CN108673768A - 一种高效的半导体材料生产技术设备 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种高效的半导体材料生产技术设备，包括支承架以及固定设置于所述支承架上的机座，所述机座中设有前后贯穿的第一滑腔，所述第一滑腔内底壁互通设置有第一转向腔，所述第一滑腔中平滑安装有前后伸长的第一滑板，所述第一滑板顶部端面内设有前后伸长的通透槽，所述第一滑板底部端面内左右对称设置有前后伸长的内齿槽，所述第一转向腔左侧的所述机座中设有第二滑腔，所述第一转向腔与所述第二滑腔之间转动配合安装有第一转向轴。
Description
技术领域
本发明涉及新材料产技术领域，具体地说是一种高效的半导体材料生产技术设备 。
背景技术
半导体材料在现代工业生产中使用及其广泛，半导体材料在加工生产时需要进行钻孔操作，而传统中的半导体材料钻孔装置，自动化程度低，严重影响加工效率，有待改进。
发明内容
针对上述技术的不足，本发明提出了一种高效的半导体材料生产技术设备 。
本发明装置的一种高效的半导体材料生产技术设备 ，包括支承架以及固定设置于所述支承架上的机座，所述机座中设有前后贯穿的第一滑腔，所述第一滑腔内底壁互通设置有第一转向腔，所述第一滑腔中平滑安装有前后伸长的第一滑板，所述第一滑板顶部端面内设有前后伸长的通透槽，所述第一滑板底部端面内左右对称设置有前后伸长的内齿槽，所述第一转向腔左侧的所述机座中设有第二滑腔 ，所述第一转向腔与所述第二滑腔之间转动配合安装有第一转向轴，所述第一转向轴左侧伸长端伸入所述第二滑腔 中且右侧伸长端与所述第一转向腔右侧内壁转动配合连接，所述第一转向腔上左右对称设置有位于所述第一转向腔中且与所述内齿槽向啮合的转动齿轮，所述第二滑腔 中平滑安装有滑块，所述滑块左侧端面固定安装有第二滑板，所述第二滑板左侧端固定设有第一斜切头，所述滑块右侧端面内设有第一马达，所述第一马达右侧端面动力连接有花键套，所述花键套中设有开端向右的花键槽，所述花键槽中花键配合连接有花键轴，所述花键轴右侧端与所述第一转向轴固定连接，所述第二滑腔 左侧端壁上下伸长设置有第三滑腔，所述第三滑腔中平滑安装有第三滑板，所述第三滑板右侧端面设有齿牙条且底部端面固定设有与所述第一斜切头相配合的第二斜切头，所述第一滑腔左侧的所述机座中设有安放腔，所述安放腔中固定设有液压箱，所述液压箱中设有液压腔，所述液压腔内顶壁固定设有向下伸长的隔挡板，所述隔挡板将所述液压腔分隔成左液压腔以及右液压腔，且所述左液压腔与右液压腔互通设置，所述安放腔内顶壁左侧向上伸长设有有第四滑腔，所述第四滑腔中设有液压装置，所述左液压腔内顶壁设有上下贯穿的第一通透孔，所述左液压腔中平滑安装活塞板，所述活塞板顶部固定设有贯穿所述第一通透孔且伸入所述第四滑腔中的第一导滑杆，所述安放腔内顶壁右侧向上伸长设有第二转向腔，所述右液压腔内顶壁设有上下贯穿的第二通透孔，所述右液压腔中平滑安装有滑臂，所述滑臂顶部固定设有贯穿所述第二通透孔且伸入所述第二转向腔中的第二导滑杆，所述机座中设有钻孔装置以及手持装置。
进一步的技术方案，所述钻孔装置包括设置于所述第一滑腔内顶壁且与所述第二转向腔互通的第五滑腔，所述第五滑腔中平滑安装有滑架，所述滑架底部端面固定设有第二马达，所述第二马达底部动力连接有向下伸长的钻孔头，所述第五滑腔左右两侧端壁中对称设有第一导滑槽，所述第一导滑槽中平滑安装有与所述滑架固定连接的第一导滑块，所述滑架顶部端面固定设有第一连接块，所述第一连接块上铰接安装有伸入所述第二转向腔中的第一连接柱，所述第二转向腔中通过第二转向轴转动配合安装铰接臂，所述铰接臂上下两端分别与所述第一连接柱顶部以及所述第二导滑杆顶部铰接安装。
