CN108527665A - 玉石切割用金刚石线锯切割装置 - Google Patents

玉石切割用金刚石线锯切割装置 Download PDF

Info

Publication number
CN108527665A
CN108527665A CN201810280327.7A CN201810280327A CN108527665A CN 108527665 A CN108527665 A CN 108527665A CN 201810280327 A CN201810280327 A CN 201810280327A CN 108527665 A CN108527665 A CN 108527665A
Authority
CN
China
Prior art keywords
diamond
cutting
metal
beaded
jade
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN201810280327.7A
Other languages
English (en)
Inventor
张伟
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Taixing Zhong Bo Diamond Polytron Technologies Inc
JIANGSU ZHONGBO DIAMOND TECHNOLOGY Co Ltd
Original Assignee
Taixing Zhong Bo Diamond Polytron Technologies Inc
JIANGSU ZHONGBO DIAMOND TECHNOLOGY Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Taixing Zhong Bo Diamond Polytron Technologies Inc, JIANGSU ZHONGBO DIAMOND TECHNOLOGY Co Ltd filed Critical Taixing Zhong Bo Diamond Polytron Technologies Inc
Publication of CN108527665A publication Critical patent/CN108527665A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B28WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
    • B28DWORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
    • B28D1/00Working stone or stone-like materials, e.g. brick, concrete or glass, not provided for elsewhere; Machines, devices, tools therefor
    • B28D1/02Working stone or stone-like materials, e.g. brick, concrete or glass, not provided for elsewhere; Machines, devices, tools therefor by sawing
    • B28D1/06Working stone or stone-like materials, e.g. brick, concrete or glass, not provided for elsewhere; Machines, devices, tools therefor by sawing with reciprocating saw-blades
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24GRINDING; POLISHING
    • B24DTOOLS FOR GRINDING, BUFFING OR SHARPENING
    • B24D18/00Manufacture of grinding tools or other grinding devices, e.g. wheels, not otherwise provided for
    • B24D18/0054Manufacture of grinding tools or other grinding devices, e.g. wheels, not otherwise provided for by impressing abrasive powder in a matrix
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B28WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
    • B28DWORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
    • B28D1/00Working stone or stone-like materials, e.g. brick, concrete or glass, not provided for elsewhere; Machines, devices, tools therefor
    • B28D1/02Working stone or stone-like materials, e.g. brick, concrete or glass, not provided for elsewhere; Machines, devices, tools therefor by sawing
    • B28D1/12Saw-blades or saw-discs specially adapted for working stone
    • B28D1/127Straight, i.e. flat, saw blades; strap saw blades
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B28WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
    • B28DWORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
    • B28D7/00Accessories specially adapted for use with machines or devices of the preceding groups

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Mining & Mineral Resources (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Polishing Bodies And Polishing Tools (AREA)
  • Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)

Abstract

本发明涉及一种玉石切割用金刚石线锯切割装置,它包括四个呈矩形布置的导向轮(2),四个导向轮(2)中至少有一个为采用电机驱动的主动轮,四个导向轮(2)上前后平行设置有多个环形串珠金刚绳,所述环形串珠金刚绳绕置于四个导向轮(2)上,四个导向轮(2)下方设置有升降平台(3),所述升降平台(3)上设置有石材工件(4)。一种玉石切割用金刚石线锯切割装置,其切割线速度快,平均在500‑600m/min,最快可达到3000m/min,因此切割后产品光滑度高,没有锯纹,设备制造成本低,相对于传统刀片切割的方式,其损耗低,表面平整度好,切割速度快,对玉石、陶瓷等贵重材料,能够有效增加出货率。

