CN106802501B - 显影液循环管理方法 - Google Patents

Abstract

一种显影液循环管理方法，包括如下步骤：工作步骤：根据预设更换频率交替使两个显影液储存槽中的其中一个显影液储存槽与显影液喷头连通，未与显影液喷头连通的另一个显影液储存槽进行显影液废液排空操作，并进行显影液新液补充操作，将最后一个进行新液补充操作后的显影液储存槽定义为待机显影液储存槽，则另一个显影液储存槽定义为空闲显影液储存槽；待机步骤：使显影液喷头与待机显影液储存槽连通；过渡步骤：向空闲显影液储存槽进行显影液新液补充操作，对待机显影液储存槽进行显影液废液排空操作，并进行显影液新液补充操作。上述显影液循环管理方法能够减轻显影液喷头和显影液管道堵塞问题，以及能够节省显影液用量。

Description

显影液循环管理方法

技术领域

本发明涉及显影液管理技术领域，特别是涉及一种显影液循环管理方法。

背景技术

随着智能手机、平板电脑等产品的不断发展，薄膜晶体管(Thin FilmTransistor，TFT)的液晶显示器得到越来越广泛的应用，并促使各大厂商积极地进行产品的研发与制造。液晶显示器主要包括玻璃基板、液晶、驱动电路单元、背光灯模组和其他附件等几部分。

其中，当将其他部件安装至玻璃基板之前，需要对玻璃基板进行刻蚀处理，以得到刻蚀区域，便于安装其他部件。在对玻璃基本刻蚀操作前，需要对玻璃基板上设置保护层，之后对保护层进行显影操作，显影操作中需要使用显影液，即将玻璃基板放入至容置有显影液的显影设备中，待玻璃基板从显影设备的进板端运动至显影设备的出版端时，则玻璃基板完成显影操作。

众所周知，显影设备不可能达到100％的稼动率，其中，稼动率是指一台机器设备实际的生产数量与可能的生产数量的比值，因此，基于种种因素，显影设备总存在非生产状态，亦即在非生产状态下，未对玻璃基板进行显影操作。

然而，在非生产状态下，即显影设备处于停机状态时，则位于显影设备的显影液喷头附近的显影液会发生蒸发，残留的物质会形成结晶物质，这些结晶物质会导致显影液喷头发生堵塞问题，并且，显影操作所使用的碱性显影液长时间静置则会在与显影液喷头连通的显影液输送管道内产生水垢，不利于清洁，堵塞问题严重时，甚至影响正常的显影液输送功能。

进一步地，显影设备处于生产状态时，为保证显影后的玻璃基板的品质稳定性，会采用比较高的显影液更换频率，若在非生产状态时采用与生产状态同样的更换频率，则又会导致显影液浪费。

发明内容

基于此，有必要提供一种能够减轻显影液喷头和显影液管道堵塞问题，以及能够节省显影液用量的显影液循环管理方法。

一种显影液循环管理方法，应用于显影设备中，所述显影设备包括显影腔室、显影液喷头、两个显影液储存槽，所述显影液喷头安装于所述显影腔室内，包括如下步骤：

工作步骤：根据预设更换频率交替更换两个所述显影液储存槽，使两个所述显影液储存槽中的其中一个所述显影液储存槽与所述显影液喷头连通，未与所述显影液喷头连通的另一个所述显影液储存槽进行显影液废液排空操作，并进行显影液新液补充操作，将最后一个进行新液补充操作后的所述显影液储存槽定义为待机显影液储存槽，则另一个所述显影液储存槽定义为空闲显影液储存槽；

待机步骤：使所述显影液喷头与所述待机显影液储存槽连通；

过渡步骤：向所述空闲显影液储存槽进行显影液新液补充操作，对所述待机显影液储存槽进行显影液废液排空操作，并进行显影液新液补充操作。

在其中一个实施例中，顺序循环执行所述工作步骤、所述待机步骤和所述过渡步骤。

在其中一个实施例中，所述预设更换频率根据在预设时间内，所述显影液储存槽中的显影液的液位变化值和pH变化值得到。

在其中一个实施例中，所述显影液的液位变化值采用如下步骤得到：

采用液位传感器测量得到所述显影液储存槽的显影液的初始液位值，待所述预设时间后，再采用所述液位传感器测量得到所述显影液储存槽的显影液的当前液位值，所述显影液储存槽中的显影液的液位变化值等于所述显影液储存槽的显影液的初始液位值与所述显影液储存槽的显影液的当前液位值之差。

