CN108878337B - 一种硅片分片装置 - Google Patents
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Abstract
本申请公开了一种硅片分片装置，包括一分片箱，该分片箱上设有：出口部，该出口部设置在分片箱的一侧，出口部下端设置有出口；开口，该开口设置在分片箱的底部；滑槽，该滑槽设置在分片箱的内侧壁上，滑槽绕所述分片箱的内侧壁一周，滑槽连通出口部与开口；吸盘组件，该吸盘组件安装在滑槽内，吸盘组件在滑槽内移动。本申请通过吸盘组件吸附硅片堆最上层的硅片，然后吸盘组件携带硅片在滑槽内移动，将硅片从开口处运送至出口部，并通过出口进硅片运送出分片箱，实现硅片的分片，整个装置结构简单，不会出现硅片破损的情况，代替了现有的人工分片和结构复杂的机械手，节约生产成本。
Description
技术领域
本申请涉及硅片装卸技术领域，特别涉及到一种硅片分片装置。
背景技术
硅片在生产过程中，需要对硅片进行切割、清洗和烘干，但在切割完成后，硅片一般都是堆叠在一起，需要将硅片分成一片一片地插入硅片承载装置中再运送至超声波清洗机中进行清洗。在现有技术中，硅片的分片一般由人工手动分片，或是采用结构复杂的机械手进行夹持分片，效率较低且生产成本高，亟待改进。
在现有技术中，还可以通过皮带或辊轮带动上层硅片与下层硅片分离，但上层硅片会在下层硅片上滑过产生一定摩擦力，从而产生下层硅片被划花或者破损的情况，也不是最佳的解决方案。
发明内容
本申请的目的是一种硅片分片装置，代替现有的人工分片和结构复杂的机械手，并且能够避免硅片在分片过程中出现破损的情况，结构简单，实用性高。
为实现上述目的，本申请实施例采用以下技术方案：一种硅片分片装置，包括一分片箱，该分片箱上设有：出口部，该出口部设置在分片箱的一侧，出口部下端设置有出口；开口，该开口设置在分片箱的底部；滑槽，该滑槽设置在分片箱的内侧壁上，滑槽绕所述分片箱的内侧壁一周，滑槽连通出口部与开口；吸盘组件，该吸盘组件安装在滑槽内，吸盘组件在滑槽内移动。
在上技术方案中，本申请实施例在开口处放置硅片堆，并通过吸盘组件吸附硅片堆最上层的硅片，然后吸盘组件携带硅片在滑槽内移动，将硅片从开口处运送至出口部，并通过出口进硅片运送出分片箱，实现硅片的分片，整个装置结构简单，不会出现硅片破损的情况，代替了现有的人工分片和结构复杂的机械手，节约生产成本。
进一步地，在本申请实施例中，分片箱下方设置有支架，支架上固定有一电力伸缩杆，电力伸缩杆顶端设置有一托盘，托盘与所述开口对齐。在使用时，硅片堆放置在托盘上，通过电力伸缩杆控制托盘上升，将硅片堆从开口处运送至分片箱内。此外，电力伸缩杆能够不断上升以使硅片堆的高度维持一致，方便吸盘组件吸附硅片。
进一步地，在本申请实施例中，出口部下方设置有一支撑板，该支撑板固定在分片箱的外侧壁上，支撑板上安装有一外传送带。吸盘组件将硅片运送至出口部时，将硅片放置在外传送带上，并通过外传送带将硅片运送至下一工序。
进一步地，在本申请实施例中，吸盘组件包括：吸盘，该吸盘上设置有吸嘴和吸孔；吸盘支架，该吸盘支架与吸盘固定连接；固定座，该固定座与吸盘支架连接，固定座固定在滑槽内。在该技术方案中，通过吸嘴的吸气，吸盘能够实现吸附硅片，并通过吸盘支架及固定座，使吸盘组件能够在滑槽中移动实现运送硅片，最后再通过吸嘴放气将吸盘和硅片分离。
进一步地，在本申请实施例中，吸盘支架与固定座通过连杆连接，吸盘支架与固定座之间留有空隙，吸盘支架端部设置有锯齿，固定座上设置有齿轮，齿轮与所述锯齿啮合，齿轮连接齿轮电机。当齿轮电机带动齿轮旋转时，齿轮可以通过锯齿带动吸盘支架上下摆动，以达到调整吸盘组件的角度及高度的目的，更方便吸盘吸附硅片。
进一步地，在本申请实施例中，滑槽内设有：上卡槽，该上卡槽设置在滑槽的上侧壁；下卡槽，该下卡槽设置在滑槽的下侧壁，下卡槽与上卡槽对齐。上卡槽和下卡槽的数量有三对，上卡槽和下卡槽内依次安装有上传送带一、下传送带一、上传送带二、下传送带二、上传送带三和下传送带三。
更进一步地，在本申请实施例中，上传送带一与下传送带一之间安装有电机一，电机一固定在下传送带一上，电机一上设置有电机转轴，电机转轴向上传送带二和下传送带二之间延伸，电机转轴的端部设置有扇叶。
