CN107584411A - 一种用于双面研磨机的游星轮 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及晶片研磨领域,具体涉及一种用于双面研磨机的游星轮,包括:同心设置的基体齿盘和定位盘,所述基体齿盘外圈设置有齿,所述基体齿盘内部设置有矩形孔,所述矩形孔内设置有定位滑块,所述定位盘包括活动轮和卡位环;所述定位滑块通过连杆与所述活动轮相连,所述矩形孔的中心线穿过所述基体齿盘的圆心,所述定位滑块在所述连杆作用下沿所述矩形孔的中心线方向靠近或远离所述基体齿盘圆心移动。

Description

一种用于双面研磨机的游星轮
技术领域
本发明涉及晶片研磨领域,具体涉及一种用于双面研磨机的游星轮。
背景技术
在光学晶片的生产过程中,研磨工艺是十分重要的一个环节。其中,双面研磨机主要用于对两面平行的晶体零件进行双面研磨,其中采用游星轮对晶体进行夹持。传统的游星轮开孔位置固定,使得同一片游星轮只能针对同一种形状的晶体进行夹持,导致了游星轮的利用率低,增加了的生产成本。例如,授权公告号为CN202804917U公开的一种研磨石英晶片用游星轮,其就只能对一种固定尺寸的晶片进行加工,若需要加工其他尺寸的晶片,则必须更换游星轮,不利于生产。
发明内容
本发明的目的,是为了解决背景技术中的问题,提供一种用于双面研磨机的游星轮。
本发明的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的:
一种用于双面研磨机的游星轮,包括:同心设置的基体齿盘和定位盘,所述基体齿盘外圈设置有齿,所述基体齿盘内部设置有矩形孔,所述矩形孔内设置有定位滑块,所述定位盘包括活动轮和卡位环;所述定位滑块通过连杆与所述活动轮相连,所述矩形孔的中心线穿过所述基体齿盘的圆心,所述定位滑块在所述连杆作用下沿所述矩形孔的中心线方向靠近或远离所述基体齿盘圆心移动。
上述方案主要针对矩形的待打磨物件,使用时,将待研磨物件放置在矩形孔内,通过定位滑块将物件夹紧,由于定位滑块具有可滑动性,故本游星轮可以用于加工长度方向不同的各种待打磨物件。此外,通过定位盘保证了定位滑块的稳定定位。
作为优选,所述定位滑块包括,面层和底层,所述面层和底层之间设置有滑槽,所述矩形孔的边框扣于所述滑槽内。设置滑槽结构能保证,定位滑块移动过程以及定位位置的稳定性。
作为优选,所述基体齿盘包括正反两面,所述面层以及所述卡位环设置在所述基体齿盘的正面,所述底层和所述连杆设置在所述基体齿盘的反面,所述活动轮贯穿所述基体齿盘。
作为优选,所述定位滑块通过连杆插孔与所述连杆的一端相铰接,所述底层与所述连杆铰接处设置有连杆头活动槽,所述连杆头活动槽朝向所述定位滑块内侧凹陷,使得所述连杆表面高度低于或等于所述底层的表面高度,通过上述结构,可以有效控制整个游星轮的厚度,使得游星轮对不同厚度的物件具有更高的通用性。
作为优选,所述连杆的一端铰接与所述连杆插孔内,另一端铰接与设置在所述活动轮上的连接孔内。
作为优选,所述连杆插孔设置在所述定位滑块的中线上。
作为优选,所述卡位环与所述基体齿盘固定连接,其内圈设置有内棘齿;所述活动轮套设在所述卡位环内,其内部或表面设置有,棘爪和弹片,所述内棘齿包括,阻挡面和圆弧滑动面,所述棘爪包括,顶止面和转动部。
作为优选,所述基体齿盘反面设有用于对所述连杆进行限位的限位台,用以控制连杆的活动角度,保证定位效果。
综上所述,本发明通过采用活动式的定位滑块对待加工物件在矩形孔内进行定位,从而使得同一个游星轮可以用于不同长度的待加工物件进行夹持加工,提高了游星轮的通用性,从而便于工厂的生产加工。
附图说明
图1是本发明基体齿盘的正面结构示意图;
图2是本发明基体齿盘的反面结构示意图;
图3是本发明中定位滑块的结构示意图;
图4是本发明中定位盘的结构示意图;
图5是本发明的使用示意图。
具体实施方式
以下具体实施例仅仅是对本发明的解释,其并不是对本发明的限制,本领域技术人员在阅读完本说明书后可以根据需要对本实施例做出没有创造性贡献的修改,但只要在本发明的权利要求范围内都受到专利法的保护。
下面结合附图以实施例对本发明进行详细说明。
实施例1:
根据图1~图4所示,一种用于双面研磨机的游星轮,包括:同心设置的基体齿盘1和定位盘2,基体齿盘1外圈设置有齿,基体齿盘1内部设置有矩形孔11,矩形孔11内设置有定位滑块12,定位盘2包括活动轮21和卡位环22;定位滑块12通过连杆13与活动轮21相连,矩形孔11的中心线穿过基体齿盘1的圆心,定位滑块12在连杆13作用下沿矩形孔11的中心线方向靠近或远离基体齿盘1圆心移动。
根据图2、图3所示,定位滑块12包括,面层121和底层122,面层121和底层122之间设置有滑槽123,矩形孔11的边框扣于滑槽123内。
根据图2、图3所示,基体齿盘1包括正反两面,面层121以及卡位环22设置在基体齿盘1的正面,底层122和连杆13设置在基体齿盘1的反面,活动轮21贯穿基体齿盘1,基体齿盘1反面设有用于对连杆13进行限位的限位台14。
根据图2、图3所示,定位滑块12通过连杆插孔124与连杆13的一端相铰接,底层122与连杆13铰接处设置有连杆头活动槽125,连杆头活动槽125朝向定位滑块12内侧凹陷,使得连杆13表面高度低于或等于底层122的表面高度。连杆13的一端铰接与连杆插孔124内,另一端铰接与设置在活动轮21上的连接孔213内,连杆插孔124设置在定位滑块12的中线上。
根据图4所示,卡位环22与基体齿盘1固定连接,其内圈设置有内棘齿221;活动轮21套设在卡位环22内,其内部或表面设置有,棘爪211和弹片212,内棘齿221包括,阻挡面2211和圆弧滑动面2212,棘爪211包括,顶止面2111和转动部2112。
根据图5所示,游星轮在使用时,将待研磨物件先放置在矩形孔内,然后通过定位滑块12进行夹紧。定位滑块12的夹紧方式为,转动活动轮21带动连杆13的方式驱动,由于活动轮21和卡位环22之间具有内棘齿221和棘爪211结构,使得活动轮21只能单向转动,最终将物件夹紧。提高内棘齿221的密度可以有效提高夹紧精度,以保证加工需要。当物件夹紧后,将整个游星轮安装到双面研磨机内进行研磨作业,根据图5所示,双面研磨机包括一个外侧的内齿齿轮和一个中部的外齿齿轮,游星轮设置在内齿齿轮与外齿齿轮之间,活动轮21的旋紧方向与内齿齿轮的旋转方向相同。

