CN106734458A - 聚焦环凸台的加工方法 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种聚焦环凸台的加工方法,包括:提供棒材;利用冲压法对所述棒材进行加工,使所述棒材一端受挤压而凸出棒材表面形成初始凸缘,另一端形成初始台体,所述初始凸缘和初始台体构成初始凸台,所述棒材受挤压的端部为第一端;对所述初始凸台进行加工,使所述初始凸缘加工为所述凸缘且使所述初始台体加工为所述台体。其中,通过冲压的方法对所述棒材进行加工。由于冲压的方法可以使棒材第一端凸出棒材表面,而形成所述凸缘。因此,所述棒材的直径可以小于所述凸缘的直径,从而节约棒材坯料。此外,通过冲压的方法加工凸台不需要夹具,从而节约了为满足夹具夹持作用而产生的材料浪费。因此,节约了棒材坯料,降低了加工成本。

Description

聚焦环凸台的加工方法
技术领域
[0001] 本发明涉及半导体溅射靶材制造领域,尤其涉及一种聚焦环凸台的加工方法。
背景技术
[0002] 溅射技术是镀膜的一种基本技术,是指以一定能量的离子束轰击固体表面,使固 体近表面的原子或分子获得足够大的能量而最终逸出固体表面的工艺。
[0003] 通常情况下,溅射镀膜过程中,金属离子从減射靶材表面溅射出来,沿多个不同方 向离开靶材表面,这样到达基板上的靶材很少。为了减少靶材的浪费,通常使用聚焦环对所 述金属离子进行汇聚,以增加到达基板上的离子。聚焦环一般为环状金属线圈,所述金属线 圈外部具有凸台。聚焦环通过所述凸台安装在溅射腔体内。凸台包括台体和凸出于台体表 面的凸缘。一般通过机械加工的车削方法对圆柱体棒材进行加工形成所述凸台。
[0004] 图1至图4是现有技术一种聚焦环凸台的加工方法各步骤的结构示意图。所述凸 台的凸缘和台体均为圆柱体。
[0005] 请参考图1,提供棒材10,所述棒材1〇为圆柱体。
[0006] 请参考图2,通过夹持头14夹持棒材10的一端将棒材10固定在车床上,所述棒材 10被夹持的端部为夹持端13。
[0007] 继续参考图2,通过车削法对所述棒材1〇进行加工,使棒材1〇与所述夹持端13相 对的另一端部的直径减小。所述棒材10与夹持端13相对的另一端部为棒体I2。所述棒材 10位于棒体12和夹持端13之间,用于形成凸缘的部分为第一端11。
[0008] 请参考图3,去除所述夹持端13 (如图2所示)。
[0009] 请参考图4,对所述棒材10 (如图2所示)进行加工,使棒材10第一端11加工为 凸缘且棒体12加工为台体。
[0010] 然而,现有的聚焦环凸台的加工方法存在材料利用率低、加工效率低、成本高的缺 点。
发明内容
[0011] 本发明解决的问题是提供一种聚焦环凸台的加工方法,以节约材料。
[0012] 为解决上述问题,本发明提供一种聚焦环凸台的加工方法,包括:台体以及位于台 体一端凸出所述台体的凸缘,其特征在于,所述加工方法包括:提供棒材;利用冲压法对所 述棒材进行加工,使所述棒材一端受挤压而凸出棒材表面形成初始凸缘,另一端形成初始 台体;将所述初始凸缘加工为凸缘且将所述初始台体加工为台体,形成凸台。
[0013] 可选的,所述棒材受挤压的端部为第一端,用于形成台体的端部为棒体,所述第一 端远离棒体的端面为第一端面;
[0014] 利用冲压法对所述棒材进行加工的步骤包括:
[0015] 提供凹模和冲头,所述凹模包括用于容纳棒材的第一孔,所述第一孔内具有支撑 部;
[0016] 将所述棒材的棒体放入所述凹模第一孔,且使所述棒材的第一纟而从所述弟一孔路 出; _
[0017] 通过所述冲头对所述棒材第一端面施加压力,使第一端受挤压而形成凸出棒材表 面的初始凸缘。
