CN108469547A - 一种半导体电阻率测试仪以及多功能测试装置 - Google Patents

一种半导体电阻率测试仪以及多功能测试装置 Download PDF

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CN108469547A CN201810267306.1A CN201810267306A CN108469547A CN 108469547 A CN108469547 A CN 108469547A CN 201810267306 A CN201810267306 A CN 201810267306A CN 108469547 A CN108469547 A CN 108469547A
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resistance
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李�杰
于友
刘世伟
石坚
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Shandong Chenyu Rare Material Technology Co Ltd
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    • G01R27/2605Measuring capacitance

Abstract

本发明提供一种半导体电阻率测试仪以及多功能测试装置,包括:仪器本体,仪器本体设有半导体电阻率测试单元;半导体电阻率测试单元包括:信号发生器,第一低通滤波电路,第二低通滤波电路,第三低通滤波电路,恒流源电路,第一乘法电路,第二乘法电路,第一探头,第二探头,AD转换模块,单片机;半导体电阻率测试仪为提高精度测试仪恒流源电路对测试信号进行了运放,而且将测试信号和信号发生器发送至乘法电路的信号进行补偿算法,对测试信号进行调制,降噪,滤波等形式,进行处理,修正。半导体电阻率测试仪对采集的半导体电阻率采集信号进行平衡调节,可以使乘法器实现抑制载波的振幅调制或有载波的振幅调制,提升测试结果的精度。

Description

一种半导体电阻率测试仪以及多功能测试装置
技术领域
[0001] 本发明涉及半导体电阻率测试领域,尤其涉及一种半导体电阻率测试伩以及多功 能测试装置。
背景技术
[0002] 当前半导体和集成电路制造技术飞速发展,许多新半导体以及集成电路研制出 来,而半导体以及集成电路的很多参数都与薄层电阻有关,对半导体材料的电阻率检测是 不可或缺的关键步骤,因而需要可靠的测量仪器来研究器件的性能。
[0003] 目前,对于半导体材料电阻率的测试通常采用直流电位差计、光电检流计、标准电 阻等仪器构成来完成测试,这种的测试方法是通过调节电位差计上的各档旋扭开关,使得 光电检流计的指针复位到零点,从而读出电位差计上的电阻值,这样的测试工作周期长、读 数误差较大,从而直接影响所生产的相关产品的性能,而且测试过程中存在较大的数据噪 音,引起测试结果精度较低。
[0004] 通常电子器件在生产制造过程中,均是流水作业,或者大量生产的。在对半导体材 料进行检测时通常也需要一定的空间和环境。目前,专利号申请号为:201710084825X,公开 了一种便携式半导体非接触电阻率测试仪及使用方法,该测试仪虽然方便携带,但是在每 次使用中需要找到一个良好的固定位置,不仅要固定仪器,还要固定待测试的半导体材料, 或半导体材料的延伸产品,才能进行检测,这给测试带来不便,而且这样无法满足流水作 业,或者大量生产的状态。
发明内容
[0005] 为了克服上述现有技术中的不足,本发明提供一种半导体电阻率测试仪,包括:仪 器本体,仪器本体设有半导体电阻率测试单元;
[0006] 半导体电阻率测试单元包括:信号发生器,第一低通滤波电路,第二低通滤波电 路,第三低通滤波电路,恒流源电路,第一乘法电路,第二乘法电路,第一探头,第二探头,AD 转换模块,单片机,I/O接口,用于给半导体电阻率测试仪内部元件供电的供电电池以及用 于将供电电池输出的电压,进行稳压和变压后传输至各个用电元件的充供电电路;
[0007] 仪器本体上设有显示模块,电源接入端,探针接入端,参数调节按键,电源开关按 键以及测试控制按键;第一探头,第二探头分别与探针接入端插接;
[0008] 电源接入端连接外电源,电源接入端通过充供电电路连接半导体电阻率测试单 元,使外电源给半导体电阻率测试单元供电,还通过充供电电路给供电电池充电;参数调节 按键,电源开关按键以及测试控制按键分别通过I/O接口与单片机连接;
[0009]单片机分别与信号发生器输入端,显示模块输入端以及AD转换模块输出端连接; [0010]信号发生器的输出端分别与第一低通滤波电路输入端,第二低通滤波电路输入端 和第三低通滤波电路输入端连接;
[0011]第一低通滤波电路输出端与第一乘法电路第一输入端连接;
[0012]第二低通滤波电路输出端与恒流源电路输入端连接;恒流源电路输出端分别与第 一探头和第二探头连接,第一探头还与第一乘法电路第二输入端连接,第一探头将检测数 据传输至第一乘法电路;
[0013]第二探头还与第二乘法电路第二输入端连接,第二探头将检测数据传输至第二乘 法电路;
[0014]第三低通滤波电路输出端与第二乘法电路第一输入端连接;
[0015]第一乘法电路输出端和第二乘法电路输出端分别与AD转换模块的输入端连接;信 号发生器包括:方波发生电路和正弦波发生电路。
[0016]优选地,第一低通滤波电路包括:运放芯片U5,电阻R21,电阻R22,电阻R23,电阻 尺24,电阻1^25,电阻1?26,电阻1?27,电阻1?28,电阻1?29,电阻1?30,电阻1?31,电阻1?32,电容〇21, 电容C22,电容C23,电容C24,电容C25,电容C26,电容C27以及电容C28;
[0017]运放芯片U5—脚,二脚分别通过电阻R23连接五脚;运放芯片邯三脚分别与电阻 R22第二端和电容C22第二端连接;电容CM第一端,电容C23第一端,电容C24第一端分别接 地,电容U3第二端,电容C24第二端,运放芯片US四脚接+5v电源,电阻R22第一端分别与电 阻尺21第一纟而和电谷d桌一端连接;电阻R21第一端接第一低通滤波电路输入端;电容C21 第二端和电阻似4第一端接运放芯片U5七脚;电阻R24第二端通过电阻R25分别与运放芯片 U5六脚和电阻R26第一端连接,电阻R26第二端接地;
