CN109175658A - 一种铝薄膜与异种金属薄膜的精密连接方法 - Google Patents

一种铝薄膜与异种金属薄膜的精密连接方法 Download PDF

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Abstract

一种铝薄膜与异种金属薄膜的精密连接方法，它属于精密连接领域，具体涉及一种铝薄膜与异种金属薄膜的连接方法。本发明的目的是要解决现有铝与异种金属薄膜连接方法得到的扩散层厚度无法达到纳米级或厚度不均匀的问题。一种铝薄膜与异种金属薄膜的精密连接方法：先在异种金属薄膜上镀铝层，然后以异种金属薄膜表面的铝层与铝薄膜面接触形式重叠在一起，再通过真空扩散焊接技术进行焊接，即完成铝薄膜与异种金属薄膜的精密连接。优点：连接界面厚度均匀，平整致密，无微孔和缝隙，厚度控制在百nm量级，薄膜表面粗糙度小于100nm。本发明主要用于铝薄膜与异种金属薄膜的精密连接。

Description

一种铝薄膜与异种金属薄膜的精密连接方法
技术领域
本发明属于精密连接领域，具体涉及一种铝薄膜与异种金属薄膜的连接方法。
背景技术
铝具有密度低、导热性高、抗氧化性能较强等突出优点，是应用最为广泛的有色金属材料。在不同的应用场合，常常需要将铝与其它金属材料(异种金属)焊接在一起，形成复合结构以完成特定功能。但铝质软、熔点低(664℃)并容易在焊接界面上生成脆性的中间相产物。因此，焊接后材料容易发生变形、沿中间相断裂等问题。对于薄膜材料，上述情况将严重影响连接后材料的质量与性能。尤其在激光加载冲击物理实验研究中，铝薄膜被用作为标准材料，需要将铝薄膜与其它金属薄膜(铜、铁、钼、钽、钨等)连接在一起形成复合薄膜来使用。实验时，用强激光照射并烧蚀复合薄膜表面以产生冲击波，此冲击波将在薄膜中向另一表面传播。通过考察冲击波的传输特性(速度或渡越时间等)可以探寻其中的物理过程与规律。由于冲击波传输过程极为短暂，为使实验数据达到具有应用价值的精度，对复合薄膜的质量有极为严格的要求，具体为薄膜表面粗糙度小于100nm、连接界面无微孔或缝隙等缺陷、且无中间相生成、过渡层宽度控制在百nm量级。
目前，铝与其它金属材料的焊接一般采用爆炸焊、直接热压焊接、激光焊接、电子束焊接等，但这些方法都存在变形量大、界面无法精确控制(界面不平直、存在中间相产物)、表面粗糙等问题。而在激光加载冲击物理实验中，胶粘为常用的连接方式。该方式需要在两种材料薄膜之间涂覆胶水，然后施加一定压力使其贴合，胶水固化后实现薄膜的紧密连接。但这一方法在薄膜之间增加了胶层，其厚度通常接近1μm并且分布不均匀，此问题严重影响了冲击波在薄膜界面上的正常传播，给冲击波速度的测量带来不可忽视的误差，并且其影响难以准确评估和消除，从而大大降低了相关实验结果的置信度。
发明内容
本发明的目的是要解决现有铝与异种金属薄膜连接方法得到的扩散层厚度达到微米级或不均匀的问题，而提供一种铝薄膜与异种金属薄膜的精密连接方法。
一种铝薄膜与异种金属薄膜的精密连接方法，具体是按以下步骤完成的：
先在异种金属薄膜上镀铝层，然后以异种金属薄膜表面的铝层与铝薄膜面接触形式重叠在一起，再通过真空扩散焊接技术进行焊接，即完成铝薄膜与异种金属薄膜的精密连接。
本发明优点：采用本发明精密连接方法得到的铝-异种金属复合薄膜其连接界面厚度均匀，平整致密，无微孔和缝隙等缺陷，界面无新生成物相或胶层，扩散层厚度控制在百nm量级，薄膜表面粗糙度小于100nm，实现了精密连接的要求。
附图说明
图1是实施例1步骤四的叠放结构示意图，图中1为石英抛光片，2为铝薄膜，3为钽铌合金薄膜；
图2是实施例1得到的铝-钽铌合金复合薄膜连接界面的显微照片；
图3是实施例1得到的铝-钽铌合金复合薄膜连接界面的SEM图，
图4是实施例1得到的铝-钽铌合金复合薄膜连接界面的EDS线扫描曲线；
图5是实施例1得到的铝-钽铌合金复合薄膜的铝薄膜一侧表面粗糙度检测曲线，