[0018] 可选的,所述第一孔中还具有活塞,所述活塞与所述支撑部活动相连;
[0019] 所述利用冲压法对所述棒材进行加工的步骤还包括:将所述棒材放入所述凹模第 一孔之前,调节所述活塞的位置,使活塞与所述支撑部不接触;
[0020] 将所述棒材放入所述凹模的步骤中,将所述棒材的棒体放置于所述活塞上,使活 塞支撑部所述棒材。
[0021] 可选的,调节所述活塞的位置,使活塞与所述支撑部不接触的步骤中,使活塞与支 撑部之间的距离为12〜15mm。
[0022] 可选的,所述凸缘和台体均为圆柱体,所述棒材为圆柱体,所述第一孔为圆孔。
[0023] 可选的,第一孔直径大于所述棒材直径,且与棒材直径之差在〇• 〇8〜0• 10mm范围 内。
[0024] 可选的,所述凸缘和台体均为圆柱体,所述棒材为圆柱体,所述第一孔为圆孔;
[0025] 所述冲头为圆柱体,所述冲头的直径大于所述初始凸缘的直径。
[0026] 可选的,所述凹模的材料为钨钢合金。
[0027] 可选的,所述冲头的材料为模具钢。
[0028] 可选的,所述棒材的材料为钽。
[0029] 可选的,对所述初始凸台进行加工的步骤包括:通过车削法对所述初始凸缘的侧 面进行车削处理。
[0030] 可选的,所述提供棒材的步骤中,所述棒材为圆柱体,所述棒材的直径为18〜 22mm,所述棒材的长度为25〜31mm。
[0031] 可选的,所述凸台和凸缘为圆柱体,所述棒材为圆柱体,所述第一孔为圆孔,所述 第一孔的直径为18〜22mm ;
[0032] 利用冲压法对所述棒材进行加工的步骤中,使所述初始凸缘的直径为25〜31圆, 所述初始凸缘长度为1. 8〜2. 2mm ;
[0033] 使所述初始台体的直径为18〜22mm,所述初始台体长度为21〜25mm。
[0034] 可选的,将所述初始凸缘加工为凸缘的步骤中,使所述凸缘的直径为23〜27mm, 所述凸缘的长度为1. 2〜1. 4mm ;
[0035] 将所述初始凸台加工为凸台的步骤中,使所述凸台的直径为18〜22mm,所述凸台 的长度为21〜25_。
[0036] 可选的,将所述初始凸缘加工为凸缘且使所述初始台体加工为台体,形成凸台的 步骤包括:对所述初始凸台进行精加工、铣孔处理,形成凸台。
[0037] 与现有技术相比,本发明的技术方案具有以下优点:
[0038] 本发明的聚焦环凸台的加工方法中,利用冲压的方法对所述棒材进行加工。由于 冲压的方法可使棒材第一端凸出棒材表面形成初始凸缘,所述初始凸缘经加工形成所述凸 缘。因此,所述棒材的直径可以小于所述凸缘的直径,从而节约了棒材坯料。此外,利用冲压 工艺加工凸台的方法不需要夹具,从而减少了为满足夹具夹持作用而产生的材料浪费。因 此,节约了棒材坯料,降低了聚焦环凸台的加工成本。
附图说明
[0039] 图1至图4是现有技术—种聚焦环凸台的加工方法各步骤的结构示意图;
[0040] 图5至图10是本发明的聚焦环凸台的加工方法一实施例各步骤的结构示意图。
具体实施方式
[0041] 现有的聚焦环凸台的加工方法存在聚焦环凸台的加工过程中棒材坯料利用率低 的缺点。
[0042] 现结合现有技术的聚焦环凸台的加工方法,分析聚焦环凸台的加工过程中棒材坯 料利用率低的原因:
[0043] 请参考图1和图2,现有技术的聚焦环凸台的加工方法主要是利用机械加工的车 削方法,通过去除多余坯料制成聚焦环凸台。由于凸台具有凸缘,要通过车削的方法形成所 述凸缘,则所需要的棒材10的直径需大于或等于凸台凸缘的直径。因此,在加工凸台的台 体时,需要去除大量的棒材1〇还料,造成大量的材料浪费。