[0018]运放芯片U5八脚,九脚分别通过电阻R29连接十二脚;运放芯片U5十脚分别与电阻 R28第f端,电容C25第一端连接,电容C25第二端,电容C26第二端,电容C27第二端分别接 地,电谷C26第一端,电容C27第一端以及运放芯片U5^脚接_5v电源,电阻R28第一端分别 与电,R27第二端和电容C28第一端连接,电阻R27第一端接第一低通滤波电路输出端;电容 C28第二端,电阻R:31第二端分别与运放芯片us十四脚连接;运放芯片耶十三脚分别与电阻 R3〇第一端,电阻R;32第一端连接;电阻R32第二端接地,电阻R3〇第二端与电阻R31第一端连 接;
[00=]电容C22,电容C23,电容C24,电容C25,电容C26,电容C27起到了将信号发生器发出 的f目号,出现低频时,能够进入运放芯片U5,出现高频时,把高频噪声接至地,降低高频噪 声;
[0020]运放芯片U5采用LM324。
[0021]…优选地,方波发生电路包括:方波发生芯片U6,电阻R33,电阻R34,电阻R35,电阻 R36,电容C31,电容C32,电容C33,电容C34,电容C35,二极管D1以及二极管D2; 2〇22i、方波发生芯片U6二脚接地,方波发生芯片U6三脚分别与电阻1^34第二端,电阻R35 第一端连接二电阻第:端通过电容C31分别与方波发生电路输入端,电阻R33第一端连 接j阻厂端接地;方波发生芯片U6四脚,电容c;32第二端,电容C33第二端接_5v电源, 电容=2第一端,电容CM第一端分别接地;方波发生芯片ue七脚,电容C34第一端,电容c邪 第一端接+5v电源电容C34第二端,电容C35第二端分别接地;方波发生芯片u6六脚分别与 电$R36第=端,二极管01阴极以及二极管此阳极连接;电阻R36第二端与方波发生电路输 出端连接;二极管D1阳极以及二极管此阴极分别接地; 吨容⑶起到对方波发生电路输入端信号的稳压,滤波满足测试半导体 帷率“ _要;电_35,幢嫌,电容⑶,电容⑶用預施发生幌输出的方波 进行去燥,避免跳变彳两足测试半导体电阻率信号的需要;方波发生芯片%采用THS3091; [0024]正弦波发生电路包括:电阻R41,电阻R42,电阻R43,电阻R44,电容C41,电容C42,电 容C43,电容C44,电容C45,正弦波发生芯片U7;
[0025]正弦波发生芯片U7二脚接地,正弦波发生芯片07三脚分别与电阻R42第二端,电阻 R43第一端,电阻R42第一端与电容C41第二端连接,正弦波发生电路输入端与电容C41第一 端连接,以及通过电阻R41接地;正弦波发生芯片U7四脚,电容C42第-端,电容C43第-端分 电源,电容C42第-端,电容C43第-端分别眺正弦波电一容^ 第一端,电容C45第一端分别接+5v电源,电容C44第二端,电容C45第二端分别接地,电阻R43 第二端,电阻R44第一端,正弦波发生芯片U7六脚共同连接,电阻R44第二端接正弦波发生电 路输出端;正弦波发生芯片U7采用THS3091。
[0026]优选地,第一乘法电路包括:电阻R11,电阻R12,电阻R13,电容Q丨,电容C12,电容 C13,电容C14,电容C15,乘法电路芯片U4; ’
[0027]乘法电路心片U4一脚通过电阻Ri 1接地;乘法电路芯片似三脚,电容q 1第一端,电 谷C12第i而分别接-5v电源;电谷C11弟一端,电容C12第二端分别接地;乘法电路芯片七 脚接地’乘法电路心片U4/、脚,电容C14桌一端,电容C15第一端分别接+5v电源;电容C14第 一端,电容C15第二端分别接地;乘法电路芯片供四脚分别与电阻則2第一端,电容C13第一 端,电阻R13第一端连接,电阻R13第二端接地;电阻R12第二端,电容cu第二端,乘法电路芯 片U4五脚分别与第一乘法电路第二输入端连接;乘法电路芯片U4 一脚接第一乘法电路第一 输入端连接;乘法电路芯片U4八脚接第一乘法电路输出端;乘法电路芯片U4采用AD825 [0028]优选地,恒流源电路包括:恒流源芯片U1,电阻R1,电阻R2,电阻R3,电阻R4,电阻 R5二电容C1,电容C2,电容C3,电容W,电容C5,电容C6,电容C7,电容⑶,运放芯片U3,电源输 出模块U2;
[0029]〖旦k源心片U1 一脚分别与电阻R3第一端,电阻財第一端连接;电阻Rg第一端接地, 电阻R4第二端和,阻R5第一端分别与恒流源芯片讥六脚连接;电阻R5第二端分别与电源‘ 出模块U2—脚和运放芯片U3三脚连接;恒流源芯片ui七脚,电容C4第一端,电容C5第一端分 别接+Sv电源;电容C4第二端,电容Cf5第二端分别接地;恒流源芯片仍三脚分别与 二端,电阻R2第一端连接;电阻奶第一端接恒流源电路输入端;
[0030]一恒流源电路输入端通过充供电电路接供电电源;电阻R2第二端分别与运放芯片⑽ 一脚,二脚连接;恒流源芯片U1四脚,电容C1第二端,电容a第二端,电容C3第一端,电容⑶ 第一端,运放芯片U3四脚分别接-5v电源;电容C3第二端,电容⑶第二端分别接地.电容^第 厂端,芝容c2第了端分别接地;运放芯片us五脚,电容c?第一端,电容cs第一端分别接 电容c7第二端,电容c8第二端分别接地;恒流源芯片仍采用THS3〇91;运放芯片⑽采用
[0031] 一种多功能测试装置,包括:操作台,操作台顶部设有操作台面,操作台底部设有 支腿; 〜操设有峨安置柜,半导体电阻率测试伩安置柜以及第—半导体材料安 置柜,弟一半寸体材料安置柜;操作台的侧部设有电源线通孔;
[0033] 机女置柜,半导体电阻率测试仪安置柜,第一半导体材料安置柜以及笛一坐马 体材料安置柜均设有柜门; 侦聰⑽弟一+导 L〇〇34」第一半导体材料安置柜内部设有用于放置半导体材料的多层安置架以及用于对 安置架上半导体材料进行加热烘干的第一加热丝;
[0035]第一半导体材料安置柜的门框设有方形凸沿,方形凸沿向第一半导体材料安置柜 外部凸出,第一半导体材料安置柜的柜门设有门板,门板的边部设有与方形凸沿相适配的 方形凹沿;方形凹沿卡合在方形凸沿上;门板上设有两个把手;
