CN108284369B - 一种非球面超精密抛光与形状误差补偿方法 - Google Patents

一种非球面超精密抛光与形状误差补偿方法 Download PDF

Info

Publication number
CN108284369B
CN108284369B CN201810259262.8A CN201810259262A CN108284369B CN 108284369 B CN108284369 B CN 108284369B CN 201810259262 A CN201810259262 A CN 201810259262A CN 108284369 B CN108284369 B CN 108284369B
Authority
CN
China
Prior art keywords
polishing
workpiece
precision
axis
shape
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201810259262.8A
Other languages
English (en)
Other versions
CN108284369A (zh
Inventor
张嘉荣
姚洪辉
朱相优
王晗
邹海华
邓建南
梁锐鑫
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Guangdong University of Technology
Original Assignee
Guangdong University of Technology
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Guangdong University of Technology filed Critical Guangdong University of Technology
Priority to CN201810259262.8A priority Critical patent/CN108284369B/zh
Publication of CN108284369A publication Critical patent/CN108284369A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN108284369B publication Critical patent/CN108284369B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24GRINDING; POLISHING
    • B24BMACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B19/00Single-purpose machines or devices for particular grinding operations not covered by any other main group
    • B24B19/20Single-purpose machines or devices for particular grinding operations not covered by any other main group for grinding dies
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24GRINDING; POLISHING
    • B24BMACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B1/00Processes of grinding or polishing; Use of auxiliary equipment in connection with such processes
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24GRINDING; POLISHING
    • B24BMACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B41/00Component parts such as frames, beds, carriages, headstocks
    • B24B41/02Frames; Beds; Carriages
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24GRINDING; POLISHING
    • B24BMACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B47/00Drives or gearings; Equipment therefor
    • B24B47/10Drives or gearings; Equipment therefor for rotating or reciprocating working-spindles carrying grinding wheels or workpieces
    • B24B47/12Drives or gearings; Equipment therefor for rotating or reciprocating working-spindles carrying grinding wheels or workpieces by mechanical gearing or electric power
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24GRINDING; POLISHING
    • B24BMACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B49/00Measuring or gauging equipment for controlling the feed movement of the grinding tool or work; Arrangements of indicating or measuring equipment, e.g. for indicating the start of the grinding operation
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24GRINDING; POLISHING
    • B24BMACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B51/00Arrangements for automatic control of a series of individual steps in grinding a workpiece
    • GPHYSICS
    • G06COMPUTING; CALCULATING; COUNTING
    • G06FELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
    • G06F30/00Computer-aided design [CAD]
    • G06F30/20Design optimisation, verification or simulation

Abstract

本发明提供一种非球面超精密抛光与形状误差补偿方法,使非球面光学透镜模具数控加工具有更高精度的形状和更好的表面加工质量。本发明一种非球面超精密抛光与形状误差补偿方法的技术方案包括:步骤一,根据加工参数与加工轨迹,生成数控加工代码,并输入到多轴机床对工件进行抛光加工;步骤二,抛光后,采用多轴机床的高精度在位检测装置对所加工的工件面型的形状精度进行在位测量;步骤三,判断测量结果是否满足预设的形状精度,若是,则抛光结束。