在其中一个实施例中，所述显影液的pH变化值采用如下步骤得到：

采用pH测量仪测量得到所述显影液储存槽的显影液的初始pH值，待所述预设时间后，再采用所述pH测量仪测量得到所述显影液储存槽的显影液的当前pH值，所述显影液储存槽中的显影液的pH变化值等于所述显影液储存槽的显影液的初始pH值与所述显影液储存槽的显影液的当前pH值之差。

在其中一个实施例中，对所述待机显影液储存槽进行显影液废液排空操作，并进行显影液新液补充操作具体包括如下步骤：

所述显影腔室接收并响应暂停信号，用于控制玻璃基板停止进入至所述显影腔室内；

使所述待机显影液储存槽与所述显影液喷头断开；

对所述待机显影液储存槽进行废液排空操作；

向所述待机显影液储存槽进行显影液新液补充操作；

将所述待机显影液储存槽重新与所述显影液喷头连通；

所述显影腔室接收并响应工作信号，用于控制玻璃基板重新进入至所述显影腔室内。

在其中一个实施例中，在排空时间内对所述显影液储存槽执行废液排空操作，所述排空时间根据所述待机显影液储存槽的总容量和所述待机显影液储存槽的废液排出流量得到。

在其中一个实施例中，所述待机步骤的持续时间根据如下函数得到，

t＝a*T，

其中，t为待机步骤的持续时间，a为所述显影设备的稼动率，T为所述显影设备的负荷时间。

在其中一个实施例中，所述显影设备还包括显影液新液供给系统，采用所述显影液新液供给系统用于给显影液储存槽进行显影液新液补充操作。

在其中一个实施例中，所述显影液储存槽与所述显影液喷头之间的连通管道通过阀门以实现连通或断开操作。

上述显影液循环管理方法根据显影设备自身存在稼动率的特性，在工作步骤、待机步骤和过渡步骤中，巧妙地调节两个显影液储存槽与显影液喷头的关系，能够减轻显影液喷头和显影液管道堵塞问题，以及能够节省显影液用量。

附图说明

图1为本发明一实施方式的显影液循环管理方法的步骤流程图。

具体实施方式

为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本发明的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本发明。但是本发明能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本发明内涵的情况下做类似改进，因此本发明不受下面公开的具体实施的限制。

需要说明的是，所述显影液循环管理方法应用于显影设备中，用于对显影设备中的显影液工作进行管理，其中，所述显影设备包括显影腔室、显影液喷头、两个显影液储存槽，所述显影液喷头安装于所述显影腔室内，所述显影液喷头会与两个所述显影液储存槽中一个所述显影液储存槽连通，并且所述显影液喷头会与两个所述显影液储存槽中另一个所述显影液储存槽断开，即所述显影液喷头在喷液操作时，只会与一个所述显影液储存槽连通。例如，所述显影液喷头用于向所述显影腔室内的玻璃基板进行喷液操作，以使位于显影腔室内的玻璃基板与显影液接触，实现显影操作。

如图1所示，其为本发明一实施方式的显影液循环管理方法步骤流程图，包括如下步骤：

步骤S110：工作步骤：根据预设更换频率交替更换两个所述显影液储存槽，使两个所述显影液储存槽中的其中一个所述显影液储存槽与所述显影液喷头连通，未与所述显影液喷头连通的另一个所述显影液储存槽进行显影液废液排空操作，并进行显影液新液补充操作，将最后一个进行新液补充操作后的所述显影液储存槽定义为待机显影液储存槽，则另一个所述显影液储存槽定义为空闲显影液储存槽。

根据预设更换频率交替使两个所述显影液储存槽中的其中一个所述显影液储存槽与所述显影液喷头连通，未与所述显影液喷头连通的另一个所述显影液储存槽进行显影液废液排空操作，并进行显影液新液补充操作，这样，当两个所述显影液储存槽中的其中一个所述显影液储存槽中的显影液在所述显影液储存槽-所述显影液喷头-所述显影腔室的路径中进行多次循环流通后，会发生一定的挥发，致使显影液的浓度下降，并且显影液也会混入较多从玻璃基板上剥离的杂质，即该显影液储存槽内的显影液为显影液废液，继续使用会影响玻璃基板的蚀刻工艺品质，因此需要对该显影液储存槽进行显影液新液更换操作，此时，断开该显影液储存槽与所述显影液喷头的连通关系，同时，并使所述显影液喷头与两个所述显影液储存槽中的另一个所述显影液储存槽连通，重新与所述显影液喷头连通的所述显影液储存槽中的显影液为显影液新液，以在确保玻璃基板蚀刻工艺品质的同时，还能够实现连续性地蚀刻操作。接着，对容置有显影液废液的所述显影液储存槽进行显影液废液排空操作，并进行显影液新液补充操作，便于待正在与所述显影液喷头连通的所述显影液储存槽内的显影液成为废液后进行更换，亦即，根据预设更换频率交替使两个所述显影液储存槽与所述显影液喷头连通，以实现连续式循环蚀刻操作，并且还能够确保玻璃板的蚀刻品质。

