CN107561767A - 一种彩色滤光器件、其制备方法以及显示面板 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及显示技术领域，公开了一种彩色滤光器件、其制备方法以及显示面板，该彩色滤光器件包括：衬底，形成于衬底上的反射层；形成于反射层背离衬底一侧的至少一个介质膜层，介质膜层的厚度满足所选颜色光波段干涉相长。上述彩色滤光器件中，通过对介质膜层的厚度设计，使介质膜层厚度满足所需要光的波段干涉相位长，可以使不同厚度介质膜层出射相应颜色的光，满足彩色滤光器件的像素设计，制备过程无污染，有利于环境保护。
Description
技术领域
本发明涉及显示技术领域，特别涉及一种彩色滤光器件、其制备方法以及显示面板。
背景技术
液晶面板中有很多薄膜，其中非常重要的一种就是彩色滤光片，其负责供给显示器提供颜色之用，上面有RGB三色区域，也就是三原色红、绿、蓝三种颜色组成区域，光线透过这些区域后就形成了有颜色的画面，且彩色滤光片是非常重要的部件，是显示器实现色彩的关键技术。现有的彩色滤光片技术主要使用彩色油墨，通过对其他波段的光进行吸收，实现特定波段的滤光，但是油墨材料对环境会造成污染，使彩色滤光片的制备对环境有污染。
发明内容
本发明提供了一种。
为达到上述目的，本发明提供以下技术方案：
一种彩色滤光器件，包括：
衬底，
形成于所述衬底上的反射层；
形成于所述反射层背离所述衬底一侧的至少一个介质膜层，所述介质膜层的厚度满足所选颜色光波段干涉相长。
上述彩色滤光器件中，在衬底的反射层上形成至少一个介质膜层，介质膜层的厚度满足所选颜色光波段干涉相长，光线从介质膜层上表面自介质膜层至反射层的方向射入，当入射光线照射到介质膜层，一部分被介质膜层上表面反射得到第一束光，另一部分射入介质膜层折射后照射到反射层，然后被反射层反射再射出介质膜层得到第二束光，第一束光与第二束光为相干光，由于介质膜层满足选定颜色光波段干涉相长，所以所选定的颜色的光被加强，则介质膜层实现了出射选定颜色的光出射。
因此，上述彩色滤光器件中，通过对介质膜层的厚度设计，使介质膜层厚度满足所需要光的波段干涉相位长，可以使不同厚度介质膜层出射相应颜色的光，满足彩色滤光器件的像素设计，制备过程无污染，有利于环境保护。
优选地，所述至少一个介质膜层背离所述衬底的一侧设有半透半反层。
优选地，所述至少一个介质膜层的材料为氧化硅或氧化氮。
优选地，所述彩色滤光器件用于显示面板，所述至少一个介质膜层包括：
形成于所述反射层背离所述衬底一侧的与所述显示面板的蓝色像素单元一一对应的第一介质膜层、与所述显示面板的绿色像素单元一一对应的第二介质膜层、与所述显示面板的红色像素单元一一对应的第三介质膜层，其中，所述第一介质膜层的厚度满足蓝光波段干涉相长，所述第二介质膜层的厚度满足绿光波段干涉相长，所述第三介质膜层的厚度满足红光波段干涉相长。
优选地，所述第一介质膜层、第二介质膜层以及第三介质膜层的材料为氧化硅或氮化硅。
优选地，第二介质膜层包括绿光底介质层和形成于所述绿光底介质层背离所述衬底一侧的绿光子介质层，所述绿光底介质层的厚度与所述第一介质膜层厚度相同，且所述绿光底介质层的材料与所述第一介质膜层材料相同，所述绿光子介质层的材料为光致发光复合材料；和/或，
第三介质膜层包括红光底介质层和形成于所述红光底介质层背离所述衬底一侧的红光子介质层，所述红光底介质层的厚度与所述第一介质膜层厚度相同，且所述红光底介质层的材料与所述第一介质膜层材料相同，所述红光子介质层的材料为光致发光复合材料。
本发明还提供了一种显示面板，包括上述技术方案中提供的任意一种彩色滤光器件。
本发明还提供了一种用于制备上述技术方案中提供的彩色滤光器件的制备方法，所述制备方法包括：
在衬底上形成反射层；
在所述反射层背离所述衬底的一侧形成至少一个介质膜层，其中，所述至少一个介质膜层满足所选颜色光波段干涉相长。