[0044] 结合参考图2和图3,利用机械加工的车削法加工凸台时,为了将棒材10固定在车 床上,需要用夹持头14夹住棒材1〇的夹持端13。车削完成后,所述夹持端I3被去除,从而 浪费了部分棒材10坯料。
[0045] 因此,现有技术的聚焦环凸台的加工方法浪费了大量的棒材坯料,增加了加工成 本。
[0046] 为解决所述技术问题,本发明提供了一种聚焦环凸台的加工方法,所述凸台包括: 台体以及位于台体一端凸出所述台体的凸缘,其特征在于,所述加工方法包括:提供棒材; 利用冲压法对所述棒材进行加工,使所述棒材一端受挤压而凸出棒材表面形成初始凸缘, 另一端形成初始台体,所述初始凸缘和初始台体构成初始凸台,所述棒材受挤压的端部为 第一端;对所述初始凸台进行加工,使所述初始凸缘加工为所述凸缘且使所述初始台体加 工为所述台体。
[0047] 本发明的加工方法中,利用冲压的方法对所述棒材进行加工。由于冲压的加工方 法可使棒材第一端凸出棒材表面形成初始凸缘,所述初始凸缘经处理形成所述凸缘。因此, 所述棒材的直径可以小于所述凸缘的直径,从而节约了棒材坯料。此外,利用冲压工艺加工 凸台的方法不需要夹具,从而减少了为满足夹具夹持作用而产生的材料浪费。因此,节约了 棒材坯料,降低了聚焦环凸台的加工成本。
[0048] 为使本发明的上述目的、特征和优点能够更为明显易懂,下面结合附图对本发明 的具体实施例做详细的说明。
[0049] 图5至图10是本发明的聚焦环凸台的加工方法一实施例的各步骤结构示意图。所 述凸台包括:台体以及位于台体一端凸出所述台体的凸缘。
[0050] 请参考图5,提供棒材200。
[0051] 本实施例中,所述棒材200的材料为钽,钽具有较高的塑性,对冲压过程中,所施 加的压力要求较低,且不容易产生裂缝。
[0052] 本实施例中,所述凸缘和台体均为圆柱体,因此,所述棒材200为圆柱体。但是本 发明对此不做限定,在其他实施例中,所述棒材的形状可以根据凸台的设计要求选择其他 形状。
[0053] 需要说明的是,所述棒材200在后续的冲压过程中,长度L0会减小。因此,为使所 形成的凸台长度符合设计要求,所述棒材200的长度L0大于待形成的凸台长度。
[0054] 此外,如果所述棒材200的长度L0过大,容易产生大量的材料浪费;如果所述棒材 200的长度L0过小,容易使所形成的凸台长度过小而影响其性能。具体的,本实施例中,所 述棒材200的长度L0在25〜31mm范围内。
[0055] 还需要说明的是,如果所述棒材200的直径D0过大,容易产生材料浪费,因此,所 述棒材200的直径小于待形成的凸缘直径;但是,如果所述棒材200的直径D0过小,会给后 续的冲压工艺带来困难。因此,本实施例中,所述棒材200的直径D0在18〜22mm的范围 内。
[0056] 结合参考图6至图8,利用冲压法对所述棒材200进行加工,使所述棒材200 —端 受挤压而凸出棒材200表面,形成初始凸缘213,棒材200另一端形成初始台体214。
[0057] 所述棒材200受挤压的端部为第一端210,所述棒材200用于形成台体的部分为棒 体211,所述第一端210远离棒体211的端面为第一端面212。所述第一端210位于第一端 面212和棒体211之间的侧面为第一侧面,所述棒材200的其他侧面为第二侧面。
[0058] 具体的,所述利用冲压法对所述棒材200进行加工的步骤包括:
[0059] 如图6所示,提供凹模220和冲头230,所述凹模220用于限制所述棒材200的变 形,使冲压过程中所述棒材200能够形成特定形状和尺寸;所述冲头用于为棒材200提供压 应力。
[0060] 所述凹模220包括:用于容纳棒材200棒体211的第一孔,所述第一孔内具有支撑 部222,用于在冲压过程中为棒材200提供支持力,使棒材200受挤压变形。