一实施方式中，所述预设更换频率根据在预设时间内，所述显影液储存槽中的显影液的液位变化值和pH变化值得到，可以理解，根据实际生产情况，显影液自身品质的下降与所述显影液储存槽中的显影液的液位值和pH值紧密相关，针对所述显影设备的差异性以及玻璃基板的蚀刻强度差异，所述显影液储存槽的容积、所述玻璃基板的面积等等因素，所述预设更换频率需要根据实际生产情况进行调节，以贴合实际生产情况，既能够提高对玻璃基板的蚀刻品质，同时又能够使显影液有效利用率最大化；又如，所述显影液的液位变化值采用如下步骤得到：采用液位传感器测量得到所述显影液储存槽的显影液的初始液位值，待所述预设时间后，再采用所述液位传感器测量得到所述显影液储存槽的显影液的当前液位值，所述显影液储存槽中的显影液的液位变化值等于所述显影液储存槽的显影液的初始液位值与所述显影液储存槽的显影液的当前液位值之差；又如，所述显影液的pH变化值采用如下步骤得到：采用pH测量仪测量得到所述显影液储存槽的显影液的初始pH值，待所述预设时间后，再采用所述pH测量仪测量得到所述显影液储存槽的显影液的当前pH值，所述显影液储存槽中的显影液的pH变化值等于所述显影液储存槽的显影液的初始pH值与所述显影液储存槽的显影液的当前pH值之差。

一实施方式中，所述显影设备还包括显影液新液供给系统，采用所述显影液新液供给系统用于给显影液储存槽进行显影液新液补充操作，这样，能够确保对两个所述显影液储存槽实现交替式显影液新液补充操作；又如，所述显影液储存槽与所述显影液喷头之间的连通管道通过阀门以实现连通或断开操作，这样，能够实现所述显影液喷头与两个所述显影液储存槽的交替连通操作，例如，当使两个所述显影液储存槽中的其中一个所述显影液储存槽与所述显影液喷头连通时，则使两个所述显影液储存槽中的另一个所述显影液储存槽与所述显影液喷头断开。

步骤S120：待机步骤：使所述显影液喷头与所述待机显影液储存槽连通。

通过上述步骤S110中，将最后一个进行新液补充操作后的所述显影液储存槽定义为待机显影液储存槽，则另一个所述显影液储存槽定义为空闲显影液储存槽，能够确保所述待机显影液储存槽内的显影液为显影液新液，并利用该待机显影液储存槽内的显影液进行所述显影设备的待机操作时的显影液喷液操作，而所述空闲显影液储存槽则进行空置，即在待机操作中，单纯地利用所述待机显影液储存槽进行显影液提供操作，如此，所述显影设备在非生产状态下，利用所述待机显影液储存槽对所述显影液喷头进行显影液提供操作，即单纯地使用所述待机显影液储存槽进行显影液提供操作，也能够确保所述显影液喷头连续地喷出显影液，而不会导致所述显影液喷头的堵塞问题，同时，又可以降低显影液的使用量，即所述显影设备在待机状态下，所述显影设备对显影液的消耗较小，例如，所述显影设备在待机状态下，所述待机显影液储存槽内的显影液在循环操作中，其有效成份损耗较低，能够节省显影液的用量。

为了优化所述待机步骤所持续的时间，使所述待机显影液储存槽内的显影液能够满足所述待机步骤使用，以更好地在节省显影液用量的基础上，还能够解决所述显影液喷头堵塞的问题，例如，所述待机步骤的持续时间根据如下函数得到，t＝a*T，其中，t为待机步骤的持续时间，a为所述显影设备的稼动率，T为所述显影设备的负荷时间，这样，能够优化所述待机步骤所持续的时间，使所述待机显影液储存槽内的显影液能够满足所述待机步骤使用，以更好地在节省显影液用量的基础上，还能够解决所述显影液喷头堵塞的问题。