图6是实施例1得到的铝-钽铌合金复合薄膜的钽铌合金薄膜一侧表面粗糙度检测曲线。
具体实施方式
具体实施方式一：本实施方式是一种铝薄膜与异种金属薄膜的精密连接方法，具体是按以下步骤完成的：
先在异种金属薄膜上镀铝层，然后以异种金属薄膜表面的铝层与铝薄膜面接触形式重叠在一起，再通过真空扩散焊接技术进行焊接，即完成铝薄膜与异种金属薄膜的精密连接。
本实施方式在异种金属薄膜上镀铝层，将铝薄膜与异种金属薄膜的连接转化成铝薄膜与异种金属薄膜表面的镀铝层的连接(铝与铝的连接)，而通过控制异种金属薄膜表面的铝层的厚度，达到控制扩散层厚度的目的，再通过真空扩散焊接技术进行焊接，最终得到的铝-异种金属复合薄膜其连接界面平整致密，无微孔和缝隙等缺陷，界面无新生成物相或胶层，扩散层厚度控制在百nm量级，薄膜表面粗糙度小于100nm，实现了精密连接的要求。
具体实施方式二：本实施方式与具体实施方式一的不同点是：一种铝薄膜与异种金属薄膜的精密连接方法是按以下步骤完成的：
一、清洗：分别将铝薄膜与异种金属薄膜依次放入丙酮、无水乙醇和去离子水中进行超声辅助方式清洗，得到干净铝薄膜和干净异种金属薄膜；
二、镀铝层：在干净异种金属薄膜表面采用溅射方式或蒸镀方式镀一层纯铝，得到含铝层异种金属薄膜；
三、表面处理：分别将干净铝薄膜和含铝层异种金属薄膜浸入NaOH溶液，浸泡时间为5s～15s，取出后依次用去离子水和无水乙醇清洗，晾干，得到表面处理后铝薄膜和表面处理后含铝层异种金属薄膜；
四、叠放：在体视显微镜下将表面处理后铝薄膜和表面处理后含铝层异种金属薄膜以表面处理后含铝层异种金属薄膜的铝层与表面处理后铝薄膜面接触形式重叠在一起，置于抛光片上，再盖上一片抛光片，得到组装后样品；
五、表面活化：将组装后样品送入扩散连接机中，抽真空至10-4Pa后，加热至100℃～120℃，并在温度为100℃～120℃下保温15min，再加热至250℃～270℃，并在温度为250℃～270℃下保温20min，得到待焊接样品；
六、扩散焊接：将扩散连接机内温度升温至430℃～460℃，然后对待焊接样品进行施压，施加压强为5MPa～6MPa，在真空度为10-4Pa、温度为430℃～460℃和压强为5MPa～6MPa条件下保温60min，撤去对待焊接样品施加的压强，在真空度为10-4Pa下自然冷却至室温，取出，即完成铝薄膜与异种金属薄膜的精密连接。
其他与具体实施方式一相同。
本实施方式步骤一清洗的目的是去除铝薄膜和异种金属薄膜表面的油污。
具体实施方式三：本实施方式与具体实施方式二的不同点是：步骤一中所述铝薄膜的表面粗糙度小于100nm，所述异种金属薄膜的表面粗糙度小于100nm。其他与具体实施方式二相同。
具体实施方式四：本实施方式与具体实施方式二或三之一不同点是：步骤一中所述的异种金属薄膜的熔点高于铝的熔点。其他与具体实施方式二或三相同。
具体实施方式五：本实施方式与具体实施方式二至四之一不同点是：步骤一中所述的异种金属薄膜为纯金属薄膜或合金薄膜，所述纯金属薄膜为铁薄膜、钼薄膜、钽薄膜、铌薄膜或钨薄膜，所述合金薄膜由铁、钼、钽、铌和钨中两种及两种以上制成。其他与具体实施方式二至四相同。
具体实施方式六：本实施方式与具体实施方式二至五之一不同点是：步骤一中分别将铝薄膜与异种金属薄膜依次放入丙酮、无水乙醇和去离子水中进行超声辅助方式清洗，清洗时间均为5min，得到干净铝薄膜和干净异种金属薄膜。其他与具体实施方式二至五相同。
具体实施方式七：本实施方式与具体实施方式二至六之一不同点是：步骤二中所述含铝层异种金属薄膜表面铝层的厚度为200nm～5μm。其他与具体实施方式二至六相同。
具体实施方式八：本实施方式与具体实施方式二至七之一不同点是：步骤三中所述NaOH溶液由NaOH和去离子水混合而成，且NaOH溶液中NaOH的浓度为0.4mol/L～1mol/L。其他与具体实施方式二至七相同。
具体实施方式九：本实施方式与具体实施方式二至八之一不同点是：步骤四中所述抛光片的材质为石英或蓝宝石，抛光片的表面粗糙度小于10nm。其他与具体实施方式二至八相同。