Claims (8)

1.一种用于双面研磨机的游星轮,其特征在于,包括:同心设置的基体齿盘(1)和定位盘(2),所述基体齿盘(1)外圈设置有齿,所述基体齿盘(1)内部设置有矩形孔(11),所述矩形孔(11)内设置有定位滑块(12),所述定位盘(2)包括活动轮(21)和卡位环(22);所述定位滑块(12)通过连杆(13)与所述活动轮(21)相连,所述矩形孔(11)的中心线穿过所述基体齿盘(1)的圆心,所述定位滑块(12)在所述连杆(13)作用下沿所述矩形孔(11)的中心线方向靠近或远离所述基体齿盘(1)圆心移动。
2.根据权利要求1所述的一种用于双面研磨机的游星轮,其特征在于,所述定位滑块(12)包括,面层(121)和底层(122),所述面层(121)和底层(122)之间设置有滑槽(123),所述矩形孔(11)的边框扣于所述滑槽(123)内。
3.根据权利要求2所述的一种用于双面研磨机的游星轮,其特征在于,所述基体齿盘(1)包括正反两面,所述面层(121)以及所述卡位环(22)设置在所述基体齿盘(1)的正面,所述底层(122)和所述连杆(13)设置在所述基体齿盘(1)的反面,所述活动轮(21)贯穿所述基体齿盘(1)。
4.根据权利要求3所述的一种用于双面研磨机的游星轮,其特征在于,所述定位滑块(12)通过连杆插孔(124)与所述连杆(13)的一端相铰接,所述底层(122)与所述连杆(13)铰接处设置有连杆头活动槽(125),所述连杆头活动槽(125)朝向所述定位滑块(12)内侧凹陷,使得所述连杆(13)表面高度低于或等于所述底层(122)的表面高度。
5.根据权利要求5所述的一种用于双面研磨机的游星轮,其特征在于,所述连杆(13)的一端铰接与所述连杆插孔(124)内,另一端铰接与设置在所述活动轮(21)上的连接孔(213)内。
6.根据权利要求4所述的一种用于双面研磨机的游星轮,其特征在于,所述连杆插孔(124)设置在所述定位滑块(12)的中线上。
7.根据权利要求1所述的一种用于双面研磨机的游星轮,其特征在于,所述卡位环(22)与所述基体齿盘(1)固定连接,其内圈设置有内棘齿(221);所述活动轮(21)套设在所述卡位环(22)内,其内部或表面设置有,棘爪(211)和弹片(212),所述内棘齿(221)包括,阻挡面(2211)和圆弧滑动面(2212),所述棘爪(211)包括,顶止面(2111)和转动部(2112)。
8.根据权利要求3所述的一种用于双面研磨机的游星轮,其特征在于,所述基体齿盘(1)反面设有用于对所述连杆(13)进行限位的限位台(14)。
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