[0036]操作台面安置有显示器,用于检测半导体电阻率的半导体电阻率测试仪以及温湿 度检测仪;PC机安置柜内部安置有PC主机,PC主机与显示器连接。
[0037]优选地,半导体电阻率测试仪还包括:用于测量电容容量的电容量测量单元,用于 测量电阻阻值的电阻测量单元,74LS138译码器、74LS259地址锁存器,MAX232芯片,RS232通 信接口以及RS485通信接口; _8] 74LS138译码器,74LS259地址锁存器,电容量测量单元,电阻测量单元以及MAX232 芯片分别与单片机连接;
[0039]单片机通过电容量测量单元获取待测元件的电容量,单片机通过电阻测量单元获 取待测元件的电阻阻值;
[0040] RS232通信接口,RS485通信接口分别与MAX232芯片连接。
[0041]优选地,单片机包括:采用AT89s51单片机,电容C91,电容C92,电容C93,电容C94, 电容C95,电容C96,电阻R1;
[0042] AT89s51单片机的XTAL1脚,RST脚,电容C95第一端,晶振C96第一端,电容C93第一 端,电阻R91第二端共同连接,电容C95第二端接+5v电源,电阻R91第一端,电容C93第二端, 电容C94第一端分别接地,电容C94第二端,晶振C96第二端分别XTAL2脚;AT89s51单片机的 P3.0脚与MAX232芯片的TXD1脚连接,AT89s51单片机的P3.l脚与MAX232芯片的RXD1脚连接, MAX2:32芯片的TXD2脚连接RS485通信接口的RXD脚,MAX232芯片的RXD2脚连接RS485通信接 口的TXD脚,MAXU2芯片的C1+脚和C1-脚对应连接电容C91的两端;MAX232芯片的C2+脚和 C2-脚对应连接电容C92的两端。
[0043]优选地,方形凹沿的内部贴敷有密封胶条;方形凸沿的外部贴敷有密封胶条;第一 半导体材料安置柜的内壁贴敷有隔热材料;操作台上设有用于控制第一加热丝开关的第一 加热丝控制开关;第一半导体材料安置柜的柜门与第一半导体材料安置柜的门框通过卡扣 相互扣合连接;或,第一半导体材料安置柜的柜门与第一半导体材料安置柜的门框通过过 盈配合连接。
[0044]优选地,温湿度检测仪与路由器连接,并通过路由器与PC主机通信连接,温湿度检 测仪将检测的环境温度和湿度信息传送至PC主机,PC主机将检测的温度和湿度信息存储在 硬盘中,并通过显示器显示;
[0045]半导体电阻率测试仪和PC主机分别连接路由器,半导体电阻率测试仪和PC主机通 过路由器通信连接,使半导体电阻率测试仪检测的数据信息传送至PC主机,PC主机将检测 的半导体电阻率数据信息存储在硬盘中,并通过显示器显示;
[0046]第一半导体材料安置柜内部设有加热器控制装置;加热器控制装置包括:温度传 感器,继电器,接触器,电源开关;
[0047]温度传感器设置有RS232接口以及USB接口,支持Modbus协议;
[0048]温度传感器与路由器连接,并通过路由器与PC主机通信连接温度传感器将检测的 半导体材料安置柜内温度信息传送至PC主机,PC主机将检测的温度信息存储在硬盘中,并 通过显示器显示;
[0049] PC主机设有用于控制第一加热丝控制启停的第一加热丝模块;第一加热丝模块通 过继电器连接接触器线圈,控制接触器吸合;第一加热丝通过接触器常开触点连接电源开 关,并通过电源开关连接电源。
[0050] 从以上技术方案可以看出,本发明具有以下优点:
[0051] 在测试时,由于探头获取的测试信号微弱,半导体电阻率测试仪为提高精度测试 仪恒流源电路对测试信号进行了运放,而且将测试信号和信号发生器发送至乘法电路的信 号进行补偿算法,对测试信号进行调制,降噪,滤波等形式,进行处理,修正,提高了测量精 度。
[0052] 半导体电阻率测试仪对采集的半导体电阻率采集信号进行平衡调节,可以使乘法 器实现抑制载波的振幅调制或有载波的振幅调制,提升测试结果的精度。
附图说明
[0053]为了更清楚地说明本发明的技术方案,下面将对描述中所需要使用的附图作简单 地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例,对于本领域普通技术 人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0054] 图1为半导体电阻率测试仪整体示意图;
[0055] 图2为半导体电阻率测试单元示意图;
[0056]图3为第一低通滤波电路图;
[0057]图4为方波发生电路图;
[0058]图5为正弦波发生电路图;
[0059] 图6为第一乘法电路图;
[0060] 图7为恒流源电路图;
[0061] 图8为多功能测试装置整体示意图;
[0062]图9为第一半导体材料安置柜柜门配合示意图;
[0063]图10为半导体电阻率测试仪实施例示意图;
[0064] 图11为单片机与MAX232芯片配合示意图。
具体实施方式
[0065]为使得本发明的发明目的、特征、优点能够更加的明显和易懂,下面将运用具体的 实施例及附图,对本发明保护的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,下面所描述的实施 例仅仅是本发明一部分实施例,而非全部的实施例。基于本专利中的实施例,本领域普通技 术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例,都属于本专利保护的范 围。
[0066] 本实施例提供一种半导体电阻率测试仪,如图1和图2所示,包括:仪器本体2〇,仪 器本体20设有半导体电阻率测试单元;
[0067] 半导体电阻率测试单元包括:信号发生器1,第一低通滤波电路2,第二低通滤波电 路3,第三低通滤波电路4,恒流源电路5,第一乘法电路6,第二乘法电路7,第一探头8,第二 探头9,AD转换模块10,单片机11,I/0接口 13,用于给半导体电阻率测试仪内部元件供电的 供电电池以及用于将供电电池输出的电压,进行稳压和变压后传输至各个用电元件的充供 电电路;
[0068] 仪器本体上设有显示模块12,电源接入端24,探针接入端25,参数调节按键23,电 源开关按键21以及测试控制按键22;第一探头8,第二探头9分别与探针接入端25插接;
