CN106312108A - 车削刀具及其制作方法 - Google Patents

Abstract

一种车削刀具及其制作方法，采用本发明提供的车削刀具能够在靶材组件上开设密封槽，密封槽用于容纳密封部件，所述密封槽内部最宽处的尺寸大于所述密封槽开口处的尺寸。当将尺寸大于所述密封槽开口处的密封部件放置入所述密封槽内之后，所述密封部件卡在所述密封槽开口处内部，所述密封部件不容易从所述密封槽中脱出，有效提高所述靶材组件在所述沉积室中的真空度。

Description

车削刀具及其制作方法

技术领域

本发明涉及半导体制造领域，尤其涉及一种车削刀具及其制作方法。

背景技术

溅射沉积(Sputtering Deposition,SD)是物理气相沉积(Physical VaporDeposition,PVD)中的一种。在溅射沉积过程中要用到溅射靶材，所述溅射靶材在溅射过程中被高能量粒子轰击，溅射靶材的原子或分子离开固体进入气体，并沉淀积累在待沉积的基底表面上形成薄膜。

为了最大限度的减少溅射过程中的杂质干扰，保证沉积薄膜的质量，一般在溅射时将所述溅射靶材所在的沉积室进行抽真空，并在溅射过程中不断地向沉积室内通入惰性气体(如氩气)；利用惰性气体离子轰击靶材并产生辉光放电现象。

现有的靶材组件设于沉积室中，为了与外界实现密封，通常在靶材组件上开设密封槽，并在所述密封槽内设置密封部件以使沉积室保持相对于外界的真空度。但是，现有技术在溅射沉积的过程中，经常出现沉积室中真空度不足的问题，影响溅射沉积的质量。

为此，提高所述靶材组件在所述沉积室中的真空度，成为本领域技术人员亟待解决的问题。

发明内容

本发明解决的问题是提出一种车削刀具及其制作方法，所述车削刀具可以用于在靶材组件上加工出密封槽，在所述密封槽放置密封圈，从而提高所述靶材组件在所述沉积室中的真空度。

为解决上述问题，本发明提供一种车削刀具，包括：

平底槽刀、第一偏刀和第二偏刀，所述平底槽刀、第一偏刀和第二偏刀用于固定在机床的刀座上，以在所述靶材组件的密封面上加工出密封槽；

其中，所述平底槽刀包括第一刀柄以及位于第一刀柄一端的第一刀头，所述第一刀头包括第一顶面，以及分别与所述第一顶面相接，且互相邻接的第一主切削面、第一背面、第一辅助切削面和第二辅助切削面，所述第一主切削面和第一背面相对设置，所述第一辅助切削面和第二辅助切削面相对设置，；

所述第一偏刀包括第二刀柄以及位于第二刀柄一端的第二刀头，所述第二刀头包括第二顶面，以及分别与所述第二顶面相接，且互相邻接的第二主切削面、第二背面、第三辅助切削面和第四辅助切削面，所述第二主切削面和第二背面相对设置，所述三辅助切削面和第四辅助切削面相对设置，所述第三辅助切削面用于在所述第一偏刀放入刀座时朝向第一方向；

所述第二偏刀包括第三刀柄以及位于第三刀柄一端的第三刀头，所述第二刀头包括第三顶面，以及分别与所述第三顶面相接，且互相邻接的第三主切削面、第三背面、第五辅助切削面和第六辅助切削面，所述第三主切削面和第三背面相对设置，所述第五辅助切削面和第六辅助切削面相对设置，所述第五辅助切削面用于在所述第一偏刀放入刀座时朝向第二方向，所述第二方向与第一方向相反。

可选的，所述平底槽刀、第一偏刀和第二偏刀的材料为白钢。

可选的，所述第一辅助切削面与所述第一顶面之间的夹角大于80度，所述第二辅助切削面与所述第一顶面之间的夹角大于80度。

可选的，所述第三辅助切削面与所述第二顶面之间的夹角小于70度，所述第五辅助切削面与所述第三顶面之间的夹角小于70度。

可选的，所述第一方向和第二方向相反。

可选的，在所述第一偏刀中，所述第二顶面和第三辅助切削面之间的夹角在40到60度的范围内。

可选的，在所述第一偏刀中，所述第二顶面到所述第二刀柄的距离在2到4毫米的范围内。

可选的，在所述第一偏刀中，所述第二顶面到所述第二刀柄的距离在2到4毫米的范围内。

可选的，在所述第一偏刀中，所述第二顶面在所述第三辅助切削面和第四辅助切削面之间的长度在2到4毫米的范围内。

可选的，在所述第一偏刀中，所述第二主切削面为弧形面，所述弧形面的边缘具有刀刃，所述弧形面的圆弧半径在6到10毫米的范围内。

可选的，在所述第一偏刀中，所述第二刀头和第二刀柄之间具有第一连接处，所述第二刀柄的截面尺寸在朝向所述第二刀头的方向上逐渐缩小，在靠近所述第二刀头一端形成与所述第一辅助切削面邻接的第一坡面，以及与所述第三辅助切削面邻接的第二坡面。