上述制备方法中，利用膜层制备工艺形成厚度所选颜色光波段干涉相长的介质膜层，使不同厚度的介质膜层可以实现不同颜色的光出射，满足彩色滤光片的需求，在制备过程中通过膜层制备工艺对介质膜层厚度设置实现彩色滤光器件出射不同颜色的光，制备过程中环保无污染，有利于环境保护。
优选地，所述至少一个介质膜层包括：第一介质膜层、第二介质膜层以及第三介质膜层，其制备方法包括：
在所述反射层背离所述衬底的一侧形成所述第一介质膜层、所述第二介质膜层以及所述第三介质膜层，其中，所述第一介质膜层与显示面板的蓝色像素单元一一对应、且所述第一介质膜层的厚度满足蓝光波段干涉相长，所述第二介质膜层与所述显示面板的绿色像素单元一一对应、且所述第二介质膜层的厚度满足绿光波段干涉相长，所述第三介质膜层与所述显示面板的红色像素单元一一对应、且所述第三介质膜层的厚度满足红光波段干涉相长。
优选地，所述制备方法包括：
在所述反射层上形成厚度满足蓝光波段干涉相长的第一介质层，所述第一介质层中与所述蓝色像素单元对应的部分形成所述第一介质膜层；
在所述第一介质层上涂覆光刻胶形成第一光刻胶涂层，并采用曝光工艺对第一光刻胶涂层中与所述绿色像素单元对应的部分去除形成第一光刻胶图形；
在所述第一光刻胶涂层上形成第二介质层，其中，第二介质层厚度满足蓝光波段与绿光波段的相位差；
对所述第一光刻胶涂层进行剥离，所述绿光区域对应的第一介质层和所述第二介质层相互叠加形成所述第二介质膜层；
在所述第二介质膜层上涂覆光刻胶形成第二光刻胶涂层，并采用曝光工艺对第二光刻胶涂层中与所述红色像素单元对应的部分去除形成第二光刻胶图形；
在所述第二光刻胶涂层上形成第三介质层，其中，所述第三介质层满足蓝光波段与红光波段的相位差；
对所述第二光刻胶涂层进行剥离，所述红色像素单元对应的第一介质层和第三介质层形成第三介质膜层。
优选地，所述制备方法包括：
在所述反射层上涂覆光刻胶形成第三光刻胶涂层，并采用曝光工艺对所述第三光刻胶涂层中与所述蓝色像素单元对应的部分去除形成第三光刻胶图形；
在所述第三光刻胶涂层上形成所述第一介质膜层；
对所述第三光刻胶涂层进行剥离；
在所述第一介质膜层、与所述绿色像素单元以及所述红色像素单元对应的反射层上涂覆光刻胶形成第四光刻胶涂层，并采用曝光工艺对所述第四光刻胶涂层中与所述绿色像素单元对应的部分去除形成第四光刻胶图形；
在所述第四光刻胶涂层上形成第二介质膜层；
对所述第四光刻胶涂层进行剥离；
在所述第一介质膜层、第二介质膜层、与所述红色像素单元对应的反射层上涂覆光刻胶形成第五光刻胶涂层，并采用曝光工艺对所述第五光刻胶涂层中与所述红色像素单元对应的部分去除形成第五光刻胶图形；
在所述第五光刻胶涂层上形成第三介质膜层；
对所述第五光刻胶涂层进行剥离。
优选地，第三介质膜层形成之后，其他制备工序开始之前，在所述第一介质膜层、所述第二介质膜层以及所述第三介质膜层背离所述衬板的一侧形成半透半反层。
附图说明
图1a至图1g为本发明实施例提供的制备方法中方式一的制备方法的膜层变化示意图；
图2为本发明实施例提供的介质膜层的材料为单一材料的彩色滤光器件的结构示意图。
图标：1-衬底；2-反射层；3-介质膜层；4-半透半反层；5-第一光刻胶涂层；6-第二光刻胶涂层；7-第二介质层；8-第三介质层；31-第一介质膜层；32-第二介质膜层；33-第三介质膜层。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
请参考图2，本发明实施例提供的一种彩色滤光器件，包括：衬底1，形成于衬底1上的反射层2；形成于反射层2背离衬底1一侧的至少一个介质膜层3，介质膜层3的厚度满足所选颜色光波段干涉相长。