Description

玉石切割用金刚石线锯切割装置
技术领域
本发明涉及一种玉石切割用金刚石线锯切割装置。
背景技术
目前,线锯切割技术主要用于切割硅晶、水晶、宝石、陶瓷等硬脆材料,具有良好的发展前景。线锯分为游离磨料线锯和固结磨料线锯两种,游离磨料线锯切割是一种边切割边向钢丝供应带有磨料浆液的切割方式,该工艺存在的缺点:易造成硅片表层较深的损伤层、表面粗糙度及面形精度难以控制、切割效率低、磨料消耗大、作业环境恶劣等。为解决以上问题,固结磨料线锯切割技术逐渐发展起,其制备方法包括树脂结合剂固化技术和电镀技术,前者采用单一的树脂层把持金刚石,后者采用单一的镍镀层或镍合金镀层把持金刚石。采用树脂结合剂固化技术和电镀技术制备的金刚石线锯,树脂结合剂金刚石线锯具有成本低、制备速度快等优点,但是其耐磨及耐热性较差、磨料把持力较低。电镀金刚石线锯是将金刚石微粉用复合电镀的方法固结在钢丝基体上,具有耐热及耐磨性高、切缝窄、切割面形精度高等优点。但是,电镀金刚石线锯切割技术存在的缺点是:
1、用直线型且单根的金属丝作为基体,金属丝有两种或两种以上的缺陷及残余拉应力,由此导致切割过程中,电镀金刚石线锯的突然断裂;
2、随着加工次数的增加,切屑附着于金刚石表面,加上金刚石磨粒自身的磨损及脱落等原因,导致金刚石线锯切割性能逐渐下降;
3、成本高、生产效率低。传统金刚石线锯的运动方式多为往复式,由于机械惯性作用,锯切速度较低(约2~3m/s),难以充分发挥金刚石磨粒的优越性能。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是针对上述现有技术提供一种玉石切割用金刚石线锯切割装置,其切割线速度快,平均在500-600m/min,最快可达到3000m/min,因此切割后产品光滑度高,没有锯纹,设备制造成本低,相对于传统刀片切割的方式,其损耗低,表面平整度好,切割速度快,对玉石、陶瓷等贵重材料,能够有效增加出货率。
本发明解决上述问题所采用的技术方案为:一种玉石切割用金刚石线锯切割装置,它包括四个呈矩形布置的导向轮,四个导向轮中至少有一个为采用电机驱动的主动轮,四个导向轮上前后平行设置有多个环形串珠金刚绳,所述环形串珠金刚绳绕置于四个导向轮上,四个导向轮下方设置有升降平台,所述升降平台上设置有石材工件,所述环形串珠金刚绳包括母线,所述母线连接成圆环状,所述母线包括中心的金属基线,所述金属基线采用7~13根金属丝绞合而成,所述金属基线上均匀套装有多个毛细管,所述毛细管外表面通过钎焊设置有金刚石磨粒层,相邻两个毛细管之间形成容屑槽,所述容屑槽表面设置有注塑层。
所述金属基线的直径为0.9mm。
所述毛细管的尺寸为长10mm×外径1.5mm×内径1.0mm。
所述金刚石磨粒层的厚度为300~400μm。
所述环形串珠金刚绳的制造方法包括以下步骤:
步骤一、将多根金属丝通过绞合形成金属基线;
步骤二、批量制造多个不锈钢毛细管,在毛细管表面通过电镀形成金刚石磨粒层;
步骤三、取一挤压模具,所述挤压模具包括上模和下模,所述下模和下模上均前后平行设置有多条进线通道,每条进线通道上均匀间隔布置有多个定位孔,上模的相邻两个定位孔之间的进线通道上设置有注塑孔,在下模上的每个定位孔内放置步骤二中表面电镀金刚石磨粒层的毛细管,在下模的进线通道内穿装步骤一中的金属基线,使金属基线依次穿过进线通道上多个毛细管,将上模与下模进行合模,使毛细管与金属基线挤压固定,并通过上模的注塑孔在相邻两个毛细管之间的金属基线表面通过注塑形成注塑层,待注塑层稳定后开模收线,得到串珠金钢绳;
步骤四、将步骤三得到的串珠金刚绳根据需求剪取一定长度,剪下的串珠金刚绳两端用连接套进行液压夹紧,从而使金属绳两端进行闭合,形成环形串珠金刚绳。
与现有技术相比,本发明的优点在于:
本发明一种玉石切割用金刚石线锯切割装置,其切割线速度快,平均在500-600m/min,最快可达到3000m/min,因此切割后产品光滑度高,没有锯纹,设备制造成本低,相对于传统刀片切割的方式,其损耗低,表面平整度好,切割速度快,对玉石、陶瓷等贵重材料,能够有效增加出货率;