可选的，所述第一坡面与所述第二刀柄中轴线之间的夹角大于所述第二坡面与所述第一连接处之间的夹角。

可选的，所述第二刀柄远离所述第二刀头的一端的截面尺寸在8到10毫米的范围内。

可选的，在所述第二偏刀中，所述第三顶面和第五辅助切削面之间的夹角在40到60度的范围内。

可选的，在所述第二偏刀中，所述第三顶面到所述第三刀柄的距离在2到4毫米的范围内。

可选的，在所述第二偏刀中，所述第三顶面到所述第三刀柄的距离在2到4毫米的范围内。

可选的，在所述第二偏刀中，所述第三顶面在所述第五辅助切削面和第六辅助切削面之间的长度在2到4毫米的范围内。

可选的，在所述第二偏刀中，所述第二主切削面为弧形面，所述弧形面的边缘具有刀刃，所述弧形面的圆弧半径在6到10毫米的范围内。

可选的，在所述第一偏刀中，所述第三刀头和第三刀柄之间具有第二连接处，所述第三刀柄的截面尺寸在朝向所述第三刀头的方向上逐渐缩小，在靠近所述第三刀头一端形成与所述第五辅助切削面邻接的第三坡面，以及与所述第六辅助切削面邻接的第四坡面。

可选的，所述第三坡面与所述第三刀柄中轴线之间的夹角大于所述第四坡面与所述第二连接处之间的夹角。

可选的，所述第三刀柄远离所述第三刀头的一端的截面尺寸在8到10毫米的范围内。

本发明还提供一种车削刀具的制作方法，包括：

提供第一金属条、第二金属条和第三金属条；

提供线切割工具；

采用所述线切割工具对所述第一金属条进行线切割，形成平底槽刀，所述平底槽刀包括第一刀柄以及位于第一刀柄一端的第一刀头，所述第一刀头包括第一顶面，以及分别与所述第一顶面相接，且互相邻接的第一主切削面、第一背面、第一辅助切削面和第二辅助切削面，所述第一主切削面和第一背面相对设置，所述第一辅助切削面和第二辅助切削面相对设置；

采用所述线切割工具对所述第二金属条进行线切割，形成第一偏刀，所述第一偏刀包括第二刀柄以及位于第二刀柄一端的第二刀头，所述第二刀头包括第二顶面，以及分别与所述第二顶面相接，且互相邻接的第二主切削面、第二背面、第三辅助切削面和第四辅助切削面，所述第二主切削面和第二背面相对设置，所述三辅助切削面和第四辅助切削面相对设置，所述第三辅助切削面用于在所述第一偏刀放入刀座时朝向第一方向；

采用所述线切割工具对所述第三金属条进行线切割，形成第二偏刀，所述第二偏刀包括第三刀柄以及位于第三刀柄一端的第三刀头，所述第二刀头包括第三顶面，以及分别与所述第三顶面相接，且互相邻接的第三主切削面、第三背面、第五辅助切削面和第六辅助切削面，所述第三主切削面和第三背面相对设置，所述第五辅助切削面和第六辅助切削面相对设置，所述第五辅助切削面用于在所述第一偏刀放入刀座时朝向第二方向，所述第二方向与第一方向相反。

与现有技术相比，本发明具有以下优点：所述车削刀具可以用于在靶材组件上加工出密封槽，所述密封槽内部最宽处的尺寸大于所述密封槽开口处的尺寸。当将尺寸大于所述密封槽开口处的密封部件放置入所述密封槽内之后，所述密封部件卡在所述密封槽开口处内部，所述密封部件不容易从所述密封槽中脱出，有效提高所述靶材组件在所述沉积室中的真空度。

附图说明

图1是本发明车削刀具一实施例中平底槽刀的示意图；

图2、图3是图1所示平底槽刀对靶材组件进行车削工艺的示意图；

图4、图5是本发明车削刀具一实施例中第一偏刀的示意图；

图6至图9是图4所示第一偏刀对靶材组件进行车削工艺的示意图；

图10、图11是本发明车削刀具一实施例中第二偏刀的示意图；

图12至图15是图4所示第二偏刀对靶材组件进行车削工艺的示意图；

图16、图17是本发明车削刀具一实施例形成的靶材组件的示意图；

图18是本发明车削刀具的制作方法一实施例的示意图。

具体实施方式

如背景技术所述，现有技术在溅射沉积的过程中，经常出现沉积室中真空度不足的问题，影响溅射沉积的质量。

分析沉积室中真空度不足的原因，发现现有技术的密封部件非常容易从所述密封槽中脱落，从而导致沉积室内的真空度不足。

为解决上述问题，本发明提供一种车削刀具及其制作方法，使所述车削刀具可以用于在靶材组件上加工出密封槽，所述密封槽内部最宽处的尺寸大于所述密封槽开口处的尺寸。当将尺寸大于所述密封槽开口处的密封部件放置入所述密封槽内之后，所述密封部件卡在所述密封槽开口处内部，所述密封部件不容易从所述密封槽中脱出，有效提高所述靶材组件在所述沉积室中的真空度。

