CN107147006A - 基于石墨烯和脊型波导的表面等离子激光器 - Google Patents
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- 229910021389 graphene Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 25
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 23
- 239000002127 nanobelt Substances 0.000 claims abstract description 4
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 16
- 239000010931 gold Substances 0.000 claims description 16
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 claims description 16
- ORUIBWPALBXDOA-UHFFFAOYSA-L magnesium fluoride Chemical group [F-].[F-].[Mg+2] ORUIBWPALBXDOA-UHFFFAOYSA-L 0.000 claims description 5
- 229910001635 magnesium fluoride Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 239000002074 nanoribbon Substances 0.000 description 11
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 6
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 3
- 230000001808 coupling effect Effects 0.000 description 3
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 3
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 238000004566 IR spectroscopy Methods 0.000 description 2
- 238000003486 chemical etching Methods 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 2
- 238000004299 exfoliation Methods 0.000 description 2
- 230000004807 localization Effects 0.000 description 2
- ZLNQQNXFFQJAID-UHFFFAOYSA-L magnesium carbonate Chemical compound [Mg+2].[O-]C([O-])=O ZLNQQNXFFQJAID-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- 229910000021 magnesium carbonate Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000001095 magnesium carbonate Substances 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 2
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 2
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 2
- 230000007812 deficiency Effects 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 230000005693 optoelectronics Effects 0.000 description 1
- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 1
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- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
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- H01S5/20—Structure or shape of the semiconductor body to guide the optical wave ; Confining structures perpendicular to the optical axis, e.g. index or gain guiding, stripe geometry, broad area lasers, gain tailoring, transverse or lateral reflectors, special cladding structures, MQW barrier reflection layers
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- H01S5/10—Construction or shape of the optical resonator, e.g. extended or external cavity, coupled cavities, bent-guide, varying width, thickness or composition of the active region
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
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- H01S2301/17—Semiconductor lasers comprising special layers
- H01S2301/173—The laser chip comprising special buffer layers, e.g. dislocation prevention or reduction
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Abstract
本发明公开了基于石墨烯和脊型波导的表面等离子激光器，其特征是，包括底层金膜层，金膜层的上表面的中部设有脊型波导结构，分布在脊型波导结构两侧的金膜上对称镀有缓冲层，所述脊型波导结构的上方设有石墨烯纳米带，脊型波导结构与两侧的缓冲层之间有空气间隙。这种激光器具有较高的品质因数和较低的增益阈值，实现了低阈值下的亚波长激射，这种激光器能为表面等离子激励电路提供光源装置，从而实现更大的带宽超快数据传输，在超小型高密度等离子体器件和光子集成电路方面有着广泛的应用潜力。
Description
技术领域