[0069] 电源接入端24连接外电源,电源接入端24通过充供电电路连接半导体电阻率测试 单元,使外电源给半导体电阻率测试单元供电,还通过充供电电路给供电电池充电;参数调 节按键23,电源开关按键21以及测试控制按键22分别通过I/O接口 13与单片机11连接;
[0070]单片机11分别与信号发生器1输入端,显示模块12输入端以及AD转换模块10输出 端连接;
[0071]信号发生器1的输出端分别与第一低通滤波电路2输入端,第二低通滤波电路3输 入端和第三低通滤波电路4输入端连接;
[0072]第一低通滤波电路2输出端与第一乘法电路6第一输入端连接;第二低通滤波电路 3输出端与恒流源电路5输入端连接;恒流源电路5输出端分别与第一探头8和第二探头9连 接,第一探头8还与第一乘法电路6第二输入端连接,第一探头8将检测数据传输至第一乘法 电路6;第二探头9还与第二乘法电路7第二输入端连接,第二探头9将检测数据传输至第二 乘法电路7;第三低通滤波电路4输出端与第二乘法电路7第一输入端连接;第一乘法电路6 输出端和第二乘法电路7输出端分别与AD转换模块10的输入端连接;信号发生器1包括:方 波发生电路和正弦波发生电路。
[0073]信号发生器1可以根据测试半导体电阻率的需要输出方波或正弦波。当然选择方 式可以通过选择按键来设置,选择按键可以包括半导体电阻率测试仪的启停,半导体电阻 率测试仪电源的开关,半导体电阻率测试仪参数量程的选择等等。选择按键为概括性的特 征,可以包括半导体电阻率测试仪本领域技术人员在工作中需要的按键。
[0OT4]在测试时,由于探头获取的测试信号微弱,半导体电阻率测试仪为提高精度测试 仪恒流源电路对测试信号进行了运放,而且将测试信号和信号发生器发送至乘法电路的信 号进行补偿算法,对测试信号进行调制,降噪,滤波等形式,进行处理,修正,提高了测量精 度。
[0075]本实施例中,如图3所示,第一低通滤波电路2包括:运放芯片U5,电阻R21,电阻 R22,电阻R23,电阻R24,电阻R25,电阻R26,电阻R27,电阻R28,电阻R29,电阻R30,电阻R31, 电阻R32,电容C21,电容C22,电容C23,电容C24,电容C25,电容C26,电容C27以及电容C28; [007f 一运放芯片U5一脚,二脚分别通过电阻R23连接五脚;运放芯片U5三脚分别与电阻 R22弟一:½和电谷C22第一端连接;电容C22第一端,电容C23第一端,电容C24第一端分别接 地,电,C23第二端,电容CM第二端,运放芯片U5四脚接+5V电源,电阻R22第一端分别与电 二端和电容C21第一端连接;电阻R21第一端接第一低通滤波电路2输入端;电容C21 第〒端和电阻似4第一端接运放芯片U5七脚;电阻R24第二端通过电阻似5分别与运放芯片 U5六脚和电阻R26第一端连接,电阻R26第二端接地;运放芯片U5八脚,九脚分别通过电阻 =9连$十二脚;运放芯片邯十脚分别与电阻R28第二端,电容C25第一端连接,电容c25第二 蝻,电容C26第二端,电容C27第二端分别接地,电容C26第一端,电容C27第一端以及运放芯 片US十一脚接-5v电源,电阻MS第一端分别与电阻似7第二端和电容第一端连接,电阻 以/弟一栖S果=邶通漶波电路2输出端;电容C28第二端,电阻R31第二端分别与运放芯 U5十四脚连接;运放芯片U5十三脚分别与电阻R30第一端,电阻R32第一端连接.电阻R32第 二端接地,电^R30第二端与电阻R3丨第一端连接; 而驻伎’电丨丑K心弟
[0077]电谷C22,电容C23,电容C24,电容C25,电容C26,电容C27起到了将信号发生器丄发 出^半^体电阻率检测信号进行滤波,在出现低频时,能够进入运放芯片邯,出现高频时, 把高频噪声接至地,降低高频噪声;运放芯片U5采用LM324。提高半导体电阻率测试的精^ 度。 '
[0078]本实施例中,如图4和图5所示,方波发生电路包括:方波发生芯片ue,电阻R33,电 阻R34,电阻R35,电阻R36,电容C31,电容C32,电容C33,电容C34,电容C35,二极管D1以及二 极管D2; 一
[!079i、方波发生芯片⑽二脚接地,方波发生芯片U6三脚分别与电阻⑹4第二端,电阻R35 第一端连接二电[沮R34第一端通过电容C31分别与方波发生电路输入端,电阻R33第一端连 接,电阻R33弟一端接地;方波发生芯片U6四脚,电容C32第二端,电容Q33第二端接-5v电源, 电容C32第一端,电容C33第一端分别接地;方波发生芯片现七脚,电容C34第一端,电容C35 第一端接+5v电源^电容C34第二端,电容05第二端分别接地;方波发生芯片U6六脚分别与 电阻R36第一端,二极管D1阴极以及二极管把阳极连接;电阻R36第二端与方波发生电路输 出端连接;二极管D1阳极以及二极管D2阴极分别接地;
[00S0]电阻R33和电容C31起到对方波发生电路输入端信号的稳压,滤波满足测试半导体 电阻率信号的需要;电阻R35,电阻R36,电容C34,电容C35用于对方波发生电路输出的方波 进行去燥,避免跳变满足测试半导体电阻率信号的需要;方波发生芯片U6采用THS3〇91; [0081]正弦波发生电路包括:电阻R41,电阻R42,电阻R43,电阻R44,电容C41,电容C42,电 容C43,电容C44,电容C45,正弦波发生芯片U7;
[0082]正弦波发生芯片U7二脚接地,正弦波发生芯片U7三脚分别与电阻R42第二端,电阻 R43第一端,电阻R42第一端与电容C41第二端连接,正弦波发生电路输入端与电容C41第一 端连接,以及通过电阻R41接地;正弦波发生芯片U7四脚,电容C42第二端,电容C43第二端分 别接_5v电源,电容C42第一端,电容C43第一端分别接地;正弦波发生芯片U7七脚,电容C44 第一端,电容C45第一端分别接+5v电源,电容C44第二端,电容C45第二端分别接地,电阻R43 第二端,电阻R44第一端,正弦波发生芯片U7六脚共同连接,电阻R44第二端接正弦波发生电 路输出端;正弦波发生芯片U7采用THS3091。