为使本发明的上述目的、特征和优点能够更为明显易懂，下面结合附图对本发明的具体实施方式做详细的说明。

参考图1、图4以及图10，分别示出了本实施例车削刀具中平底槽刀200、第一偏刀300以及第二偏刀400的示意图，采用本实施例提供的车削刀具在靶材组件上加工密封槽的步骤大致包括，采用所述平底槽刀200对靶材组件的密封面进行粗车，形成所述初始槽之后，采用所述第二偏刀400对所述初始槽一侧壁进行半精车，采用所述第一偏刀300对所述初始槽另一侧壁进行半精车，使所述初始槽的两侧壁分别产生凹陷，形成内部尺寸较大的密封槽，从而使所述密封槽内部最宽处的尺寸大于所述密封槽开口处的尺寸。当将尺寸大于所述密封槽开口处的密封部件放置入所述密封槽内之后，所述密封部件卡在所述密封槽开口处内部，所述密封部件不容易从所述密封槽中脱出，有效提高所述靶材组件在所述沉积室中的真空度。

图1是本发明车削刀具一实施例中平底槽刀200的示意图，参考图1，在本实施例中，所述平底槽刀200包括第一刀柄202以及位于第一刀柄202一端的第一刀头201，所述第一刀头201包括第一顶面204，以及分别与所述第一顶面204相接，且互相邻接的第一主切削面201、第一背面(未示出)、第一辅助切削面203和第二辅助切削面205，所述第一主切削面201和第一背面相对设置，所述第一辅助切削面203和第二辅助切削面205相对设置，所述第一辅助切削面203与所述第一顶面204之间的夹角大于80度，所述第二辅助切削面205与所述第一顶面204之间的夹角大于80度。其中所述第一主切削面201为在对所述靶材组件100进行车削时与所述靶材组件100的主要接触面，所述第一主切削面201上设有刀刃(未示出)，以将所述靶材组件100的材料车削而出。

图2、图3是图1所示平底槽刀200对靶材组件100进行车削工艺的示意图。所述平底槽刀200用于对所述靶材组件100进行粗车，形成初始槽101。

参考图2，具体地，在本实施例中，所述靶材组件100包括：

背板120，所述背板120的上设置有靶材110，所述靶材110的表面为溅射面。

靶材110露出的背板120表面构成为密封面，所述密封面围绕所述溅射面。本实施例中所述溅射面呈圆形，所述密封面为围绕圆形溅射面的圆环面。

具体地，在本实施例中，所述靶材组件100用于半导体制造工艺，所述靶材组件100为具有圆形溅射面和围绕圆形溅射面的圆环形密封面的靶材组件；开设密封槽的步骤包括：在圆环形密封面上形成围绕圆形溅射面的圆形槽。但是本发明对此不做限制，在其他实施例中，所述靶材组件100还可以用于LCD制造工艺，所述靶材组件100还可以为具有矩形溅射面和围绕矩形溅射面的矩形框形密封面的靶材组件。

在本实施例中，所述靶材110的材料为钽，但是本发明对所述靶材110的材料不做限制，在其他实施例中，所述靶材110的材料还可以为钼、铝等金属或者是合金。

对所述靶材组件100进行粗车的步骤包括：提供机床(未示出)、平底槽刀200、，所述机床包括刀座130，用于固定所述平底槽刀200(以及第一偏刀300和第二偏刀400)。

结合参考图2、图3，图3为沿图2中圆形溅射面一直径剖切的剖视图.将所述靶材组件100固定于所述机床的刀座130上，使所述靶材组件100围绕圆环形密封面的圆心转动，将所述平底槽刀200固定于所述刀座130上，采用所述平底槽刀200对所述密封面进行粗车，形成围绕圆形溅射面的初始槽101，如图2所示，所述初始槽101在所述密封面上的形状为圆形，如图3所示，所述初始槽101的剖面为矩形。

具体地，在采用所述平底槽刀200对所述密封面进行粗车的步骤中，将所述平底槽刀200向所述靶材组件100移动，所述第一主切削面201朝向所述靶材组件100的转动方向，所述第一顶面204平行于所述密封面，所述第一主切削面201上的刀刃不断将迎面而来的背板120的材料车掉，在所述密封面上形成围绕圆形溅射面的初始槽101。由图1和图2可以看出，所述初始槽101的形状与所述第一主切削面201的形状相似。

在本实施例中，在所述平底槽刀200中，所述第一顶面204到所述第一刀柄202的距离S1为5毫米，公差为0.2毫米，所述第一顶面204在所述第一辅助切削面203和第二辅助切削面205之间的长度S2为2.6毫米，公差为0.1毫米。采用这样的平底槽刀200，能够较容易地车削出槽深在3毫米左右，槽宽在2毫米左右的初始槽101。但是本发明对此不作限制，在其他实施例中，所述第一顶面204到所述第一刀柄202的距离S1还可以在2到6毫米的范围内，所述第一顶面204在所述第一辅助切削面203和第二辅助切削面205之间的长度S2还可以在2到6毫米的范围内。

在本实施例中，所述第一辅助切削面203与所述第一顶面204之间的夹角大于80度，所述第二辅助切削面205与所述第一顶面204之间的夹角大于80度。这样的好处在于，使车削出的初始槽101侧壁与底面接近垂直，便于后续的进一步车削。进一步的，所述第一辅助切削面203与所述第一顶面204之间的夹角等于所述第二辅助切削面205与所述第一顶面204之间的夹角。需要说明的是，具体地，在本实施例中，所述第一辅助切削面203与所述第一顶面204之间的夹角为87度，所述第二辅助切削面205与所述第一顶面204之间的夹角也为87度。这样所述平底槽刀200车削出的初始槽101两侧壁与底面的夹角相等，所述初始槽101形状较为规则。但是本发明对所述第一辅助切削面203与所述第一顶面204之间的夹角、所述第二辅助切削面205与所述第一顶面204之间的夹角也可以不相等。

