CN106244147B - Ito刻蚀液配制系统 - Google Patents
Ito刻蚀液配制系统 Download PDFInfo
- Publication number
- CN106244147B CN106244147B CN201610794355.1A CN201610794355A CN106244147B CN 106244147 B CN106244147 B CN 106244147B CN 201610794355 A CN201610794355 A CN 201610794355A CN 106244147 B CN106244147 B CN 106244147B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- mixture tank
- circulating pump
- pipeline
- pipe
- dissolving bucket
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09K—MATERIALS FOR MISCELLANEOUS APPLICATIONS, NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE
- C09K13/00—Etching, surface-brightening or pickling compositions
- C09K13/04—Etching, surface-brightening or pickling compositions containing an inorganic acid
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Weting (AREA)
- ing And Chemical Polishing (AREA)
Abstract
本发明涉及一种ITO刻蚀液配制系统,其特征是:包括混配罐、溶解桶和抽料循环泵,混配罐的顶部设有第一进料口,溶解桶的出料口通过抽料管连接混配罐顶部的第二进料口,抽料循环泵的一端通过第一管道连接混配罐的底部,抽料循环泵的出料端分别连接混配罐的第二进料口和第二管道,第二管道的输出端连接过滤灌装设备,在抽料循环泵的出料端设置取样支路,在取样支路上设置取样阀。在所述混配罐的顶部和第二管道的输出端之间连接回流管道,回流管道上设置调节阀。在所述混配罐的中部连接第三管道,第三管道分别连接抽料循环泵的出料端管道和溶解桶。在所述溶解桶的底部安装称重秤。本发明自动化程度高,混配效果好,保证产品精度。
Description
技术领域
本发明涉及一种配制系统,尤其是一种ITO刻蚀液配制系统,属于化工设备技术领域。
背景技术
铟锡氧化物(ITO)导电膜具有电阻率低、透光性好、高温稳定性好及制备和图形加工工艺简单等诸多优点,是一种理想的透明电极材料,被广泛应用于LCD、PDP、FED、OLED/PLED等平板显示器上作为透明电极。
为制备所需要的电极图形,就要对ITO导电膜进行蚀刻。蚀刻是将材料使用化学反应或物理撞击作用而移除的技术。蚀刻技术分为湿蚀刻和干蚀刻,其中,湿蚀刻是采用化学试剂,经由化学反应达到蚀刻的目的。FeCl3系ITO蚀刻液,为黄褐色液体,有气味酸性,在现有技术中,主要由盐酸或硝酸、FeCl3、纯水经搅拌混匀过滤制得。在现有的FeCl3系ITO蚀刻液制备过程中,一般就是采用人工进行操作,自动化程度较低,物料混配效果较差,产品配制的精度不够。
发明内容
本发明的目的是克服现有技术中存在的不足,提供一种ITO刻蚀液配制系统,自动化程度高,混配效果好,保证产品精度。
按照本发明提供的技术方案,所述ITO刻蚀液配制系统,其特征是:包括混配罐、溶解桶和抽料循环泵,混配罐的顶部设有第一进料口,溶解桶的出料口通过抽料管连接混配罐顶部的第二进料口,抽料循环泵的一端通过第一管道连接混配罐的底部,抽料循环泵的出料端分别连接混配罐的第二进料口和第二管道,第二管道的输出端连接过滤灌装设备,在抽料循环泵的出料端设置取样支路,在取样支路上设置取样阀;在所述混配罐的顶部和第二管道的输出端之间连接回流管道,回流管道上设置调节阀。
进一步的,在所述混配罐的中部连接第三管道,第三管道分别连接抽料循环泵的出料端管道和溶解桶。
进一步的,在所述溶解桶的底部安装称重秤。
进一步的,在所述混配罐上安装压力表和液位计。
进一步的,在所述抽料管、第一管道和第二管道上均设有阀体。
本发明具有以下优点:(1)本发明能够实现三氯化铁ITO刻蚀液的自动化配制;(2)本发明能够通过称重秤对FeCl3、纯水进行称重,保证混配的精度;(3)本发明通过抽料循环泵实现混配罐中物料的混配,混配效果好,以保证产品精度。
附图说明
图1为本发明所述ITO刻蚀液配制系统的结构示意图。
具体实施方式
下面结合具体附图对本发明作进一步说明。
如图1所示:所述ITO刻蚀液配制系统包括混配罐1、溶解桶2、抽料循环泵3、称重秤4、第一进料口5、抽料管6、第二进料口7、第一管道8、第二管道9、取样阀10、回流管道11、调节阀12、压力表13、液位计14等。