[0083]本实施例中,所述的正弦波发生电路,方波发生电路与本领域惯用的正弦波发生 电路,方波发生电路不同,其中电阻R33和电容C31起到对方波发生电路输入端信号的稳压, 滤波满足测试半导体电阻率信号的需要,既可以根据针对测试电阻率的需要而设置。电阻 R35,电阻R:36,电容C34,电容C35用于对方波发生电路输出的方波进行去燥,避免跳变满足 测试半导体电阻率信号的需要;当然信号发生器1不仅仅包括方波发生电路和正弦波发生 电路,还包括与方波发生电路和正弦波发生电路相配套的电路芯片。同样正弦波发生电路 也是根据半导体电阻率测试仪的自身特点所设置。
[0084] 本实施例中,如图6所示,第一乘法电路6包括:电阻R11,电阻R12,电阻R13,电容 C11,电容C12,电容C13,电容C14,电容C15,乘法电路芯片U4;
[0085]乘法电路芯片U4二脚通过电阻Rl 1接地;乘法电路芯片U4三脚,电容Cl 1第一端,电 谷C12弟一麵分别接-5v电源;电容C1 i第二端,电容⑴第二端分另u接地;乘法电路芯片⑽七 脚^地,^法电路芯片U4六脚,电容C14第一端,电容Clf5第一端分别接+5v电源;电容CM第 二端,电容C15第二端分别接地;乘法电路芯片供四脚分别与电阻R12第一端,电容ci3第一 端,电阻R13第一端连接,电阻R13第二端接地;电阻R12第二端,电容C1:3第二端,乘法电路芯 片U4五脚分别与第一乘法电路第二输入端连接;乘法电路芯片以一脚接第一乘法电路第一 输入端连接;乘法电路芯片U4八脚接第一乘法电路输出端;乘法电路芯片U4采用仙825 [0086]电阻R11和R13抑制载波漏信号;R12的阻值调整,可以扩展调制乘法电路信号线性 ,围,的阻值增大,可使线性范围增大,可以调节第一乘法电路6的线性范围,卩^低探头 米集信号的失真度。
[0087]电阻R11,电阻R12,电阻R13,电容C13保证乘法电路工作在放大状态,对采集的半 导体电阻率采集信号进行平衡调节,可以使乘法器实现抑制载波的振幅调制或有载波的 幅调制。当然第二乘法电路与第一乘法电路相类似。
[0088]本实施例中,如图7所示,恒流源电路5包括:恒流源芯片U1,电阻則,电阻R2,电阻 尺3,电阻1?4,电阻1?5,电谷(:1,电容02,电容03,电容04,电容05,电容06,电容07,电容08,运放 芯片U3,电源输出模块U2;
[0089]恒流源芯片U1二脚分别与电阻以第二端,电阻R4第一端连接;电阻R3第一端接地, 电阻R4第二端和电阻R5第一端分别与恒流源芯片以六脚连接;电阻RS第二端分别与电源输 出模块U2—脚和运放芯片U3三脚连接;恒流源芯片仍七脚,电容C4第一端,电容⑺第一端分 别接+Sv电源;电容C4第二端,电容Cf5第二端分别接地;恒流源芯片仍三脚分别与电阻則第 二端,电阻R2第一端连接;电阻則第一端接恒流源电路输入端;
[0090]恒流源电路输入端通过充供电电路接供电电源;电阻R2第二端分别与运放芯片旧 :脚,一脚连接;恒流源芯片U1四脚,电容C1第二端,电容C2第二端,电容C3第一端,电容C6 第一端,运放芯片U3四脚分别接-5v电源;电容C3第二端,电容C6第二端分别接地;电容C1第 「端,电容C2第一端分别接地;运放芯片U3五脚,电容C7第一端,电容cs第一端分别接+5v电 源;电容C7第二端,电容C8第二端分别接地;恒流源芯片ui采用THS3091;运放芯片U3采用 0PA690。
[0091]恒流源电路对第一探头8,第二探头9提供一个相对较为稳定的电位差进行检测, 保持测试电位差恒定。由于运放芯片U3输出功率有限,所以当输出电流较大时偏差会较大, 影响检测精确性,电阻R1,电阻R2,电阻R4,电阻R5起到了有效的抑制因输出电流较大时偏 差的影响。 _2]本实施例中,AD转换模块1〇采用AD7?〇5AD转换器;除了采用上述给出的电路形式, 第一乘法器和第二^法器均还可以采用MC1496;信号发生器1均还可以采用型号81180A,参 ^;:双通道,4 • 2GHz米样率,12bit合成精度;负载为50欧姆时,输出电压峰峰值2V;根据内存 ^据合成任意波形;基本函数发生功能;相位,延迟可调。单片机丨丨采用STM32F103ZET6,或 采用AT89S52单片机。
[0093]本发明还提供一种多功能测试装置,如图8和图9所示,包括:操作台41,操作台41 顶部设有操作台面42,操作台41底部设有支腿43;
[0094]操作台41内部设有PC机安置柜44,半导体电阻率测试仪安置柜45以及第一半导体 材料安置柜46,第二半导体材料安置柜47;操作台41的侧部设有电源线通孔48; 女置柜44,半导体电阻率测试仪安置柜45,第一半导体材料安置柜46以及第 二半导体材料安置柜47均设有柜门;
[0096]第-半导体楸枝雖*内部设棚于放鮮导体材料的多层安置架以及用于 对安置架上半导体材料进行加热烘干的第一加热丝;
[^097]第=半导体材料安雖妨的门框设有方形凸沿M,方形凸沿64向第一半导体材料 安置柜46外部凸出,第一半导体材料安置柜的柜门设有门板61,门板61的边部设有与方形 凸沿64相适配的方形凹沿62;方形凹沿62卡合在方形凸沿64上;门板价上设有两个把手63; [0098]操作台面42安置有显示器31,用于检测半导体电阻率的半导体电阻率测试仪32以 及温湿度检测仪33; PC机安置柜44内部安置有PC主机,PC主机与显示器31连接。
[00"]半导体材料,或半导体材料的延伸产品存放在湿度较大的环境,需要测试时,可以 把半导体材料,或半导体材料的延伸产品放置到第一半导体材料安置柜内,开启第一加热 丝对放置到第一半导体材料安置柜内的半导体材料,或半导体材料的延伸产品进行烘干, 达到除湿的效果。
[0100]显示器,半导体电阻率测试仪以及温湿度检测仪均安置到操作台面上,这样便于 对半导体材料,或半导体材料的延伸产品进行测试,而且。将显示器,半导体电阻率测试仪 以及温湿度检测仪固定安置在流水作业,或者大量生产所需要检测的场所,g卩有稳定的测 试平台,而且能够承放待测材料,满足于流水作业,或者大量生产。
[0101]通过显示器和半导体电阻率测试仪观测测试数据,同时pC主机可以储存测试数 据,便于在流水作业,或者大量生产中查询使用。温湿度检测仪可以测试环境温度和湿度, 如果环境温度和湿度不满足测试要求,可以通过环境调节设备对环境温湿度进行调节。 [0102]本实施例中,如图1〇和11所示,半导体电阻率测试伩32还包括:用于测量电容容量 的电容量测量单元13,用于测量电阻阻值的电阻测量单元14,74LS138译码器15、74LS259地 址锁存器丨7,MAX232芯片20,RS232通信接口 21以及RS485通信接口 22;