采用所述平底槽刀200对所述密封面进行粗车，形成所述初始槽101之后，采用所述第一偏刀300对所述初始槽101靠近所述圆心的侧壁进行半精车，采用所述第二偏刀400对所述初始槽101远离所述圆心的侧壁进行半精车，使所述初始槽101的两侧壁分别向内凹陷，形成所述密封槽，所述密封槽内部最宽处的尺寸大于所述密封槽开口处的尺寸。

图4、图5是本实施例车削刀具中第一偏刀300的示意图

参考图4，示出了所述第一偏刀300的结构示意图，所述第一偏刀300包括第二刀柄302以及位于第二刀柄300一端的第二刀头301，所述第二刀头301包括第二顶面304，以及分别与所述第二顶面304相接，且互相邻接的第二主切削面303、第二背面(未示出)、第三辅助切削面305和第四辅助切削面306，所述第二主切削面303和第二背面相对设置，所述第三辅助切削面305和第四辅助切削面306相对设置，所述第三辅助切削面305与所述第二顶面304之间的夹角小于70度具体地，可以为65度。所述第三刀柄302远离第三刀头301的一端上具有连接结构(未示出)，用于将所述第一偏刀300固定于所述刀座130上。将所述第一偏刀300放入刀座130时，所述第三辅助切削面305朝向第一方向。在本实施例中，所述第一方向为朝向所述密封面圆心的方向。

在本实施例中，在所述第一偏刀300中，所述第二顶面304到所述第二刀柄302的距离S3为3毫米，公差为0.2毫米，所述第二顶面304在所述第三辅助切削面305和第四辅助切削面306之间的长度S4为2.6毫米，公差为0.1毫米。所述第一偏刀300的设定为上述尺寸的意义在于，在采用所述第一偏刀300对所述靶材组件100进行车削的步骤中，所述第一偏刀300能够伸入所述初始槽101中并对所述初始槽101的侧壁进行车削。

继续参考图4，在所述第一偏刀300中，所述第二刀头301和第二刀柄302之间具有第一连接处(未标出)，所述第二刀柄302的截面尺寸在朝向所述第二刀头301的方向上逐渐缩小，在靠近所述第二刀头301一端形成与所述第三辅助切削面305邻接的第一坡面307，以及与所述第四辅助切削面306邻接的第二坡面308。

在本实施例中，所述第一坡面307与所述第二刀柄302的中轴线310之间的夹角小于所述第二坡面308与所第二刀柄302的中轴线310之间的夹角。也就是说，所述第二刀柄302在所述第一坡面307处的空隙更大。具体地，具体地，所述第一坡面307与所述第二刀柄302的中轴线310之间的夹角可以在40到50度之间。

参考图5，示出了本实施例第一偏刀300以第三辅助切削面305为正面的侧视图，如图5所示，在所述第一偏刀300中，所述第二主切削面303和第二背面308相对设置，所述第二主切削面303为弧形面，所述弧形面的边缘具有刀刃，所述弧形面的圆弧半径在6到10毫米的范围内。

图6为以第一偏刀300车削初始槽101的示意图，图7至图9为沿图5中圆形溅射面一直径剖切的剖视图，结合参考图6、图7，将所述第一偏刀300固定于所述刀座130上，使所述第一偏刀第二刀头301的第二顶面304平行于所述靶材组件100的密封面，使所述第三辅助切削面305朝向所述密封面的圆心，所述第四辅助切削面306背向所述密封面的圆心。

结合参考图6、图7，使所述靶材组件100绕所述密封面的圆心自转。

参考图7，使所述第一偏刀300向所述密封面移动，使所述第二刀头301沿所述第三辅助切削面305方向(参考箭头F1方向)斜切入所述初始槽101靠近所述密封面圆心的侧壁。在这个过程中，所述矩形的初始槽101靠近所述密封面圆心的侧壁越靠近底面的区域被车削掉的材料越多，所述矩形的初始槽101靠近所述密封面圆心的侧壁与初始槽101底面交接处被车削出角部102。

由于在本实施例中，具体地，所述第一坡面307与所述第二刀柄302的中轴线310之间的夹角可以在40到50度之间。所述第一坡面307与第二刀柄302的中轴线310之间的夹角小于所述第二坡面308与所述第二刀柄302的中轴线310之间的夹角。也就是说，所述第二刀柄302在所述第一坡面307处的空隙更大，在使所述第二刀头301沿所述第三辅助切削面305方向斜切入所述初始槽101靠近所述密封面圆心的侧壁的步骤中，所述第一坡面307不容易和所述初始槽101靠近所述密封面圆心的侧壁接触，进而不容易破坏所述初始槽101开口处的形貌。