Description

一种非球面超精密抛光与形状误差补偿方法
技术领域
本发明涉及光学元件模具抛光领域,具体涉及一种非球面超精密抛光与形状误差补偿方法。
背景技术
传统的非球面光学玻璃透镜制造一般采用材料去除的机械加工法,通过粗磨、精磨、抛光、磨边等十几道工序加工而成,制造周期长,加工精度不稳定,生产效率和工艺稳定性无法满足迅速发展的行业需求。因此,近年发展起来一种新型的玻璃光学元件模压成型技术,采用高精度的光学模具,通过加温加压直接压制成型超精密玻璃光学元件,从而开创了大批量、高效率制造玻璃光学元器件的新时代。
光学玻璃透镜模压成型技术与传统的材料去除加工方法相比。模压成型的光学元件面形精度高,而且精度稳定,容易实现精密非球面光学零件的批量生产。降低生产成本。这项技术的普及推广应用是光学行业在光学玻璃零件加工方面的重大革命。日本HOYA,德国蔡司,荷兰菲利浦,美国康宁等均已经进入生产实用阶段。目前国内很多光学企业急需开发这一技术。湖南大学、北京理工大学、苏州大学、中国科技大学等单位正在研发这一技术。
在热压成型工艺中,模具形状精度及表面质量直接决定着透镜的形状精度及表面质量。因此超精密模具的制造是热压成型的关键技术之一。超精密光学模具,要求具有很高的抗压强度与硬度、极高的弹性模量、良好的热强性能与导热性能、较低的热膨胀系数等。常采用WC硬质合金模具。但由于它具有高硬度、高耐磨性,并且加工空间狭小,实现其高精度、高效率加工较为困难。如何实现非球面光学透镜成型加工所用模具的高精度化、高效率化的加工一直是困扰业界的难题。为满足光学玻璃透镜模压成型技术中模具的形状精度和表面质量要求,业界当前的研究方向是开发出高精密数控机床对其进行加工。
目前我国非球面光学元件模具数控抛光机床的传统机械结构包括底座系统、床身系统两大部分;具有X、Y、Z、U、B、C六个数控轴,其中,X、Y、Z轴是直线数控轴,U、B、C轴为旋转数控轴。
在抛光过程中,抛光头围绕底座系统中的U轴转动,工件围绕C轴转动,工件整体夹持装置围绕B轴转动,使抛光头与工件贴合进行抛光加工。
国内现有的非球面光学透镜模具数控加工技术的形状加工精度普遍较低,加工模具的表面质量精度低。
发明内容
本发明提供一种非球面超精密抛光与形状误差补偿方法,使非球面光学透镜模具数控加工具有更高精度的形状和更好的表面加工质量。
本发明一种非球面超精密抛光与形状误差补偿方法的技术方案包括:
根据加工参数与加工轨迹,生成数控加工代码,并输入到多轴机床对工件进行抛光加工;
步骤二,抛光后,对所加工的工件面型的形状精度进行在位测量;
步骤三,判断测量结果是否满足预设的形状精度,若是,则抛光结束。
优选的,若否,则根据所述测量结构得到实际抛光曲线,将实际抛光曲线与理想抛光曲线进行比对,生成新数控加工代码,并输入到多轴机床对工件进行补偿抛光,直至满足预设的形状精度。
优选的,将所述测量结果进行滤波平滑处理,消除随机误差后,利用拟合得到实际抛光曲线。
优选的,将实际抛光曲线与理想抛光曲线进行比对,计算工件表面的残余误差;根据残余误差和抛光头在工件表面的驻留时间,生成新数控加工代码,并输入到多轴机床对工件进行补偿抛光,直至满足预设的形状精度。
优选的,所述加工参数包括抛光头在与工件的接触点的速度、抛光头在接触点的速度和工件在接触点的速度两者的夹角、工件转动的角速度。
优选的,所述步骤二具体包括:抛光后,采用多轴机床的在位检测装置对所加工的工件面型的形状精度进行在位测量。
优选的,所述多轴机床为六轴超精密数控抛光机床。
优选的,所述六轴超精密数控抛光机床主要包括X轴移动组件、Y轴移动组件、Z轴移动组件、B轴旋转组件、C轴旋转组件、抛光轴组件、抛光轴倾斜组件,所述抛光轴组件包括抛光轴和安装在所述抛光轴上的抛光头,所述C轴旋转组件上包括用于夹持工件的夹持装置。
优选的,所述抛光轴以一定的恒角速度持续转动。
根据上述加工工艺原理的相关的公式,选取加工参数,根据加工参数生成加工轨迹,根据加工参数和加工轨迹利用软件生成初始加工代码,对非球面工件进行抛光加工,抛光完成后,采用在位检测装置对所加工的工件面型的形状精度进行在位测量,误差补偿软件将获得的测量数据进行滤波平滑处理,消除随机误差,拟合出实际抛光曲线,通过与理想抛光曲线进行比对,计算工件表面法向的形状残余误差数据,最后,根据残余误差与抛光驻留时间进行补正,生成新数控加工代码,传送到控制器驱动各轴的运动,再次对工件进行补偿抛光,如此循环,直到形状精度达到要求为止。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本发明的实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据提供的附图获得其他的附图。