[0103] 74LS138译码器15,74LS259地址锁存器17,电容量测量单元13,电阻测量单元14以 及MAX232芯片20分别与单片机11连接;
[0104]单片机11通过电容量测量单元13获取待测元件的电容量,单片机11通过电阻测量 单元14获取待测元件的电阻阻值;
[0105] RS232通信接口 21,RS485通信接口 22分别与MAX232芯片20连接。这样多功能测试 装置实现了半导体电阻率测试,电容量测量以及电阻阻值测量的多个功能,不局限于对半 导体电阻率的测试。而且还可以通过RS232通信接口或RS485通信接口连接PC机,将测试数 据传输至PC机进行储存和观测。
[0106] 其中,单片机11包括:采用AT89s51单片机,电容C91,电容C92,电容C93,电容C94, 电容C95,电容C96,电阻R1;
[0107] AT89s51单片机的XTAL1脚,RST脚,电容C95第一端,晶振C96第一端,电容C93第一 端,电阻R91第二端共同连接,电容C95第二端接+5v电源,电阻R91第一端,电容C93第二端, 电容C94第一端分别接地,电容C94第二端,晶振C96第二端分别XTAL2脚;AT89s51单片机的 P3 • 0脚与MAX232芯片20的TXD1脚连接,AT89s51单片机的P3 • 1脚与MAX232芯片20的RXD1脚 连接,MAX232芯片20的TXD2脚连接RS485通信接口 22的RXD脚,MAX232芯片20的RXD2脚连接 RS485通信接口 22的HD脚,MAX232芯片20的C1+脚和C1-脚对应连接电容C91的两端;MAX232 芯片20的C2+脚和C2-脚对应连接电容C92的两端。
[0108] AT89s51单片机复位方式采用的是上电自动复位;P3.〇脚和”.丨脚用来和MAX232 芯片2〇连接进行串口通信。单片机跟PC主机进行串行通信连接中,因为计算机串口是 12VTTL电平,单片机是5V的CMOS电平,需要MAX232芯片20作为电平转换,使单片机与PC主机 进行串行通信,PC主机可以获取到测试仪的数据信息。
[0109] 本实施例中,方形凹沿62的内部贴敷有密封胶条;方形凸沿64的外部贴敷有密封 胶条;第一半导体材料安置柜46的内壁贴敷有隔热材料;操作台41上设有用于控制第一加 热丝开关的第一加热丝控制开关49;第一半导体材料安置柜的柜门与第一半导体材料安置 柜46的门框通过卡扣65相互扣合连接;或,第一半导体材料安置柜的柜门与第一半导体材 料安置柜46的门框通过过盈配合连接。这样可以起到给第一半导体材料安置柜提供良好的 密封性能。
[0110]本实施例中,温湿度检测仪33与路由器连接,并通过路由器与pC主机通信连接,温 湿度检测仪33将检测的环境温度和湿度信息传送至PC主机,PC主机将检测的温度和湿度信 息存储在硬盘中,并通过显示器31显示;
[0111]半导体电阻率测试仪32和PC主机分别连接路由器,半导体电阻率测试仪32和PC主 机通过路由器通信连接,使半导体电阻率测试仪32检测的数据信息传送至PC主机,PC主机 将检测的半导体电阻率数据信息存储在硬盘中,并通过显示器31显示;
[0112]第一半导体材料安置柜46内部设有加热器控制装置;加热器控制装置包括:温度 传感器,继电器,接触器,电源开关;
[0113] 温度传感器设置有RS232接口以及USB接口,支持Modbus协议;
[0114] 温度传感器与路由器连接,并通过路由器与PC主机通信连接温度传感器将检测的 半导体材料安置柜内温度信息传送至PC主机,PC主机将检测的温度信息存储在硬盘中,并 通过显示器31显示;
[0115] PC主机设有用于控制第一加热丝控制启停的第一加热丝模块;第一加热丝模块通 过继电器连接接触器线圈,控制接触器吸合;第一加热丝通过接触器常开触点连接电源开 关,并通过电源开关连接电源。
[0116]本说明书中各个实施例采用递进的方式描述,每个实施例重点说明的都是与其他 实施例的不同之处,各个实施例之间相同相似部分互相参考即可。
[0117] 本发明的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”、“第三”“第 四”等如果存在是用于区别类似的对象,而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解 这样使用的数据在适当情况下可以互换,以便这里描述的本发明的实施例能够以除了在这 里图示或描述的那些以外的顺序实施。此外,术语“包括”和“具有”以及他们的任何变形,意 图在于覆盖不排他的包含。
[0118]对所公开的实施例的上述说明,使本领域专业技术人员能够实现或使用本发明。 对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的,本文中所定义的 一般原理可以在不脱离本发明的精神或范围的情况下,在其它实施例中实现。因此,本发明 将不会被限制于本文所示的这些实施例,而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一 致的最宽的范围。

Claims (10)

1.一种半导体电阻率测试仪,其特征在于,包括:仪器本体(20),仪器本体(20)设有半 导体电阻率测试单元; 半导体电阻率测试单元包括:信号发生器(1),第一低通滤波电路(2),第二低通滤波电 路(3),第三低通滤波电路⑷,恒流源电路(5),第一乘法电路(6),第二乘法电路(7),第一 探头(8),第二探头(9),AD转换模块(10),单片机(11),1/0接口(13),用于给半导体电阻率 测试仪内部元件供电的供电电池以及用于将供电电池输出的电压,进行稳压和变压后传输 至各个用电元件的充供电电路; 伩器本体上设有显示模块(12),电源接入端(24),探针接入端(25),参数调节按键 (2¾,电源开关按键(21)以及测试控制按键(22);第一探头(8),第二探头(9)分别与探针接 入端(25)插接; 电源接入端(24)连接外电源,电源接入端(24)通过充供电电路连接半导体电阻率测试 单元,使外电源给半导体电阻率测试单元供电,还通过充供电电路给供电电池充电;参数调 