具体实施方式十：本实施方式与具体实施方式二至九之一不同点是：步骤五中以升温速率为6℃/min～10℃/min加热至100℃～120℃，并在温度为100℃～120℃下保温15min，再以升温速率为6℃/min～10℃/min加热至250℃～270℃，并在温度为250℃～270℃下保温20min。其他与具体实施方式二至九相同。
本发明内容不仅限于上述各实施方式的内容，其中一个或几个具体实施方式的组合同样也可以实现发明的目的。
采用下述试验验证本发明效果
实施例1：一种铝薄膜与异种金属薄膜的精密连接方法，具体是按以下步骤完成的：
一、清洗：分别将铝薄膜与钽铌合金薄膜依次放入丙酮、无水乙醇和去离子水中进行超声辅助方式清洗，清洗时间均为5min，得到干净铝薄膜和干净钽铌合金薄膜；所述铝薄膜的表面粗糙度为30nm，所述钽铌合金薄膜的表面粗糙度为28nm；
二、镀铝层：在干净异种金属薄膜表面采用溅射方式或蒸镀方式镀一层纯铝，得到含铝层异种金属薄膜；所述含铝层异种金属薄膜表面铝层的厚度为1μm；
三、表面处理：分别将干净铝薄膜和含铝层异种金属薄膜浸入NaOH溶液，浸泡时间为10s，取出后依次用去离子水和无水乙醇清洗，晾干，得到表面处理后铝薄膜和表面处理后含铝层异种金属薄膜；
四、叠放：在体视显微镜下将表面处理后铝薄膜和表面处理后含铝层异种金属薄膜以表面处理后含铝层异种金属薄膜的铝层与表面处理后铝薄膜面接触形式重叠在一起，置于抛光片中央位置，再盖上一片抛光片，得到组装后样品；
五、表面活化：将组装后样品送入扩散连接机中，抽真空至10-4Pa后，以升温速率为8℃/min加热至110℃，并在温度为110℃下保温15min，再以升温速率为8℃/min加热至260℃，并在温度为260℃下保温20min，得到待焊接样品；
六、扩散焊接：将扩散连接机内温度升温至445℃，然后对待焊接样品进行施压，施加压强为5.5MPa，在真空度为10-4Pa、温度为445℃和压强为5.5MPa条件下保温60min，撤去对待焊接样品施加的压强，在真空度为10-4Pa下自然冷却至室温，取出，即完成铝薄膜与异种金属薄膜的精密连接，得到铝-钽铌合金复合薄膜。
本实施例步骤一中所述的钽铌合金薄膜的熔点高于铝薄膜的熔点。
本实施例步骤三中所述NaOH溶液由NaOH和去离子水混合而成，且NaOH溶液中NaOH的浓度为0.7mol/L。
本实施例步骤四中所述抛光片的材质为石英，抛光片的表面粗糙度小于10nm。
图1是实施例1步骤四的叠放结构示意图，图中1为石英抛光片，2为铝薄膜，3为钽铌合金薄膜；通过图1表示本发明中样品与夹具(抛光片)的组装方式与具体位置；
图2是实施例1得到的铝-钽铌合金复合薄膜连接界面的显微照片；图2表征了铝-钽铌合金复合薄膜连接界面的组织形貌，证明了平直致密、无显微缺陷；
图3是实施例1得到的铝-钽铌合金复合薄膜连接界面的SEM图，图4是实施例1得到的铝-钽铌合金复合薄膜连接界面的EDS线扫描曲线，图中A表示铝-钽铌合金复合薄膜连接界面Al元素分布曲线，B表示铝-钽铌合金复合薄膜连接界面Nb元素分布曲线，C表示铝-钽铌合金复合薄膜连接界面Ta元素分布曲线；通过图3和图4表征了铝-钽铌合金复合薄膜连接界面的局部形貌及成分分布，证明界面无缺陷，扩散层厚度为百纳米量级。
对实施例1得到的铝-钽铌合金复合薄膜的铝薄膜一侧表面粗糙度进行检测，检测结果如图5和表1所示，图5是实施例1得到的铝-钽铌合金复合薄膜的铝薄膜一侧表面粗糙度检测曲线。图5和表1分别表征了扩散连接后Al薄膜一侧的表面轮廓及统计的粗糙度值，证明了本发明中Al薄膜的表面粗糙度可控。
表1
对实施例1得到的铝-钽铌合金复合薄膜的钽铌合金薄膜一侧表面粗糙度进行检测，检测结果如图6和表2所示，图6是实施例1得到的铝-钽铌合金复合薄膜的钽铌合金薄膜一侧表面粗糙度检测曲线。图6和表2分别表征了扩散连接后TaNb薄膜一侧的表面轮廓及统计的粗糙度值，证明了本发明中TaNb薄膜的表面粗糙度可控。
表2