上述彩色滤光器件中，在衬底1的反射层2上形成至少一个介质膜层3，介质膜层3的厚度满足所选颜色光波段干涉相长，光线从介质膜层3上表面自介质膜层3至反射层2的方向射入，当入射光线照射到介质膜层3，一部分被介质膜层3上表面反射得到第一束光，另一部分射入介质膜层3折射后照射到反射层2，然后被反射层2反射再射出介质膜层3得到第二束光，第一束光与第二束光为相干光，由于介质膜层3满足选定颜色光波段干涉相长，所以所选定的颜色的光被加强，则介质膜层3实现了出射选定颜色的光出射。
因此，上述彩色滤光器件中，通过对介质膜层3的厚度设计，使介质膜层3厚度满足所需要光的波段干涉相位长，可以使不同厚度介质膜层3出射相应颜色的光，满足彩色滤光器件的像素设计，制备过程无污染，有利于环境保护。
具体地，上述彩色滤光器件中，至少一个介质膜层3背离衬底1的一侧设有半透半反层4。介质膜层3上覆盖一层半透半反层4，可以使入射光被反射得到的第一束光与经折射进入介质膜层3再经反射层2反射射出介质膜层3得到的第二束光均匀分配，使光干涉效果更好，使出射选定颜色的光的效果更好。
具体地，介质膜层3的材料为氧化硅或氧化氮。介质膜层3的材料可以为单一材料，其中氧化硅或氮化硅为常用膜层材料，方便膜层的制备。
具体地，彩色滤光器件用于显示面板，如图2所示，至少一个介质膜层3包括：形成于反射层2背离衬底1一侧的与显示面板的蓝色像素单元一一对应的第一介质膜层31、与显示面板的绿色像素单元一一对应的第二介质膜层32、与显示面板的红色像素单元一一对应的第三介质膜层33，其中，第一介质膜层31的厚度满足蓝光波段干涉相长，第二介质膜层32的厚度满足绿光波段干涉相长，第三介质膜层33的厚度满足红光波段干涉相长。
上述彩色滤光器件中，衬底1的反射层2上形成有厚度不同的第一介质膜层31、第二介质膜层32和第三介质膜层33，且第一介质膜层31厚度满足蓝光波段干涉相长，光线从自第一介质膜层31至反射层2的方向射入，当入射光线照射到第一介质膜层31，一部分被第一介质膜层31上表面反射得到第一束光，另一部分射入第一介质膜层31折射后照射到反射层2，然后被反射层2反射再射出第一介质膜层31得到第二束光，第一束光与第二束光为相干光，且由于第一介质膜层31厚度满足蓝光波段干涉相长，所以蓝光被加强，则第一介质膜层31实现了蓝光出射；依据相同的光射原理，第二介质膜层32厚度满足绿光波段干涉相长、第三介质膜层33厚度满足红光波段干涉相长，则可以容易得知第二介质膜层32可以实现绿光出射、第三介质膜层33可以实现红光出射。通过对介质膜层3的厚度设计，使介质膜层3厚度满足所需要光的波段干涉相位长，可以使不同上述彩色滤光器件出射像素中蓝、绿、红三种颜色的光，满足彩色滤光器件的像素设计，制备过程无污染，有利于环境保护。
具体地，第一介质膜层31、第二介质膜层32以及第三介质膜层33的膜层搭配方式及材料选择有多种选择方式，如：
方式一
第一介质膜层31、第二介质膜层32以及第三介质膜层33均可以为单一材料的膜层，其中，第一介质膜层31、第二介质膜层32以及第三介质膜层33的材料可以为氧化硅或氮化硅。
方式二
第一介质膜层31形成于反射层2背离衬底1的一侧，厚度满足蓝光波段干涉相长，第二介质膜层32包括绿光底介质层和形成于绿光底介质层背离衬底1一侧的绿光子介质层，绿光底介质层的厚度与第一介质膜层31厚度相同，且绿光底介质层的材料与第一介质膜层31材料相同，绿光子介质层的材料为光致发光复合材料；和/或，第三介质膜层33包括红光底介质层和形成于红光底介质层背离衬底1一侧的红光子介质层，红光底介质层的厚度与第一介质膜层31厚度相同，且红光底介质层的材料与第一介质膜层31材料相同，红光子介质层的材料为光致发光复合材料。