节按键(23),电源开关按键(21)以及测试控制按键(22)分别通过I/O接口(13)与单片机 (11)连接; 单片机(11)分别与信号发生器(1)输入端,显示模块(12)输入端以及AD转换模块(10) 输出端连接; 信号发生器(1)的输出端分别与第一低通滤波电路(2)输入端,第二低通滤波电路(3) 输入端和第三低通滤波电路⑷输入端连接; 第一低通滤波电路(2)输出端与第一乘法电路⑹第一输入端连接; 第二低通滤波电路(3)输出端与恒流源电路(5)输入端连接;恒流源电路(5)输出端分 别与第一探头(S)和第二探头(9)连接,第一探头(8)还与第一乘法电路(6)第二输入端连 接,第一探头⑻将检测数据传输至第一乘法电路(6); 第二探头(9)还与第二乘法电路(7)第二输入端连接,第二探头(9)将检测数据传输至 第二乘法电路(7); 弟二低通滤波电路⑷输出端与第二乘法电路⑺第一输入端连接; 第一乘法电路(6)输出端和第二乘法电路(?)输出端分别与仙转换模块(1〇)的输入端 连接;信号发生器(1)包括:方波发生电路和正弦波发生电路。
2.根据权利要求1所述的半导体电阻率测试仪,其特征在于, 第一低通滤波电路(2)包括:运放芯片U5,电阻Ml,电阻R22,电阻R23,电阻R24,电阻 R25,电阻R26,电阻R27,电阻R28,电阻R29,电阻R30,电阻R31,电阻R32,电容C21,电容C22, 电容C23,电容C24,电容C25,电容C26,电容C27以及电容C28; , 一运放芯片U5—脚,二脚分别通过电阻R23连接五脚;运放芯片而三脚分别与电阻R22第 二端和电^C22第二端连接;电容cm第一端,电容C2:3第一端,电容C24第一端分别接地,电 $C23第二端,电容C24第二端,运放芯片us四脚接+5v电源,电阻R22第一端分别与电阻R21 第^端和电容第一端连接;电阻R21第一端接第一低通滤波电路(2)输入端;电容c2i 二端和电阻R24第一端接运放芯片U5七脚;电阻R24第二端通过电阻R25分别伝 六脚和电阻R26第一端连接,电阻以6第二端接地; 笛一运山放 =rU9=脚别通过电阻R29连接十二脚;运放芯片邯十脚分别与植 第一栖,电存C2S苐一铜连接,电容C25第二端,电容C26第二端,电容C27第二端分别接地,电 谷(:26第=5而,电谷〇27第一端以及运放芯片115^脚接_5v电源,电阻R28第一端分别与电 阻1^!!第f端和电容C28第一端连接,电阻R27第一端接第一低通滤波电路(2)输出端;电容 (:28^二端,电阻R31第二端分别与运放芯片U5十四脚连接;运放芯片u5十三脚分别与电阻 R3〇第一端,电阻R32第一端连接;电阻R32第二端接地,电阻R30第二端与电阻R31第一端连 接; 电容C22,电容C23,电容C24,电容C25,电容C26,电容C27起到了将信号发生器⑴发出 的,出现低频时,龍够进入运放芯片U5,出现高频时,把高频噪声接至地,降低高频噪 声; 运放芯片U5采用LM324。
3.根据权利要求1或2所述的半导体电阻率测试仪,其特征在于, 方波发生电路包括:方波发生芯片U6,电阻R33,电阻RM,电阻R;35,电阻R36,电容C31, 电容C32,电容C33,电容C34,电容C35,二极管D1以及二极管D2; ’ _、方波发生芯片u6二脚接地,方波发生芯片%三脚分别与电阻R34第二端,电阻R35第一 端连电阻RM第一端通过电容C31分别与方波发生电路输入端,电阻R33第一端连接,电 阻R33第二端接地;方波发生芯片u6四脚,电容CM第二端,电容C33第二端接—5v电源,电容 C32第一端,电容C:B3第一端分别接地;方波发生芯片U6七脚,电容C;M第一端,电容C35第一 端接+5v电源^电容C34第二端,电容C:35第二端分别接地;方波发生芯片U6六脚分别与电阻 R3e第一端,二极管D1阴极以及二极管d2阳极连接;电阻R36第二端与方波发生电路输出端 连接;二极管D1阳极以及二极管D2阴极分别接地; 电阻R33和电容C31起到对方波发生电路输入端信号的稳压,滤波满足测试半导体电阻 率^号的需要;电阻R35,电阻R36,电容C34,电容C35用于对方波发生电路输出的方波进行 去燥,避免跳变满足测试半导体电阻率信号的需要;方波发生芯片U6采用THS3〇91; 正弦波发生电路包括:电阻R41,电阻R42,电阻R43,电阻R44,电容C41,电容C42,电容 C43,电容C44,电容C45,正弦波发生芯片U7; ’ 正弦波发生芯片U7二脚接地,正弦波发生芯片u7三脚分别与电阻糾2第二端,电阻R43 第一端,电阻R42第一端与电容C41第二端连接,正弦波发生电路输入端与电容C41第一端连 接,以及通过电阻R41接地;正弦波发生芯片U7四脚,电容C42第二端,电容C43第二端分别 接jv电源,电谷C42第一端,电容C43第一端分别接地;正弦波发生芯片U7七脚,电容(^4第 =端,电容C45第一端分别接+5V电源,电容C44第二端,电容C45第二端分别接地,电阻R43第 二端,电阻R44第一端,正弦波发生芯片U7六脚共同连接,电阻R44第二端接正弦波发生电路 输出端;正弦波发生芯片U7采用THS3091。
4.根据权利要求1或2所述的半导体电阻率测试伩,其特征在于, 第一乘法电路⑹包括:电阻R11,电阻R12,电阻R13,电容C11,电容C12,电容C13,电容 C14,电容C15,乘法电路芯片U4; ’ 乘法电路芯片U4二脚通过电阻R11接地;乘法电路芯片U4三脚,电容cu第一端,电容 C12弟;£而分力帳-5V电源;电容C11第二端,电容C12第二端分别接地;乘法电路芯片u4七脚 接地,乘法电路芯片U4六脚,电容C14第一端,电容C15第一端分别接+5V电源;电容C14第二 端,电容C15第二端分别接地;乘法电路芯片U4四脚分别与电阻則2第一端,电容n3第一端, 电阻R13第一端连接,电阻R13第二端接地;电阻R12第二端,电容C1;3第二端,乘法电路芯片 U4iL脚分别与弟一乘法电路第二输入端连接;乘法电路芯片U4—脚接第—乘法 入立而连接;乘法电路心片U4八脚接第一乘法电路输出端;乘法电路芯片JJ4采用仙825