更进一步地，在本申请实施例中，上传送带二和下传送带二之间安装有电机二，电机二固定在下传送带二上，电机二上设置有电机转轴，电机转轴向上传送带一和下传送带一之间延伸，电机转轴的端部设置有扇叶。
更进一步地，在本申请实施例中，上传送带二和下传送带二之间安装有电机三，电机三固定在下传送带二上，电机三上设置有电机转轴，电机转轴向上传送带三和下传送带三之间延伸，电机转轴的端部设置有扇叶。
在上述技术方案中，通过电机一驱动上传送带二和下传送带二、电机二驱动上传送带一与下传送带一、电机三驱动上传送带三和下传送带三，使三组传送带之间的运动相互独立，互不干扰，能够在其中一组传送带停止使，另外两组传送带继续运动，节省硅片吸附和传送的时间，提高硅片分片的效率。
更进一步地，在本申请实施例中，扇叶至少有两个，扇叶之间具有空隙。
进一步地，在本申请实施例中，吸盘组件依次包括吸盘组件一、吸盘组件二、吸盘组件三、吸盘组件四、吸盘组件五和吸盘组件六，吸盘组件一和吸盘组件四固定在下传送带一上，吸盘组件二和吸盘组件五固定在下传送带二上，吸盘组件三和吸盘组件六固定在下传送带三上。吸盘组件两两对应，当其中一个吸盘组件在吸附硅片时，与之对应的吸盘组件刚好在卸下硅片，而其他两组吸盘组件可以在传送带作用下移动，节省硅片吸附和传送的时间，提高硅片分片的效率。
此外，本申请实施例还公开了一种使用上述硅片分片装置的硅片分片方法，包括以下步骤：
1)在托盘上放置层叠的硅片堆，启动电力伸缩杆，将硅片堆运送至分片箱内；
2)启动吸盘组件一的齿轮电机，使吸盘支架向下摆动，吸盘贴近硅片，吸嘴吸气，吸盘开始吸附硅片；
3)吸盘组件一将硅片完全吸附后，再次启动齿轮电机，使吸盘支架向上摆动，启动电机二，驱动上传送带一和下传送带一转动，带动吸盘组件一和吸盘组件四移动，吸盘组件一开始运送硅片；
4)当吸盘组件一携带硅片到达出口部时，电机二关闭，吸盘组件一停留在出口上方，启动齿轮电机，使吸盘支架向下摆动，将硅片放置在外传送带上，吸嘴放气，使吸盘和硅片分离；
5)当吸盘组件一放气结束，启动齿轮电机，使吸盘支架向上摆动，启动电机二，带动吸盘组件一离开出口部，外传送带启动，将硅片传送至下一加工单元。
进一步地，在步骤2)中，当吸盘组件一吸附硅片时，启动电机一和电机三，分别驱动上传送带二和下传送带二、上传送带三和下传送带三运转，下传送带二带动吸盘组件二和吸盘组件五移动，下传送带三带动吸盘组件三和吸盘组件六移动。
进一步地，在步骤4)中，当吸盘组件一位于所述出口部时，吸盘组件四位于硅片堆上方，开始吸附硅片。
附图说明
下面结合附图和实施例对本申请进一步说明。
图1是本申请一种硅片分片装置的结构示意图。
图2是图1中分片箱的结构示意图。
图3是图2中滑槽的截面图。
图4是电机组件在滑槽中的安装示意图。
图5是电机转轴运动示意图。
图6是图1中吸盘组件的结构示意图。
图7是图6中吸盘的结构示意图，包括吸盘的正面和反面。
图8是吸盘组件与滑槽的位置关系示意图。
图9是吸盘组件在分片箱内的分布位置示意图。
附图中
10、分片箱 101、支架 102、出口部
1021、出口 103、支撑板 104、外传送带
105、开口 106、托盘 107、电力伸缩杆
20、滑槽 201、滑槽一 202、滑槽二
203、滑槽三 204、滑槽四 205、滑槽五
206、滑槽六 207、上卡槽 208、下卡槽
209、上传送带一 210、下传送带一 211、上传送带二
212、下传送带二 213、上传送带三 214、下传送带三
215、电机一 216、电机二 217、电机三
218、电机转轴 219、扇叶
30、吸盘组件 301、吸盘 302、吸盘支架
303、固定座 304、连杆 305、锯齿
306、齿轮 3011、吸嘴 3012、吸孔
310、吸盘组件一 320、吸盘组件二 330、吸盘组件三
340、吸盘组件四 350、吸盘组件五 360、吸盘组件六
具体实施方式
为了使本申请的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合实施例，对本申请进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本申请，并不用于限定本申请。本申请的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。