上述方式二中，第二介质膜层32和第三介质膜层33形成时可以为包含光致发光复合材料的膜层相叠形成，其中，第二介质膜层32可以由绿光底介质层和形成于绿光底介质层上的绿光子介质层相叠形成，绿光底介质层与第一介质膜层31的材料相同、厚度相同，即第一介质膜层31作为第二介质膜层32的绿光底介质层，绿光子介质层的材料为光致发光复合材料，当光照入射第二介质膜层32时，绿光底介质层出射蓝光射出绿光子介质层，对绿光子介质层有激发作用，绿光子介质层会出射绿光；同理，第三介质膜层33可以由红光底介质层和形成于红光底介质层上的红光子介质层相叠形成，红光底介质层与第一介质膜层31的材料相同、厚度相同，即第一介质膜层31作为第三介质膜层33的红光底介质层，红光子介质层的材料为光致发光复合材料，当光照入射第三介质膜层33时，红光底介质层出射蓝光射出红光子介质层，对红光子介质层有激发作用，红光子介质层会出射绿光。光致发光材料可以于绿光子介质层或红光子介质层中的微腔相互作用，实现高效出光。
需要说明，第二介质膜层32和第三介质膜层33中，可以是第二介质膜层32和第三介质膜层33均为包含光致发光复合材料的膜层相叠形成，也可以是第二介质膜层32和第三介质膜中的其中之一为包含光致发光复合材料的膜层相叠形成，另外一个为与第一介质膜层31材料相同的膜层形成。
本发明还提供了一种显示面板，包括：如上述技术方案中提供的任意一种彩色滤光器件。
本发明实施例还提供了一种用于制备上述实施例中提供的任意一种彩色滤光器件的制备方法，制备方法包括：在衬底1上形成反射层2；在反射层2背离衬底1的一侧形成至少一个介质膜层3，其中，至少一个介质膜层3满足所选颜色光波段干涉相长。
上述制备方法中，利用膜层制备工艺形成厚度所选颜色光波段干涉相长的介质膜层3，使不同厚度的介质膜层3可以实现不同颜色的光出射，满足彩色滤光片的需求，在制备过程中通过膜层制备工艺对介质膜层3厚度设置实现彩色滤光器件出射不同颜色的光，制备过程中环保无污染，有利于环境保护。
具体地，至少一个介质膜层3包括：第一介质膜层31、第二介质膜层32以及第三介质膜层33，其制备方法包括：在反射层2背离衬底1的一侧形成第一介质膜层31、第二介质膜层32以及第三介质膜层33，其中，第一介质膜层31与显示面板的蓝色像素单元一一对应、且第一介质膜层31的厚度满足蓝光波段干涉相长，第二介质膜层32与显示面板的绿色像素单元一一对应、且第二介质膜层32的厚度满足绿光波段干涉相长，第三介质膜层33与显示面板的红色像素单元一一对应、且第三介质膜层33的厚度满足红光波段干涉相长。
具体地，上述第一介质膜层31、第二介质膜层32以及第三介质膜层33的制备方法有多种选择方式，如：
方式一
请参考图1a至图1g，如图1a所示，在反射层2上形成厚度满足蓝光波段干涉相长的第一介质层，第一介质层中与蓝色像素单元对应的部分形成第一介质膜层31；如图1b所示，在第一介质层上涂覆光刻胶形成第一光刻胶涂层5，并采用曝光工艺对第一光刻胶涂层5中与绿色像素单元对应的部分去除形成第一光刻胶图形；如图1c和图1d所示，在第一光刻胶涂层5上形成第二介质层7，其中，第二介质层7厚度满足蓝光波段与绿光波段的相位差；对第一光刻胶涂层5进行剥离，绿光区域对应的第一介质层和第二介质层7相互叠加形成第二介质膜层32；如图1e所示，在第二介质膜层32上涂覆光刻胶形成第二光刻胶涂层6，并采用曝光工艺对第二光刻胶涂层6中与红色像素单元对应的部分去除形成第二光刻胶图形；如图1f和图1g所示，在第二光刻胶涂层6上形成第三介质层8，其中，第三介质层8满足蓝光波段与红光波段的相位差；对第二光刻胶涂层6进行剥离，红色像素单元对应的第一介质层和第三介质层8形成第三介质膜层33。
方式二
在反射层2上涂覆光刻胶形成第三光刻胶涂层，并采用曝光工艺对第三光刻胶涂层中与蓝色像素单元对应的部分去除形成第三光刻胶图形；在第三光刻胶涂层上形成第一介质膜层31；对第三光刻胶涂层进行剥离；在第一介质膜层31、与绿色像素单元以及红色像素单元对应的反射层2上涂覆光刻胶形成第四光刻胶涂层，并采用曝光工艺对第四光刻胶涂层中与绿色像素单元对应的部分去除形成第四光刻胶图形；在第四光刻胶涂层上形成第二介质膜层32；对第四光刻胶涂层进行剥离；在第一介质膜层31、第二介质膜层32、与红色像素单元对应的反射层2上涂覆光刻胶形成第五光刻胶涂层，并采用曝光工艺对第五光刻胶涂层中与红色像素单元对应的部分去除形成第五光刻胶图形；在第五光刻胶涂层上形成第三介质膜层33；对第五光刻胶涂层进行剥离。