5. 根据权利要求1或2所述的半导体电阻率测试仪,其特征在于, 恒流源电路(5)包括:恒流源芯片U1,电阻R1,电阻R2,电阻R3,电阻R4,电阻R5,电容^, 电容C2,电容C3,电容C4,电容C5,电容C6,电容C7,电容C8,运放芯片U3,电源输出模’块U2., 恒^流源芯片U1二脚分别与电阻R3第二端,电阻R4第一端连接;电阻R3第一端接地,电阻 R4第二端和电阻R5第一端分别与恒流源芯片仍六脚连接;电阻RS第二端分别与电源输出模 块U2—脚和运放芯片U3三脚连接;恒流源芯片ui七脚,电容C4第一端,电容C5第一端分别接 +5v电源;电容C4第二端,电容C5第二端分别接地;恒流源芯片仍三脚分别与电阻町第二端, 电阻R2第一端连接;电阻R1第一端接恒流源电路输入端; 恒流源电路输入端通过充供电电路接供电电源;电阻R2第二端分别与运放芯片⑽一 脚,二脚连接;恒流源芯片U1四脚,电容Cl第二端,电容C2第二端,电容C3第—端,电容⑶第 一端,运放芯片U3四脚分别接_5v电源;电容C3第二端,电容C6第二端分别接地;电容C1第一 端,电容C2第一端分别接地;运放芯片U3五脚,电容C7第一端,电容⑶第一端分别接+5¥电 源;电容C7第二端,电容C8第二端分别接地;恒流源芯片U1采用THS3091;运放芯片U3采用 0PA690。
6. —种多功能测试装置,其特征在于,包括:操作台(41),操作台(41)顶部设有操作台 面(42),操作台(41)底部设有支腿(43); 操作台(41)内部设有PC机安置柜(44),半导体电阻率测试仪安置柜(45)以及第一半导 体材料安置柜(46),第二半导体材料安置柜(4乃;操作台(41)的侧部设有电源线通孔(48); PC机安置柜(44),半导体电阻率测试仪安置柜(45),第一半导体材料安置柜(46)以及 第二半导体材料安置柜(47)均设有柜门; 第一半导体材料安置柜(妨)内部设有用于放置半导体材料的多层安置架以及用于对 安置架上半导体材料进行加热烘干的第一加热丝; 第一半导体材料安置柜(46)的门框设有方形凸沿(64),方形凸沿(64)向第一半导体材 料安置柜(妨)外部凸出,第一半导体材料安置柜的柜门设有门板(61),门板(61)的边部设 有与方形凸沿(64)相适配的方形凹沿(62);方形凹沿(62)卡合在方形凸沿(64)上;门板 (61)上设有两个把手(63); 操作台面(42)安置有显示器(31),如权利要求1至5所述的半导体电阻率测试仪(32)以 及温湿度检测仪(33) ;PC机安置柜(44)内部安置有PC主机,PC主机与显示器(31)连接。
7.根据权利要求6所述的多功能测试装置,其特征在于, 半导体电阻率测试仪(32)还包括:用于测量电容容量的电容量测量单元(13),用于测 量电阻阻值的电阻测量单元(14),74LS138译码器(15)、74LS259地址锁存器(17),MAX232芯 片(20),RS232通信接口(21)以及RS485通信接口(22); 74LS138译码器(15),74LS259地址锁存器(17),电容量测量单元(13),电阻测量单元 (14)以及MAX232芯片(20)分别与单片机(11)连接; 单片机(11)通过电容量测量单元(13)获取待测元件的电容量,单片机(11)通过电阻测 量单元(14)获取待测元件的电阻阻值; RS232通信接口(21),RS485通信接口(22)分别与MAX232芯片(20)连接。
8.根据权利要求7所述的多功能测试装置,其特征在于, 单片机(11)包括:米用AT89s51单片机,电容C91,电容C92,电容C93,电容C94,电容C95 电容C96,电阻R1; ’ AT89s51单片机的XTAL1脚,RST脚,电容C95第一端,晶振c%第一端,电容C93第一端,电 阻R91第二端共同连接,电容C95第二端接+5v电源,电阻R91第一端,电容⑶3第二端,电容 C94第一端分别接地,电容C94第二端,晶振C96第二端分别XTAL2脚;AT89s51单片机的P3.0 脚与MAX232芯片(20)的TXD1脚连接,AT89s51单片机的P3.1脚与MAX232芯片(20)的RXD1脚 连接,MAX232芯片(20)的TXD2脚连接RS485通信接口(22)的RXD脚,MAX232芯片(20)的RXD2 脚连接RS485通信接口(22)的TXD脚,MAX232芯片(20)的C1+脚和C1-脚对应连接电容C91的 两端;MAX232芯片(2〇)的C2+脚和C2-脚对应连接电容C92的两端。
9.根据权利要求6所述的多功能测试装置,其特征在于, 方形凹沿(62)的内部贴敷有密封胶条;方形凸沿(64)的外部贴敷有密封胶条;第一半 导体材料安置柜(46)的内壁贴敷有隔热材料;操作台(41)上设有用于控制第一加热丝开关 的第一加热丝控制开关(49);第一半导体材料安置柜的柜门与第一半导体材料安置柜(46) 的门框通过卡扣(6f5)相互扣合连接;或,第一半导体材料安置柜的柜门与第一半导体材料 安置柜(46)的门框通过过盈配合连接。
10.根据权利要求6所述的多功能测试装置,其特征在于, 温湿度检测仪(33)与路由器连接,并通过路由器与PC主机通信连接,温湿度检测仪 (33)将检测的环境温度和湿度信息传送至PC主机,PC主机将检测的温度和湿度信息存储在 硬盘中,并通过显示器(31)显示; 半导体电阻率测试仪(32)和PC主机分别连接路由器,半导体电阻率测试仪(32)和PC主 机通过路由器通信连接,使半导体电阻率测试仪(32)检测的数据信息传送至PC主机,PC主 机将检测的半导体电阻率数据信息存储在硬盘中,并通过显示器(31)显示; 第一半导体材料安置柜(46)内部设有加热器控制装置;加热器控制装置包括:温度传 感器,继电器,接触器,电源开关; 温度传感器设置有RS232接口以及USB接口,支持Modbus协议; 温度传感器与路由器连接,并通过路由器与PC主机通信连接温度传感器将检测的半导 体材料安置柜内温度信息传送至PC主机,PC主机将检测的温度信息存储在硬盘中,并通过 显示器(31)显示; PC主机设有用于控制第一加热丝控制启停的第一加热丝模块;第一加热丝模块通过继 电器连接接触器线圈,控制接触器吸合;第一加热丝通过接触器常开触点连接电源开关,并 通过电源开关连接电源。
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