本发明涉及微纳光电子技术领域，具体是一种基于石墨烯和脊型波导的表面等离子激光器。
背景技术
由于衍射极限的存在，传统半导体激光器的尺寸必须在半个波长以上。表面等离子体激元(Surface plasmon polariton,简称SPP)是通过改变金属表面的亚波长结构实现的一种光波与可迁移的表面电荷之间电磁模，可以支持金属与介质界面传输的表面等离子波，从而传输光能量，且不受衍射极限的限制。正是因为SPP的独特性质，各种SPP波导的激光器被提出、典型的就是，《Nature》2009年460卷7259期1110-1112页报道的Noginov团队的“Demonstration of spaser-based nanolaser”，其设计实现了一种世界上最小的44nm激光器,这在当时引起了广泛关注，同一年，《Nature Photonics》报道了美国加州大学圣地亚哥分校Nezhad团队的“Room Temperature Operation of Subwavelength Metallo-Dielectric Lasers”，他们制备了一个圆柱形金属纳腔面发射纳米激光器，能够在室温下通过光泵浦发射激光，这种等离子体激光的获取一般不会选取蓝光和紫外波段，而是在波长较大的可见光和红外波段，这对于实际应用是非常有意义的。然而上述研究成果都受限于SPP传播损耗，实现的激光器谐振特性较弱，增益阈值极易发生振荡，导致较高的增益阈值。
目前对于表面等离子激光器研究大都集中在谐振腔的设计，对多层混合波导的应用报道较少。
发明内容
本发明的目的是针对现有技术的不足，而提供一种基于石墨烯和脊型波导的表面等离子激光器。这种激光器具有较高的品质因数和较低的增益阈值，可以实现低阈值下的亚波长激射，这种激光器能为表面等离子激励电路提供光源装置，从而实现更大的带宽超快数据传输，在超小型高密度等离子体器件和光子集成电路方面有着广泛的应用潜力。
实现本发明目的的技术方案是：
基于石墨烯和脊型波导的表面等离子激光器，包括底层金膜层，金膜层的上表面的中部设有脊型波导结构，分布在脊型波导结构两侧的金膜上对称镀有缓冲层，所述脊型波导结构的上方设有石墨烯纳米带，脊型波导结构与两侧的缓冲层之间有空气间隙。
所述缓冲层为氟化镁层，氟化镁缓冲层有良好的偏振作用，通过碳酸镁与过量的氢氟酸化学反应得到，特别适于红外光谱。
所述脊型波导结构由化学腐蚀方法制备。
所述石墨烯纳米带为扶手椅型纳米带，是一种半导体，通过机械剥离法制备。
脊型波导结构与空气间隙是典型的金属-介质结果，能够实现SPP光子局域化。
石墨烯纳米带与空气间隙能够完成SPP现象。
SPP耦合作用是通过脊型波导结构-空气间隙-石墨烯纳米带构成的非对称结构在空气间隙中得以实现。
这种激光器的入射光从脊型波导结构的脊型金膜的一侧入射，在入射光的作用下，金属金膜受激表面产生电子，与外来光子共振产生表面等离子体激元，且由于石墨烯纳米带作用其中的原子受到激发后形成粒子数反转，这样空气间隙的谐振腔内能够存在稳定的谐振模式；石墨烯和金膜上下部分都能激发表面等离子，实现SPP耦合，由于SPP耦合作用可以实现稳定的激光模式，因而激光器在石墨烯和脊型波导作用下能够实现较小的模式体积和辐射增强效应，这样能够保持较低的增益阈值。
这种激光器由于稳定的谐振模式使得光场能量的大部分脱离了高损耗的金属，减小了传输过程中损耗，同时达到较长的传输长度。
这种激光器具有较高的品质因数和较低的增益阈值，实现了低阈值下的亚波长激射，这种激光器能为表面等离子激励电路提供光源装置，从而实现更大的带宽超快数据传输，在超小型高密度等离子体器件和光子集成电路方面有着广泛的应用潜力。
附图说明
图1为实施例的结构示意图。
图中，1.金膜层 2.缓冲层 3.石墨烯纳米带 4.空气间隙。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本发明内容作进一步阐述，但不是对本发明的限定。
实施例：
参照图1，基于石墨烯和脊型波导的表面等离子激光器，包括底层金膜层1，金膜层1的上表面的中部设有脊型波导结构，分布在脊型波导结构两侧的金膜上对称镀有缓冲层2，所述脊型波导结构的上方设有石墨烯纳米带3，脊型波导结构与两侧的缓冲层2之间有空气间隙4。
所述缓冲层2为氟化镁层，氟化镁缓冲层有良好的偏振作用，通过碳酸镁与过量的氢氟酸化学反应得到，特别适于红外光谱。
所述脊型波导结构由化学腐蚀方法制备。
所述石墨烯纳米带3为扶手椅型纳米带，是一种半导体，通过机械剥离法制备。
脊型波导结构与空气间隙4是典型的金属-介质结果，能够实现SPP光子局域化。
石墨烯纳米带3与空气间隙4能够完成SPP现象。
SPP耦合作用是通过脊型波导结构-空气间隙4-石墨烯纳米带3构成的非对称结构在空气间隙4中得以实现。
入射光从脊型波导结构的脊型金膜的一侧入射，在入射光的作用下，金属金膜受激表面产生电子，与外来光子共振产生表面等离子体激元，且由于石墨烯纳米带3作用其中的原子受到激发后形成粒子数反转，这样空气间隙4的谐振腔内能够存在稳定的谐振模式；石墨烯和金膜上下部分都能激发表面等离子，实现SPP耦合，由于SPP耦合作用可以实现稳定的激光模式，因而激光器在石墨烯和脊型波导作用下能够实现较小的模式体积和辐射增强效应，这样能够保持较低的增益阈值。
Claims (2)
1.基于石墨烯和脊型波导的表面等离子激光器，其特征是，包括底层金膜层，金膜层的上表面的中部设有脊型波导结构，分布在脊型波导结构两侧的金膜上对称镀有缓冲层，所述脊型波导结构的上方设有石墨烯纳米带，脊型波导结构与两侧的缓冲层之间有空气间隙。
2.根据权利要求1 所述的基于石墨烯和脊型波导的表面等离子激光器，其特征是，所述缓冲层为氟化镁层。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN201710473061.3A CN107147006A (zh) | 2017-06-21 | 2017-06-21 | 基于石墨烯和脊型波导的表面等离子激光器 |
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| CN201710473061.3A CN107147006A (zh) | 2017-06-21 | 2017-06-21 | 基于石墨烯和脊型波导的表面等离子激光器 |
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|---|---|
| CN107147006A true CN107147006A (zh) | 2017-09-08 |
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Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| CN201710473061.3A Pending CN107147006A (zh) | 2017-06-21 | 2017-06-21 | 基于石墨烯和脊型波导的表面等离子激光器 |
Country Status (1)
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|---|---|
| CN (1) | CN107147006A (zh) |
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- 2017-06-21 CN CN201710473061.3A patent/CN107147006A/zh active Pending
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