步骤S130：过渡步骤：向所述空闲显影液储存槽进行显影液新液补充操作，对所述待机显影液储存槽进行显影液废液排空操作，并进行显影液新液补充操作。

当经过所述待机步骤后，需要使所述显影设备再次进入所述工作步骤，例如，顺序循环执行所述工作步骤、所述待机步骤和所述过渡步骤。为了使所述显影设备能够从所述待机步骤转变至所述工作步骤，需要使所述显影设备在所述待机步骤后，预先经过所述过渡步骤，通过所述过渡步骤的调整，使得所述显影设备调整至适合所述工作步骤的条件，如此，向所述空闲显影液储存槽进行显影液新液补充操作，并使所述空闲显影液储存槽与所述显影液喷头连通，能够使所述显影液喷头喷出显影液新液，以达到正常的显影效果。并且，对所述待机显影液储存槽进行显影液废液排空操作，并进行显影液新液补充操作，能够对在所述待机步骤中进行显影液提供操作的所述待机显影液储存槽进行显影液废液更换操作，使其再次与所述空闲显影液储存槽按照所述预设更换频率与所述显影液喷头进行交替连通，以重新进入所述工作步骤。

一实施方式中，对所述待机显影液储存槽进行显影液废液排空操作，并进行显影液新液补充操作具体包括如下步骤：所述显影腔室接收并响应暂停信号，用于控制玻璃基板停止进入至所述显影腔室内；使所述待机显影液储存槽与所述显影液喷头断开；对所述待机显影液储存槽进行废液排空操作；向所述待机显影液储存槽进行显影液新液补充操作；将所述待机显影液储存槽重新与所述显影液喷头连通；所述显影腔室接收并响应工作信号，用于控制玻璃基板重新进入至所述显影腔室内，这样，能够实现所述过渡步骤与所述工作步骤之间的顺序转换；又如，对所述待机显影液储存槽进行显影液废液排空操作，并进行显影液新液补充操作具体包括如下步骤：关闭玻璃基板进入信号，暂停玻璃基板流入，关闭旧液供液，同时显影液储存槽进入清洁程序，并持续预设管道排空时间；打开新显影液的供液，冲洗供液管道；关闭所述显影腔室向换液的显影液储存槽的排液阀门，打开腔室向新显影液储存槽的排液阀门；重新打开玻璃基板接收信号，流入玻璃基板。

一实施方式中，在排空时间内对所述显影液储存槽执行废液排空操作，所述排空时间根据所述待机显影液储存槽的总容量和所述待机显影液储存槽的废液排出流量得到。

上述显影液循环管理方法根据显影设备自身存在稼动率的特性，在工作步骤、待机步骤和过渡步骤中，巧妙地调节两个显影液储存槽与显影液喷头的关系，能够减轻显影液喷头和显影液管道堵塞问题，以及能够节省显影液用量。

下面以一台显影设备一天的显影液更换状况为例，进一步作出具体实施说明。

显影设备是以两个200L的显影储存槽相互切换来更新显影液，工作状态时显影储存槽更换周期为30分钟/次；产线稼动率为70％，产线平均每天从生产状态转换为非生产状态3次；显影液循环损耗为10L/小时，运转时显影腔室及管道内充液50L，显影储存槽内显影液低液位报警停机液位为50L。

1、显影设备采用在非生产状态与生产状态同样的更换频率，一天需要消耗显影液：

200L/次×24小时×2次/小时＝9600L

2、显影设备采用使用本申请显影液循环管理方法，依照稼动率，工作时间为70％，空闲时间为30％。则在工作时间，消耗显影液：

200L/次×24小时×70％×2次/小时＝6720L

设备空闲时，即显影设备在待机步骤和过渡步骤消耗的显影液：

先计算单一显影储存槽可用最大时长：

(200L-50L-50L)÷10L/小时＝10小时

每日待机时间：

24小时×30％＝7.2小时＜10小时

即每次从转入过渡步骤至转出回到工作步骤之间不会发生切换显影储存槽更新显影液的动作，不会进行一次排空操作，所以过渡时间消耗显影液：

200L/次*3次＝600L

显影设备采用使用本申请显影液循环管理方法工作一天需消耗显影液：

6720L+600L＝7320L

3、每日节省显影液用量：

9600L-7320L＝2280L

4、在实际生产中，观察显影液喷头和各管道未有堵塞问题，玻璃基板显影后的图像能够达到预期要求。

从上述实施例可以看出，采用本申请显影液循环管理方法能够减轻显影液喷头和显影液管道堵塞问题，以及能够节省显影液用量。

以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (10)

