CN108436199A - 一种阳极螺纹孔的机械加工工艺 - Google Patents
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Abstract
本发明一种阳极螺纹孔的机械加工工艺，步骤如下：(1)机械加工刀具的选择；(2)加工过程中：DOE参数的设计；(3)在相同的阳极参数下，检测阳极后零件的通止；(4)根据合格的参数，配做螺纹孔的检具。所述第(1)步骤中刀具选择，选用螺纹铣刀，而非传统的丝锥。所述第(2)步骤中DOE参数的确认，根据图纸要求以螺纹孔.164‑32UNC‑2B为例，设计五组实验，螺纹铣刀加工时单边补正量分别为0.04mm,0.05mm，0.06mm，0.07mm，0.08mm，0.09mm。本发明通过合理的刀具选择，达到阳极氧化前非标螺纹孔的加工要求。合理的DOE加工参数，得出阳极氧化在螺纹孔上的长膜规律，从而确立机床加工的尺寸要求。
Description
技术领域
本发明属于半导体零部件领域的机械加工工艺，具体说是一种阳极螺纹孔的精密加工技术，适用于半导体领域的带有阳极螺纹孔的所有零部件。
背景技术
随着半导体领域的快速发展，对基础零部件的技术要求越来越高，作为半导体领域的零部件，对螺纹孔的要求已经不仅局限于安装使用，更多考虑的是螺纹底孔的耐磨性、耐热性、耐腐蚀性以及绝缘性等。由于螺纹孔螺牙本身较尖锐，在阳极氧化过程中，不仅有阳极膜的生成，同时也对螺牙的尖边有一定放电腐蚀产生，所以对于阳极前的螺纹孔尺寸，无法给出理论加工尺寸，只有通过DOE实验，结合阳极氧化制程得出合理的加工参数。
发明内容
针对上述存在的问题，为了达到阳极螺纹孔的技术要求，运用常用的卧室加工中心，通过螺纹铣刀的使用，结合不同的加工补正量，基于0250-39693的阳极氧化规范，得到满足使用要求的阳极螺纹孔，解决了螺纹孔阳极氧化后通规不过无法使用的问题，通过制作非标检具，实现稳定生产。本发明的目的是提供了一种阳极螺纹孔的机械加工工艺。
本发明是通过如下方案实现的：
一种阳极螺纹孔的机械加工工艺，步骤如下：
(1)机械加工刀具的选择；
(2)加工过程中：DOE参数的设计；
(3)在相同的阳极参数下，检测阳极后零件的通止；
(4)根据合格的参数，配做螺纹孔的检具。
所述第(1)步骤中刀具选择，选用螺纹铣刀，而非传统的丝锥。
所述第(2)步骤中DOE参数的确认，根据图纸要求以螺纹孔.164-32UNC-2B为例，设计五组实验，螺纹铣刀加工时单边补正量分别为0.04mm,0.05mm，0.06mm，0.07mm，0.08mm，0.09mm；
所述第(3)步骤中相同阳极参数，根据美国应用材料阳极氧化规范0250-39693，Type III,class I,对试片阳极之后，检测出合格的螺纹孔。
所述第(4)步骤中合格的参数，使用数控车床配做出非标的螺纹孔检测塞规。
本发明的有益效果是：
1.通过合理的刀具选择，达到阳极氧化前非标螺纹孔的加工要求。
2.合理的DOE加工参数，得出阳极氧化在螺纹孔上的长膜规律，从而确立机床加工的尺寸要求。
3.通过实验确立的加工尺寸参数，配做出非标的塞规检具，确立机床加工的检测标准，实现稳定量产。
具体实施方案
一种阳极螺纹孔的机械加工工艺，步骤如下：
(1)机械加工刀具的选择；
(2)加工过程中：DOE参数的设计；
(3)在相同的阳极参数下，检测阳极后零件的通止；
(4)根据合格的参数，配做螺纹孔的检具。
所述第(1)步骤中刀具选择，选用螺纹铣刀，而非传统的丝锥。
所述第(2)步骤中DOE参数的确认，根据图纸要求以螺纹孔.164-32UNC-2B为例，设计五组实验，螺纹铣刀加工时单边补正量分别为0.04mm,0.05mm，0.06mm，0.07mm，0.08mm，0.09mm；
所述第(3)步骤中相同阳极参数，根据美国应用材料阳极氧化规范0250-39693，Type III,class I,对试片阳极之后，检测出合格的螺纹孔。
所述第(4)步骤中合格的参数，使用数控车床配做出非标的螺纹孔检测塞规。
Claims (5)
1.一种阳极螺纹孔的机械加工工艺，其特征在于：
机床加工后非标螺纹孔的检测；螺纹孔阳极氧化后螺纹的检测；
步骤如下：
(1)机械加工刀具的选择；
(2)加工过程中：DOE参数的设计；
(3)在相同的阳极参数下，检测阳极后零件的通止；
(4)根据合格的参数，配做螺纹孔的检具。
2.如权利要求1所述阳极螺纹孔的机械加工工艺，其特征在于，
所述第(1)步骤中刀具选择，选用螺纹铣刀，通过补正量达到所需的螺牙尺寸，而非传统的丝锥。
3.如权利要求1所述的阳极螺纹孔的机械加工工艺，其特征在于，
所述第(2)步骤中DOE参数的确认，根据图纸要求以螺纹孔.164-32UNC-2B为例，设计六组实验，每组5个螺纹孔，螺纹铣刀加工时单边补正量分别为0.04mm，0.05mm，0.06mm，0.07mm，0.08mm，0.09mm。
4.如权利要求1所述的阳极螺纹孔的机械加工工艺，其特征在于，
所述第(3)步骤中相同阳极参数，根据美国应用材料阳极氧化规范0250-39693，TypeIII,class I,对试片阳极之后，检测出合格的螺纹孔。
5.如权利要求1所述的阳极螺纹孔的机械加工工艺，其特征在于，
所述第(4)步骤中合格的参数，使用数控车床配做出非标的螺纹孔检测塞规。
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