如图1所示,本发明所述ITO刻蚀液配制系统,包括混配罐1、溶解桶2和抽料循环泵3,混配罐1的顶部设有第一进料口5,溶解桶2的出料口通过抽料管6连接混配罐1顶部的第二进料口7,抽料循环泵3的一端通过第一管道8连接混配罐1的底部,抽料循环泵3的出料端分别连接混配罐1的第二进料口和第二管道9,第二管道9的输出端连接过滤灌装设备,在抽料循环泵3的出料端设置取样支路,在取样支路上设置取样阀10,通过取样阀10以确定抽料循环泵3出料口的物料是回混配罐1继续搅拌混合还是出样至过滤灌装设备。
在所述混配罐1的顶部和第二管道9的输出端之间连接回流管道11,回流管道11上设置调节阀12,调节阀12用以调节压力和流量,并且回流管道11能够将第二管道9中多余的物料回流至混配罐1。
在所述混配罐1的中部连接第三管道,第三管道分别连接抽料循环泵3的出料端管道和溶解桶2,用于对混配罐1内的物料进行放液排空。
在所述溶解桶2的底部安装称重秤4,用于对FeCl3、纯水进行称重。
在所述混配罐1上安装压力表13和液位计14。
在所述抽料管6、第一管道8和第二管道9上均设有阀体。
本发明的工作过程:FeCl3、纯水在溶解桶2中溶解后由抽料管6送入混配罐1中,混配罐1由顶部的第一进料口5加入盐酸;抽料循环泵3能够将混配罐1内的物料由底部抽出再由顶部送入,以实现混配罐1中物料的混合均匀;当从抽料循环泵3的出料口的取样阀10取样得到物料混配符合要求时,抽料循环泵3的出料口由第二管道9将物料排至过滤灌装设备。
Claims (4)
1.一种ITO刻蚀液配制系统,其特征是:包括混配罐(1)、溶解桶(2)和抽料循环泵(3),混配罐(1)的顶部设有第一进料口(5),溶解桶(2)的出料口通过抽料管(6)连接混配罐(1)顶部的第二进料口(7),抽料循环泵(3)的一端通过第一管道(8)连接混配罐(1)的底部,抽料循环泵(3)的出料端分别连接混配罐(1)的第二进料口和第二管道(9),第二管道(9)的输出端连接过滤灌装设备,在抽料循环泵(3)的出料端设置取样支路,在取样支路上设置取样阀(10);在所述混配罐(1)的顶部和第二管道(9)的输出端之间连接回流管道(11),回流管道(11)上设置调节阀(12);
在所述混配罐(1)的中部连接第三管道,第三管道分别连接抽料循环泵(3)的出料端管道和溶解桶(2)。
2.如权利要求1所述的ITO刻蚀液配制系统,其特征是:在所述溶解桶(2)的底部安装称重秤(4)。
3.如权利要求1所述的ITO刻蚀液配制系统,其特征是:在所述混配罐(1)上安装压力表(13)和液位计(14)。
4.如权利要求1所述的ITO刻蚀液配制系统,其特征是:在所述抽料管(6)、第一管道(8)和第二管道(9)上均设有阀体。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201610794355.1A CN106244147B (zh) | 2016-08-31 | 2016-08-31 | Ito刻蚀液配制系统 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201610794355.1A CN106244147B (zh) | 2016-08-31 | 2016-08-31 | Ito刻蚀液配制系统 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN106244147A CN106244147A (zh) | 2016-12-21 |
CN106244147B true CN106244147B (zh) | 2018-05-11 |
Family
ID=58079871
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201610794355.1A Active CN106244147B (zh) | 2016-08-31 | 2016-08-31 | Ito刻蚀液配制系统 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN106244147B (zh) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN112044300B (zh) * | 2020-08-25 | 2022-09-20 | 福建天甫电子材料有限公司 | 一种用于电子级二氧化硅蚀刻液的制备装置及制备工艺 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN2561501Y (zh) * | 2002-08-06 | 2003-07-23 | 深圳市清泉水系统工程设备有限公司 | 一种溶解混合装置 |
CN201940184U (zh) * | 2010-12-22 | 2011-08-24 | 北京矿冶研究总院 | 一种酸化液的配制系统 |
CN202519195U (zh) * | 2012-02-16 | 2012-11-07 | 江阴润玛电子材料股份有限公司 | Ito蚀刻液制备装置 |
CN204193854U (zh) * | 2014-10-14 | 2015-03-11 | 江苏金象赛瑞化工科技有限公司 | 一种连续高效工业盐溶解装置 |
CN104411390A (zh) * | 2012-07-03 | 2015-03-11 | 杰富意工程株式会社 | 粉体和液体的混合溶解装置以及使用该混合溶解装置的压舱水处理装置 |