图1表示本实施例中的一种硅片分片装置。该硅片分片装置包括一分片箱10，该分片箱 10下方设置有支架101，用于支撑该分片箱10。在分片箱10一外侧壁上的上方设置有一出口部102，该出口部102为向分片箱10外延伸的容纳空间，与分片箱10的主体部分连通，且在本实施例中，出口部102具体设置在分片箱10左侧壁的上端，形状为方形。其中，出口部102下端设置有一出口1021，该出口1021与硅片的形状和大小适配，可以将分片好的硅片通过该出口1021运送出分片箱10。在出口部102的下方，还设置有一支撑板103，该支撑板103正对出口1021且固定在分片箱10的外侧壁上。在支撑板103上安装有一外传送带104，用于承接从出口1021处出来的硅片并将该硅片运送至下一工序。最后，在分片箱10的底端，还设置有一开口105，该开口105下方设置有一托盘106，托盘106正对开口105，托盘106 下安装有电力伸缩杆107，电力伸缩杆107一端固定在托盘106底部，另一端固定在支架101 上，电力伸缩杆107可以带动托盘106上下升降。在使用时，托盘106上盛放有层叠的硅片，通过电力伸缩杆107都收缩将硅片从开口105处运送到分片箱10内，再通过设置在分片箱 10内的运输装置将硅片堆顶层的硅片运送至出口部102，通过出口1021将一片硅片放置在外传送带104上，将该硅片运送至下一工序。
图2为分片箱10的结构示意图。在图2中，分片箱10的内侧壁上设置有滑槽20，滑槽20内安装有吸盘组件30，吸盘组件30能够在滑槽20内移动，吸盘组件30可以吸附单片硅片。滑槽20绕分片箱10的内侧壁一周，并连通出口部102和开口105，可以通过吸盘组件 30将单片硅片从开口105处运送至出口部102，再将该吸盘组件30从出口部102传送回开口 105处。
具体地，滑槽20包括滑槽一201、滑槽二202、滑槽三203、滑槽四204、滑槽五205和滑槽六206六段，这六段滑槽分别设置在分片箱10的不同内壁上，且各段滑槽之间的连接处为圆弧状，可使吸盘组件30在移动过程中自然过渡。其中：滑槽一201为竖直设置，其起始位置与开口齐平且一直延伸至分片箱10的顶部，在本实施例中设置在分片箱10的左侧壁上；滑槽二202为横向设置，其一端与滑槽一201通过圆弧段连接，另一端一直延伸至出口部102；滑槽三203为纵向设置，其一端与滑槽二202通过圆弧段连接，另一端一直延伸至分片箱10 的侧边位置；滑槽四204为横向设置，其一端与滑槽三203通过圆弧段连接，另一端一直延伸至出口部102的外沿；滑槽五205为竖直设置，其一端与滑槽四204通过圆弧段连接，另一端一直延伸至分片箱10的底部；滑槽六206为横向设置，其一端与滑槽五205通过圆弧段连接，另一端与滑槽一201通过圆弧段连接。至此，整段滑槽20连成一周，滑槽20各段的位置关系及走向也代表了吸盘组件30的运动轨迹。
图3为滑槽20的截面图。由图3可知，滑槽20还包括上卡槽207和下卡槽208，上卡槽207设置在滑槽20的上侧壁，下卡槽208设置在滑槽20的下侧壁，上卡槽207与下卡槽208 的位置一一对应。在本实施例中，上卡槽207和下卡槽208的数量各为三个，在这三组上卡槽207和下卡槽208内依次设置有上传送带一209、下传送带一210、上传送带二211、下传送带二212、上传送带三213和下传送带三214，上传送带(209、211、213)和下传送带(210、 212、214)在分别在上卡槽207和下卡槽208中实现绕分片箱10内壁运动，吸盘组件30安装在上传送带(209、211、213)和下传送带(210、212、214)之间。此外，在上传送带(209、 211、213)和下传送带(210、212、214)之间还安装有电机组件，电机组件用于驱动上传送带(209、211、213)和下传送带(210、212、214)。
图4为电机组件安装示意图。如图4所示，电机的组件包括电机一215、电机二216和电机三217，电机一215固定在下传送带一210上，电机二216和电机三217固定在下传送带二212上。其中，电机一215驱动上传送带二211和下传送带二212，电机二216驱动上传送带一209和下传送带一210，电机三217驱动上传送带三213和下传送带三214。此外，电机(215、216、217)上均设置有电机转轴218，电机转轴218向前延伸至各电机驱动的上传送带和下传送带之间，在该电机转轴218的端部设置有多个不连续的扇叶219，扇叶219具体为扇形形状，扇叶219之间具有空隙，扇叶219在电机(215、216、217)的驱动下在上传送带(209、211、213)和下传送带(210、212、214)之间转动，并能够带动上传送带(209、 211、213)和下传送带(210、212、214)在上卡槽207和下卡槽208中运动。此外，如图5 所示，当电机(215、216、217)停止转动时，扇叶219之间的空隙正对上传送带(209、211、 213)和下传送带(210、212、214)，使电机(215、216、217)在移动过程中不会带动上传送带(209、211、213)和下传送带(210、212、214)运动。例如，当电机一215关闭时，上传送带二211和下传送带二212同时停止转动，电机一215的扇叶219之间的空隙正对上传送带二211和下传送带二212，但电机一215安装在下传送带一210上，下传送带一210 受电机二216的驱动时也会带动电机一215向前移动，在扇叶219之间的空隙的作用下上传送带二211和下传送带二212能够保持静止而不会被电机一215带动。
值得一提的是，电机一215、电机二216和电机三217的安装位置应为均匀分布在滑槽 20中，避免在上传送带(209、211、213)和下传送带(210、212、214)的运动过程中，电机一215、电机二216和电机三217相互干扰，而不是如图4所示的近距离排列在一起。
图6为吸盘组件30的结构示意图。由图5可知，吸盘组件30包括吸盘301及吸盘支架302，吸盘支架302一端连接吸盘301，另一端连接固定座303。具体地，吸盘支架302通过连杆304与固定座303铰接，吸盘支架302与固定座303之间留有空隙，吸盘支架302端部为向内凹陷的弧形形状，该弧形表面设置有锯齿305。此外，固定座303为中空结构，在固定座303内设置有齿轮306及齿轮电机(图上未显示)，齿轮306与锯齿305啮合，当齿轮电机驱动齿轮306转动时，齿轮306能够通过锯齿305带动吸盘301及吸盘支架302上下摆动。
图7为吸盘301的结构示意图，包括吸盘301的正反两面。由图6可知，吸盘301顶部设置有吸嘴3011，用于吸气和放气，在吸盘301的底部，设置有吸孔3012，通过吸嘴3011 和吸孔3012的配合，吸盘301得以吸住硅片。
图8及图9为吸盘组件30安装位置示意图。
首先，如图8所示，吸盘组件30安装在上传送带(209、211、213)和下传送带(210、212、214)之间，具体地，固定座303固定在传送带(209、211、213)和下传送带(210、 212、214)之间，吸盘支架302和吸盘301向外伸出滑槽20。
其次，如图9所示，在滑槽20内，一共安装有三对吸盘组件30，间隔安装在上传送带一 209和下传送带一210之间、上传送带二211和下传送带二212之间以及上传送带三213和下传送带三214之间。此外，三对吸盘组件30均匀分布在滑槽20内且相互对应，具体地，三组吸盘组件30依次可以分为吸盘组件一310、吸盘组件二320、吸盘组件三330、吸盘组件四340、吸盘组件五350和吸盘组件六360，其中吸盘组件一310和吸盘组件四340固定在下传送带一210上，吸盘组件二320和吸盘组件五350固定在下传送带二212上，吸盘组件三330和吸盘组件六360固定在下传送带三214上，当吸盘组件一310位于硅片堆上方吸附硅片时，与之同安装在下传送带一210上的吸盘组件四340刚好位于出口部102卸下硅片，与此同时，吸盘组件二320、吸盘组件三330、吸盘组件五350和吸盘组件六360在滑槽20 之间运动。吸盘组件30的运动方向如图上箭头符号所示。通过设置这三对吸盘组件30，能够利用吸盘组件30吸气和放气的时间完成硅片的运送，提高硅片分片的效率。
值得一提的是，在图1-9所述的一种硅片分片装置中，通过PLC控制器实现对整个装置的电气控制，使本发明能够自动进行分片，不需要过多的人工参与。
此外，在上述图1-9中，本实施例还公开了一种硅片分片方法，包括以下步骤：
1)在托盘106上放置层叠的硅片堆，启动电力伸缩杆107，将硅片堆运送至分片箱10内；分片箱10内，在初始状态下，吸盘组件一310正对硅片堆；
2)启动吸盘组件一310的齿轮电机，使吸盘支架302向下摆动，吸盘301贴近硅片，吸嘴3011吸气，吸盘301将硅片堆最上层的硅片吸附起来；
与此同时，启动电机一215和电机三217，分别驱动上传送带二211和下传送带二212、上传送带三213和下传送带三214运转，下传送带二212带动吸盘组件二320和吸盘组件五 350逆时针运动，下传送带三214带动吸盘组件三330和吸盘组件六360逆时针运动；
3)当吸盘组件一310将硅片完全吸附时，吸盘组件六360靠近吸盘组件一310，启动齿轮电机，使吸盘支架302向上摆动，启动电机二216，驱动上传送带一209和下传送带一210转动，下传送带一210带动吸盘组件一310和吸盘组件四340逆时针运动，吸盘组件一310 离开硅片堆上方，吸盘组件六360到达硅片堆上方，电机三217关闭，上传送带三213及下传送带三214停止运转，吸盘组件六360开始吸附硅片，吸附方法与吸盘组件一310一致；
其他吸盘组件30均按照上述方法依次进行吸附硅片；
4)当吸盘组件一310被运送至出口部102时，电机二216关闭，吸盘组件一310停留在出口1021上方，启动齿轮电机，使吸盘支架302向下摆动，将硅片放置在外传送带104上，吸嘴3011放气，使吸盘301和硅片分离；
与此同时，吸盘组件四340位于硅片堆上方，开始吸附硅片，而吸盘组件二320、吸盘组件三330、吸盘组件五350和吸盘组件六360在电机一215及电机三217的驱动下滑槽20之间运动，以传送硅片；
5)当吸盘组件一310放气结束，启动齿轮电机，使吸盘支架302向上摆动，启动电机二 216，吸盘组件一310离开出口部102，外传送带104启动，将硅片传送至下一加工单元；
此时，吸盘组件六360携带硅片到达出口部102，开始卸下硅片；
其他吸盘组件30均按照上述方法依次卸下硅片；
6)当托盘106上的所有硅片均运送至外传送带104时，本次硅片分片完成，关闭电机一 215、电机二216和电机三217，电力伸缩杆107带动托盘106下降，等待一下次分片。
其中，在上述步骤1)-5)中，电力伸缩杆107控制托盘106不断上升，使硅片堆的高度保持一致，方便吸盘组件30吸附硅片。
尽管上面对本申请说明性的具体实施方式进行了描述，以便于本技术领域的技术人员能够理解本申请，但是本申请不仅限于具体实施方式的范围，对本技术领域的普通技术人员而言，只要各种变化只要在所附的权利要求限定和确定的本申请精神和范围内，一切利用本申请构思的申请创造均在保护之列。
Claims (5)
1.一种硅片分片装置，包括一分片箱(10)，所述分片箱(10)上设有：
出口部(102)，所述出口部(102)设置在所述分片箱(10)的一侧，所述出口部(102)下端设置有出口(1021)；
开口(105)，所述开口(105)设置在所述分片箱(10)的底部；
滑槽(20)，所述滑槽(20)设置在所述分片箱(10)的内侧壁上，所述滑槽(20)绕所述分片箱(10)的内侧壁一周，所述滑槽(20)连通所述出口部(102)与所述开口(105)；
吸盘组件(30)，所述吸盘组件(30)安装在所述滑槽(20)内，所述吸盘组件(30)在所述滑槽(20)内移动；
滑槽(20)包括滑槽一(201)、滑槽二(202)、滑槽三(203)、滑槽四(204)、滑槽五(205)和滑槽六206()六段，这六段滑槽分别设置在分片箱(10)的不同内壁上，且各段滑槽之间的连接处为圆弧状，可使吸盘组件(30)在移动过程中自然过渡；