图1为本发明一种非球面超精密抛光与形状误差补偿方法的流程图;
图2为本发明一种六轴超精密数控抛光机床的结构图;
图3为本发明的工件抛光加工示意图;
图4为本发明抛光头与工件表面接触点的速度合成矢量示意图;
图5为抛光轴倾斜示意图;
图6为本发明实际抛光曲线与理想抛光曲线的比对示意图。
具体实施方式
本发明提供一种非球面超精密抛光与形状误差补偿方法,使非球面光学透镜模具数控加工具有更高精度的形状和更好的表面加工质量。
下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
本发明为一种非球面超精密抛光与形状误差补偿方法,属于一种加工工艺方法。
如图1所示,下面针对本发明一种非球面超精密抛光与形状误差补偿方法的加工原理说明。
步骤一101,根据加工参数与加工轨迹,生成数控加工代码,并输入到多轴机床对工件进行抛光加工。
本发明方法应用于图2所示的六轴超精密数控抛光机床。
如图2所示,六轴超精密数控抛光机床主要包括X轴移动组件1、Y轴移动组件2、Z轴移动组件3、B轴旋转组件4、C轴旋转组件5、抛光轴组件6、抛光轴倾斜组件7。C轴旋转组件5中包括用于夹持工件的夹持工件装置。
六轴超精密数控抛光机床的运动包含X、Y、Z轴的直线移动,和B、C轴、抛光轴的旋转动作。其中X、Y轴的直线移动是工件前后左右的移动,Z轴的直线移动是抛光轴组件的上下移动。B、C轴的旋转动作是工件的运动,而抛光轴的旋转运动是抛光轴组件中抛光轴自身的旋转运动。
在加工过程中,Y轴和Z轴不运动;抛光轴以一定的恒角速度持续转动;C轴在机床控制器控制下,在不同时刻做角速度变化的持续转动,而X轴、B轴在机床控制下做缓慢补偿运动。
上述六轴超精密数控抛光机床加工过程中工件的抛光示意图如图2所示,抛光轴为附图标记71,抛光头为附图标记72,工件为附图标记8,抛光头72与工件8表面接触点为附图标记9。
加工过程中,工件8绕着图3所示的C轴旋转,抛光轴71绕自身旋转,抛光头72在抛光头72与工件8的表面接触点处进行切削抛光。
在步骤一中,获取加工参数主要采用如下方法:
本发明原理是基于Preston方程dh=kppcvsdT(1-1)
公式1-1中,
dh为一次走刀时工件表面材料被抛光头切削的去除量;
kp为去除系数;
pc为抛光头对工件表面的接触压力;
vs为抛光头表面与工件表面在接触点的相对速度;
dT为抛光头在工件表面驻留时间。
由公式1-1知,为控制一次走刀时工件表面材料被抛光头切削的去除量dh,需对公式1-1右边的参数kp、pc、vs、dT进行控制,以下为对各参数进行控制的方法:
(1)去除系数kp的控制
对公式1-1进行变形得到kp=dh÷(pcvsdT)(1-2)
为了确定在以WC为材料的模具的加工去除系数kp,对WC材料进行实验测试。实验的条件为:
在每组实验数据中,控制确定接触压力pc、相对速度vs和驻留时间dT,通过仪器测量对应的去除量dh,再通过公式1-2计算出对应的去除系数kp。测试多组实验数据得出的kp的平均值,通过这种方法确定去除系数kp
(2)抛光头对工件表面的接触压力pc的控制
通过对六轴超精密数控抛光机床结构的几何参数和相关部件的质量参数可以计算出抛光头对工件表面的接触压力及其变化规律,通过对压力变化规律的补偿,使抛光头对工件表面的接触压力等效为恒定压力。
(3)抛光头表面与工件表面在接触点的相对速度vs的控制
抛光头表面与工件表面在接触点的相对速度vs为抛光头在接触点的速度和工件表面在接触点的速度的矢量和
公式1-3中,vu为抛光头在接触点的速度,vc为工件表面在接触点的速度。
如图4所示的抛光头与工件表面接触点的速度合成矢量示意图,对公式1-3的矢量表达式进行变形得:
vu 2+vc 2-vs 2+2vuvccosB=0(1-4)
公式1-4中,cosB为抛光头在接触点的速度vu和工件表面在接触点的速度vc两者的夹角B的余弦值。