参考图8，在所述第二顶面304接触或靠近所述初始槽101的底部时，使所述第一偏刀300向所述初始槽101的中心移动(沿图7中箭头F2方向)。

参考图9，使所述第一偏刀300沿垂直所述密封面的方向远离所述密封面移动，使所述第二刀头301从所述初始槽101中抽出(沿图8中箭头F3方向)。

结合参考图8、图9，由于所述第二顶面304靠近所述初始槽101时，所述第二刀头301的部分位置已经伸入到所述角部102中，如果以图7中箭头F1的反方向将所述第二刀头301抽出，则相当于反向对所述初始槽101靠近所述密封面圆心的侧壁进行车削，不利于所述初始槽101靠近所述密封面圆心的侧壁的形貌，如果直接使所述第一偏刀300沿垂直所述密封面的方向远离所述密封面移动，则所述第三辅助切削面305可能接触所述初始槽101靠近所述密封面圆心的侧壁，影响所述初始槽101开口处的形貌。以本实施例图8、图9示出的方式抽出所述第二刀头301，能够有效改善所述初始槽101开口处的形貌。

需要说明的是，在本实施例中，所述第三辅助切削面305与所述第二顶面304之间的夹角为55度，所述第四辅助切削面306与所述第二顶面304之间的夹角为一直角或钝角。这样的设置所述第二刀头301的形状和尺寸，更有利于所述第二刀头301在所述初始槽101中灵活移动，但是本发明对第二刀头301的具体形状和尺寸不做限制。可选的，所述第三辅助切削面305与所述第二顶面304之间的夹角可以在70度以内选择，所述第四辅助切削面306与所述第二顶面304之间的夹角可以在90度到110度的范围内选择。

在采用所述第一偏刀300对所述初始槽101靠近所述圆心的侧壁进行半精车之后，在本实施例中，采用所述第二偏刀对所述初始槽101远离所述圆心的侧壁进行半精车，使所述初始槽101两侧壁分别向内凹陷，形成所述密封槽104，所述密封槽104内部最宽处的尺寸大于所述密封槽104开口处的尺寸。

图10、图11是本实施例车削刀具中第二偏刀400的示意图。

参考图10，示出了本实施例中所述第二偏刀400的结构示意图，所述第二偏刀400包括第三刀柄402以及位于第三刀柄402一端的第三刀头401，所述第三刀头401包括第三顶面404，以及分别与所述第三顶面404相接，且互相邻接的第三主切削面403、第三背面(未示出)、第五辅助切削面405和第六辅助切削面406，所述第三主切削面403和第三背面相对设置，所述第五辅助切削面405和第六辅助切削面406相对设置，所述第五辅助切削面405与所述第三顶面404之间的夹角小于70度，具体地，可以为65度。结合参考图9，所述第三刀柄402远离第三刀头401的一端上具有连接结构，用于将所述第二偏刀400固定于所述刀座130上。将所述第二偏刀400放入刀座130时，所述第五辅助切削面405朝向第二方向。在本实施例中，所述第二方向为背向所述密封面的圆心的方向。

在本实施例中，在所述第二偏刀400中，所述第三顶面404到所述第三刀柄402的距离S5为3毫米，公差为0.2毫米，所述第三顶面404在所述第五辅助切削面405和第六辅助切削面406之间的长度S6为2.6毫米，公差为0.1毫米。所述第二偏刀400的设定为上述尺寸的意义在于，在采用所述第二偏刀400对所述靶材组件100进行车削的步骤中，所述第二偏刀400能够伸入所述初始槽101中并对所述初始槽101的侧壁进行车削。

继续参考图10，在所述第二偏刀400中，所述第三刀头401和第三刀柄402之间具有第二连接处(未标出)，所述第三刀柄402的截面尺寸在朝向所述第三刀头401的方向上逐渐缩小，在靠近所述第三刀头401一端形成与所述第五辅助切削面405邻接的第三坡面407，以及与所述第四辅助切削面406邻接的第四坡面408。

在本实施例中，所述第三坡面407与所述第三刀柄402中轴线410之间的夹角大于所述第四坡面408与所述第三刀柄402中轴线410的夹角。也就是说，如图10所示，所述第三刀柄402在所述第三坡面407处的空隙更大。具体地，所述第三坡面407与所述第三刀柄402中轴线410之间的夹角可以在40到50度之间。

参考图11，示出了本实施例第二偏刀400以第五辅助切削面405为正面的侧视图，如图11所示，在所述第二偏刀400中，所述第三主切削面403和第三背面409相对设置，所述第三主切削面403为弧形面，所述弧形面的边缘具有刀刃，所述弧形面的圆弧半径在6到10毫米的范围内。

图12为以第二偏刀400车削所述初始槽101的示意图，图13至图15为以沿图12中圆形溅射面一直径剖切的剖视图，结合参考图12、图13，将所述第二偏刀400固定于所述刀座130上，使所述第二偏刀400第三刀头401的第三顶面404平行于所述靶材组件100的密封面，使所述第五辅助切削面405朝向所述密封面的圆心，所述第六辅助切削面406背向所述密封面的圆心。

结合参考图12、图13，使所述靶材组件100绕所述密封面的圆心自转。

参考图13，使所述第二偏刀400向所述密封面移动，使所述第三刀头401沿所述第五辅助切削面405方向(沿图12中箭头F4方向)斜切入所述初始槽101远离所述密封面圆心的侧壁。在这个过程中，所述矩形的初始槽101远离所述密封面圆心的侧壁越靠近底面的区域被车削掉的材料越多，所述矩形的初始槽101远离所述密封面圆心的侧壁与初始槽101底面交接处被车削出角部104。