本发明一种玉石切割用金刚石线锯切割装置,其金属绳通过金属基线上毛细管表面的金刚石磨粒层对玉石进行切割,相邻两个毛细管之间形成排屑槽,能够促进加工液的流入,改善了排屑性能力,其切割效率高;金刚绳直径很细,能够有效切割玉石,通过合理设置相邻金刚绳之间的间距能够获得厚度适当的玉石板片,能够满足不同厚度玉石的切割要求,其切割速度快,能够保证玉石切割质量,玉石出片率高。
附图说明
图1为本发明一种石材切割用环形串珠金刚绳的结构示意图。
图2为图1的A部放大图。
图3为采用本发明环形金刚石线锯的切割装置的结构示意图。
图4为图3的俯视图。
图5为本发明一种石材切割用环形串珠金刚绳的制造方法中挤压模具上模的结构示意图。
图6为本发明一种石材切割用环形串珠金刚绳的制造方法中挤压模具下模的结构示意图。
其中:
母线1
金属基线1.1
毛细管1.2
金刚石磨粒层1.3
容屑槽1.4
注塑层1.5
导向轮2
升降平台3
石材工件4
挤压模具5
进线通道5.1
定位孔5.2
注塑孔5.3。
具体实施方式
以下结合附图实施例对本发明作进一步详细描述。
如图1、图2所示,本实施例中的一种石材切割用环形串珠金刚绳,它包括母线1,所述母线1连接成圆环状,所述母线1包括中心的金属基线1.1,所述金属基线1.1采用7~13根金属丝绞合而成,所述金属基线1.1上均匀套装有多个毛细管1.2,所述毛细管1.2外表面通过钎焊设置有金刚石磨粒层1.3,相邻两个毛细管1.2之间形成容屑槽1.4,所述容屑槽1.4表面设置有注塑层1.5;
所述金属基线1.1的直径为0.9mm;
所述毛细管1.2的尺寸为长10mm×外径1.5mm×内径1.0mm;
所述金刚石磨粒层1.3的厚度为300~400μm。
参见图3、图4,一种采用本发明环形串珠金刚绳的切割装置,它包括四个呈矩形布置的导向轮2,四个导向轮2中至少有一个为采用电机驱动的主动轮,四个导向轮2上前后平行设置有多个环形串珠金刚绳,所述环形串珠金刚绳绕置于四个导向轮2上,四个导向轮2下方设置有升降平台3,所述升降平台3上设置有石材工件4;
工作原理:
四个导向轮上前后平行设置有多个环形串珠金刚绳,四个导向轮在其中一个主动导轮的带动下向一个方向快速线运动,在而被切割石材工件放置于升降平台上,在升降平台上进行上下进给运动,多个环形串珠金刚绳同时对石材工件进行切割,其切割线速度快,平均在500-600m/min,最快可达到3000m/min,因此切割后产品光滑度高,没有锯纹,能够满足各种石材装饰板片的切割要求,设备制造成本低,相对于传统切割的方式,其损耗低,表面平整度好,切割速度快,能够有效增加出片率。
一种石材切割用环形串珠金刚绳的制造方法,它包括以下工艺步骤:
步骤一、将多根金属丝通过绞合形成金属基线,金属丝的数量为7-13根,绞合后的金属基线直径为0.9mm;
步骤二、批量制造多个不锈钢毛细管,毛细管的尺寸为长10mm×外径1.5mm×内径1.0mm,在毛细管表面通过电镀形成金刚石磨粒层;
步骤三、参见图5,取一挤压模具5,所述挤压模具5包括上模和下模,所述下模和下模上均前后平行设置有多条进线通道5.1,每条进线通道5.1上均匀间隔布置有多个定位孔5.2,上模的相邻两个定位孔5.3之间的进线通道5.1上设置有注塑孔5.3,在下模上的每个定位孔5.3内放置步骤二中表面电镀金刚石磨粒层的毛细管,在下模的进线通道5.1内穿装步骤一中的金属基线,使金属基线依次穿过进线通道上多个毛细管,将上模与下模进行合模,使毛细管与金属基线挤压固定,并通过上模的注塑孔5.3在相邻两个毛细管之间的金属基线表面通过注塑形成注塑层,待注塑层稳定后开模收线,得到串珠金钢绳;
部分注塑层能够渗入毛细管与金属基线之间的间隙,使得毛细管与金属基线结合更稳定;
步骤四、将步骤三得到的串珠金刚绳根据需求剪取一定长度,剪下的串珠金刚绳两端用连接套进行液压夹紧,从而使金属绳两端进行闭合,形成环形串珠金刚绳。
除上述实施例外,本发明还包括有其他实施方式,凡采用等同变换或者等效替换方式形成的技术方案,均应落入本发明权利要求的保护范围之内。