对公式1-4进行变形得:
对公式1-5左左右两边除以rc
公式1-6中,rc为工件与抛光头接触点处工件的半径,ωc为工件转动的角速度。
由公式1-6可知,为了通过控制工件转动的角速度ωc来控制抛光头表面与工件表面在接触点的相对速度vs,需要知道vu、cosB、rc这三个参数,建立ωc与vs的对应关系,从而通过控制ωc来保证vs的恒定。
以下为vu、cosB、rc三个参数的求取办法:
1)抛光头在接触点的速度vu的确定
如图5所示,抛光头为一半球头,球的半径ru。在加工时需要以具有一定速度的球面上的点与工件表面进行接触,故抛光轴的轴线需要与Z轴具有一定的角度δ。倾斜角度后的抛光轴,在抛光头与工件表面接触的点作旋转运动的旋转半径为ru1。通过设定电机,可以知道抛光轴的旋转角速度为设定值ωu,从而得到下列公式:
vu=ωuru1(1-7)
ru1=rusinδ(1-8)
由公式1-7和公式1-8可以确定抛光头在接触点的速度vu
2)确定抛光头在接触点的速度vu和工件表面在接触点的速度vc两者的夹角B的余弦值cosB
通过工件表面的形状和抛光头的位置可以确定cosB。
3)确定工件与抛光头接触点处工件的半径rc
通过工件表面的形状可以确定工件与抛光头接触点处工件的半径rc
由1)、2)、3)可以确定vu、cosB、rc三个参数的具体数值,从而通过控制ωc来保证vs的恒定。
(4)抛光头在工件表面驻留时间dT的控制
dT=kt÷F(1-9)
公式1-9中,kt为一系数,设为常量0.1,F为抛光头在工件表面的进给速度。
设在加工过程中,工件表面上,抛光头与工件表面接触的两个间距为kt=0.1,则抛光头在这两点间的驻留时间为dT=0.1÷F(1-10)
通过控制抛光头在工件表面的进给速度F可以控制抛光头在工件表面驻留时间dT。
为简化控制参数的数量,确定抛光头在工件表面的进给速度F,设在加工过程中,工件表面上,抛光头与工件表面接触的两个间距为kt=0.1的点的半径分别为r1和r2,则公式1-10为
对公式1-11进行变形得
将公式1-5代入公式1-12得:
由公式1-13知,抛光头在工件表面的进给速度F可以通过公式1-13右边的参数确定,具体确定方法前面已叙述,所以抛光头在工件表面驻留时间dT将可确定。
为控制一次走刀时工件表面材料被抛光头切削的去除量dh,需对公式1-1右边的参数kp、pc、vs、dT进行控制,上述提及的(1)、(2)、(3)、(4)说明了kp、pc、vs、dT的控制原理。
步骤二102,抛光后,采用多轴机床的在位检测装置对所加工的工件面型的形状精度进行在位测量。
步骤三103,判断测量结果是否满足预设的形状精度。
若是,则抛光结束。
若否,则执行步骤四104。
步骤四104,将测量结果进行滤波平滑处理,消除随机误差后,利用拟合得到实际抛光曲线。
步骤五105,将实际抛光曲线与理想加工曲线进行比对,计算工件表面的残余误差;理想加工曲线可根据预设的形状精度生成。
步骤六106,根据残余误差和抛光头在工件表面的驻留时间,生成新数控加工代码,并输入到多轴机床对工件进行补偿抛光,重复步骤103-106,直至满足预设的形状精度。
根据上述加工工艺原理的相关的公式,选取加工参数,根据加工参数生成加工轨迹,根据加工参数和加工轨迹利用软件生成初始加工代码,对非球面工件进行抛光加工,抛光完成后,采用在位检测装置对所加工的工件面型的形状精度进行在位测量,误差补偿软件将获得的测量数据进行滤波平滑处理,消除随机误差,拟合出实际抛光曲线,通过与理想抛光曲线进行比对,计算工件表面法向的形状残余误差数据,最后,根据残余误差与抛光驻留时间进行补正,生成新数控加工代码,传送到控制器驱动各轴的运动,再次对工件进行补偿抛光,如此循环,直到形状精度达到要求为止。
以上实施例仅用以说明本发明的技术方案,而非对其限制;尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明,本领域的普通技术人员应当理解:其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分技术特征进行等同替换;而这些修改或者替换,并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的精神和范围。

