CN106762713B - 立式复合径流分子泵 - Google Patents
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Abstract
一种立式复合径流分子泵,包括上端敞口的泵筒,泵筒的侧壁开设有进气口和排气口,泵筒内设有径流抽气单元,径流抽气单元包括转子、静轮和动密封,转子上固设有两平圆盘状的动轮,两动轮平行且间隔设置,静轮设于两动轮之间,静轮与两动轮平行设置,动密封位于下方的动轮的下方,静轮和动密封均固设于泵筒的侧壁上;位于上方的动轮的外侧设有一组涡轮叶列,涡轮叶列由上向下抽气;静轮上设有若干由螺旋状叶片构成的抽气槽,静轮的中部未设置隔板。由于立式复合径流分子泵可以从泵筒的上方和侧壁同时抽气,且静轮的中部未设置隔板,因此,径流分子泵的抽速高出传统径流分子泵约80%,压缩能力提高约50%。
Description
技术领域
本发明属于真空获得技术领域,尤其涉及一种立式复合径流分子泵。
背景技术
专利ZL201620118209.2提供了一种立式复合径流分子泵(简称径流泵),该径流泵具有结构简单、能耗低和兼有中、高真空泵双重性能力等优点,然而,也存在如下缺点:
1.该径流泵的进气口均设在泵筒的侧面,导致进气口面积无增加的空间,限制了径流泵抽速的提高;
2.该径流泵的静轮的中部设有隔板,影响气体的抽速;
3.该径流泵的抽气槽长度较短,限制了径流泵压缩能力的提高。
发明内容
本发明的目的在于克服上述现有技术的不足,提供一种能提高抽速和压缩能力的立式复合径流分子泵。
本发明是这样实现的,一种立式复合径流分子泵,包括上端敞口的泵筒,所述泵筒的侧壁开设有进气口和排气口,所述泵筒内设有径流抽气单元,所述径流抽气单元包括转子、静轮和动密封,所述转子上固设有两平圆盘状的动轮,两所述动轮平行且间隔设置,所述静轮设于两所述动轮之间,所述静轮与两所述动轮平行设置,所述动密封位于下方的所述动轮的下方,所述静轮和动密封均固设于所述泵筒的侧壁上;
位于上方的所述动轮的外侧设有一组涡轮叶列,所述涡轮叶列由上向下抽气;
所述静轮上设有若干由螺旋状叶片构成的抽气槽,所述静轮的中部未设置隔板。
进一步地,所述抽气槽由三部分组成,其中,靠近所述抽气槽的进气口的部分为第一部分,所述抽气槽的中间部分为第二部分,所述第二部分为环形通道,靠近所述抽气槽的出气口的部分为第三部分。
本发明提供的立式复合径流分子泵具有如下优点:
1.提高立式复合径流分子泵的抽速约80%;
2.提高立式复合径流分子泵的压缩能力约50%。
附图说明
为了更清楚地说明本发明的技术方案,下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是本发明实施例一提供的立式复合径流分子泵的泵筒的示意图。
图2是沿图1中的A-A方向的剖视图。
图3是本发明实施例一提供的立式复合径流分子泵的剖视图。
图4是本发明实施例一提供的立式复合径流分子泵的静轮的结构示意图。
图5是本发明实施例二提供的立式复合径流分子泵的静轮的结构示意图。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。
实施例一
如图1至图4所示,本发明实施例提供的一种立式复合径流分子泵,包括上端敞口的泵筒11,泵筒11的侧壁开设有进气口12和排气口(未示出),泵筒11内设有径流抽气单元,该径流抽气单元包括转子13、静轮14和动密封15,转子13上固设有两平圆盘状的动轮16,两动轮16平行且间隔设置,静轮14设于两动轮16之间,静轮14与两动轮16平行设置,动密封15位于下方的动轮16的下方,静轮14和动密封15均固设于泵筒11的侧壁上;
位于上方的动轮16的外侧设有一组涡轮叶列17,涡轮叶列17由上向下抽气;
静轮14上设有若干由螺旋状叶片构成的抽气槽141,静轮14的中部未设置隔板。由于静轮14的中部未设置隔板,从而提高了气体的抽速。
本实施例一的径流分子泵的工作原理如下:
(1)本实施例一的进气口12设在泵筒11的侧壁,泵筒11外侧的气体依次经进气口12和抽气槽141抽至径流抽气单元的下方。
(2)同时,由于本实施例一的泵筒11上端为敞口,在泵筒11上方增添了抽气通道,泵筒11上方的气体依次经其上方的敞口、涡轮叶列17和抽气槽141抽至径流抽气单元的下方。
综上所述,由于本实施例一的径流分子泵可以从泵筒11的上方和侧壁同时抽气,且静轮14的中部未设置隔板,因此,径流分子泵的抽速高出传统径流分子泵约80%。另外,本实施例一的径流分子泵还具有结构简单和制造成本低的优点。
实施例二
如图5所示,本实施例二的结构与实施例一的结构大致相同,其不同之处在于:本实施例二的静轮24的抽气槽241由三部分组成,其中,靠近抽气槽241的进气口的部分为第一部分2411,抽气槽241的中间部分为第二部分2412,第二部分2412为环形通道,靠近抽气槽241的出气口的部分为第三部分2413。与现有的静轮的抽气槽结构相比,本实施例二的静轮24的抽气槽241增加了环形通道的第二部分1412,从而增加了抽气槽241的有效长度,提高了径流分子泵的压缩能力约50%。
以上所述是本发明的优选实施方式,应当指出,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本发明原理的前提下,还可以做出若干改进和润饰,这些改进和润饰也视为本发明的保护范围。
Claims (2)
1.一种立式复合径流分子泵,包括上端敞口的泵筒,所述泵筒的侧壁开设有进气口和排气口,所述泵筒内设有径流抽气单元,所述径流抽气单元包括转子、静轮和动密封,所述转子上固设有两平圆盘状的动轮,两所述动轮平行且间隔设置,所述静轮设于两所述动轮之间,所述静轮与两所述动轮平行设置,所述动密封位于下方的所述动轮的下方,所述静轮和动密封均固设于所述泵筒的侧壁上,所述静轮上设有若干由螺旋状叶片构成的抽气槽;
其特征在于,位于上方的所述动轮的外侧设有一组涡轮叶列,所述涡轮叶列由上向下抽气;
所述静轮的中部未设置隔板。
2.根据权利要求1所述的立式复合径流分子泵,其特征在于:所述抽气槽由三部分组成,其中,靠近所述抽气槽的进气口的部分为第一部分,所述抽气槽的中间部分为第二部分,所述第二部分为环形通道,靠近所述抽气槽的出气口的部分为第三部分。
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