进一步的技术方案，所述液压装置包括平滑安装与所述第四滑腔中的第四滑板以及设置于所述第四滑腔内顶壁且与所述第四滑板顶部动力连接的液压缸，所述第四滑板端面与所述第一导滑杆顶部固定连接，所述第四滑腔与所述第三滑腔之间互通设置有第三转向腔，所述第三转向腔中通过第三转向轴可转动的设置有转向环，所述转向环外圆左侧固定安装与所述齿牙条配合连接的扇形齿轮，所述转向环外圆右侧固定设有伸入所述第四滑腔中的第二连接柱，所述第一导滑杆左侧端面固定设有与所述第二连接柱铰接的第二连接块。
进一步的技术方案，所述第一滑腔左右端壁中对称设置有前后伸长的第二导滑槽，所述第二导滑槽中平滑安装有与所述第一滑板固定连接的第二导滑块。
进一步的技术方案，所述第二滑腔上下端壁中对称设有第三导滑槽，所述第三导滑槽中平滑安装有与所述滑块固定连接的第三导滑块，所述第三导滑槽左侧内壁中安装有与所述第三导滑块相抵的拉簧 。
进一步的技术方案，所述隔挡板右侧端面与所述右液压腔右侧内壁中对称设置有第四导滑槽，所述第四导滑槽中平滑安装有与所述滑臂固定安装的第四导滑块，所述第四导滑槽内顶壁固定安装有与所述第四导滑块相抵的压簧。
进一步的技术方案，所述第一通透孔和第二通透孔中均设有密封垫。
进一步的技术方案，所述手持装置包括对称设置于所述机座左右两侧端面中的手持槽以及固定设置于所述手持槽中的手持架。
本发明的有益效果是：
本发明装置结构简单，使用方便，通过所述机座中设有前后贯穿的第一滑腔，所述第一滑腔内底壁互通设置有第一转向腔，所述第一滑腔中平滑安装有前后伸长的第一滑板，所述第一滑板顶部端面内设有前后伸长的通透槽，所述第一滑板底部端面内左右对称设置有前后伸长的内齿槽，所述第一转向腔左侧的所述机座中设有第二滑腔 ，所述第一转向腔与所述第二滑腔 之间转动配合安装有第一转向轴，所述第一转向轴左侧伸长端伸入所述第二滑腔 中且右侧伸长端与所述第一转向腔右侧内壁转动配合连接，所述第一转向腔上左右对称设置有位于所述第一转向腔中且与所述内齿槽向啮合的转动齿轮，所述第二滑腔中平滑安装有滑块，所述滑块左侧端面固定安装有第二滑板，所述第二滑板左侧端固定设有第一斜切头，所述滑块右侧端面内设有第一马达，所述第一马达右侧端面动力连接有花键套，所述花键套中设有开端向右的花键槽，所述花键槽中花键配合连接有花键轴，所述花键轴右侧端与所述第一转向轴固定连接，所述第二滑腔 左侧端壁上下伸长设置有第三滑腔，所述第三滑腔中平滑安装有第三滑板，所述第三滑板右侧端面设有齿牙条且底部端面固定设有与所述第一斜切头相配合的第二斜切头，所述第一滑腔左侧的所述机座中设有安放腔，所述安放腔中固定设有液压箱，所述液压箱中设有液压腔，所述液压腔内顶壁固定设有向下伸长的隔挡板，所述隔挡板将所述液压腔分隔成左液压腔以及右液压腔，且所述左液压腔与右液压腔互通设置，所述安放腔内顶壁左侧向上伸长设有有第四滑腔，所述第四滑腔中设有液压装置，所述左液压腔内顶壁设有上下贯穿的第一通透孔，所述左液压腔中平滑安装活塞板，所述活塞板顶部固定设有贯穿所述第一通透孔且伸入所述第四滑腔中的第一导滑杆，所述安放腔内顶壁右侧向上伸长设有第二转向腔，所述右液压腔内顶壁设有上下贯穿的第二通透孔，所述右液压腔中平滑安装有滑臂，所述滑臂顶部固定设有贯穿所述第二通透孔且伸入所述第二转向腔中的第二导滑杆，所述机座中设有钻孔装置，从而实现对半导体材料板同一直线上的等距打孔操作，可大大减少人力投入使用，同时本发明自动化程度高，可大大大大提高加工效率。
附图说明
为了更清楚地说明发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本发明的一种高效的半导体材料生产技术设备 的内部结构示意图。
图2为图1中A处的放大性结构示意图。
图3为本发明中手持架的设置位置示意图。
具体实施方式
本说明书中公开的所有特征，或公开的所有方法或过程中的步骤，除了互相排斥的特征和/或步骤以外，均可以以任何方式组合。
本说明书（包括任何附加权利要求、摘要和附图）中公开的任一特征，除非特别叙述，均可被其他等效或具有类似目的替代特征加以替换。即，除非特别叙述，每个特征只是一系列等效或类似特征中的一个例子而已。
如图1-3所示，本发明装置的一种高效的半导体材料生产技术设备 ，包括支承架9以及固定设置于所述支承架9上的机座10，所述机座10中设有前后贯穿的第一滑腔11，所述第一滑腔11内底壁互通设置有第一转向腔21，所述第一滑腔11中平滑安装有前后伸长的第一滑板22，所述第一滑板22顶部端面内设有前后伸长的通透槽19，所述第一滑板22底部端面内左右对称设置有前后伸长的内齿槽18，所述第一转向腔21左侧的所述机座10中设有第二滑腔 32，所述第一转向腔21与所述第二滑腔 32之间转动配合安装有第一转向轴23，所述第一转向轴23左侧伸长端伸入所述第二滑腔 32中且右侧伸长端与所述第一转向腔21右侧内壁转动配合连接，所述第一转向腔21上左右对称设置有位于所述第一转向腔21中且与所述内齿槽18向啮合的转动齿轮24，所述第二滑腔 32中平滑安装有滑块29，所述滑块29左侧端面固定安装有第二滑板33，所述第二滑板33左侧端固定设有第一斜切头35，所述滑块29右侧端面内设有第一马达28，所述第一马达28右侧端面动力连接有花键套26，所述花键套26中设有开端向右的花键槽，所述花键槽中花键配合连接有花键轴25，所述花键轴25右侧端与所述第一转向轴23固定连接，所述第二滑腔 32左侧端壁上下伸长设置有第三滑腔38，所述第三滑腔38中平滑安装有第三滑板37，所述第三滑板37右侧端面设有齿牙条且底部端面固定设有与所述第一斜切头35相配合的第二斜切头34，所述第一滑腔11左侧的所述机座10中设有安放腔，所述安放腔中固定设有液压箱53，所述液压箱53中设有液压腔，所述液压腔内顶壁固定设有向下伸长的隔挡板55，所述隔挡板55将所述液压腔分隔成左液压腔54以及右液压腔57，且所述左液压腔54与右液压腔57互通设置，所述安放腔内顶壁左侧向上伸长设有有第四滑腔45，所述第四滑腔45中设有液压装置，所述左液压腔54内顶壁设有上下贯穿的第一通透孔，所述左液压腔54中平滑安装活塞板56，所述活塞板56顶部固定设有贯穿所述第一通透孔且伸入所述第四滑腔45中的第一导滑杆47，所述安放腔内顶壁右侧向上伸长设有第二转向腔48，所述右液压腔57内顶壁设有上下贯穿的第二通透孔，所述右液压腔57中平滑安装有滑臂59，所述滑臂59顶部固定设有贯穿所述第二通透孔且伸入所述第二转向腔48中的第二导滑杆58，所述机座10中设有钻孔装置以及手持装置。
有益地或示例性地，其中，所述钻孔装置包括设置于所述第一滑腔11内顶壁且与所述第二转向腔48互通的第五滑腔12，所述第五滑腔12中平滑安装有滑架13，所述滑架13底部端面固定设有第二马达14，所述第二马达14底部动力连接有向下伸长的钻孔头15，所述第五滑腔12左右两侧端壁中对称设有第一导滑槽16，所述第一导滑槽16中平滑安装有与所述滑架13固定连接的第一导滑块17，所述滑架13顶部端面固定设有第一连接块52，所述第一连接块52上铰接安装有伸入所述第二转向腔48中的第一连接柱，所述第二转向腔48中通过第二转向轴49转动配合安装铰接臂50，所述铰接臂50上下两端分别与所述第一连接柱顶部以及所述第二导滑杆58顶部铰接安装。
有益地或示例性地，其中，所述液压装置包括平滑安装与所述第四滑腔45中的第四滑板46以及设置于所述第四滑腔11内顶壁且与所述第四滑板46顶部动力连接的液压缸44，所述第四滑板46端面与所述第一导滑杆47顶部固定连接，所述第四滑腔11与所述第三滑腔38之间互通设置有第三转向腔39，所述第三转向腔39中通过第三转向轴40可转动的设置有转向环41，所述转向环41外圆左侧固定安装与所述齿牙条配合连接的扇形齿轮36，所述转向环41外圆右侧固定设有伸入所述第四滑腔45中的第二连接柱42，所述第一导滑杆47左侧端面固定设有与所述第二连接柱42铰接的第二连接块43。
有益地或示例性地，其中，所述第一滑腔左右端壁中对称设置有前后伸长的第二导滑槽，所述第二导滑槽中平滑安装有与所述第一滑板22固定连接的第二导滑块20。
有益地或示例性地，其中，所述第二滑腔32上下端壁中对称设有第三导滑槽31，所述第三导滑槽31中平滑安装有与所述滑块29固定连接的第三导滑块27，所述第三导滑槽31左侧内壁中安装有与所述第三导滑块27相抵的拉簧 30，所述拉簧 30用以将所述滑块29向左拉动。
有益地或示例性地，其中，所述隔挡板55右侧端面与所述右液压腔57右侧内壁中对称设置有第四导滑槽60，所述第四导滑槽60中平滑安装有与所述滑臂59固定安装的第四导滑块61，所述第四导滑槽60内顶壁固定安装有与所述第四导滑块61相抵的压簧62，所述压簧62用以将所述滑臂59向下顶压。
有益地或示例性地，其中，所述第一通透孔和第二通透孔中均设有密封垫581，从而可增加密封性。
有益地或示例性地，其中，所述手持装置包括对称设置于所述机座10左右两侧端面中的手持槽101以及固定设置于所述手持槽101中的手持架102，通过所述手持架102可方便本装置的移动搬运。
本发明装置在初始状态时，所述活塞板56顶部与所述左液压腔54内顶壁相抵，在所述扇形齿轮36的作用下所述第三滑板37位置在下且所述第二斜切头34底部与所述第三滑腔38内底壁相抵，所述第一斜切头35完全缩入所述第二滑腔32中，且所述花键轴26与所述花键槽配合连接，在所述液压腔中的压力以及所述压簧62的作用下，所述滑臂59位置在下，同时在所述铰接臂50以及所述第一连接柱51的作用下，所述滑架13顶部端面与所述第五滑腔12内顶壁相抵，所述钻孔头15完全收纳于所述第五滑腔12中。
使用时，将半导体材料板从所述第一滑腔11前侧放入所述第一滑板22上，然后控制所述第一马达28、液压缸44以及所述第二马达14运行，所述第二马达14转动后可驱动所述钻孔头15转动，而所述第一马达28转动后可通过所述花键套26驱动所述第一转向轴23以及所述转动齿轮24转动，从而可驱动所述第一滑板22向后侧缓慢滑动，而与此同时，所述液压缸44运行后可将所述第四滑板46向下推动，所述第四滑板46向下推动过程中可使所述第一导滑杆47向下滑动，所述第一导滑杆47向下滑动时可通过所述第二连接柱42驱动所述转向环41带动所述扇形齿轮36转动，所述扇形齿轮36转动后可通过所述齿牙条驱动所述第三滑板37向上滑动，当所述第一斜切头35逐渐脱离与所述第三滑板37右侧端面的顶压滑动配合后，在所述拉簧30的作用下，所述滑块29向左滑动，所述第一斜切头35伸入第三滑腔38中，所述花键轴25与所述花键槽脱离配合，所述转动齿轮24停止转动，所述第一滑板22停止滑动，而在所述第一导滑杆47向下滑动时可带动活塞板56向下滑动，所述活塞板56向下滑动后可将所述左液压腔54中的液压气体压入所述右液压腔57中，而使所述滑臂59向上滑动，所述滑臂59向上滑动后可通过所述第二导滑杆58向上顶压所述铰接臂50，所述铰接臂50受顶压后可发生转动，同时可通过所述第一连接柱51顶压所述滑架13而带动所述钻孔头15下移，当所述第三滑动37顶部端面与所述第三滑腔38内顶壁相抵时，所述第四滑板46顶部端面与所述第四滑腔45内底壁相抵，所述活塞板56位于所述左液压腔54内底壁，所述滑臂59顶部端面与所述右液压腔57内顶壁相抵，而所述钻孔头15在所述第二马达14的驱动下完成对所述半导体材料板的钻孔操作，同时可通过控制所述液压缸44的往复伸缩运动即可实现对半导体材料板同一直线上等距打孔操作；