CN205461843U (zh) * | 2016-01-27 | 2016-08-17 | 广东轻工职业技术学院 | 一种化学助剂自动溶解器 |
-
2016
- 2016-08-31 CN CN201610794355.1A patent/CN106244147B/zh active Active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN2561501Y (zh) * | 2002-08-06 | 2003-07-23 | 深圳市清泉水系统工程设备有限公司 | 一种溶解混合装置 |
CN201940184U (zh) * | 2010-12-22 | 2011-08-24 | 北京矿冶研究总院 | 一种酸化液的配制系统 |
CN202519195U (zh) * | 2012-02-16 | 2012-11-07 | 江阴润玛电子材料股份有限公司 | Ito蚀刻液制备装置 |
CN104411390A (zh) * | 2012-07-03 | 2015-03-11 | 杰富意工程株式会社 | 粉体和液体的混合溶解装置以及使用该混合溶解装置的压舱水处理装置 |
CN204193854U (zh) * | 2014-10-14 | 2015-03-11 | 江苏金象赛瑞化工科技有限公司 | 一种连续高效工业盐溶解装置 |
CN205461843U (zh) * | 2016-01-27 | 2016-08-17 | 广东轻工职业技术学院 | 一种化学助剂自动溶解器 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN106244147A (zh) | 2016-12-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN106244147B (zh) | Ito刻蚀液配制系统 | |
CN106190129B (zh) | 三氯化铁ito刻蚀液配制系统 | |
CN204865096U (zh) | 沉降溢流系统 | |
CN107162279A (zh) | 一种处理高浓度含氟废液的净化系统和净化方法 | |
CN104828893A (zh) | 一种平流式加压溶气气浮池 | |
CN213221063U (zh) | 一种连续平衡分层装置 | |
CN213824367U (zh) | 一种水处理的一体化加药装置 | |
CN109012298A (zh) | 一种助剂自动稀释系统 | |
CN209715005U (zh) | 一种矿用乳化混合液混合装置 | |
CN210229670U (zh) | 一种回收乙醇调配处理装置 | |
CN206289038U (zh) | 一种用于污水处理的混合反应装置 | |
CN209320017U (zh) | 一种应用于罐车上的混凝土外加剂自动添加器 | |
CN216704193U (zh) | 一种药剂制备系统 | |
CN207061874U (zh) | 一种稀磷酸的加工系统 | |
CN212982494U (zh) | 一种虹吸加药装置 | |
CN214571212U (zh) | 一种适用于高浊度难处理水的地理式预处理设施 | |
CN205222720U (zh) | 一种应用于循环冷却水处理系统中的加药装置 | |
CN210803069U (zh) | 一种全自动水样控温除浊混匀预处理装置 | |
CN211141618U (zh) | 一种高速沉淀水处理设备 | |
CN211770693U (zh) | 一种废水高效混凝沉淀装置 | |
CN107777805A (zh) | 切削液废水处理回收装置 | |
CN203021313U (zh) | 一种生产油墨后的废水循环再利用系统 | |
CN203497477U (zh) | 卧式碳钢衬胶储罐 | |
CN212119116U (zh) | 一种咖啡因母液沉降系统 | |
CN109811860A (zh) | 一种废液回收装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant | ||
TR01 | Transfer of patent right |
Effective date of registration: 20220324 Address after: 312300 Hangzhou Shangyu economic and Technological Development Zone, Shaoxing, Zhejiang Patentee after: ZHEJIANG SHANGNENG INDUSTRIAL CO.,LTD. Address before: 214421 No. 2, Xiangyang Road, Xiangyang Village, Huashi Town, Jiangyin City, Wuxi City, Jiangsu Province Patentee before: JIANGYIN CHEMICAL REAGENT FACTORY CO.,LTD. |
|
TR01 | Transfer of patent right |