其中：滑槽一(201)为竖直设置，其起始位置与开口齐平且一直延伸至分片箱(10)的顶部；滑槽二(202)为横向设置，其一端与滑槽一(201)通过圆弧段连接，另一端一直延伸至出口部(102)；滑槽三(203)为纵向设置，其一端与滑槽二(202)通过圆弧段连接，另一端一直延伸至分片箱(10)的侧边位置；滑槽四(204)为横向设置，其一端与滑槽三(203)通过圆弧段连接，另一端一直延伸至出口部(102)的外沿；滑槽五(205)为竖直设置，其一端与滑槽四(204)通过圆弧段连接，另一端一直延伸至分片箱(10)的底部；滑槽六(206)为横向设置，其一端与滑槽五(205)通过圆弧段连接，另一端与滑槽一(201)通过圆弧段连接；
所述滑槽(20)内设有：
上卡槽(207)，所述上卡槽(207)设置在所述滑槽(20)的上侧壁；
下卡槽(208)，所述下卡槽(208)设置在所述滑槽(20)的下侧壁，所述下卡槽(208)与所述上卡槽(207)对齐；
所述上卡槽(207)和所述下卡槽(208)的数量有三对，上卡槽(207)和所述下卡槽(208)内依次安装有上传送带一(209)、下传送带一(210)、上传送带二(211)、下传送带二(212)、上传送带三(213)和下传送带三(214)；
在上传送带(209、211、213)和下传送带(210、212、214)之间安装有电机组件，电机组件用于驱动上传送带(209、211、213)和下传送带(210、212、214)；
电机的组件包括电机一(215)、电机二(216)和电机三(217)，电机一(215)固定在下传送带一(210)上，电机二(216)和电机三(217)固定在下传送带二(212)上；其中，电机一(215)驱动上传送带二(211)和下传送带二(212)，电机二(216)驱动上传送带一(209)和下传送带一(210)，电机三(217)驱动上传送带三(213)和下传送带三(214)；
电机(215、216、217)上均设置有电机转轴(218)，电机转轴(218)向前延伸至各电机驱动的上传送带和下传送带之间，在该电机转轴(218)的端部设置有多个不连续的扇叶(219)，扇叶(219)为扇形形状，扇叶(219)之间具有空隙，扇叶(219)在电机(215、216、217)的驱动下在上传送带(209、211、213)和下传送带(210、212、214)之间转动，并能够带动上传送带(209、211、213)和下传送带(210、212、214)在上卡槽(207)和下卡槽(208)中运动；
当电机(215、216、217)停止转动时，扇叶(219)之间的空隙正对上传送带(209、211、213)和下传送带(210、212、214)，使电机(215、216、217)在移动过程中不会带动上传送带(209、211、213)和下传送带(210、212、214)运动；
电机一(215)、电机二(216)和电机三(217)的安装位置应为均匀分布在滑槽(20)中，避免在上传送带(209、211、213)和下传送带(210、212、214)的运动过程中，电机一(215)、电机二(216)和电机三(217)相互干扰。
2.根据权利要求1所述的一种硅片分片装置，其中，所述分片箱(10)下方设置有支架(101)，所述支架(101)上固定有一电力伸缩杆(107)，所述电力伸缩杆(107)顶端设置有一托盘(106)，所述托盘(106)与所述开口(105)对齐。
3.根据权利要求1所述的一种硅片分片装置，其中，所述出口部(102)下方设置有一支撑板(103)，所述支撑板(103)固定在所述分片箱(10)的外侧壁上，所述支撑板上安装有一外传送带(104)。
4.根据权利要求1所述的一种硅片分片装置，其中，所述吸盘组件30包括：
吸盘(301)，所述吸盘(301)上设置有吸嘴(3011)和吸孔(3012)；
吸盘支架(302)，所述吸盘支架(302)与所述吸盘(301)固定连接；
固定座(303)，所述固定座(303)与所述吸盘支架(302)连接，所述固定座(303)固定在所述滑槽(20)内。
5.根据权利要求4所述的一种硅片分片装置，其中，所述吸盘支架(302)与所述固定座(303)通过连杆(304)连接，所述吸盘支架(302)与所述固定座(303)之间留有空隙，所述吸盘支架(302)端部设置有锯齿(305)，所述固定座上设置有齿轮(306)，所述齿轮(306)与所述锯齿(305)啮合，所述齿轮(306)连接齿轮电机。
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