Claims (5)

1.一种玉石切割用金刚石线锯切割装置,其特征在于:它包括四个呈矩形布置的导向轮(2),四个导向轮(2)中至少有一个为采用电机驱动的主动轮,四个导向轮(2)上前后平行设置有多个环形串珠金刚绳,所述环形串珠金刚绳绕置于四个导向轮(2)上,四个导向轮(2)下方设置有升降平台(3),所述升降平台(3)上设置有石材工件(4),所述环形串珠金刚绳包括母线(1),所述母线(1)连接成圆环状,所述母线(1)包括中心的金属基线(1.1),所述金属基线(1.1)采用7~13根金属丝绞合而成,所述金属基线(1.1)上均匀套装有多个毛细管(1.2),所述毛细管(1.2)外表面通过钎焊设置有金刚石磨粒层(1.3),相邻两个毛细管(1.2)之间形成容屑槽(1.4),所述容屑槽(1.4)表面设置有注塑层(1.5)。
2.根据权利要求1所述的一种玉石切割用金刚石线锯切割装置,其特征在于:所述金属基线(1.1)的直径为0.9mm。
3.根据权利要求1所述的一种玉石切割用金刚石线锯切割装置,其特征在于:所述毛细管(1.2)的尺寸为长10mm×外径1.5mm×内径1.0mm。
4.根据权利要求1所述的一种玉石切割用金刚石线锯切割装置,其特征在于:所述金刚石磨粒层(1.3)的厚度为300~400μm。
5.根据权利要求1所述的一种玉石切割用金刚石线锯切割装置,其特征在于:所述环形串珠金刚绳的制造方法包括以下步骤:
步骤一、将多根金属丝通过绞合形成金属基线;
步骤二、批量制造多个不锈钢毛细管,在毛细管表面通过电镀形成金刚石磨粒层;
步骤三、取一挤压模具,所述挤压模具包括上模和下模,所述下模和下模上均前后平行设置有多条进线通道,每条进线通道上均匀间隔布置有多个定位孔,上模的相邻两个定位孔之间的进线通道上设置有注塑孔,在下模上的每个定位孔内放置步骤二中表面电镀金刚石磨粒层的毛细管,在下模的进线通道内穿装步骤一中的金属基线,使金属基线依次穿过进线通道上多个毛细管,将上模与下模进行合模,使毛细管与金属基线挤压固定,并通过上模的注塑孔在相邻两个毛细管之间的金属基线表面通过注塑形成注塑层,待注塑层稳定后开模收线,得到串珠金钢绳;
步骤四、将步骤三得到的串珠金刚绳根据需求剪取一定长度,剪下的串珠金刚绳两端用连接套进行液压夹紧,从而使金属绳两端进行闭合,形成环形串珠金刚绳。
CN201810280327.7A 2018-02-09 2018-04-02 玉石切割用金刚石线锯切割装置 Pending CN108527665A (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201810133749 2018-02-09
CN2018101337491 2018-02-09