[0061] 本实施例中,所述棒材200为圆柱体,所述第一孔为圆孔。
[0062] 本实施例中,所述凹模220第一孔的直径略大于棒材200的直径D0 (如图5所示), 这样的凹模220即能保证棒材200能够较容易地放入所述凹模220中,又不会给冲压过程 带来过大的影响。具体的,所述第一孔的直径比棒材200直径D0大0.08〜O.Olmra。但是, 本发明对所述凹模220第一孔的直径大小不做限定,所述第一孔的直径也可以等于所述棒 材200的直径D0。
[0063] 此外,冲压过程中所述棒材200的棒体211因受到第一孔侧壁的压力较大而使其 直径小于第一端210的直径。受较大的径向压力挤压而形成的初始台体214 (如图7所示) 的侧面较平整,可以不经过后续车削工艺处理,从而所述初始台体214的直径不会减小。因 此,本实施例中,所述第一孔的直径等于设计所要求的凸台台体的直径。具体的,本实施例 中,所述第一孔的直径在18〜22mm的范围内。但是本发明对此不做限定,所述第一孔的直 径还可以略大于设计所要求的凸台台体的直径。
[0064]需要说明的是,所述凹模22〇需要具有一定硬度又具有较好的軔性,如果凹模22〇 的硬度过高,凹模220容易开裂,如果凹模220的硬度过低,凹模220容易变形,而出现镦粗 现象。具体的,本实施例中,所述凹模22〇的材料为钨钢合金。
[0065]需要说明的是,本实施例中,所述凹模220第一孔内还具有活塞221及与所述活塞 221相连的连杆223,所述连杆2¾能够调节活塞221的位置。所述活塞221能够支撑所述 棒材200,使棒材200在受压之前与所述支撑部222之间具有一段距离,从而使棒材200受 压后具有一个加速过程,并使棒材200在所述活塞221和支撑部222接触时具有一定的速 度,进而能够使棒材200受压变形时受到的轴向力较均匀,从而使后续形成的初始台体214 和初始凸缘213(如图7所示)变形较均匀。但是本发明对此不做限定,在其他实施例中, 所述凹模第一孔中也可以不具有所述活塞,相应的,所述支撑部中不具有所述第二孔。
[0066] 本实施例中,如果所述冲头230的硬度较低,在冲压过程中容易发生变形。具体 的,本实施中,所述冲头230的材料为模具钢。
[0067] 本实施例中,所述冲头230为圆柱体,但是本发明对此不做限定,所述冲头230还 可以为其它形状。
[0068] 需要说明的是,如果所述冲头230的尺寸过小,在对所述棒材200第一端面212施 加压力的过程中,容易使棒材200第一端210受力不平衡,而使第一端210变形不均匀。如 果所述冲头230的尺寸过大会给冲压过程带来困难。因此,本实施例中,所述冲头230的直 径大于待形成的凸缘直径,具体的,所述冲头230的直径为29〜33圆。
[0069] 如图6所示,将所述棒材200放入所述凹模220第一孔,且使所述棒材200的第一 端210从所述第一孔露出
[0070] 需要说明的是,本实施例中,所述凹模220第一孔中具有活塞221及与活塞221相 连的连杆223,所述活塞221与所述支撑部222活动相连;所述活塞221的位置可以通过所 述连杆223设定。
[0071] 本实施例中,所述利用冲压法对所述棒材200进行加工的步骤还包括:将所述棒 材200放入所述凹模220之前,通过所述连杆223调节所述活塞221的位置,使活塞221与 支撑部222不接触。
[0072] 本实施例中,将所述棒材200放入所述凹模220的步骤中,将所述棒材200放入所 述凹模220第一孔,使所述活塞221支撑所述棒材200,所述活塞221与支撑部222具有一 定距离。具体的,所述活塞221与支撑部222之间的距离在12mm〜15mm之间。