当第一块半导体材料板打孔结束后，可从所述第一滑腔11后侧后进行卸料，同时可将第二块半导体材料板从第一滑腔11后侧放置于所述第一滑板22上，并同时控制所述第一马达28反转，由此可进行二次打孔操作。
本发明的有益效果是：
本发明装置结构简单，使用方便，通过所述机座中设有前后贯穿的第一滑腔，所述第一滑腔内底壁互通设置有第一转向腔，所述第一滑腔中平滑安装有前后伸长的第一滑板，所述第一滑板顶部端面内设有前后伸长的通透槽，所述第一滑板底部端面内左右对称设置有前后伸长的内齿槽，所述第一转向腔左侧的所述机座中设有第二滑腔 ，所述第一转向腔与所述第二滑腔 之间转动配合安装有第一转向轴，所述第一转向轴左侧伸长端伸入所述第二滑腔 中且右侧伸长端与所述第一转向腔右侧内壁转动配合连接，所述第一转向腔上左右对称设置有位于所述第一转向腔中且与所述内齿槽向啮合的转动齿轮，所述第二滑腔中平滑安装有滑块，所述滑块左侧端面固定安装有第二滑板，所述第二滑板左侧端固定设有第一斜切头，所述滑块右侧端面内设有第一马达，所述第一马达右侧端面动力连接有花键套，所述花键套中设有开端向右的花键槽，所述花键槽中花键配合连接有花键轴，所述花键轴右侧端与所述第一转向轴固定连接，所述第二滑腔 左侧端壁上下伸长设置有第三滑腔，所述第三滑腔中平滑安装有第三滑板，所述第三滑板右侧端面设有齿牙条且底部端面固定设有与所述第一斜切头相配合的第二斜切头，所述第一滑腔左侧的所述机座中设有安放腔，所述安放腔中固定设有液压箱，所述液压箱中设有液压腔，所述液压腔内顶壁固定设有向下伸长的隔挡板，所述隔挡板将所述液压腔分隔成左液压腔以及右液压腔，且所述左液压腔与右液压腔互通设置，所述安放腔内顶壁左侧向上伸长设有有第四滑腔，所述第四滑腔中设有液压装置，所述左液压腔内顶壁设有上下贯穿的第一通透孔，所述左液压腔中平滑安装活塞板，所述活塞板顶部固定设有贯穿所述第一通透孔且伸入所述第四滑腔中的第一导滑杆，所述安放腔内顶壁右侧向上伸长设有第二转向腔，所述右液压腔内顶壁设有上下贯穿的第二通透孔，所述右液压腔中平滑安装有滑臂，所述滑臂顶部固定设有贯穿所述第二通透孔且伸入所述第二转向腔中的第二导滑杆，所述机座中设有钻孔装置，从而实现对半导体材料板同一直线上的等距打孔操作，可大大减少人力投入使用，同时本发明自动化程度高，可大大大大提高加工效率。
以上显示和描述了本发明的基本原理、主要特征和本发明的优点。本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是本发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下，本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明内。本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
Claims (8)
1.一种高效的半导体材料生产技术设备 ，包括支承架以及固定设置于所述支承架上的机座，其特征在于：所述机座中设有前后贯穿的第一滑腔，所述第一滑腔内底壁互通设置有第一转向腔，所述第一滑腔中平滑安装有前后伸长的第一滑板，所述第一滑板顶部端面内设有前后伸长的通透槽，所述第一滑板底部端面内左右对称设置有前后伸长的内齿槽，所述第一转向腔左侧的所述机座中设有第二滑腔 ，所述第一转向腔与所述第二滑腔 之间转动配合安装有第一转向轴，所述第一转向轴左侧伸长端伸入所述第二滑腔 中且右侧伸长端与所述第一转向腔右侧内壁转动配合连接，所述第一转向腔上左右对称设置有位于所述第一转向腔中且与所述内齿槽向啮合的转动齿轮，所述第二滑腔 中平滑安装有滑块，所述滑块左侧端面固定安装有第二滑板，所述第二滑板左侧端固定设有第一斜切头，所述滑块右侧端面内设有第一马达，所述第一马达右侧端面动力连接有花键套，所述花键套中设有开端向右的花键槽，所述花键槽中花键配合连接有花键轴，所述花键轴右侧端与所述第一转向轴固定连接，所述第二滑腔 