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN108527665A true CN108527665A (zh) 2018-09-14

Family

ID=63482156

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201810280327.7A Pending CN108527665A (zh) 2018-02-09 2018-04-02 玉石切割用金刚石线锯切割装置

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN108527665A (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113075908A (zh) * 2021-03-23 2021-07-06 王豪 数控雕铣加工宝玉石工艺品的方法

Citations (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20050014522A (ko) * 2003-07-31 2005-02-07 이화다이아몬드공업 주식회사 칩 배출이 용이한 비드와 이를 갖는 와이어쏘우
CN201030623Y (zh) * 2007-04-18 2008-03-05 张小军 一种新型钎焊金刚石串珠及使用此串珠的绳锯
WO2008128458A1 (fr) * 2007-04-18 2008-10-30 Xiaojun Zhang Nouvelle bille de diamant de soudobrasage et scie hélicoïdale l'utilisant
CN102241076A (zh) * 2010-05-11 2011-11-16 戴艾霖 能切割2毫米厚度大理石超薄板的金刚石串珠多绳锯机
CN102390089A (zh) * 2011-10-11 2012-03-28 沈阳理工大学 一种天然石材多线全液压切割机床
CN102941625A (zh) * 2012-10-31 2013-02-27 荣成中磊石材有限公司 一种四柱式框架金刚石串珠绳排锯
CN102975300A (zh) * 2011-09-06 2013-03-20 上海安稷实业有限公司 可切割弧片的多线切割机
CN103273579A (zh) * 2013-06-07 2013-09-04 厦门致力金刚石科技股份有限公司 小直径金刚石绳锯结构及切割方法
CN204136252U (zh) * 2014-09-24 2015-02-04 江苏中博钻石科技有限公司 环形金刚石线锯
CN204382511U (zh) * 2015-01-19 2015-06-10 苏州硅峰太阳能科技有限公司 一种大理石的多线切割机
US20160184908A1 (en) * 2014-12-30 2016-06-30 Nantong Henglong Machinery Manufacturing Co., Ltd. Wire sawing machine
CN106426739A (zh) * 2016-08-31 2017-02-22 南安市铭基金刚石工具有限公司 用于生产金刚石绳锯的模具及其使用方法
CN208410264U (zh) * 2018-04-02 2019-01-22 江苏中博钻石科技有限公司 玉石切割用金刚石线锯切割装置
CN208409626U (zh) * 2018-02-09 2019-01-22 江苏中博钻石科技有限公司 石材切割用环形串珠金刚绳生产模具

Patent Citations (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20050014522A (ko) * 2003-07-31 2005-02-07 이화다이아몬드공업 주식회사 칩 배출이 용이한 비드와 이를 갖는 와이어쏘우
CN201030623Y (zh) * 2007-04-18 2008-03-05 张小军 一种新型钎焊金刚石串珠及使用此串珠的绳锯
WO2008128458A1 (fr) * 2007-04-18 2008-10-30 Xiaojun Zhang Nouvelle bille de diamant de soudobrasage et scie hélicoïdale l'utilisant
CN102241076A (zh) * 2010-05-11 2011-11-16 戴艾霖 能切割2毫米厚度大理石超薄板的金刚石串珠多绳锯机
CN102975300A (zh) * 2011-09-06 2013-03-20 上海安稷实业有限公司 可切割弧片的多线切割机
CN102390089A (zh) * 2011-10-11 2012-03-28 沈阳理工大学 一种天然石材多线全液压切割机床
CN102941625A (zh) * 2012-10-31 2013-02-27 荣成中磊石材有限公司 一种四柱式框架金刚石串珠绳排锯
CN103273579A (zh) * 2013-06-07 2013-09-04 厦门致力金刚石科技股份有限公司 小直径金刚石绳锯结构及切割方法
CN204136252U (zh) * 2014-09-24 2015-02-04 江苏中博钻石科技有限公司 环形金刚石线锯
US20160184908A1 (en) * 2014-12-30 2016-06-30 Nantong Henglong Machinery Manufacturing Co., Ltd. Wire sawing machine
CN204382511U (zh) * 2015-01-19 2015-06-10 苏州硅峰太阳能科技有限公司 一种大理石的多线切割机
CN106426739A (zh) * 2016-08-31 2017-02-22 南安市铭基金刚石工具有限公司 用于生产金刚石绳锯的模具及其使用方法
CN208409626U (zh) * 2018-02-09 2019-01-22 江苏中博钻石科技有限公司 石材切割用环形串珠金刚绳生产模具
CN208410264U (zh) * 2018-04-02 2019-01-22 江苏中博钻石科技有限公司 玉石切割用金刚石线锯切割装置