Claims (10)

1.一种铝薄膜与异种金属薄膜的精密连接方法，其特征在于一种铝薄膜与异种金属薄膜的精密连接方法是按以下步骤完成的：
先在异种金属薄膜上镀铝层，然后以异种金属薄膜表面的铝层与铝薄膜面接触形式重叠在一起，再通过真空扩散焊接技术进行焊接，即完成铝薄膜与异种金属薄膜的精密连接。
2.根据权利要求1所述的一种铝薄膜与异种金属薄膜的精密连接方法，其特征在于一种铝薄膜与异种金属薄膜的精密连接方法是按以下步骤完成的：
一、清洗：分别将铝薄膜与异种金属薄膜依次放入丙酮、无水乙醇和去离子水中进行超声辅助方式清洗，得到干净铝薄膜和干净异种金属薄膜；
二、镀铝层：在干净异种金属薄膜表面采用溅射方式或蒸镀方式镀一层纯铝，得到含铝层异种金属薄膜；
三、表面处理：分别将干净铝薄膜和含铝层异种金属薄膜浸入NaOH溶液，浸泡时间为5s～15s，取出后依次用去离子水和无水乙醇清洗，晾干，得到表面处理后铝薄膜和表面处理后含铝层异种金属薄膜；
四、叠放：在体视显微镜下将表面处理后铝薄膜和表面处理后含铝层异种金属薄膜以表面处理后含铝层异种金属薄膜的铝层与表面处理后铝薄膜面接触形式重叠在一起，置于抛光片上，再盖上一片抛光片，得到组装后样品；
五、表面活化：将组装后样品送入扩散连接机中，抽真空至10-4Pa后，加热至100℃～120℃，并在温度为100℃～120℃下保温15min，再加热至250℃～270℃，并在温度为250℃～270℃下保温20min，得到待焊接样品；
六、扩散焊接：将扩散连接机内温度升温至430℃～460℃，然后对待焊接样品进行施压，施加压强为5MPa～6MPa，在真空度为10-4Pa、温度为430℃～460℃和压强为5MPa～6MPa条件下保温60min，撤去对待焊接样品施加的压强，在真空度为10-4Pa下自然冷却至室温，取出，即完成铝薄膜与异种金属薄膜的精密连接。
3.根据权利要求2所述的一种铝薄膜与异种金属薄膜的精密连接方法，其特征在于步骤一中所述铝薄膜的表面粗糙度小于100nm，所述异种金属薄膜的表面粗糙度小于100nm。
4.根据权利要求2所述的一种铝薄膜与异种金属薄膜的精密连接方法，其特征在于步骤一中所述的异种金属薄膜的熔点高于铝的熔点。
5.根据权利要求2或4所述的一种铝薄膜与异种金属薄膜的精密连接方法，其特征在于步骤一中所述的异种金属薄膜为纯金属薄膜或合金薄膜，所述纯金属薄膜为铁薄膜、钼薄膜、钽薄膜、铌薄膜或钨薄膜，所述合金薄膜由铁、钼、钽、铌和钨中两种及两种以上制成。
6.根据权利要求2所述的一种铝薄膜与异种金属薄膜的精密连接方法，其特征在于步骤一中分别将铝薄膜与异种金属薄膜依次放入丙酮、无水乙醇和去离子水中进行超声辅助方式清洗，清洗时间均为5min，得到干净铝薄膜和干净异种金属薄膜。
7.根据权利要求2所述的一种铝薄膜与异种金属薄膜的精密连接方法，其特征在于步骤二中所述含铝层异种金属薄膜表面铝层的厚度为200nm～5μm。
8.根据权利要求2所述的一种铝薄膜与异种金属薄膜的精密连接方法，其特征在于步骤三中所述NaOH溶液由NaOH和去离子水混合而成，且NaOH溶液中NaOH的浓度为0.4mol/L～1mol/L。
9.根据权利要求2所述的一种铝薄膜与异种金属薄膜的精密连接方法，其特征在于步骤四中所述抛光片的材质为石英或蓝宝石，抛光片的表面粗糙度小于10nm。
10.根据权利要求2所述的一种铝薄膜与异种金属薄膜的精密连接方法，其特征在于步骤五中以升温速率为6℃/min～10℃/min加热至100℃～120℃，并在温度为100℃～120℃下保温15min，再以升温速率为6℃/min～10℃/min加热至250℃～270℃，并在温度为250℃～270℃下保温20min。
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110328443A (zh) * 2019-06-24 2019-10-15 北京航星机器制造有限公司 一种脉冲电流辅助铝合金大面积扩散连接装置及方法
CN110756980A (zh) * 2019-11-07 2020-02-07 西北工业大学 分段式扩散焊接方法、其应用和航空发动机空心叶片
CN111681782A (zh) * 2020-06-18 2020-09-18 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 一种阻抗匹配靶制造方法
WO2023141332A1 (en) * 2022-01-24 2023-07-27 Applied Materials, Inc. Diffusion bonding of pure metal bodies