左侧端壁上下伸长设置有第三滑腔，所述第三滑腔中平滑安装有第三滑板，所述第三滑板右侧端面设有齿牙条且底部端面固定设有与所述第一斜切头相配合的第二斜切头，所述第一滑腔左侧的所述机座中设有安放腔，所述安放腔中固定设有液压箱，所述液压箱中设有液压腔，所述液压腔内顶壁固定设有向下伸长的隔挡板，所述隔挡板将所述液压腔分隔成左液压腔以及右液压腔，且所述左液压腔与右液压腔互通设置，所述安放腔内顶壁左侧向上伸长设有有第四滑腔，所述第四滑腔中设有液压装置，所述左液压腔内顶壁设有上下贯穿的第一通透孔，所述左液压腔中平滑安装活塞板，所述活塞板顶部固定设有贯穿所述第一通透孔且伸入所述第四滑腔中的第一导滑杆，所述安放腔内顶壁右侧向上伸长设有第二转向腔，所述右液压腔内顶壁设有上下贯穿的第二通透孔，所述右液压腔中平滑安装有滑臂，所述滑臂顶部固定设有贯穿所述第二通透孔且伸入所述第二转向腔中的第二导滑杆，所述机座中设有钻孔装置以及手持装置。
2.根据权利要求1所述的一种高效的半导体材料生产技术设备 ，其特征在于：所述钻孔装置包括设置于所述第一滑腔内顶壁且与所述第二转向腔互通的第五滑腔，所述第五滑腔中平滑安装有滑架，所述滑架底部端面固定设有第二马达，所述第二马达底部动力连接有向下伸长的钻孔头，所述第五滑腔左右两侧端壁中对称设有第一导滑槽，所述第一导滑槽中平滑安装有与所述滑架固定连接的第一导滑块，所述滑架顶部端面固定设有第一连接块，所述第一连接块上铰接安装有伸入所述第二转向腔中的第一连接柱，所述第二转向腔中通过第二转向轴转动配合安装铰接臂，所述铰接臂上下两端分别与所述第一连接柱顶部以及所述第二导滑杆顶部铰接安装。
3.根据权利要求1所述的一种高效的半导体材料生产技术设备 ，其特征在于：所述液压装置包括平滑安装与所述第四滑腔中的第四滑板以及设置于所述第四滑腔内顶壁且与所述第四滑板顶部动力连接的液压缸，所述第四滑板端面与所述第一导滑杆顶部固定连接，所述第四滑腔与所述第三滑腔之间互通设置有第三转向腔，所述第三转向腔中通过第三转向轴可转动的设置有转向环，所述转向环外圆左侧固定安装与所述齿牙条配合连接的扇形齿轮，所述转向环外圆右侧固定设有伸入所述第四滑腔中的第二连接柱，所述第一导滑杆左侧端面固定设有与所述第二连接柱铰接的第二连接块。
4.根据权利要求1所述的一种高效的半导体材料生产技术设备 ，其特征在于：所述第一滑腔左右端壁中对称设置有前后伸长的第二导滑槽，所述第二导滑槽中平滑安装有与所述第一滑板固定连接的第二导滑块。
5.根据权利要求1所述的一种高效的半导体材料生产技术设备 ，其特征在于：所述第二滑腔上下端壁中对称设有第三导滑槽，所述第三导滑槽中平滑安装有与所述滑块固定连接的第三导滑块，所述第三导滑槽左侧内壁中安装有与所述第三导滑块相抵的拉簧 。
6.根据权利要求1所述的一种高效的半导体材料生产技术设备 ，其特征在于：所述隔挡板右侧端面与所述右液压腔右侧内壁中对称设置有第四导滑槽，所述第四导滑槽中平滑安装有与所述滑臂固定安装的第四导滑块，所述第四导滑槽内顶壁固定安装有与所述第四导滑块相抵的压簧。
7.根据权利要求1所述的一种高效的半导体材料生产技术设备 ，其特征在于：所述第一通透孔和第二通透孔中均设有密封垫。
8.根据权利要求1所述的一种高效的半导体材料生产技术设备 ，其特征在于：所述手持装置包括对称设置于所述机座左右两侧端面中的手持槽以及固定设置于所述手持槽中的手持架。
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2018
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