Claims (7)

1.一种非球面超精密抛光与形状误差补偿方法,其特征在于,包括:
步骤一,根据加工工艺原理选取加工参数,根据所述加工参数生成加工轨迹,根据所述加工参数与所述加工轨迹,生成数控加工代码,并输入到多轴机床对工件进行抛光加工;
步骤二,抛光后,对所加工的工件面型的形状精度进行在位测量;
步骤三,判断测量结果是否满足预设的形状精度,若是,则抛光结束;
若否,则根据所述测量结果得到实际抛光曲线,将实际抛光曲线与理想抛光曲线进行比对,计算工件表面的残余误差;根据残余误差和抛光头在工件表面的驻留时间,生成新数控加工代码,并输入到多轴机床对工件进行补偿抛光,直至满足预设的形状精度。
2.根据权利要求1所述的非球面超精密抛光与形状误差补偿方法,其特征在于,将所述测量结果进行滤波平滑处理,消除随机误差后,利用拟合得到实际抛光曲线。
3.根据权利要求1所述的非球面超精密抛光与形状误差补偿方法,其特征在于,所述加工参数包括抛光头在与工件的接触点的速度、抛光头在接触点的速度和工件在接触点的速度两者的夹角、工件转动的角速度。
4.根据权利要求1所述的非球面超精密抛光与形状误差补偿方法,其特征在于,所述步骤二具体包括:抛光后,采用多轴机床的在位检测装置对所加工的工件面型的形状精度进行在位测量。
5.根据权利要求1所述的非球面超精密抛光与形状误差补偿方法,其特征在于,所述多轴机床为六轴超精密数控抛光机床。
6.根据权利要求5所述的非球面超精密抛光与形状误差补偿方法,其特征在于,所述六轴超精密数控抛光机床主要包括X轴移动组件、Y轴移动组件、Z轴移动组件、B轴旋转组件、C轴旋转组件、抛光轴组件、抛光轴倾斜组件,所述抛光轴组件包括抛光轴和安装在所述抛光轴上的抛光头,所述C轴旋转组件上包括用于夹持工件的夹持装置。
7.根据权利要求6所述的非球面超精密抛光与形状误差补偿方法,其特征在于,所述抛光轴以一定的恒角速度持续转动。
CN201810259262.8A 2018-03-27 2018-03-27 一种非球面超精密抛光与形状误差补偿方法 Active CN108284369B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201810259262.8A CN108284369B (zh) 2018-03-27 2018-03-27 一种非球面超精密抛光与形状误差补偿方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201810259262.8A CN108284369B (zh) 2018-03-27 2018-03-27 一种非球面超精密抛光与形状误差补偿方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN108284369A CN108284369A (zh) 2018-07-17
CN108284369B true CN108284369B (zh) 2021-01-26