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002292474A (ja) * 2001-03-30 2002-10-08 Fuji Heavy Ind Ltd チタン材又はチタン合金材の接合方法
CN1943956A (zh) * 2006-09-28 2007-04-11 山东大学 一种钛与铝异种有色金属的扩散连接方法
CN101704160A (zh) * 2009-12-03 2010-05-12 西安交通大学 一种钨与铜及其合金异种金属连接方法
CN102000896A (zh) * 2010-11-10 2011-04-06 中国电子科技集团公司第十四研究所 Al合金Al-Cu瞬间液相扩散连接方法
CN102248278A (zh) * 2011-06-24 2011-11-23 武汉理工大学 镁合金与铝合金夹层扩散焊接的方法
CN103433584A (zh) * 2013-06-19 2013-12-11 哈尔滨工业大学 一种钛、铝异种金属大气条件下的中温钎焊方法

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002292474A (ja) * 2001-03-30 2002-10-08 Fuji Heavy Ind Ltd チタン材又はチタン合金材の接合方法
CN1943956A (zh) * 2006-09-28 2007-04-11 山东大学 一种钛与铝异种有色金属的扩散连接方法
CN101704160A (zh) * 2009-12-03 2010-05-12 西安交通大学 一种钨与铜及其合金异种金属连接方法
CN102000896A (zh) * 2010-11-10 2011-04-06 中国电子科技集团公司第十四研究所 Al合金Al-Cu瞬间液相扩散连接方法
CN102248278A (zh) * 2011-06-24 2011-11-23 武汉理工大学 镁合金与铝合金夹层扩散焊接的方法
CN103433584A (zh) * 2013-06-19 2013-12-11 哈尔滨工业大学 一种钛、铝异种金属大气条件下的中温钎焊方法

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110328443A (zh) * 2019-06-24 2019-10-15 北京航星机器制造有限公司 一种脉冲电流辅助铝合金大面积扩散连接装置及方法
CN110756980A (zh) * 2019-11-07 2020-02-07 西北工业大学 分段式扩散焊接方法、其应用和航空发动机空心叶片
CN111681782A (zh) * 2020-06-18 2020-09-18 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 一种阻抗匹配靶制造方法
CN111681782B (zh) * 2020-06-18 2022-06-07 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 一种阻抗匹配靶制造方法
WO2023141332A1 (en) * 2022-01-24 2023-07-27 Applied Materials, Inc. Diffusion bonding of pure metal bodies

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