[0073] 但是本发明对此不做限定,在本发明的其它实施例中,所述第一孔中也可以不具 有活塞,将所述棒材放入所述凹模的步骤中,将所述棒材放入所述凹模第一孔,使棒材与支 撑部接触。
[0074] 如图6和7所示,通过所述冲头230对所述棒材200第一端面212施加压力,使第 一端210受挤压而形成凸出棒材200表面的初始凸缘213,棒材200另一端形成初始台体 214。所述初始凸缘213和初始台体214构成初始凸台。
[0075] 本实施例中,所述活塞221与所述支撑部222活动相连,所述活塞221下方具有连 杆223,用于调节活塞221的位置。对所述棒材2〇〇第一端面212施加压力之前,通过所述 连杆223调节所述活塞221的位置,使所述活塞221与支撑部222具有一定距离。
[0076] 因此,本实施例中,所述利用冲压法对所述棒材2〇〇进行加工的步骤中,所述冲头 230对棒材200施加压力,使棒材200和活塞221随冲头230向下运动,当活塞221下降到 与所述支撑部222接触时,所述棒材200和活塞221停止运动,所述冲头230继续对棒材 200进行施压使所述棒材200第一端210受挤压而凸出棒材200表面,形成初始凸缘213。
[0077] 需要说明的是,对所述棒材200第一端面212施加压力,使所述棒材200 —端受挤 压凸出棒材200表面的过程中,所述第一端210露出所述第一孔。在冲压过程中,所述第一 端210第一侧面不受压力而能够自由变形。这样形成的初始凸缘213的侧面不平整,需要 进行进一步的加工,去除不平整的表面。然而,在去除不平整初始凸缘213侧面的同时会使 初始凸缘213的直径d减小,因此所述初始凸缘213的直径应大于待形成的凸缘直径。
[0078] 因此,结合参考图8,要形成符合要求的凸台凸缘,冲压形成的所述初始凸缘213 的直径d不能过小。如果所述初始凸缘213的直径d过大,容易产生材料浪费。因此,具体 的,本实施例中,所述初始凸缘213的直径d在25〜31mm的范围内。
[0079] 此外,利用冲压法对所述棒材200进行加工的步骤中,如果所述初始凸缘213的长 度1过小,很难满足设计要求而影响凸台的性能;如果所述初始凸缘213的长度1过大会产 生材料浪费。应根据设计要求,使所述初始凸缘213的长度1大于或等于设计要求的凸台 凸缘的长度,同时尽量减少材料浪费。具体的,本实施例中,经所述冲压工艺形成的初始凸 缘213的长度1在1. 8〜2. 2mm的范围内。
[0080] 还需要说明的是,所述初始台体214的直径D由所述凹模220(图7所示)第一孔 的直径决定。因此,本实施例中,利用冲压法对所述棒材200进行加工的步骤中,使所述初 始台体214的直径D等于设计要求的凸台台体的直径。具体的,所述初始台体214直径D 在18〜22mm的范围内。但是本发明对此不作限定,所述初始台体214直径D还可以大于 设计要求的凸台台体的直径。
[0081] 此外,初始台体214的长度L由所述提供棒材200的步骤中的所述棒材200的尺 寸及冲压过程确定。本实施例中,所述初始台体214的长度L等于设计要求的凸台台体的 长度。具体的,所述初始台体214的长度L在21〜25mm的范围内。但是,本发明对此不作 限定,所述初始台体214的长度L还可以大于设计要求的凸台台体的长度。
[0082] 请参考图9和图10,将所述初始凸缘213加工为凸缘215,且将所述初始台体214 加工为台体216,形成凸台。
[0083] 需要说明的是,冲压形成的初始凸缘213的侧面不平整,容易开裂,需进行进一步 的处理。因此,将所述初始凸缘213加工为凸缘215的步骤包括:通过车削法对所述初始凸 缘213的侧面进行处理,增加初始凸缘213的侧面的平整度,同时使初始凸缘213的直径符 合设计要求。