由于在本实施例中，所述第三坡面407与所述第二一连接面之间的夹角可以在40到50度之间，所述第三坡面407与所述第二连接处之间的夹角大于所述第四坡面408与所述第二连接处之间的夹角。也就是说，所述第三刀柄402在所述第三坡面307处的空隙更大，在使所述第三刀头401沿所述第五辅助切削面405方向斜切入所述初始槽101远离所述密封面圆心的侧壁的步骤中，所述第三坡面407不容易和所述初始槽101靠近所述密封面圆心的侧壁接触，进而不容易破坏所述初始槽101开口处的形貌。

参考图14，在所述第三顶面404接触或靠近所述初始槽101的底部时，使所述第二偏刀400向所述初始槽101的中心移动(沿图13中箭头F5方向)。

参考图15，使所述第二偏刀400沿垂直所述密封面的方向远离所述密封面移动(沿图14中箭头F6方向)，使所述第三刀头401从所述初始槽101中抽出，所述初始槽101形成密封槽103。

结合参考图14、图15，由于所述第三顶面404靠近所述初始槽101时，所述第三刀头401的部分位置已经伸入到所述角部104中，如果以图12中箭头F4的反方向将所述第三刀头401抽出，则相当于反向对所述初始槽101靠近所述密封面圆心的侧壁进行车削，不利于所述初始槽101靠近所述密封面圆心的侧壁的形貌，如果直接使所述第二偏刀400沿垂直所述密封面的方向远离所述密封面移动，则所述第五辅助切削面405可能接触所述初始槽101靠近所述密封面圆心的侧壁，影响所述初始槽101开口处的形貌。以本实施例图14、图15示出的方式抽出所述第三刀头401，能够有效改善所述初始槽101开口处的形貌。

需要说明的是，在本实施例中，所述第五辅助切削面405与所述第三顶面404之间的夹角为55度，所述第六辅助切削面406与所述第三顶面404之间的夹角为一直角或钝角。这样的设置所述第三刀头401的形状和尺寸，更有利于所述第三刀头401在所述初始槽101中灵活移动，但是本发明对第三刀头401的具体形状和尺寸不做限制。可选的，所述第五辅助切削面405与所述第三顶面404之间的夹角可以在70度以内选择，所述第六辅助切削面406与所述第三顶面404之间的夹角可以在90度到110度的范围内选择。

需要说明的是，在本实施例中，先采用所述第一偏刀300对所述初始槽101靠近所述密封面圆心的侧壁进行半精车，在采用所述第二偏刀400对所述初始槽101远离所述密封面圆心的侧壁进行半精车，但是本发明对半精车的顺序不做限制，在其他实施例中，还可以先采用所述第二偏刀400对所述初始槽101远离所述密封面圆心的侧壁进行半精车，再采用所述第一偏刀300对所述初始槽101靠近所述密封面圆心的侧壁进行半精车。

对所述初始槽101的两侧壁进行半精车，得到所述密封槽103之后，在本实施例中，采用所述第一偏刀300和第二偏刀400对所述密封槽103的两侧壁进行精车，以提高密封槽103侧壁的光滑度，改善密封槽103的形貌。

还需要说明的是，在本实施例中，所述平底槽刀200、第一偏刀300和第二偏刀400的材料为白钢，白钢硬度较大，采用白钢材料的平底槽刀200、第一偏刀300和第二偏刀400能够较为方便地对所现有各种材料的靶材组件进行车削，但是本发明对此不作限制，在其他实施例中，根据靶材组件密封面的材料，所述平底槽刀200、第一偏刀300和第二偏刀400的材料还可以选为高速工具钢、合金工具钢、碳素工具钢、硬质合金、陶瓷等其他材料

请参考图16，示出了本实施例车削刀具制作的靶材组件100的示意图，所述靶材组件100包括：

背板120，所述背板120的上设置有靶材110，所述靶材110的表面为溅射面。

靶材110露出的背板120表面构成为密封面，所述密封面围绕所述溅射面。本实施例中所述溅射面呈圆形，所述密封面为围绕圆形溅射面的圆环面。

密封槽103，开设于所述靶材组件100密封面上，用于容纳密封部件，所述密封槽103内部最宽处的尺寸大于所述密封槽103开口处的尺寸，所述密封槽为围绕圆形溅射面的圆形槽。

请参考图16，示出了本实施例车削刀具形成的靶材组件100的示意图，在本实施例中，所述密封槽103的剖面形状为梯形。

在本实施例中，所述密封槽103开口处的宽度D3约为3.38毫米，所述密封槽103底部的宽度D2约为5毫米，所述密封槽103的槽深D1约为3毫米。所述密封槽103两侧壁与底面的夹角在24度左右。这样形状的密封槽103能够较好地容纳密封部件，并使所述密封部件不容易脱落。

需要说明的是，本发明对所述密封槽103的剖面形状不做限制，在其他实施例中，所述密封槽的剖面形状还可以为六边形。

请参考图17，示出了本实施例车削刀具形成的靶材组件100在密封槽103内置入密封部件500后的示意图。

在本实施例中，所述密封部件500为橡胶圈，可以看出，由于所述密封槽103开口处的尺寸小于密封槽103内部的尺寸，所述橡胶圈置入所述密封槽103后不容易脱落，当以所述靶材组件100在沉积室中进行测控溅射时，所述沉积室的密封性更好，能够有效提高磁控溅射的工艺质量。