Family

ID=62834083

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201810259262.8A Active CN108284369B (zh) 2018-03-27 2018-03-27 一种非球面超精密抛光与形状误差补偿方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN108284369B (zh)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109189000A (zh) * 2018-09-21 2019-01-11 深圳市圆梦精密技术研究院 一种非球面光学模具加工控制系统
CN110695807B (zh) * 2019-10-17 2020-10-30 中国人民解放军国防科技大学 一种均匀去除额外材料的方法
CN113664620B (zh) * 2021-08-06 2022-08-09 广州奇芯机器人技术有限公司 一种玻璃周边的恒压抛光方法及装置

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6458458A (en) * 1987-08-28 1989-03-06 Hitachi Ltd Working for revolution axis symmetrical curved surface
CN1214896C (zh) * 2000-11-17 2005-08-17 长春光学精密机械学院 非球面零件的轨迹成形加工方法及装置
CN2912911Y (zh) * 2006-05-09 2007-06-20 香港生产力促进局 五轴抛光机
CN101829790B (zh) * 2010-04-12 2011-08-10 厦门大学 一种小型非球面光学元件的车削加工方法
CN102161169B (zh) * 2011-01-19 2012-06-20 湖南大学 小口径非球面复合精密加工方法
CN103438800B (zh) * 2013-08-29 2016-04-06 厦门大学 用于大口径光学元件精密检测平台的空间误差计算方法
CN107139044A (zh) * 2015-04-01 2017-09-08 中国科学院上海光学精密机械研究所 用于加工全频段高精度非球面光学元件的柔性抛光小工具
CN106670945B (zh) * 2017-03-22 2018-12-21 苏州珈玛自动化科技有限公司 六轴抛光机

Also Published As

Publication number Publication date
CN108284369A (zh) 2018-07-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN108284369B (zh) 一种非球面超精密抛光与形状误差补偿方法
Suzuki et al. Development of ultrasonic vibration assisted polishing machine for micro aspheric die and mold
JP5213442B2 (ja) 眼科用レンズのラスタ切削技術
Tsai et al. Efficient automatic polishing process with a new compliant abrasive tool
Zhan et al. Study on error compensation of machining force in aspheric surfaces polishing by profile-adaptive hybrid movement–force control
CN109176224B (zh) 斜轴单点磨削自由曲面的砂轮路径生成方法
Xie et al. Form-truing error compensation of diamond grinding wheel in CNC envelope grinding of free-form surface
CN105798734A (zh) 一种模具自由曲面抛光装置及抛光方法
Wang et al. A controllable material removal strategy considering force-geometry model of belt grinding processes
Yan et al. Three-linear-axis grinding of small aperture aspheric surfaces
Feng et al. Fabrication of freeform progressive addition lenses using a self-developed long stroke fast tool servo
JP5610800B2 (ja) 光学素子の製造方法
CN109649057A (zh) 一种笔记本用触控3d玻璃盖板的制作工艺
CN108581716A (zh) 一种用于光学元件的恒压抛光方法及装置
JP3880474B2 (ja) 金型の加工方法
JP3927484B2 (ja) 曲面加工方法および曲面加工装置
RU2598412C2 (ru) Способ изготовления детали ковкой
Zhu et al. A helical interpolation precision truing and error compensation for arc-shaped diamond grinding wheel
Zhan An improved polishing method by force controlling and its application in aspheric surfaces ballonet polishing
KR20070121858A (ko) 비구면 연삭/연마 가공 기구에 대한 비구면 가공 경로를 생성하는 방법
Tohme Grinding aspheric and freeform micro-optical molds
Lin et al. Research on arc-shaped wheel wear and error compensation in arc envelope grinding
CN108381331B (zh) 一种平面零件全局修形加工装置和方法
Wang et al. Research on an optimized machining method for parallel grinding of f-θ optics
JP2011020241A (ja) 研磨加工方法

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant