备门盖关闭自调节装置 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种真空设备上盖关闭自调节装置；其特征在于，它包括：铰链、铰链座、铰链上轴心杆、铰链下轴心杆、固定杆、左微调固定片、右微调固定片及微调片固定轴心杆；所述铰链利用铰链下轴心杆固定在铰链座上，铰链上轴心固定动力来源；例如油压杆，铰链与固定杆以螺丝固定，左微调片及右微调片以插销方式固定在铰链上，微调片固定轴心固定微调片及固定杆，形成可前后摆动的状态；固定杆下方可锁固需上下移动部件；例如上盖。通过这样的结构可以使上盖在闭合时能自动调节前后位置，可以紧密及准确盖在腔室上，不会产生翘曲或闭合不紧的现象。
Description
技术领域
技术领域本发明涉及真空封合领域，特别是涉及一种真空设备上盖关闭自调节装置。
背景技术
真空镀膜设备上盖开盖机构大都有两种设置；一种不做任何机构，客户端设置行车，使用行车吊挂，但会增加客户厂房建置的成本；另一种是设置上盖上掀机构，采用电动缸或液压缸来做动力来源，通过铰链连接到上盖，将上盖打开至设定位置，但是于上盖闭合时，前后两端因为角度差异及先后接触的顺序问题容易造成后端已接触腔壁，前端尚未接触且因铰链连接上盖位置为固定不可活动支点，导致前或后端与腔体不接触，关门失效。导致这种异常由于实际组装误差或设备部件规格及位置与设计存在不一致造成的。于是需要不定时调整机构位置；于是本创作鉴于现有电动缸或液压缸上掀动作上有上述诸多缺失，乃藉其多年于相关领域的制造及设计经验和知识的辅佐，并经多方巧思，针对现有传送动作更新的研发，而研创出本创作。
发明内容
本发明主要解决的技术问题是提供一种真空设备上盖关闭自调节装置，使其能够解决真空腔体上盖关闭时前或后端与腔体不接触，关门失效，导致真空抽气无法进行。
为解决上述技术问题，本发明采用的一个技术方案是：提供一种一种真空设备上盖关闭自调节装置；其特征在于，它包括：铰链、铰链上轴心杆、铰链座、铰链下轴心杆、右微调固定片、固定杆、左微调固定片及微调片固定轴心杆；所述铰链利用铰链下轴心杆固定在铰链座上，铰链上轴心固定动力来源；例如油压杆，铰链与固定杆以螺丝固定，左微调片及右微调片以插销方式固定在铰链上，微调片固定轴心固定微调片及固定杆，形成可前后摆动的状态；固定杆下方可锁固需上下移动部件，所述左右微调片于上盖闭合时，若后端先行接触腔壁，则导致左右微调片绕着微调片固定轴心向前有角度的转动，进而使上盖前后端达到一定的平行度平衡状态，史上盖能水平方式闭合，不会产生关门失效。对于后续使用的可靠度相当高，大幅减少对关门机构的维护调整工作，大幅减少设备故障停机时间。
本发明的有益效果是：
1. 本发明结构简单，完全不需电力或气动元件来维持上盖平行度。
2. 本发明利用左右微调片的转动来达到上盖闭合时的前后平行度，不致使关门失效。
在一个实例中，真空腔体上盖由左右两边的铰链完成开启及闭合工作，铰链上轴心杆连接液压缸，铰链固定在铰链座上，铰链固定杆与上盖连接在一起，左微调片、右微调片与固定杆利用微调片固定轴心固定，使上盖前后端能做平行度调整以达到自我调整的目的。
附图说明
图1是本发明结构示意图；
图2是本发明应用实例示意图
主要元件符号说明 10……………… 自调节装置
11………………. 铰链 12……………… 铰链上轴心杆 13………………. 铰链座14………………. 铰链下轴心杆 15………………. 右微调固定片 16………………. 固定杆 17………………. 左微调固定片 18……………..... 微调片固定轴心杆21……………… 腔体上盖 。
具体实施方式
下面结合附图对本发明的较佳实施例进行详细阐述，以使本发明的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解，从而对本发明的保护范围做出更为清楚明确的界定。
请参阅图1，本发明实施例包括：
一种真空设备上盖关闭自调节装置，包括：铰链11、铰链上轴心杆12、铰链座13、铰链下轴心杆14、右微调固定片15、固定杆16、左微调固定片17及微调片固定轴心杆18；所述的铰链11与固定杆16以螺丝固定，左微调片17及右微调片15以插销方式固定在铰链11上，微调片固定轴心18固定右微调片15、左微调片17及固定杆16。
请参阅图2，在实施例中，自调节装置设置10在腔体上盖21左右两边，自调节装置10一端连接液压缸，另一端连接腔体上盖21；当液压缸传送动力将
腔体上盖21闭合时，若腔体上盖21若后端先行接触腔壁，则导致左微调片17、右微调片15绕着微调片固定轴心18向前有角度的转动，进而使腔体上盖21前后端达到一定的平行度平衡状态，使腔体上盖21能水平方式闭合，不会产生关门失效。对于后续使用的可靠度相当高，大幅减少对关门机构的维护调整工作，大幅减少设备故障停机时间。
以上所述仅为本发明的实施例，并非因此限制本发明的专利范围，凡是利用本发明说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本发明的专利保护范围内。
Claims (7)
1.一种真空设备上盖关闭自调节装置，其特征在于，它包括：铰链、铰链座、铰链上轴心杆、铰链下轴心杆、固定杆、左微调固定片、右微调固定片及微调片固定轴心杆；所述铰链利用铰链下轴心杆固定在铰链座上，铰链上轴心固定动力来源；例如油压杆，铰链与固定杆以螺丝固定，左微调片及右微调片以插销方式固定在铰链上，微调片固定轴心固定微调片及固定杆，形成可前后摆动的状态；固定杆下方可锁固需上下移动部件。
2.根据权利要求1所述的一种真空设备上盖关闭自调节装置，其特征在于：所述铰链为不锈钢材质，孔径为35mm，宽度45mm。
3.根据权利要求1所述的一种真空设备上盖关闭自调节装置，其特征在于：所述铰链上轴心杆，直径35mm，长度83mm。
4.根据权利要求1所述的一种真空设备上盖关闭自调节装置，其特征在于：所述微调片固定轴心杆，直径35mm，长度83mm。
5.根据权利要求1所述的一种真空设备上盖关闭自调节装置，其特征在于：所述铰链下轴心杆，直径35mm，长度103mm。
6.根据权利要求1所述的一种真空设备上盖关闭自调节装置，其特征在于：所述左微调固定片及右微调固定片为倒三角圆角形状，孔径35mm，以三明治夹持方式固定在固定杆上。
7.根据权利要求1所述的一种真空设备上盖关闭自调节装置，其特征在于：所述固定杆，宽度45mm，长度960m，材质为不锈钢。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201710611397.1A CN109295432A (zh) | 2017-07-25 | 2017-07-25 | 一种真空设备门盖关闭自调节装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN201710611397.1A CN109295432A (zh) | 2017-07-25 | 2017-07-25 | 一种真空设备门盖关闭自调节装置 |
Publications (1)
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| CN109295432A true CN109295432A (zh) | 2019-02-01 |
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ID=65167837
Family Applications (1)
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| CN201710611397.1A Pending CN109295432A (zh) | 2017-07-25 | 2017-07-25 | 一种真空设备门盖关闭自调节装置 |
Country Status (1)
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| CN (1) | CN109295432A (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110819955A (zh) * | 2019-11-01 | 2020-02-21 | 南阳光驰科技有限公司 | 一种承重门可调节铰链装置 |
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2017
- 2017-07-25 CN CN201710611397.1A patent/CN109295432A/zh active Pending
Cited By (2)
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| CN110819955A (zh) * | 2019-11-01 | 2020-02-21 | 南阳光驰科技有限公司 | 一种承重门可调节铰链装置 |
| CN110819955B (zh) * | 2019-11-01 | 2024-05-28 | 南阳清水科技有限公司 | 一种承重门可调节铰链装置 |
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Application publication date: 20190201 |