本发明还提供一种车削刀具的制作方法。本发明车削刀具的制作方法可以用于制作本发明提供的车削刀具。

参考图18，为采用车削刀具的制作方法一实施例的示意图。提供第一金属条501、第二金属条502和第三金属条503，所述第一金属条501、第二金属条502和第三金属条503的形状可以为长方体，也可以为圆柱体。在本实施例中，所述第一金属条501、第二金属条502和第三金属条503的形状相同，尺寸相等，但是本发明对此不做限制。

提供线切割工具(未示出)，所述线切割工具可以为现有技术的任意线切割工具。

采用所述线切割工具对所述第一金属条501进行线切割，形成平底槽刀。在本实施例中，所述平底槽刀的形貌可以参考图1，所述平底槽刀200包括第一刀柄202以及位于第一刀柄202一端的第一刀头201，所述第一刀头201包括第一顶面204，以及分别与所述第一顶面204相接，且互相邻接的第一主切削面201、第一背面(未示出)、第一辅助切削面203和第二辅助切削面204，所述第一主切削面201和第一背面相对设置，所述第一辅助切削面203和第二辅助切削面205相对设置，所述第一辅助切削面203与所述第一顶面204之间的夹角大于80度，所述第二辅助切削面205与所述第一顶面204之间的夹角大于80度。在制作平底槽刀200的步骤中，可以先用线切割工具切割出第一刀柄202，再切割出第一刀头201。

采用所述线切割工具对所述第二金属条502进行线切割，形成第一偏刀。在本实施例中，所述第一偏刀的形貌可以参考图4，所述第一偏刀300包括第二刀柄302以及位于第二刀柄302一端的第二刀头301，所述第二刀头301包括第二顶面304，以及分别与所述第二顶面304相接，且互相邻接的第二主切削面303、第二背面(未示出)、第三辅助切削面305和第四辅助切削面306，所述第二主切削面303和第二背面相对设置，所述第三辅助切削面305和第四辅助切削面306相对设置，所述第三辅助切削面305与所述第二顶面304之间的夹角小于70度具体地，可以为65度。将所述第一偏刀300放入刀座时，所述第一辅助切削面305朝向第一方向。在制作第一偏刀300的步骤中，可以先用线切割工具切割出第二刀柄302，再切割出第二刀头301。

采用所述线切割工具对所述第三金属条503进行线切割，形成第二偏刀，在本实施例中，所述第二偏刀的形貌可以参考图10，所述第二偏刀400包括第三刀柄402以及位于第三刀柄402一端的第三刀头401，所述第三刀头401包括第三顶面404，以及分别与所述第三顶面404相接，且互相邻接的第三主切削面403、第三背面(未示出)、第五辅助切削面405和第六辅助切削面406，所述第三主切削面403和第三背面相对设置，所述第五辅助切削面405和第六辅助切削面406相对设置，所述第五辅助切削面405与所述第三顶面404之间的夹角小于70度，具体地，可以为65度。所述第三刀柄402远离第三刀头401的一端上具有连接结构，用于将所述第二偏刀400固定于所述刀座上。将所述第二偏刀400放入刀座时，所述第五辅助切削面405朝向第二方向。在制作第二偏刀400的步骤中，可以先用线切割工具切割出第三刀柄402，再切割出第三刀头401。

虽然本发明披露如上，但本发明并非限定于此。任何本领域技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，均可作各种更动与修改，因此本发明的保护范围应当以权利要求所限定的范围为准。

Claims (21)

1.一种车削刀具，用于制作靶材组件，其特征在于，包括平底槽刀、第一偏刀和第二偏刀，所述平底槽刀、第一偏刀和第二偏刀用于固定在机床的刀座上，以在所述靶材组件的密封面上加工出密封槽；

其中，所述平底槽刀包括第一刀柄以及位于第一刀柄一端的第一刀头，所述第一刀头包括第一顶面，以及分别与所述第一顶面相接，且互相邻接的第一主切削面、第一背面、第一辅助切削面和第二辅助切削面，所述第一主切削面和第一背面相对设置，所述第一辅助切削面和第二辅助切削面相对设置；

所述第一偏刀包括第二刀柄以及位于第二刀柄一端的第二刀头，所述第二刀头包括第二顶面，以及分别与所述第二顶面相接，且互相邻接的第二主切削面、第二背面、第三辅助切削面和第四辅助切削面，所述第二主切削面和第二背面相对设置，所述三辅助切削面和第四辅助切削面相对设置，所述第三辅助切削面用于在所述第一偏刀放入刀座时朝向第一方向；

所述第二偏刀包括第三刀柄以及位于第三刀柄一端的第三刀头，所述第二刀头包括第三顶面，以及分别与所述第三顶面相接，且互相邻接的第三主切削面、第三背面、第五辅助切削面和第六辅助切削面，所述第三主切削面和第三背面相对设置，所述第五辅助切削面和第六辅助切削面相对设置，所述第五辅助切削面用于在所述第一偏刀放入刀座时朝向第二方向，所述第二方向与第一方向相反。