具体地，上述制备方法的方式一中，第一介质层的材料为氧化硅或氮化硅，第二介质层7的材料为氧化硅、氮化硅或光致发光复合材料，和/或，第三介质层8的材料为氧化硅、氮化硅或光致发光复合材料。
当第一介质层、第二介质层7以及第三介质层8的材料为氧化硅或氮化硅时，即第一介质膜层31、第二介质膜层32以及第三介质膜层33的材料为氧化硅或氮化硅，第一介质膜层31厚度满足蓝光波段干涉相长，光线从自第一介质膜层31至反射层2的方向射入，当入射光线照射到第一介质膜层31，一部分被第一介质膜层31上表面反射得到第一束光，另一部分射入第一介质膜层31折射后照射到反射层2，然后被反射层2反射再射出第一介质膜层31得到第二束光，第一束光与第二束光为相干光，且由于第一介质膜层31厚度满足蓝光波段干涉相长，所以蓝光被加强，则第一介质膜层31实现了蓝光出射；依据相同的光射原理，第二介质膜层32厚度满足绿光波段干涉相长、第三介质膜层33厚度满足红光波段干涉相长，则可以容易得知第二介质膜层32可以实现绿光出射、第三介质膜层33可以实现红光出射。即第一介质膜层31、第二介质膜层32以及第三介质膜层33依据光干涉原理实现蓝光、绿光、红光的出射。
当第一介质层的材料为氧化硅或氮化硅，第二介质层7和第三介质层8的材料为光致发光复合材料时，即，第一介质膜层31的材料为氧化硅或氮化硅，第二介质膜层32由第一介质层和第二介质层7相护叠加形成，当光照入射第二介质膜层32时，第一介质层出射蓝光射入第二介质层7，对第二介质层7有激发作用，第二介质层7被激发出射绿光；同理，第三介质膜层33由第一介质层和第三介质层8相互叠加形成，当光照入射第三介质膜层33时，第一介质层出射蓝光射入第三介质层8，对第三介质层8有激发作用，第三介质层8被激发出射绿光。光致发光材料可以于绿光子介质层或红光子介质层中的微腔相互作用，实现高效出光。需要说明，第二介质层7和第三介质层8的材料可以同时为光致发光材料，还可以其中之一为光致发光材料，另一个的材料为氧化硅或氮化硅。
具体地，第三介质膜层33形成之后，其他制备工序开始之前，在第一介质膜层31、第二介质膜层32以及第三介质膜层33背离衬板的一侧形成半透半反层4。
显然，本领域的技术人员可以对本发明实施例进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。
Claims (12)
1.一种彩色滤光器件，包括：
衬底，
形成于所述衬底上的反射层；
形成于所述反射层背离所述衬底一侧的至少一个介质膜层，所述介质膜层的厚度满足所选颜色光波段干涉相长。
2.根据权利要求1所述的彩色滤光器件，其特征在于，所述至少一个介质膜层背离所述衬底的一侧设有半透半反层。
3.根据权利要求1所述的彩色滤光器件，其特征在于，所述至少一个介质膜层的材料为氧化硅或氧化氮。
4.根据权利要求1所述的彩色滤光器件，用于显示面板，其特征在于，所述至少一个介质膜层包括：
形成于所述反射层背离所述衬底一侧的与所述显示面板的蓝色像素单元一一对应的第一介质膜层、与所述显示面板的绿色像素单元一一对应的第二介质膜层、与所述显示面板的红色像素单元一一对应的第三介质膜层，其中，所述第一介质膜层的厚度满足蓝光波段干涉相长，所述第二介质膜层的厚度满足绿光波段干涉相长，所述第三介质膜层的厚度满足红光波段干涉相长。
5.根据权利要求4所述的彩色滤光器件，其特征在于，所述第一介质膜层、第二介质膜层以及第三介质膜层的材料为氧化硅或氮化硅。