[0084] 本实施例中,如图9所示,所述初始凸缘213的侧面为外圆柱面。通过车削法对所 述初始凸缘213的外圆柱面进行处理,使所述初始凸缘213的直径减小。具体的,通过所述 车削法对所述初始凸缘213侧面进行处理,使所述初始凸缘213的直径dl在23〜27mm范 围内。
[0085] 本实施例中,所述对初始凸台214进行加工的步骤还包括:通过车削法对初始凸 缘213的端面进行处理,使所述初始凸缘213的长度符合设计要求,形成第二凸缘。
[0086]需要说明的是,本实施例中,冲压过程中形成的初始台体214的直径等于设计要 求的凸台台体直径,且在冲压过程中,所述初始台体214侧面受到较大压力,受较大压力形 成的初始台体214侧面较平坦,因此,将所述初始台体214加工为台体216的步骤不包括对 初始台体214侧面进行车削处理。但是本发明对此不作限定,在其他实施例中,所述初始台 体的直径大于设计所要求的凸台台体直径,因此,将所述初始台体加工为台体的步骤还可 以包括,通过车削法对初始台体侧面进行处理。
[0087] 本实施例中,所述初始台体214的长度符合设计要求的凸台台体的长度,因此,本 实施例中,将所述初始台体214加工为台体216的步骤不包括对所述初始台体214的端面 进行处理,使所述初始台体214的长度减小。因此,本实施例中,所述初始台体214不经处 理,形成第二台体。但是本发明对此不做限定,在其他实施例中,如果所述初始台体的长度 不符合设计要求的凸台台体的长度,将所述初始台体加工为台体的步骤还包括对所述初始 台体的端面进行处理,使所述初始台体的长度减小。
[0088] 此外,所述凸台还包括位于凸缘215端部的环形槽,因此,所述将所述初始凸缘 213加工为凸缘215,且将所述初始台体214加工为台体216的步骤还包括:对第二凸缘进 行铣孔处理,形成所述环形槽,并通过精加工降低第二凸缘、第二凸台和环形槽的表面粗糙 度,形成符合设计要求的成品凸台。
[0089] 具体的,如图10所示,本实施例中,将所述初始凸缘213加工为凸缘215,且将所述 初始台体214加工为台体216的步骤中,使凸缘215的长度11在21〜25mm的范围内,所 述凸缘215直径dl在23〜27mm的范围内;并使所述台体216的直径D1在18〜22mm的 范围内,所述台体216的长度L1在21〜25mm的范围内。
[0090] 综上,本发明提供了一种聚焦环凸台的加工,所述凸台包括:台体以及位于台体一 端凸出所述台体的凸缘,其特征在于,所述加工方法包括:提供棒材;利用冲压法对所述棒 材进行加工,使所述棒材一端受挤压而凸出棒材表面形成初始凸缘,另一端形成初始台体, 所述初始凸缘和初始台体构成初始凸台,所述棒材受挤压的端部为第一端;对所述初始凸 台进行加工,使所述初始凸缘加工为所述凸缘且使所述初始台体加工为所述台体。
[0091] 本发明的加工方法中,利用冲压的方法对所述棒材进行加工。由于冲压的方法可 使棒材第一端凸出棒材表面形成初始凸缘,所述初始凸缘经加工形成所述凸缘。因此,所述 棒材的直径可以小于所述凸缘的直径,从而节约棒材坯料。此外,通过冲压工艺加工凸台的 方法不需要夹具,从而减少了为满足夹具夹持作用而产生的材料浪费。因此,节约了棒材坯 料,降低了聚焦环凸台的加工成本。
[0092] 虽然本发明披露如上,但本发明并非限定于此。任何本领域技术人员,在不脱离本 发明的精神和范围内,均可作各种更动与修改,因此本发明的保护范围应当以权利要求所 限定的范围为准。

Claims (15)