Non-Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
中川平三郎;蒋修治;: "用金刚石线锯高速高精度切割加工天然大理石", 超硬材料工程, no. 06 *
刘潺潺;葛培琪;毕文波;: "树脂结合剂金刚石双绞合线锯丝绞合变形分析及参数确定", 金刚石与磨料磨具工程, no. 06 *
王蕊;刘新宽;徐斌;刘平;陈晓红;盛荣生;詹宝华;雷雪松;: "电镀金刚石线锯制备及应用的研究现状", 电镀与涂饰, no. 12 *
高玉飞;葛培琪;侯志坚;李绍杰;: "电镀金刚石线锯制造及切割技术研究", 制造技术与机床, no. 10 *

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113075908A (zh) * 2021-03-23 2021-07-06 王豪 数控雕铣加工宝玉石工艺品的方法
CN113075908B (zh) * 2021-03-23 2022-04-19 王豪 数控雕铣加工宝玉石工艺品的方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
AU2012247998B2 (en) Diamond wire saw device
CN108381797A (zh) 环形金刚石线锯及其制造方法
CN204894254U (zh) 环形超硬磨料线
CN102218537B (zh) 一种粉末冶金制备预变形线金刚石线锯的方法
CN102873401A (zh) 环形超硬磨料线及其制作方法
CN103448153A (zh) 一种蓝宝石晶棒的切割工艺及其加工治具
CN207630298U (zh) 一种超高效多线切割金刚线
CN204136252U (zh) 环形金刚石线锯
CN108527665A (zh) 玉石切割用金刚石线锯切割装置
CN110961743A (zh) 加工深腔焊劈刀及其刀尖的工艺
CN208409626U (zh) 石材切割用环形串珠金刚绳生产模具
CN208410264U (zh) 玉石切割用金刚石线锯切割装置
CN106626111A (zh) 固定磨粒丝锯以及固定磨粒丝的修整方法
KR102229135B1 (ko) 개별 절삭팁 부착형 cmp 패드 컨디셔너 및 그 제조방법
CN104726923B (zh) 一种分段式电镀金刚石线锯上砂装置
JP2006082187A (ja) 薄刃砥石
CN102581383B (zh) 超硬磨料线锯的制造方法以及制造设备
CN206619587U (zh) 晶圆背面刷胶装置及其刷胶网
CN108327093A (zh) 石材切割用环形串珠金刚绳及其制造方法
CN207578758U (zh) 一种用于多线切割的金刚线
JPH1190923A (ja) マルチワイヤソーによる切断方法
CN204080153U (zh) 一种分段式电镀金刚石线锯上砂装置
US20030047177A1 (en) Method for cutting ingots for use with a wire cutting apparatus
CN106945188A (zh) 超硬磨料线锯的制造方法以及制造设备
JP6026927B2 (ja) 半導体基板の製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
RJ01 Rejection of invention patent application after publication
RJ01 Rejection of invention patent application after publication

Application publication date: 20180914