1.一种显影液循环管理方法，应用于显影设备中，所述显影设备包括显影腔室、显影液喷头、两个显影液储存槽，所述显影液喷头安装于所述显影腔室内，其特征在于，包括如下步骤：

工作步骤：根据预设更换频率交替更换两个所述显影液储存槽，使两个所述显影液储存槽中的其中一个所述显影液储存槽与所述显影液喷头连通，未与所述显影液喷头连通的另一个所述显影液储存槽进行显影液废液排空操作，并进行显影液新液补充操作，将最后一个进行新液补充操作后的所述显影液储存槽定义为待机显影液储存槽，则另一个所述显影液储存槽定义为空闲显影液储存槽；

待机步骤：所述显影设备在非生产状态下，使所述显影液喷头与所述待机显影液储存槽连通，使所述待机显影液储存槽内的显影液在循环操作中；

过渡步骤：向所述空闲显影液储存槽进行显影液新液补充操作，对所述待机显影液储存槽进行显影液废液排空操作，并进行显影液新液补充操作。

2.根据权利要求1所述的显影液循环管理方法，其特征在于，所述对所述待机显影液储存槽进行显影液废液排空操作，并进行显影液新液补充操作的步骤包括：

关闭玻璃基板进入信号，暂停玻璃基板流入，关闭旧液供液，同时显影液储存槽进入清洁程序，并持续预设管道排空时间；打开新显影液的供液，冲洗供液管道；关闭所述显影腔室向换液的显影液储存槽的排液阀门，打开腔室向新显影液储存槽的排液阀门；重新打开玻璃基板接收信号，流入玻璃基板。

3.根据权利要求1所述的显影液循环管理方法，其特征在于，所述预设更换频率根据在预设时间内，所述显影液储存槽中的显影液的液位变化值和pH变化值得到。

4.根据权利要求3所述的显影液循环管理方法，其特征在于，所述显影液的液位变化值采用如下步骤得到：

采用液位传感器测量得到所述显影液储存槽的显影液的初始液位值，待所述预设时间后，再采用所述液位传感器测量得到所述显影液储存槽的显影液的当前液位值，所述显影液储存槽中的显影液的液位变化值等于所述显影液储存槽的显影液的初始液位值与所述显影液储存槽的显影液的当前液位值之差。

5.根据权利要求3所述的显影液循环管理方法，其特征在于，所述显影液的pH变化值采用如下步骤得到：

采用pH测量仪测量得到所述显影液储存槽的显影液的初始pH值，待所述预设时间后，再采用所述pH测量仪测量得到所述显影液储存槽的显影液的当前pH值，所述显影液储存槽中的显影液的pH变化值等于所述显影液储存槽的显影液的初始pH值与所述显影液储存槽的显影液的当前pH值之差。

6.根据权利要求1所述的显影液循环管理方法，其特征在于，对所述待机显影液储存槽进行显影液废液排空操作，并进行显影液新液补充操作具体包括如下步骤：

所述显影腔室接收并响应暂停信号，用于控制玻璃基板停止进入至所述显影腔室内；

使所述待机显影液储存槽与所述显影液喷头断开；

对所述待机显影液储存槽进行废液排空操作；

向所述待机显影液储存槽进行显影液新液补充操作；

将所述待机显影液储存槽重新与所述显影液喷头连通；

所述显影腔室接收并响应工作信号，用于控制玻璃基板重新进入至所述显影腔室内。

7.根据权利要求6所述的显影液循环管理方法，其特征在于，在排空时间内对所述显影液储存槽执行废液排空操作，所述排空时间根据所述待机显影液储存槽的总容量和所述待机显影液储存槽的废液排出流量得到。

8.根据权利要求1所述的显影液循环管理方法，其特征在于，所述待机步骤的持续时间根据如下函数得到，

t＝a*T，

其中，t为待机步骤的持续时间，a为所述显影设备的稼动率，T为所述显影设备的负荷时间。

9.根据权利要求1所述的显影液循环管理方法，其特征在于，所述显影设备还包括显影液新液供给系统，采用所述显影液新液供给系统给显影液储存槽进行显影液新液补充操作。

10.根据权利要求1所述的显影液循环管理方法，其特征在于，所述显影液储存槽与所述显影液喷头之间的连通管道通过阀门以实现连通或断开操作。

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