1. 一种聚焦环凸台的加工方法,所述凸台包括:台体以及位于台体一端凸出所述台体 的凸缘,其特征在于,所述加工方法包括: 提供棒材; 利用冲压法对所述棒材进行加工,使所述棒材一端受挤压而凸出棒材表面形成初始凸 缘,另一端形成初始台体; 将所述初始凸缘加工为凸缘且将所述初始台体加工为台体,形成凸台。
2. 如权利要求1所述的聚焦环凸台的加工方法,其特征在于,所述棒材受挤压的端部 为第一端,用于形成台体的端部为棒体,所述第一端远离棒体的端面为第一端面; 利用冲压法对所述棒材进行加工的步骤包括: 提供凹模和冲头,所述凹模包括用于容纳棒材的第一孔,所述第一孔内具有支撑部; 将所述棒材的棒体放入所述凹模第一孔,且使所述棒材的第一端从所述第一孔露出; 通过所述冲头对所述棒材第一端面施加压力,使第一端受挤压而形成凸出棒材表面的 初始凸缘。
3. 如权利要求2所述的聚焦环凸台的加工方法,其特征在于,所述第一孔中还具有活 塞,所述活塞与所述支撑部活动相连; 所述利用冲压法对所述棒材进行加工的步骤还包括:将所述棒材放入所述凹模第一孔 之前,调节所述活塞的位置,使活塞与所述支撑部不接触; 将所述棒材放入所述凹模的步骤中,将所述棒材的棒体放置于所述活塞上,使活塞支 撑部所述棒材。
4. 如权利要求3所述的聚焦环凸台的加工方法,其特征在于,调节所述活塞的位置,使 活塞与所述支撑部不接触的步骤中,使活塞与支撑部之间的距离为12〜15mm。
5. 如权利要求2所述的聚焦环凸台的加工方法,其特征在于,所述凸缘和台体均为圆 柱体,所述棒材为圆柱体,所述第一孔为圆孔。
6. 如权利要求2所述的所述聚焦环凸台的加工方法,其特征在于,第一孔直径大于所 述棒材直径,且与棒材直径之差在0• 08〜0• 10mm范围内。
7. 如权利要求2所述的聚焦环凸台的加工方法,其特征在于,所述凸缘和台体均为圆 柱体,所述棒材为圆柱体,所述第一孔为圆孔;所述冲头为圆柱体,所述冲头的直径大于所 述初始凸缘的直径。
8. 如权利要求2所述的聚焦环凸台的加工方法,其特征在于,所述凹模的材料为鹤钢 合金。
9. 如权利要求2所述的聚焦环凸台的加工方法,其特征在于,所述冲头的材料为模具 钢。 1
10. 如权利要求1或2所述的聚焦环凸台的加工方法,其特征在于,所述棒材的材料为 钽。 _
11. 如权利要求1所述的聚焦环凸台的加工方法,其特征在于,对所述初始凸台进行加 工的步骤包括:通过车削法对所述初始凸缘的侧面进行车削处理。
12. 如权利要求1或2所述的聚焦环凸台的加工方法,其特征在于,所述提供棒材的步 骤中,所述棒材为圆柱体; 所述棒材的直径为I8〜22臟,所述棒材的长度为25〜31mm。
13. 如权利要求2所述的聚焦环凸台的加工方法,其特征在于,所述凸台和凸缘为圆柱 体,所述棒材为圆柱体,所述第一孔为圆孔,所述第一孔的直径为18〜22皿1 ; 利用冲压法对所述棒材进行加工的步骤中,使所述初始凸缘的直径为25〜31腕,所述 初始凸缘长度为1. 8〜2. 2mm ; 使所述初始台体的直径为18〜22mm,所述初始台体长度为21〜25mm。
14. 如权利要求1或2所述的聚焦环凸台的加工方法,其特征在于,将所述初始凸缘加 工为凸缘的步骤中,使所述凸缘的直径为23〜27mm,所述凸缘的长度为1. 2〜1. 4mra ; 将所述初始凸台加工为凸台的步骤中,使所述凸台的直径为18〜22mm,所述凸台的长 度为21〜25_。
15. 如权利要求1所述的聚焦环凸台的加工方法,其特征在于,将所述初始凸缘加工为 凸缘且使所述初始台体加工为台体,形成凸台的步骤包括:对所述初始凸台进行精加工、铣 孔处理,形成凸台。
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