6.根据权利要求4所述的彩色滤光器件，其特征在于，第二介质膜层包括绿光底介质层和形成于所述绿光底介质层背离所述衬底一侧的绿光子介质层，所述绿光底介质层的厚度与所述第一介质膜层厚度相同，且所述绿光底介质层的材料与所述第一介质膜层材料相同，所述绿光子介质层的材料为光致发光复合材料；和/或，
第三介质膜层包括红光底介质层和形成于所述红光底介质层背离所述衬底一侧的红光子介质层，所述红光底介质层的厚度与所述第一介质膜层厚度相同，且所述红光底介质层的材料与所述第一介质膜层材料相同，所述红光子介质层的材料为光致发光复合材料。
7.一种显示面板，其特征在于，包括：如权利要求1-6所述的彩色滤光器件。
8.一种用于制备如权利要求1-6任一项所述的彩色滤光器件的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括：
在衬底上形成反射层；
在所述反射层背离所述衬底的一侧形成至少一个介质膜层，其中，所述至少一个介质膜层满足所选颜色光波段干涉相长。
9.根据权利要求8所述的制备方法，其特征在于，所述至少一个介质膜层包括：第一介质膜层、第二介质膜层以及第三介质膜层，其制备方法包括：
在所述反射层背离所述衬底的一侧形成所述第一介质膜层、所述第二介质膜层以及所述第三介质膜层，其中，所述第一介质膜层与显示面板的蓝色像素单元一一对应、且所述第一介质膜层的厚度满足蓝光波段干涉相长，所述第二介质膜层与所述显示面板的绿色像素单元一一对应、且所述第二介质膜层的厚度满足绿光波段干涉相长，所述第三介质膜层与所述显示面板的红色像素单元一一对应、且所述第三介质膜层的厚度满足红光波段干涉相长。
10.根据权利要求9所述的制备方法，其特征在于，包括：
在所述反射层上形成厚度满足蓝光波段干涉相长的第一介质层，所述第一介质层中与所述蓝色像素单元对应的部分形成所述第一介质膜层；
在所述第一介质层上涂覆光刻胶形成第一光刻胶涂层，并采用曝光工艺对第一光刻胶涂层中与所述绿色像素单元对应的部分去除形成第一光刻胶图形；
在所述第一光刻胶涂层上形成第二介质层，其中，第二介质层厚度满足蓝光波段与绿光波段的相位差；
对所述第一光刻胶涂层进行剥离，所述绿光区域对应的第一介质层和所述第二介质层相互叠加形成所述第二介质膜层；
在所述第二介质膜层上涂覆光刻胶形成第二光刻胶涂层，并采用曝光工艺对第二光刻胶涂层中与所述红色像素单元对应的部分去除形成第二光刻胶图形；
在所述第二光刻胶涂层上形成第三介质层，其中，所述第三介质层满足蓝光波段与红光波段的相位差；
对所述第二光刻胶涂层进行剥离，所述红色像素单元对应的第一介质层和第三介质层形成第三介质膜层。
11.根据权利要求9所述的制备方法，其特征在于，包括：
在所述反射层上涂覆光刻胶形成第三光刻胶涂层，并采用曝光工艺对所述第三光刻胶涂层中与所述蓝色像素单元对应的部分去除形成第三光刻胶图形；
在所述第三光刻胶涂层上形成所述第一介质膜层；
对所述第三光刻胶涂层进行剥离；
在所述第一介质膜层、与所述绿色像素单元以及所述红色像素单元对应的反射层上涂覆光刻胶形成第四光刻胶涂层，并采用曝光工艺对所述第四光刻胶涂层中与所述绿色像素单元对应的部分去除形成第四光刻胶图形；
在所述第四光刻胶涂层上形成第二介质膜层；
对所述第四光刻胶涂层进行剥离；
在所述第一介质膜层、第二介质膜层、与所述红色像素单元对应的反射层上涂覆光刻胶形成第五光刻胶涂层，并采用曝光工艺对所述第五光刻胶涂层中与所述红色像素单元对应的部分去除形成第五光刻胶图形；
在所述第五光刻胶涂层上形成第三介质膜层；
对所述第五光刻胶涂层进行剥离。
12.根据权利要求8-11任一项所述的制备方法，其特征在于，第三介质膜层形成之后，其他制备工序开始之前，在所述第一介质膜层、所述第二介质膜层以及所述第三介质膜层背离所述衬板的一侧形成半透半反层。
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