2.如权利要求1所述的车削刀具，其特征在于，所述平底槽刀、第一偏刀和第二偏刀的材料为白钢。

3.如权利要求1所述的车削刀具，其特征在于，所述第一辅助切削面与所述第一顶面之间的夹角大于80度，所述第二辅助切削面与所述第一顶面之间的夹角大于80度。

4.如权利要求1所述的车削刀具，其特征在于，所述第三辅助切削面与所述第二顶面之间的夹角小于70度，所述第五辅助切削面与所述第三顶面之间的夹角小于70度。

5.如权利要求1所述的车削刀具，其特征在于，在所述第一偏刀中，所述第二顶面和第三辅助切削面之间的夹角在40到60度的范围内。

6.如权利要求1所述的车削刀具，其特征在于，在所述第一偏刀中，所述第二顶面到所述第二刀柄的距离在2到4毫米的范围内。

7.如权利要求1所述的车削刀具，其特征在于，在所述第一偏刀中，所述第二顶面到所述第二刀柄的距离在2到4毫米的范围内。

8.如权利要求1所述的车削刀具，其特征在于，在所述第一偏刀中，所述第二顶面在所述第三辅助切削面和第四辅助切削面之间的长度在2到4毫米的范围内。

9.如权利要求1所述的车削刀具，其特征在于，在所述第一偏刀中，所述第二主切削面为弧形面，所述弧形面的边缘具有刀刃，所述弧形面的圆弧半径在6到10毫米的范围内。

10.如权利要求1所述的车削刀具，其特征在于，在所述第一偏刀中，所述第二刀头和第二刀柄之间具有第一连接处，所述第二刀柄的截面尺寸在朝向所述第二刀头的方向上逐渐缩小，在靠近所述第二刀头一端形成与所述第一辅助切削面邻接的第一坡面，以及与所述第三辅助切削面邻接的第二坡面。

11.如权利要求10所述的车削刀具，其特征在于，所述第一坡面与所述第二刀柄的中轴线之间的夹角大于所述第二坡面与所述第二刀柄的中轴线之间的夹角。

12.如权利要求1所述的车削刀具，其特征在于，所述第二刀柄远离所述第二刀头的一端的截面尺寸在8到10毫米的范围内。

13.如权利要求1所述的车削刀具，其特征在于，在所述第二偏刀中，所述第三顶面和第五辅助切削面之间的夹角在40到60度的范围内。

14.如权利要求1所述的车削刀具，其特征在于，在所述第二偏刀中，所述第三顶面到所述第三刀柄的距离在2到4毫米的范围内。

15.如权利要求1所述的车削刀具，其特征在于，在所述第二偏刀中，所述第三顶面到所述第三刀柄的距离在2到4毫米的范围内。

16.如权利要求1所述的车削刀具，其特征在于，在所述第二偏刀中，所述第三顶面在所述第五辅助切削面和第六辅助切削面之间的长度在2到4毫米的范围内。

17.如权利要求1所述的车削刀具，其特征在于，在所述第二偏刀中，所述第二主切削面为弧形面，所述弧形面的边缘具有刀刃，所述弧形面的圆弧半径在6到10毫米的范围内。

18.如权利要求1所述的车削刀具，其特征在于，在所述第一偏刀中，所述第三刀头和第三刀柄之间具有第二连接处，所述第三刀柄的截面尺寸在朝向所述第三刀头的方向上逐渐缩小，在靠近所述第三刀头一端形成与所述第五辅助切削面邻接的第三坡面，以及与所述第六辅助切削面邻接的第四坡面。

19.如权利要求18所述的车削刀具，其特征在于，所述第三坡面与所述第三刀柄中轴线之间的夹角大于所述第四坡面与所述第三刀柄中轴线之间的夹角。

20.如权利要求1所述的车削刀具，其特征在于，所述第三刀柄远离所述第三刀头的一端的截面尺寸在8到10毫米的范围内。

21.一种车削刀具的制作方法，其特征在于，包括：

提供第一金属条、第二金属条和第三金属条；

提供线切割工具；

采用所述线切割工具对所述第一金属条进行线切割，形成平底槽刀，所述平底槽刀包括第一刀柄以及位于第一刀柄一端的第一刀头，所述第一刀头包括第一顶面，以及分别与所述第一顶面相接，且互相邻接的第一主切削面、第一背面、第一辅助切削面和第二辅助切削面，所述第一主切削面和第一背面相对设置，所述第一辅助切削面和第二辅助切削面相对设置；

采用所述线切割工具对所述第二金属条进行线切割，形成第一偏刀，所述第一偏刀包括第二刀柄以及位于第二刀柄一端的第二刀头，所述第二刀头包括第二顶面，以及分别与所述第二顶面相接，且互相邻接的第二主切削面、第二背面、第三辅助切削面和第四辅助切削面，所述第二主切削面和第二背面相对设置，所述三辅助切削面和第四辅助切削面相对设置，所述第三辅助切削面用于在所述第一偏刀放入刀座时朝向第一方向；

采用所述线切割工具对所述第三金属条进行线切割，形成第二偏刀，所述第二偏刀包括第三刀柄以及位于第三刀柄一端的第三刀头，所述第二刀头包括第三顶面，以及分别与所述第三顶面相接，且互相邻接的第三主切削面、第三背面、第五辅助切削面和第六辅助切削面，所述第三主切削面和第三背面相对设置，所述第五辅助切削面和第六辅助切削面相对设置，所述第五辅助切削面用于在所述第一偏刀放入刀座时朝向第二方向，所述第二方向与第一方向相反。